專(zhuān)利名稱(chēng)：顯示裝置用基板及其制造方法、以及顯示裝置的制作方法
顯示裝置用14l及其制造方法、以及顯示裝置技術(shù)領(lǐng)域[oi]本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置的顯示裝置用陣列基板中的布線(xiàn)構(gòu)造及 布線(xiàn)方法。
背景技術(shù)：
:日本特開(kāi)平8 - 122819。
但是，近年來(lái)為了減少光刻工序，不是用通孔直接連接掃描線(xiàn)和信號(hào) 線(xiàn)，而先在掃描線(xiàn)和信號(hào)線(xiàn)上制作通孔，然后在制作ITO層時(shí)將ITO層 制作于該通孔中，通過(guò)該ITO層來(lái)連接掃描線(xiàn)和信號(hào)線(xiàn)，這樣的制造工序 正在不斷普及。下面結(jié)合附圖來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
圖3是陣列基板的概略截面圖，該陣列基板就是這樣由通過(guò)ITO層連 接掃描線(xiàn)和信號(hào)線(xiàn)的制造工序所制作的。在圖3中，303是ITO層，101 是掃描線(xiàn)，105是信號(hào)線(xiàn)，102是在掃描線(xiàn)101上設(shè)置的通孔，在通孔中制 作有ITO層，104是在信號(hào)線(xiàn)105上制作的通孔，同樣地在通孔中制作有 ITO層；Pl是在與掃描線(xiàn)層通孔102相接的掃描線(xiàn)層101中，與信號(hào)線(xiàn)層 通孔104最接近的點(diǎn)；P2是在與信號(hào)線(xiàn)層通孔104抵接的信號(hào)線(xiàn)層105中， 與掃描線(xiàn)通孔102最接近的點(diǎn)。
本發(fā)明之1是一種顯示裝置用基板，具有信號(hào)線(xiàn)所在的信號(hào)線(xiàn)層、 掃描線(xiàn)所在的掃描線(xiàn)層和透明電極層；上述掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)上述 透明電極層進(jìn)行電連接，其特征在于，在配置有多個(gè)掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào) 線(xiàn)層通孔的區(qū)域上，上述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置成矩陣狀， 且上述掃描線(xiàn)層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置。[13]另外，本發(fā)明之2是一種顯示裝置用基板，其特征在于，上述掃描線(xiàn) 層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置的方式包括掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào) 線(xiàn)層通孔^t成排的交錯(cuò)配置。[14]另外，本發(fā)明之3是一種顯示裝置用基板，其特征在于，上述掃描線(xiàn) 層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被成成排的交錯(cuò)配置包括上述掃描線(xiàn)層通孔和上 述信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置為相互咬合的梳型形狀。[15]另外，本發(fā)明之4是一種顯示裝置用基板，其特征在于，上述信號(hào)線(xiàn) 層通孔的配置所形成的信號(hào)線(xiàn)梳型形狀的梳齒的根部所構(gòu)成的梳型的背
部，由兩列以上的上述信號(hào)線(xiàn)層通孔的列形成。[16另外，本發(fā)明之5是，如本發(fā)明之l至4任意一項(xiàng)所述的顯示裝置用 基板，其特征在于，上述顯示裝置用基板是有源矩陣型液晶顯示裝置用的 基板。[17]另外，本發(fā)明之6是，如本發(fā)明之l至4任意一項(xiàng)所述的顯示裝置用 基板，其特征在于，上述透明電極是ITO。[18另外，本發(fā)明之7是，如本發(fā)明之1所述的顯示裝置用基^反，其特征 在于，上述顯示裝置用基板還包括顯示單元，形成于上述信號(hào)線(xiàn)及掃描 線(xiàn)的各交點(diǎn)附近。