專(zhuān)利名稱(chēng)：用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置及其過(guò)濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置，特別是 有關(guān)于一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形pattern定義，皆需依賴(lài)光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩。利用曝光原理，則光源通過(guò)光罩投影至硅晶圓silicon wafer可曝光顯示特定圖案。然而，由于任何附著于光罩或半導(dǎo)體組件上 的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機(jī)物都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn) 生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，而被投射的硅晶圓或者其它半導(dǎo)體組件 投射體亦必須保持絕對(duì)清靜，因此在一般的晶圓制程中，都提供無(wú)塵室 clean room的環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無(wú)塵室也無(wú)法 達(dá)到絕對(duì)無(wú)塵狀態(tài)。
因此，現(xiàn)代的半導(dǎo)體制程皆利用抗污染的光罩存放裝置進(jìn)行光罩的保 存與運(yùn)輸，以使光罩保持潔凈；也利用抗污染的半導(dǎo)體組件存放裝置進(jìn)行半導(dǎo)體組件的保存與運(yùn)輸，以使半導(dǎo)體組件保持潔凈。光罩存放裝置是在 半導(dǎo)體制程中用于存放光罩，以利光罩在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與傳送，并隔絕 光罩與大氣的接觸，避免光罩被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化；而半導(dǎo)體組件存放
裝置是在半導(dǎo)體制程中用于存放半導(dǎo)體組件，以利半導(dǎo)體組件在機(jī)臺(tái)之間 的搬運(yùn)與傳送，并隔絕半導(dǎo)體組件與大氣的接觸，避免半導(dǎo)體組件被雜質(zhì) 污染而產(chǎn)生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體廠中，通常會(huì)要求該種用以存放
半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的潔凈度要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口 Standard Mechanical Interface; SMIF，也就是說(shuō)保持潔凈度在Class 1以下。故， 在用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中充入氣體便是目前解決的手 段之一。
然而，為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品的良率及降低制造的成本，除了達(dá)到潔凈 度的標(biāo)準(zhǔn)要求之外，還要克服因?yàn)橥鈦?lái)氣體對(duì)于光罩的污染。這樣的外來(lái) 氣體除了大氣以外，還有兩個(gè)來(lái)源，其一是源自于高分子材料所制成的放 裝置本身所釋出的氣體outgasing，其二是源自于殘留在光罩或半導(dǎo)體組 件表面的微量化學(xué)溶液所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體。這些非期望氣體會(huì)對(duì)光罩或半 導(dǎo)體組件的表面產(chǎn)生霧化作用，使得光罩或半導(dǎo)體組件無(wú)法再使用而必須 報(bào)廢的窘境，使得制造成本增加。在存放裝置中充入氣體是目前解決光罩 或半導(dǎo)體霧化的手段之一，其中如何保持充入氣體的潔凈度，是一個(gè)重要 的議題。
有鑒于此，本實(shí)用新型所提供的具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo)體組件 或光罩的存放裝置，乃針對(duì)現(xiàn)有加以改良。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo) 體組件或光罩的存放裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導(dǎo) 體組件受到污染。
為解決現(xiàn)有的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半 導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置。此種存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合 而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，此種存放裝置的第二蓋 體設(shè)有至少一孔，用以連通用該存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，以及 一過(guò)濾裝置置于該孔。該過(guò)濾裝置是由過(guò)濾件以及固定件所構(gòu)成。根據(jù)本 發(fā)明一較佳實(shí)施例，該過(guò)濾裝置可再包含第一部分、第二部分、固定件與 過(guò)濾件，其中該第一部分具有通孔與卡制機(jī)構(gòu)，第二部分具有通孔與嚙合 機(jī)構(gòu)，過(guò)濾件置于第一部分或第二部分上，并且由固定件固定過(guò)濾件。
