專利名稱：高壓大功率晶閘管雙正角成形設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種高壓、大電流半導體芯片的割圓，側(cè)面成形、腐 蝕加工的設備，特別適合于制造3000V、 2000A以上髙壓、大功率晶閘管。
技術背景目前國內(nèi)晶閘管臺面的成形方法主要是磨角法、噴砂法，所成臺面為 一個正角、 一個負角，割圓方法為用鉆床帶圓形割刀，或激光割圓，為之所用的腐蝕 方法為旋轉(zhuǎn)腐蝕和或涂膠手工腐蝕。
現(xiàn)已有一些半導體器件的制造方法申請專利，如《臺面型半導體器件的制造方法》 (專利號申請?zhí)?5100501)，它是采用金剛砂輪刀在已形成半導體器件圖形的基片上 的管芯二邊開槽形成井字形的臺面.所開的槽與P—n結(jié)界面接近垂直。《制作半導體 臺面惻向電流限制結(jié)構的技術》(專利號申請?zhí)?6109615. 2)，它是由下列步驟組成的 第一步，在襯底材料上進行第一次外延生長，第二步，將所述一次外延層腐蝕或刻蝕 成目標器件所要求的臺面，第三步，采用氣相外延法等進行第二次外延生長，第四步， 將對應于臺面上方的部分阻塞層挖穿，第五步，進行第三次外延生長，該外延層覆蓋 挖穿部分。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)狀，設計一種可實現(xiàn)雙正角工藝，可提 髙正反轉(zhuǎn)折電壓的對稱性，提高芯片面積利用率，提髙成品率的高壓大功率晶閘管雙正 角成形設備。
本實用新型目的的實現(xiàn)方式為高壓大功率晶閘管雙正角成形設備，平臺l一邊 固定有固定支撐架8，相對的另一邊有供被動支撐架2左右移動的滑槽25,后邊供滑 塊2K 22滑動的滑槽35、 13，固定支撐架8上安有由電機10、傳動皮帶、傳動皮帶 盤12帶動的主動轉(zhuǎn)軸14、有割圓刀的刀架15,主動轉(zhuǎn)軸14外端接真空接頭11,內(nèi)端 安夾具7,被動支撐架2安有與主動轉(zhuǎn)軸14位置相對的被動轉(zhuǎn)軸23、刀架15,下部 有嫘桿24，被動轉(zhuǎn)軸23內(nèi)端安夾具3,滑塊21上安有刀架豎桿19，刀架橫桿18通 過升降旋鈕套20套在刀架豎桿19外，刀架橫桿桿頭有夾開雙正角槽的刀片16或腐蝕 頭的刀片夾具17,移動旋柄4、 5分別與滑塊21、 22相連，滑塊21兩邊有位移螺桿
31和彈簧32。 —
使用本實用新型時，通過真空接頭11抽真空，芯片6吸在主動轉(zhuǎn)軸的夾具7上，
移動被動轉(zhuǎn)軸23上的夾具3，將芯片夾緊，割圓刀34將芯片割圓后，用開雙正角槽的 刀片16開雙正角槽。本實用新型可實現(xiàn)雙正角工藝，可提髙正反轉(zhuǎn)折電壓的對稱性， 提高芯片面積利用率，提高成品率。

圖1是本實用新型結(jié)構示意圖 圖2是開有雙正角槽的芯片結(jié)構圖 圖中還有電器面板9。
具體實施方式
本實用新型平臺1上有固定、被動支撐架8、 2，供被動支撐架2、 滑塊21、 22滑動的滑槽25、 35、 13,固定支撐架8上有主動轉(zhuǎn)軸14、有割圓刀的刀 架15，外端接真空接頭ll，內(nèi)端安夾具7,被動支撐架2安被動轉(zhuǎn)軸23、割圓刀的刀 架15，被動轉(zhuǎn)軸內(nèi)端安夾具3，滑塊21上安有刀架桿，刀架桿桿頭有夾開雙正角槽的 刀片的刀片夾具17。有割圓刀的刀架15中間有折點33。
