專利名稱：調(diào)溫式檢測承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種調(diào)溫式檢測承載裝置，尤其是一種具有調(diào)溫功能的 檢測承載裝置。
背景技術(shù)：
在將晶圓分割成獨(dú)立晶粒(die)前，必須先4故晶圓測試，即對晶圓上的 每一晶粒作檢測，以確定晶粒是否零故障且電氣特性正常。 一般常見的晶圓 測試是利用測試機(jī)臺(tái)與探針卡(probe card)測試晶圓上每一晶粒，其中測試 機(jī)臺(tái)的檢測頭可裝上探針與芯片上的焊墊接觸。假如在測試過程中，發(fā)現(xiàn)有 不合格的晶粒，就會(huì)對不良的晶粒作上記號，以便之后在對晶圓進(jìn)行切割時(shí)， 就可將不良的晶粒篩檢出來，而不再進(jìn)行下一制程，以免浪費(fèi)制造成本。其中，由于需要檢測晶圓在不同溫度下的操作功能，就發(fā)展出了熱夾盤 (thermal chuck)裝置。現(xiàn)有的熱夾盤結(jié)構(gòu)具有一本體可承載一晶圓，及一周 圍具有圓形流道的第一溫度控制組件、 一電加熱器、 一中央具有凸起圓盤的 板體、 一具有螺旋狀流道的第二溫度控制組件依序?qū)拥诒倔w下方，其中此 第一、第二溫度控制組件可通入水流到其流道中控制溫度。然而現(xiàn)有的熱夾 盤的電加熱器位于第一溫度控制組件下方，會(huì)使最上方本體的表面溫度升降 都過于緩慢，且由于板體的中央突起的圓盤面積過大，故與電加熱器具有大 接觸面積，使得本體溫度變化太快而難以控制。有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種更完善的調(diào)溫式檢測承栽裝置，解決 上述的缺點(diǎn)。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是提供一種調(diào)溫式檢測承載裝置，不但可用以承 栽一待測物并且具有快速穩(wěn)定升溫與降溫的功能，以供待測物在不同溫度下 檢測各種物理或化學(xué)性質(zhì)。本實(shí)用新型一目的是提供一種調(diào)溫式檢測承載裝置，提供晶圓在不同溫 度下的質(zhì)量檢測。沖艮據(jù)本實(shí)用新型的調(diào)溫式檢測承栽裝置，包括一本體，其上表面可承載 待測物且內(nèi)部設(shè)有一連接到一電源的電加熱器，并有一溫度測量元件固定在 本體內(nèi)以讀取溫度，及兩溫度控制組件位于本體下方，且兩溫度控制組件間 設(shè)有一板體，其中每一溫度控制組件都具有一流道，有一入口和一出口分別 與流道兩端連通，板體的一表面具有多個(gè)接觸部。與現(xiàn)有^t支術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的調(diào)溫式檢測承載裝置，在結(jié)構(gòu)的配置與設(shè)計(jì)上，使承載裝 置能更快速穩(wěn)定升溫與降溫，克服現(xiàn)有的溫度難以調(diào)控的缺點(diǎn)，更有助于待 測物在不同溫度下檢測各種物化性質(zhì)。


圖1是本實(shí)用新型的立體外觀示意圖 圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)分解示意圖 圖3是本實(shí)用新型的本體結(jié)構(gòu)示意圖 圖號說明IO調(diào)溫式檢測承載裝置 13上表面16抽氣管 18電加熱器 22溫度感測才奉 241入口 243導(dǎo)入管 261入口 263導(dǎo)入管12本體141、 142、 143氣體流道 17空腔 20底件24、 26溫度控制組件 242出口各262出口244導(dǎo)出T管
28板體30接觸部34螺旋結(jié)構(gòu)流道29表面32螺旋結(jié)構(gòu)流道具體實(shí)施方式
下面請同時(shí)參照圖1與圖2,分別是本實(shí)用新型的立體外觀示意圖與結(jié)構(gòu) 分解圖。如圖所示，本實(shí)用新型的調(diào)溫式檢測承載裝置10包括一本體12,其 上表面13是用來承載待測物，如晶圓，且本體12內(nèi)設(shè)有多個(gè)氣體流道141 、 142、 143,每一氣體流道141、 142、 143的一端連接至本體12的上表面13, 另一端則連接至一抽氣管16,以通過抽氣管16連接一抽氣裝置(圖中未示) 將待測物吸附固定在本體上表面13,且如圖3所示，顯示本體12在另一面具 有一空腔17,以供一可外接電源的電加熱器18置入，并再通過一底件20將 電加熱器18固定在本體12的空腔17內(nèi)，并有一溫度量測組件，如溫度感測 棒22可固定在本體12內(nèi)以讀取溫度，兩溫度控制組件24、 26位于本體12 下方，兩者之間設(shè)有一板體28。其中，溫度控制組件24具有一螺旋結(jié)構(gòu)流道32,并有一入口241、 一出 口 242分別與螺旋結(jié)構(gòu)流道32的兩端連通，且入口241、出口 242分別與導(dǎo) 入管243、導(dǎo)出管244連接，以便利用導(dǎo)入管243與導(dǎo)出管244連接至液體輸 送裝置(圖中未示)，將液體流入至螺旋結(jié)構(gòu)流道32內(nèi)，而再從螺旋結(jié)構(gòu)流道 32流出，達(dá)到溫度控制的作用；另 一溫度控制組件26結(jié)構(gòu)與溫度控制組件24 相同，也具有一螺:旋結(jié)構(gòu)流道34,及一入口 261、 一出口 262分別與螺旋結(jié) 構(gòu)流道34的兩端連通，且入口261、出口 262分別與導(dǎo)入管263、導(dǎo)出管264 連接，以便利用導(dǎo)入管263與導(dǎo)出管264連接至液體輸送裝置(圖中未示)， 將液體流入至螺旋結(jié)構(gòu)流道34內(nèi)，而再從螺旋結(jié)構(gòu)流道34流出，達(dá)到溫度 控制的作用。