本實(shí)用新型的再一 目的在于提供一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo) 體組件或光罩的存放裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以保持該用以存放 半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置內(nèi)的潔凈度。
本實(shí)用新型的有益效果是，所提供的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存 放裝置及其過(guò)濾裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導(dǎo)體組 件受到污染。


圖1:本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的示意圖； 圖2A至圖2D:本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置設(shè)置過(guò)濾件與固定件的示意圖3A至圖3D:本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置與 過(guò)濾件及固定件的設(shè)置示意圖4A至圖4C:本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中 固定件與過(guò)濾件的關(guān)是示意圖5A至圖5D:本實(shí)用新型用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置與 過(guò)濾裝置配置示意圖6:本實(shí)用新型過(guò)濾裝置的分解圖7A至圖7F:本實(shí)用新型過(guò)濾裝置中固定件與過(guò)濾件的示意圖； 圖8A至圖8C:本實(shí)用新型過(guò)濾裝置中過(guò)濾件、固定件與第一部分的 示意圖9A至圖9F:本實(shí)用新型過(guò)濾裝置中第一部分與第二部分的支撐部 的示意圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明
1過(guò)濾裝置 2第一部分 21卡制機(jī)構(gòu) 22支撐部 3第二部分 31嚙合機(jī)構(gòu) 32支撐部4過(guò)濾件
5固定件 51孔隙
52 n字型角
53 T字型角 6第一蓋體
7第二蓋體 71本體 72板件 A， A， 孔 H，H' 通孔
具體實(shí)施方式
由于本實(shí)用新型揭露一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo)體組件或光 罩的存放裝置的結(jié)構(gòu)，其中所利用到的一些光罩或半導(dǎo)體組件或存放裝置 的詳細(xì)制造或處理過(guò)程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來(lái)達(dá)成，故在下述說(shuō)明中，并不 作完整描述。而且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪 制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的示意圖。
請(qǐng)先參閱圖1，此是本實(shí)用新型的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放 裝置的示意圖，此存放裝置是由一第一蓋體6與一第二蓋體7組合而成， 形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，而在第二蓋體7上包含有至少 一孔A，用以連通該存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間。接著請(qǐng)參閱圖2A至圖2D，在本存放裝置的第二蓋體7包含有本體71 與板件72，本體71設(shè)置一孔A，在板件72相對(duì)于本體71的處亦設(shè)有一 孔A'，本體71的孔A與板件72的孔A'相連通，以供空氣流通，在板 件72上設(shè)置過(guò)濾件4，覆蓋該孔A'，以過(guò)濾流通空氣的雜質(zhì)，接著，再 設(shè)固定件5于過(guò)濾件4上，并與板件72相連接，以達(dá)到固定過(guò)濾件4的 效果，當(dāng)然該固定件5需設(shè)置至少一個(gè)孔隙51，以使空氣流通。圖2A是 各組件的示意圖，圖2B是組件組合后的示意圖，其中，固定件5是以延 伸的『n』字型角52卡設(shè)于板件72上，然而，如圖2C與圖2D所示，固 定件5亦得以『T』字型角53卡設(shè)于板件72上。
此外，請(qǐng)參閱圖3A至圖3D，板件72亦得延伸至本體71的孔A中， 以形成一使空氣流通的孔。其中，圖3A、圖3B圖所示的實(shí)施方式，固定 件5是以『n』字型角52卡設(shè)于板件72上；又如圖3C、圖3D所示，板 件72延伸至本體71的孔A中，而固定件5是以『T』字型角53卡設(shè)于板 件72上。
不論板件72是否延伸至本體71，或固定件5是以何種方式卡設(shè)于板 件72上，固定件5與板件72及過(guò)濾件4的相對(duì)關(guān)是有多種實(shí)施方式，如 圖4A至圖4C所示固定件5可包覆于板件72上，達(dá)到固定過(guò)濾件4的 效果，如圖4A所示；或可卡設(shè)于板件72，如圖4B與圖4C所示；而固定 件5可大致覆蓋該過(guò)濾件4，如圖4A與圖4B所示，或者亦可僅框住該過(guò) 濾件4，如圖4C所示，端視使用的需要。