[19另外，本發(fā)明之8是，如本發(fā)明之1或7所述的顯示裝置用基板，其 特征在于，上述信號(hào)線(xiàn)和掃描線(xiàn)，夾著絕緣層縱橫排列在絕緣J^反上；上 述透明電極層設(shè)置于上述信號(hào)線(xiàn)及掃描線(xiàn)的上部；上述顯示裝置用基板的 構(gòu)造是，在制作了上述掃描線(xiàn)所在的掃描線(xiàn)層之后，制造上述信號(hào)線(xiàn)所在 的信號(hào)線(xiàn)層，進(jìn)而，在其后的工序制作上述透明電極層。20另外，本發(fā)明之9是，如本發(fā)明之8所述的顯示裝置用基板，其特征 在于，上述掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)上述透明電極層進(jìn)行電連接的方式包 括上述掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)填充在^:置于上述掃描線(xiàn)層的掃描線(xiàn)層 通孔、和設(shè)置于上述信號(hào)線(xiàn)層上的信號(hào)線(xiàn)層通孔中的透明電極層進(jìn)行電連 接，[21]。另外，本發(fā)明之10是一種顯示裝置，具有本發(fā)明之l至4任意一項(xiàng) 所述的顯示裝置用基板。[22]另外，本發(fā)明之ll是一種顯示裝置用基板制造方法，其特征在于，其 包括形成具有多個(gè)信號(hào)線(xiàn)層通孔的信號(hào)線(xiàn)層；形成具有多個(gè)掃描線(xiàn)層通 孔的掃描線(xiàn)層；形成透明電極層，其中透明電機(jī)層被填充于所述信號(hào)線(xiàn)層 通孔及掃描線(xiàn)層通孔內(nèi)以使信號(hào)線(xiàn)層及掃描線(xiàn)層通過(guò)透明電機(jī)層電連接； 其中上述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置成矩陣狀，且上述掃描線(xiàn)層 通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置。[23]另外，本發(fā)明之12是，如本發(fā)明之ll所述的顯示裝置用基板制造方
法，其特征在于，上述掃描線(xiàn)層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置的方式包括掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被成排的交錯(cuò)配置。[24另外本發(fā)明之13是，如本發(fā)明之12所述的顯示裝置用基板制造方法， 其特征在于，上述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被成成排的交錯(cuò)配置包 括上述掃描線(xiàn)層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置為相互咬合的梳型形 狀。[25根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置用基板，作為基板布線(xiàn)構(gòu)造，連接掃描線(xiàn)層和 信號(hào)線(xiàn)層的方法不是采用在掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層之間設(shè)置通孔而直接進(jìn) 行連接的方法，而是釆用了在掃描線(xiàn)層和ITO層之間設(shè)置通孔的同時(shí)，也 在信號(hào)線(xiàn)層和ITO層之間設(shè)置通孔，并通過(guò)ITO層連接掃描線(xiàn)層和信號(hào) 線(xiàn)層的方法，這樣可以減、掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層之間的連接電阻的值。


圖1是表示用于使掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層連接的通孔的配置的部分俯視 圖，并作為本發(fā)明涉及的顯示裝置用基板的特征。圖2是在圖1中添加了剖切線(xiàn)Y-Y的俯視圖。圖3是利用通過(guò)ITO層連接掃描線(xiàn)和信號(hào)線(xiàn)的制造工序制作的陣列基 板的概略截面圖。圖4是從圖2所示的剖切線(xiàn)Y-Y方向觀察的簡(jiǎn)略截面圖。圖5是使用通孔直接連接掃描線(xiàn)和信號(hào)線(xiàn)情況下的簡(jiǎn)略截面圖。圖中101-掃描線(xiàn)；102-用于連接掃描線(xiàn)101和ITO層的掃描線(xiàn)層 通孔；103-由配置信號(hào)線(xiàn)層通孔后的形狀形成的梳齒部分；104-用于連 接信號(hào)線(xiàn)和ITO層的信號(hào)線(xiàn)層通孔；105-信號(hào)線(xiàn)；106-配置有掃描線(xiàn)層 通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔的區(qū)域；107-由配置掃描線(xiàn)層通孔后的形狀形成的才危 齒部分。
