專利名稱：多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造多晶硅薄膜太陽能電池用設(shè)備。
技術(shù)背景-現(xiàn)有的多晶硅薄膜太陽能電池制造設(shè)備中，對薄膜電池片進行化學 氣體沉積處理的容器，其進氣管處，采用固體密封形式，每次對薄膜電 池處理時，均需要重新裝密封件，操作麻煩，工作效率低，且固體密封 件易在高溫下發(fā)生泄露等現(xiàn)象，影響工作效果。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，采用氣體密封方式進行進行 密封處理，工作效果好的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備。 本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電 池片進行化學氣體沉積處理的容器，進氣管通過容器上的開口伸入容器 中，其特征是在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣 體的噴射裝置。容器開口處呈擴大的喇叭口形。向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴 射裝置包括套裝在進氣管上的惰性氣體管，惰性氣體管的端部設(shè)置噴射 孔，且多個噴射孔沿惰性氣體管的圓周方向均勻布置。向容器開口噴射 高壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口部位壁上的惰性氣體孔。進氣管主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。惰性氣體管是鉑材料的管 子。所述惰性氣體是氬氣。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，采用高壓惰性氣體對薄膜電池片進行化學氣體沉 積處理的容器開口處進行密封，密封效果好，有效提高工作效率。
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。 圖1是本發(fā)明一個實施例的結(jié)構(gòu)示圖。
具體實施例方式一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管1中對薄膜 電池片進行化學氣體沉積處理的容器2，進氣管3通過容器2上的開口4伸入容器2中，在容器2開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰 性氣體的噴射裝置。容器開口處呈擴大的喇叭口形。向容器開口噴射高 壓惰性氣體的噴射裝置包括套裝在進氣管上的惰性氣體管5，惰性氣體 管5的端部設(shè)置噴射孔6，多個噴射孔6沿惰性氣體管5的圓周方向均 勻布置。進氣管3主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。惰性氣體管 是鉑材料的管子。所述惰性氣體是氬氣。當然，本發(fā)明還可以有其他合適實施例，例如向容器開口噴射高 壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口部位壁上的惰性氣體孔等形 式。
權(quán)利要求
1、一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電池片進行化學氣體沉積處理的容器，進氣管通過容器上的開口伸入容器中，其特征是在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特 征是容器開口處呈擴大的喇叭口形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置包括套裝在進氣管 上的惰性氣體管，惰性氣體管的端部設(shè)置噴射孔，且多個噴射孔沿惰性 氣體管的圓周方向均勻布置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置為設(shè)置在容器開口 部位壁上的惰性氣體孔。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備， 其特征是進氣管主體為陶瓷管，陶瓷管外壁上包有鉑層。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特征是惰性氣體管是鉑材料的管子。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，其特征是所述惰性氣體是氬氣。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備，包括設(shè)置在爐管中對薄膜電池片進行化學氣體沉積處理的容器，進氣管通過容器上的開口伸入容器中，在容器開口處近側(cè)，設(shè)置有向容器開口噴射高壓惰性氣體的噴射裝置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，采用高壓惰性氣體對薄膜電池片進行化學氣體沉積處理的容器開口處進行密封，密封效果好，有效提高工作效率。
文檔編號H01L31/18GK101241955SQ20081001991
公開日2008年8月13日 申請日期2008年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月13日
發(fā)明者林 侯, 王漢飛, 群 班 申請人:江蘇林洋新能源有限公司;南通林洋新能源工程技術(shù)研究中心有限公司