接著請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D5A至圖5D，此是具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo)體組 件或光罩的存放裝置的其它實(shí)施方式。其中，第二蓋體7具有至少一孔A，過(guò)濾裝置1與第二蓋體7的孔A結(jié)合，過(guò)濾裝置1是由第一部分2、第二 部分3、過(guò)濾件4與固定件5所組合而成。在圖5A所示的實(shí)施方式中，固 定件5是單獨(dú)的組件，設(shè)置于第一部分2或第二部分3 (本圖未顯示設(shè)置 于第二部分3的實(shí)施態(tài)樣)上，用以固定過(guò)濾件4，其設(shè)置的剖面圖如圖 5B所示；然而在圖5C所示的實(shí)施方式中，固定件5為一板件，大致覆蓋 在第二蓋體7面對(duì)內(nèi)部空間的表面上，相對(duì)應(yīng)于過(guò)濾件4的位置處設(shè)置有 至少一個(gè)孔隙51，以供空氣流通，圖5D為該種實(shí)施方式的剖面圖。
接著請(qǐng)參閱圖6，此是圖5A或圖5B所示的實(shí)施方式中，過(guò)濾裝置1 的分解圖。此種過(guò)濾裝置1是由第一部分2、第二部分3、過(guò)濾件4與固 定件5所組合而成，在第一部分2中，具有一通孔H，而第二部分3亦具 有一通孔H，，當(dāng)?shù)谝徊糠?與第二部分3相結(jié)合時(shí)，該二通孔HH'將結(jié) 合成一通孔，可使氣體通過(guò)；其中第一部分2具有卡制機(jī)構(gòu)21，與第二部 分3的嚙合機(jī)構(gòu)31相卡固，其型態(tài)如圖7A至圖7D所示；卡制機(jī)構(gòu)21可 以是至少一對(duì)卡勾，如圖7A所示，或者如圖7B所示，是環(huán)狀卡勾；嚙合 機(jī)構(gòu)31可以如圖7C所示，為至少一對(duì)槽體，或如圖7D所示，為環(huán)狀的 槽體。
不論卡制機(jī)構(gòu)21為一對(duì)卡勾或環(huán)狀卡勾，嚙合機(jī)構(gòu)31為至少一對(duì)槽 體或環(huán)狀槽體，卡制機(jī)構(gòu)21與嚙合機(jī)構(gòu)31均得互相卡固，其卡固的方式 可如圖7E所示，卡制機(jī)構(gòu)21卡固于第二部分3面對(duì)通孔H的內(nèi)圍，或者 如圖7F所示，卡制機(jī)構(gòu)21卡固于第二部分3相對(duì)于內(nèi)圍的外圍，只要卡 制機(jī)構(gòu)21與嚙合機(jī)構(gòu)31相卡固即可。
當(dāng)?shù)谝徊糠?與第二部分3相結(jié)合后，過(guò)濾件4可覆蓋于第一部分2或第二部分3的通孔H上，當(dāng)空氣通過(guò)通孔H時(shí)，過(guò)濾件4可過(guò)濾空氣中 的微塵；接著再以固定件5固定過(guò)濾件4于第一部分2或第二部分3上， 固定件5可包覆于第一部分2或第二部分3上，達(dá)到固定過(guò)濾件4的效果， 如圖8A所示；或可卡設(shè)于第一部分2或第二部分3上，如圖8B所示；而 固定件5可大致覆蓋該過(guò)濾件4，如圖8A或圖8B所示；或者亦可僅框住 該過(guò)濾件4，如第八C圖所示，端視使用的需要，當(dāng)然，該固定件5具有 至少一個(gè)孔隙51，以便使空氣通過(guò)。
又，本過(guò)濾裝置l是置于用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置，故 為了達(dá)到更好的置放效果，過(guò)濾裝置1的第一部分2與第二部分3均可再 設(shè)置支撐部22、 32用以支撐于該存放裝置，第一部分2的支撐部22可設(shè) 計(jì)為環(huán)狀突緣(如圖9A所示)、至少一個(gè)突腳(如圖9B所示)或是至少 一個(gè)勾角(如圖9C所示)；第二部分3的支撐部32可設(shè)計(jì)為環(huán)狀突緣(如 圖9D所示)、至少一個(gè)突腳(如圖犯所示)或是至少一個(gè)勾角(如圖9F 所示)；該等支撐部的直徑，可大于第二蓋體的孔的直徑；不論何種設(shè)計(jì)， 其目的均在于使過(guò)濾裝置1設(shè)置于該存放裝置時(shí)有更好的固設(shè)效果。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新 型的申請(qǐng)專(zhuān)利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專(zhuān)門(mén)人士應(yīng) 可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變 或修飾，均應(yīng)包含在下述的申請(qǐng)專(zhuān)利范圍中。
權(quán)利要求1.一種過(guò)濾裝置，其特征在于，包含有一第一部分，具有一通孔與一卡制機(jī)構(gòu)；一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對(duì)齊，及一嚙合機(jī)構(gòu)與該第一部分的卡制機(jī)構(gòu)相結(jié)合；一過(guò)濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及一固定件，用以固定該過(guò)濾件。
2. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該固定件卡設(shè)于或包覆 該第一部分或第二部分。
3. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該固定件覆蓋或框住該 過(guò)濾件。
4. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該固定件具有至少一孔隙。
5. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該卡制機(jī)構(gòu)為至少一卡勾。