板體28的表面29設(shè)有多個(gè)接觸部30與溫度控制組件24接觸。以下是本調(diào)溫式檢測承載裝置IO的使用方式，先將待測物放在本體上表 面13,其中當(dāng)待測物體積較大時(shí)，三個(gè)氣體流道141、 142、 143可利用抽氣 管16連接至抽氣裝置同時(shí)一起抽氣以將待測物固定住，假如待測物較小，則 放在本體上表面13的中央處，對氣體流道142抽氣即可。之后，電加熱器18 連接到一電源以使本體上表面13溫度快速上升，如加熱至60。C，接著溫度控 制組件26則通過輸入管2W、輸出管262連接至液體輸送裝置，使水在螺旋 結(jié)構(gòu)流道34中一直流動(dòng)以調(diào)控溫度，例如使用者要使60。C降低至55°C,則 可輸入溫度較低的冷水在螺紋結(jié)構(gòu)流道34中流動(dòng)進(jìn)行，經(jīng)由溫度控制組件26 上方層迭的板體28、溫度控制組件24、底件20而傳導(dǎo)至加熱器18與本體上 表面13,互相進(jìn)行熱交換作用，以使本體12溫度逐漸降低，且由于板體28 上這種接觸部30的設(shè)計(jì)可與溫度控制組件26之間具有較小的接觸面積，使 溫度控制組件26通過接觸部30逐漸熱傳導(dǎo)至上方層迭的組件，即可避免溫 度變化太快，又可穩(wěn)定控制本體12的溫度變化，所以利用此裝置就可測試如 晶圓待測物在不同溫度下的物化性質(zhì)。等到測試完畢后，溫度控制組件24才 會(huì)開始通水至其螺紋結(jié)構(gòu)流道32以快速降低電加熱器18的溫度，確保安全， 或者是為了使用者重新開始進(jìn)行另 一組溫度環(huán)境測試。本實(shí)用新型的調(diào)溫式檢測承栽裝置，在結(jié)構(gòu)的配置與設(shè)計(jì)上，使承載裝 置能更快速穩(wěn)定升溫與降溫，克服已知的溫度難以調(diào)控的缺點(diǎn)，更有助于待 測物在不同溫度下檢測種種物化性質(zhì)。以上公開的僅為本實(shí)用新型的幾個(gè)具體實(shí)施例，但是，本實(shí)用新型并非 局限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員能思之的變化都應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍。
權(quán)利要求1、一種調(diào)溫式檢測承載裝置，用來承載至少一待測物并控制其溫度，其特征在于，該調(diào)溫式檢測承載裝置包括一本體，其上表面可承載待測物，且內(nèi)部設(shè)有一連接到一電源的電加熱器；一溫度測量元件，其固定在該本體內(nèi)用于讀取溫度；一第一溫度控制組件，其位于該本體下方，該第一溫度控制組件具有一第一流道，及一第一入口和一第一出口分別與該第一流道兩端連通；及一第二溫度控制組件，其位于該第一溫度控制組件下方，且該第一、第二溫度控制組件間設(shè)有一板體，該第二溫度控制組件具有一第二流道，及一第二入口和一第二出口分別與該第二流道兩端連通。
2、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該本體具有一 空腔，下方有一底件使該電加熱器固定在空腔內(nèi)。
3、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該本體具有多 個(gè)氣體流道，且每個(gè)氣體流道的一端都連接到該本體上表面，另一端則連接 到一可連接一抽氣裝置的抽氣管，以將該待測物吸附固定在該本體上表面。
4、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該溫度測量元 件是一溫度感測棒。
5、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該板體的一面設(shè)有多個(gè)接觸部與該第一溫度控制組件接觸。
6、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該第一流道與 該第二流道是螺旋狀結(jié)構(gòu)。
7、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該第一入口、 該第一出口分別與一第一導(dǎo)入管、第一導(dǎo)出管連接。
8、 如權(quán)利要求1所述調(diào)溫式檢測承載裝置，其特征在于，該第二入口、 該第二出口分別與一第二導(dǎo)入管、第二導(dǎo)出管連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種調(diào)溫式檢測承載裝置，用來承載一待測物并控制其溫度，此裝置包括一本體，其上表面用來承載待測物，內(nèi)部則設(shè)有電加熱器與溫度測量元件，兩溫度控制組件位于本體下方，每一溫度控制組件具有一流道，有一入口和一出口分別與流道兩端連通，且兩溫度控制組件間設(shè)有一表面具有多個(gè)接觸部的板體，利用本裝置可快速調(diào)控溫度以提供在不同溫度下檢測待測物的物理化學(xué)性質(zhì)。
文檔編號H01L21/00GK201051492SQ200720000139
公開日2008年4月23日 申請日期2007年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月8日
發(fā)明者蘇明宗 申請人:蘇明宗