技術(shù)編號：6891951
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造多晶硅薄膜太陽能電池用設(shè)備。技術(shù)背景-現(xiàn)有的多晶硅薄膜太陽能電池制造設(shè)備中，對薄膜電池片進(jìn)行化學(xué) 氣體沉積處理的容器，其進(jìn)氣管處，采用固體密封形式，每次對薄膜電 池處理時(shí)，均需要重新裝密封件，操作麻煩，工作效率低，且固體密封 件易在高溫下發(fā)生泄露等現(xiàn)象，影響工作效果。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，采用氣體密封方式進(jìn)行進(jìn)行 密封處理，工作效果好的多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)備。 本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種多晶硅薄膜太陽能電池專用設(shè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。