專利名稱：Ic料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種全自動(dòng)ic料條激光打標(biāo)機(jī)，更準(zhǔn)確地說，涉及料條在輸送導(dǎo)軌上輸 送過程中對其進(jìn)行方向檢測、批號檢測、打標(biāo)位置檢測和打標(biāo)質(zhì)量檢測的一種全自動(dòng)ic料條 激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
打標(biāo)機(jī)廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的集成電路的表面打標(biāo)。根據(jù)使用要求的不同，IC行業(yè)使用的集成電路板有料條(組合芯片)或芯片(塊粒狀芯片)和晶圓三種形式。料條是由若干芯 片組合而成的板料，對料條上的每一粒芯片打標(biāo)時(shí)，是直接通過輸送料條實(shí)現(xiàn)自動(dòng)打標(biāo)的。 芯片是尺寸較小的塊粒狀料，是放在軌道托盤中，通過對軌道托盤的輸送實(shí)現(xiàn)芯片自動(dòng)打標(biāo) 的。晶圓是直接在其上制作了多塊(粒)芯片的一塊薄薄的圓片，需要在整塊晶圓薄片上對 其上的每一塊(粒)芯片的背面進(jìn)行打標(biāo)。從上料箱進(jìn)入輸送導(dǎo)軌的料條，在打標(biāo)之前要進(jìn)行料條是否放反的方向檢測和該料條的產(chǎn)品批號檢測；在打標(biāo)時(shí)要一邊檢測料條上芯片的位置， 一邊根據(jù)所檢測的位置提供給PC 機(jī)來控制激光打標(biāo)機(jī)的激光打標(biāo)頭對芯片進(jìn)行打標(biāo)；打標(biāo)完成后還要對打標(biāo)的質(zhì)量進(jìn)行檢測， 只有打標(biāo)質(zhì)量合格的料條才允許推入下料箱進(jìn)行存放。目前使用的大多數(shù)激光打標(biāo)機(jī)，僅有 上述檢測項(xiàng)目的一部分或還沒有設(shè)置檢測項(xiàng)目， 一些項(xiàng)目需要人工檢測來完成，這種檢測辦 法不僅工作效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大，而且檢測準(zhǔn)確性難于保證，使產(chǎn)品生產(chǎn)效率和質(zhì)量都受到 較大影響。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對現(xiàn)有的打標(biāo)機(jī)存在的由于需進(jìn)行人工檢測而使得工作效率低、 勞動(dòng)強(qiáng)度大的不足，提供一種由多種檢測裝置相結(jié)合的新型IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為 一種IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，設(shè)置在料條輸送導(dǎo)軌的輸送線路上，包括方向檢測裝置、產(chǎn)品批號檢測裝置、打標(biāo)位置檢測裝置、打標(biāo)質(zhì)量檢測裝 置，方向檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)，產(chǎn)品批號檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo) 軌的前導(dǎo)軌一側(cè)，打標(biāo)位置檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)并在其下方，打標(biāo)質(zhì) 量檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)。優(yōu)選的是，所述的方向檢測裝置包括支架、設(shè)置在支架的掃描頭以及掃描頭正下方的發(fā) 光器。所述的支架上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽，掃描頭的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在滑動(dòng)槽內(nèi)。優(yōu)選的是，所述的產(chǎn)品批號檢測裝置包括支架和設(shè)置在支架上的掃描頭和發(fā)光器，發(fā)光 器位于掃描頭的正下方，支架上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽，掃描頭和發(fā)光器的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在 調(diào)整槽內(nèi)。優(yōu)選的是，所述的打標(biāo)位置檢測裝置包括一個(gè)支架、設(shè)置在支架上的滾珠絲桿傳動(dòng)，以 及安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上的伺服電機(jī)；掃描頭和發(fā)光器安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上，且發(fā)光器位 于掃描頭的正上方。優(yōu)選的是，所述的打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置包括支架、設(shè)置在支架上的滾珠絲桿傳動(dòng)，以及安 裝在滾珠絲桿傳動(dòng)上的伺服電機(jī)；滾珠絲桿傳動(dòng)上安裝有掃描頭和發(fā)光器，且發(fā)光器位于掃 描頭的正下方。本實(shí)用新型的有益效果為由四個(gè)檢測裝置所構(gòu)成的檢測系統(tǒng)可以對打標(biāo)前、達(dá)標(biāo)中、打 標(biāo)后的整個(gè)過程進(jìn)行全面的檢測，無需再對某些步驟進(jìn)行人工檢測，從而大大提高了工作效 率，降低了工人的工作強(qiáng)度，同時(shí)檢測的精度也能夠得到保證。


圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的方向檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的產(chǎn)品批號檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的打標(biāo)位置檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型具體實(shí)施例的打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1至圖5所示的本實(shí)用新型的具體實(shí)施例， 一種IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，設(shè) 置在料條輸送導(dǎo)軌的輸送線路上，包括方向檢測裝置l、產(chǎn)品批號檢測裝置2、打標(biāo)位置檢測 裝置3、打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置4，方向檢測裝置l設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)，產(chǎn)品批號 檢測裝置2設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的前導(dǎo)軌一側(cè)，打標(biāo)位置檢測裝置3設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的 后導(dǎo)軌一側(cè)并在其下方，打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置4設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)。所述的方 向檢測裝置1包括支架13、設(shè)置在支架13的掃描頭11以及掃描頭11正下方的發(fā)光器12。 所述的支架13上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽14,掃描頭11的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在滑動(dòng)槽14內(nèi)。所 述的產(chǎn)品批號檢測裝置2包括支架22和設(shè)置在支架22上的掃描頭23和發(fā)光器24，發(fā)光器 24位于掃描頭23的正下方，支架22上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽21，掃描頭23和發(fā)光器24的末端 可滑動(dòng)的設(shè)置在調(diào)整槽21內(nèi)。所述的打標(biāo)位置檢測裝置3包括一個(gè)支架34、設(shè)置在支架上 的滾珠絲桿傳動(dòng)35，以及安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)35上的伺服電機(jī)31;掃描頭33和發(fā)光器32 安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)35上，且發(fā)光器32位于掃描頭33的正上方。所述的打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置 4包括支架44、設(shè)置在支架44上的滾珠絲桿傳動(dòng)45，以及安裝在滾珠絲桿傳動(dòng)45上的伺服 電機(jī)41;滾珠絲桿傳動(dòng)45上安裝有掃描頭42和發(fā)光器43，且發(fā)光器43位于掃描頭42的正 下方。工作時(shí)，當(dāng)料條在輸送導(dǎo)軌上輸送到第一定位擋塊定位時(shí)，方向檢測裝置1根據(jù)PC機(jī) 的指令啟動(dòng)，發(fā)光器12從料條下面對著掃描頭11向上照射，當(dāng)料條放置的方向正確時(shí)，掃 描頭11能接收到發(fā)光器12從料條側(cè)邊缺口透過的光束，則系統(tǒng)記錄下該料條方向正確的信 息，若掃描頭ll不能接收到發(fā)光器透過的光束，則系統(tǒng)記錄下該料條方向不正確的信息；之 后第一定位擋塊下降，輸送裝置將料條輸送到第二定位擋塊處定位；若料條方向檢測合格， 則產(chǎn)品批號檢測裝置2啟動(dòng)，批號檢測裝置2的發(fā)光器24照亮料條產(chǎn)品批號，掃描頭23將 產(chǎn)品批號傳給系統(tǒng)記錄在案，若前述的料條方向檢測不合格，則產(chǎn)品批號檢測裝置2不啟動(dòng)， 而是直接啟動(dòng)料條剔除裝置將方向不合格的料條剔除出去。批號檢測完成后，第二定位擋塊下降，輸送裝置將料條輸送到第三定位擋塊定位后，打 標(biāo)位置檢測裝置3啟動(dòng)，其上的掃描頭33由下向上對著料條下方，在打標(biāo)位置檢測裝置3的 滾珠絲桿傳動(dòng)35帶動(dòng)下，借助發(fā)光器32的光亮對料條進(jìn)行打標(biāo)位置掃描，將掃描結(jié)果一一 提供給PC機(jī)去控制激光打標(biāo)機(jī)的打標(biāo)頭對料條各芯片打標(biāo)。打標(biāo)完成后，第三定位擋塊下降，輸送裝置將料條輸送到第四定位擋塊定位后，打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置4啟動(dòng)，其上的掃描頭42由上向下對著料條，在打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置4的滾珠絲桿 傳動(dòng)45帶動(dòng)下，借助發(fā)光器43的光照對料條進(jìn)行打標(biāo)質(zhì)量掃描檢測，將掃描結(jié)果一一提供 給PC機(jī)進(jìn)行比較分析，判定料條的打標(biāo)質(zhì)量是否合格。若打標(biāo)質(zhì)量合格，則第四定位擋塊 下降，料條被推送入下料箱中存放；若打標(biāo)質(zhì)量不合格，則第四定位擋塊不下降，料條剔除 裝置在PC機(jī)控制下將該不合格料條剔除出去。如此反復(fù)進(jìn)行，就能將輸送入輸送裝置的料條一一進(jìn)行各種檢測，以保證從輸送導(dǎo)軌終 端輸送出去的料條全部為合格料條。