參照圖l,平臺1有供被動支撐架2前后移動的滑槽25，刀片夾具17上夾開雙正 角槽的刀片16。使用本實用新型時，通過真空接頭11抽真空，將待加工的芯片6放置 夾具7處，并被吸在其上。操縱鰾桿24，被動支撐架2帶著刀架15沿滑槽25向內(nèi)滑 行，使夾具3與夾具7將芯片夾緊。開啟電機IO，電機通過傳動皮帶、傳動皮帶盤12 帶動的主動轉(zhuǎn)軸14、被動轉(zhuǎn)軸23旋轉(zhuǎn)，刀架15上的割圓刀34將芯片6割圓，并與 夾具3、 7平齊。
將刀架15從折點33折回。通過移動旋柄4、 5分別使滑塊2K 22沿滑槽13、 35 滑動，旋轉(zhuǎn)升降旋鈕20,升或降刀架橫桿18,位移蠊桿31、彈簧32調(diào)整滑塊21前 后移動，使刀架橫桿18上開雙正角槽的刀片16對準芯片，開啟電機IO,電機通過傳 動皮帶、傳動皮帶盤12帶動的主動轉(zhuǎn)軸14、被動轉(zhuǎn)軸23上的芯片6旋轉(zhuǎn)，開雙正角 槽的刀片16在芯片上開出雙正角槽26，芯片加工成如圖3所示的形狀。刀片16刀口 為電鍍金剛石，角度為40°—60°。
從刀片夾具17上取下開雙正角槽的刀片16,還可換上腐蝕頭，并作防腐處理， 本實用新型即可作腐蝕機。
權利要求1、高壓大功率晶閘管雙正角成形設備，其特征在于平臺(1)一邊固定有固定支撐架(8)，相對的另一邊有供被動支撐架(2)左右移動的滑槽(25)，后邊供滑塊(21)、(22)滑動的滑槽(35)、(13)，固定支撐架(8)上安有由電機(10)、傳動皮帶、傳動皮帶盤(12)帶動的主動轉(zhuǎn)軸(14)、有割圓刀的刀架(15)，主動轉(zhuǎn)軸(14)外端接真空接頭(11)，內(nèi)端安夾具(7)，被動支撐架(2)安有與主動轉(zhuǎn)軸(14)位置相對的被動轉(zhuǎn)軸(23)、刀架(15)，下部有螺桿(24)，被動轉(zhuǎn)軸(23)內(nèi)端安夾具(3)，滑塊(21)上安有刀架豎桿(19)，刀架橫桿(18)通過升降旋鈕套(20)套在刀架豎桿(19)外，刀架橫桿桿頭有夾開雙正角槽的刀片(16)或腐蝕頭的刀片夾具(17)，移動旋柄(4)、(5)分別與滑塊(21)、(22)相連，滑塊(21)兩邊有位移螺桿(31)和彈簧(32)。
2、 根據(jù)權利要求1所述的高壓大功率晶閘管雙正角成形設備，其特征在于有割 圓刀的刀架(15)中間有折點(33)。
3、 根據(jù)權利要求1所述的髙壓大功率晶閘管雙IH角成形設備，其特征在于刀片 (16)刀口為電鍍金剛石，角度為40。一e(f。
專利摘要高壓大功率晶閘管雙正角成形設備，涉及一種高壓、大電流半導體芯片的割圓，側(cè)面成形加工的設備。平臺上有固定、被動支撐架，供被動支撐架、滑塊滑動的滑槽。固定支撐架上有主動轉(zhuǎn)軸、有割圓刀的刀架，外端接真空接頭，內(nèi)端安夾具，被動支撐架安被動轉(zhuǎn)軸、安割圓刀的刀架，被動轉(zhuǎn)軸內(nèi)端安夾具，滑塊上安有刀架桿，刀架桿桿頭有夾開雙正角槽的刀片的刀片夾具。使用本實用新型時，芯片吸在主動轉(zhuǎn)軸的夾具上，移動被動轉(zhuǎn)軸上的夾具，將芯片夾緊，割圓刀將芯片割圓后，用開雙正角槽的刀片開雙正角槽。本實用新型可實現(xiàn)雙正角工藝，可提高正反轉(zhuǎn)折電壓的對稱性，提高芯片面積利用率，提高成品率。
文檔編號H01L21/02GK201185184SQ20072014716
公開日2009年1月21日 申請日期2007年4月20日 優(yōu)先權日2007年4月20日
發(fā)明者徐宏軍 申請人:徐宏軍