6. 如權(quán)利要求5所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該嚙合部分為一槽體 或環(huán)狀槽體與該卡勾結(jié)合，使第一部分與第二部分卡固。
7. 如權(quán)利要求5所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該卡勾為至少一對(duì)或 環(huán)狀。
8. 如權(quán)利要求5所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該卡勾是卡固于該第 二部分面對(duì)該通孔的內(nèi)圍或卡固于該第二部分的外圍。
9. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該第一部分另包含有一 支撐部。
10. 權(quán)利要求1所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該第二部分另包含有 一支撐部。
11. 如權(quán)利要求9所述的過(guò)濾裝置，其特征在于，該第一部分的支撐 部為環(huán)狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。
12. 如權(quán)利要求10的過(guò)濾裝置，其特征在于，該第二部分的支撐部為 環(huán)狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。
13. —種存放裝置，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩，其特征在于包含有 一第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo)體 組件或光罩，其中該第二蓋體具有至少一孔；以及一過(guò)濾裝置，設(shè)置于該第二蓋體，與該第二蓋體的孔結(jié)合，該過(guò)濾裝 置包含有 一第一部分，具有一通孔與一卡制機(jī)構(gòu)；一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對(duì)齊，及一嚙合機(jī)構(gòu)與該第一部分的卡制機(jī)構(gòu)相結(jié)合；一過(guò)濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及 一固定件，用以固定該過(guò)濾件。
14. 如權(quán)利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該固定件為一板件， 覆蓋于該第二蓋體面對(duì)該內(nèi)部空間的表面上。
15. 如權(quán)利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過(guò)濾裝置的第一 部分另包含有一支撐部，用以使該第一部分可卡設(shè)于該第二蓋體。
16. 如權(quán)利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過(guò)濾裝置的第二 部分另包含有一支撐部，用以使該第二部分可卡設(shè)于該第二蓋體。
17. 如權(quán)利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過(guò)濾裝置的第一 部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。
18. 如權(quán)利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過(guò)濾裝置的第二 部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。
19. 一種存放裝置，用以存放半導(dǎo)體組件或光罩，其特征在于包含有 —第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo)體 組件或光罩，其中該第二蓋體包含有-一本體，具有至少一孔；以及一板件，設(shè)于該本體上面對(duì)該內(nèi)部空間，具有一孔對(duì)應(yīng)于該本體的孔；一過(guò)濾件，設(shè)于該板件上，覆蓋該板件的孔；以及 一固定件，用以固定該過(guò)濾件于該板件上。
20. 如權(quán)利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該板件是延伸至該 本體的孔。
21. 如權(quán)利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該固定件卡設(shè)于或 包覆該板件。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種具有過(guò)濾裝置的用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置。該存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體組件，此種存放裝置的第二蓋體設(shè)有至少一孔，用以連通該存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，以及一過(guò)濾裝置覆蓋該孔。
文檔編號(hào)H01L21/67GK201163616SQ200720311769
公開(kāi)日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2007年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月24日
發(fā)明者王勝弘 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司