權(quán)利要求1.一種IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，設(shè)置在料條輸送導(dǎo)軌的輸送線路上，其特征在于包括方向檢測裝置(1)、產(chǎn)品批號檢測裝置(2)、打標(biāo)位置檢測裝置(3)、打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置(4)，方向檢測裝置(1)設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)，產(chǎn)品批號檢測裝置(2)設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的前導(dǎo)軌一側(cè)，打標(biāo)位置檢測裝置(3)設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)并在其下方，打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置(4)設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)。
2. 如權(quán)利要求1所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于所述的方向檢測裝 置(1)包括支架(13)、設(shè)置在支架(13)的掃描頭(11)以及掃描頭(11)正下方的 發(fā)光器(12)。
3. 如權(quán)利要求2所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于所述的支架(13) 上設(shè)置有一個(gè)調(diào)整槽(14)，掃描頭(11)的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在滑動(dòng)槽(14)內(nèi)。
4. 如權(quán)利要求1所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于所述的產(chǎn)品批號檢 測裝置(2)包括支架(22)和設(shè)置在支架(22)上的掃描頭(23)和發(fā)光器(24)，發(fā) 光器(24)位于掃描頭(23)的正下方。
5. 如權(quán)利要求4所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于支架(22)上設(shè)置 有一個(gè)調(diào)整槽(21)，掃描頭(23)和發(fā)光器(24)的末端可滑動(dòng)的設(shè)置在調(diào)整槽(21) 內(nèi)。
6. 如權(quán)利要求1所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于所述的打標(biāo)位置檢 測裝置(3)包括一個(gè)支架(34)、設(shè)置在支架上的滾珠絲桿傳動(dòng)(35)，以及安裝在滾 珠絲桿傳動(dòng)(35)上的伺服電機(jī)(31);掃描頭(33)和發(fā)光器(32)安裝在滾珠絲桿 傳動(dòng)(35)上，且發(fā)光器(32)位于掃描頭(33)的正上方。
7. 如權(quán)利要求1所述的IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，其特征在于所述的打標(biāo)質(zhì)量檢 測裝置(4)包括支架(44)、設(shè)置在支架(44)上的滾珠絲桿傳動(dòng)(45)，以及安裝在 滾珠絲桿傳動(dòng)(45)上的伺服電機(jī)(41);滾珠絲桿傳動(dòng)(45)上安裝有掃描頭(42) 和發(fā)光器(43)，且發(fā)光器(43)位于掃描頭(42)的正下方。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種IC料條激光打標(biāo)機(jī)的檢測系統(tǒng)，設(shè)置在料條輸送導(dǎo)軌的輸送線路上，包括方向檢測裝置、產(chǎn)品批號檢測裝置、打標(biāo)位置檢測裝置、打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置，方向檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)，產(chǎn)品批號檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的前導(dǎo)軌一側(cè)，打標(biāo)位置檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)并在其下方，打標(biāo)質(zhì)量檢測裝置設(shè)置于料條輸送導(dǎo)軌的后導(dǎo)軌一側(cè)。由四個(gè)檢測裝置所構(gòu)成的檢測系統(tǒng)可以對打標(biāo)前、達(dá)標(biāo)中、打標(biāo)后的整個(gè)過程進(jìn)行全面的檢測，無需再對某些步驟進(jìn)行人工檢測，從而大大提高了工作效率，降低了工人的工作強(qiáng)度，同時(shí)檢測的精度也能夠得到保證。
文檔編號H01L21/00GK201084718SQ20072017604
公開日2008年7月9日 申請日期2007年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月20日
發(fā)明者唐召來, 張松嶺, 斐小聽, 林宜龍, 陳有章 申請人:格蘭達(dá)技術(shù)(深圳)有限公司