具體實(shí)施方式
[26下面，結(jié)合附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說(shuō)明。 [27]圖1是表示用于使掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層連接的通孔的配置的部分俯視 圖，并作為本發(fā)明涉及的顯示裝置用基板的特征。在圖1中，101是掃描 線(xiàn)，102是用于連接掃描線(xiàn)101和ITO層的掃描線(xiàn)層通孔，105是信號(hào)線(xiàn)， 104是用于使信號(hào)線(xiàn)和ITO層連接的信號(hào)線(xiàn)層通孔，103是由配置信號(hào)線(xiàn) 層通孔后的形狀形成的梳齒部分，107是由配置掃描線(xiàn)層通孔后的形狀形 成的梳齒部分，106是表示配置有掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔的區(qū)域，A 是與由配置掃描線(xiàn)層通孔后的形狀所形成的梳型形狀的梳型的背部相當(dāng) 的部分的背部寬度，B是與由配置信號(hào)線(xiàn)層通孔后的形狀形成的梳型所形 狀的梳型的背部相當(dāng)?shù)牟糠值谋巢繉挾取28用虛線(xiàn)來(lái)描繪掃描線(xiàn)101和掃描線(xiàn)層通孔的原因是，考慮了在最初形 成掃描線(xiàn)層，然后在其上形成絕緣體層和信號(hào)線(xiàn)層的情況。另一方面，用 實(shí)線(xiàn)描繪信號(hào)線(xiàn)105和信號(hào)線(xiàn)層通孔的原因是，考慮了在形成掃描線(xiàn)層之 后的工序形成信號(hào)線(xiàn)層，且在掃描線(xiàn)層之上形成的情況。[29]如圖1所示，將掃描線(xiàn)層通孔在區(qū)域106的左方以梳型形狀的方式而 配置，將信號(hào)線(xiàn)層通孔在區(qū)域106的右方以梳型形狀的方式而配置，且以 兩個(gè)梳型形狀的梳齒相互咬合的方式配置雙方的通孔。通過(guò)這樣配置，在 相互咬合的梳型形狀的梳齒的縱向上，可以使使用相鄰的掃描線(xiàn)層通孔和 信號(hào)線(xiàn)層通孔而連接的掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層之間的連接電阻的電阻值減 小?；诟綀D進(jìn)行說(shuō)明。[30圖2是在圖1中添加了剖切線(xiàn)Y-Y的俯:f見(jiàn)圖。[31圖4是從圖2所示的剖切線(xiàn)Y-Y方向觀察的簡(jiǎn)略截面圖。在圖4中， 102是掃描線(xiàn)層通孔，104是信號(hào)線(xiàn)層通孔，Ql是在與掃描線(xiàn)層通孔102 抵接的掃描線(xiàn)層101中，與信號(hào)線(xiàn)層通孔104最接近的點(diǎn)，Q2是在與信 號(hào)線(xiàn)層通孔104抵接的信號(hào)線(xiàn)層105中，與掃描線(xiàn)通孔102最接近的點(diǎn)， 303是ITO層。[32]掃描線(xiàn)層101和信號(hào)線(xiàn)層105使用掃描線(xiàn)層通孔102和信號(hào)線(xiàn)層通孔 104而被連接的部分的連接電阻，是由點(diǎn)Ql和點(diǎn)Q2之間的ITO層的電 阻值來(lái)決定的，該電阻值與點(diǎn)Ql和點(diǎn)Q2之間的ITO層長(zhǎng)度成正比。因 此，若將掃描線(xiàn)層通孔102和信號(hào)線(xiàn)層通孔104以構(gòu)成相互咬合的梳型形 狀的方式來(lái)配置，則可以使ITO層中的點(diǎn)Ql和點(diǎn)Q2之間的長(zhǎng)度縮短，
并可以使得掃描線(xiàn)層101和信號(hào)線(xiàn)層105使用掃描線(xiàn)層通孔102和信號(hào)線(xiàn) 層通孔104而連接的部分的連接電阻變小。[33]基于本發(fā)明的效果，在使用具有更大電阻率的ITO層的情況下，能體 現(xiàn)出更好的效果。[34]此外，透明電極層也可以是ITO以外的材料形成的層。[35]另外，本發(fā)明涉及的顯示裝置用基板的制造方法是基于公知的光刻工 序的方法，因沒(méi)有特別的特征所以省略說(shuō)明。
權(quán)利要求
1.一種顯示裝置用基板，具有信號(hào)線(xiàn)所在的信號(hào)線(xiàn)層、掃描線(xiàn)所在的掃描線(xiàn)層和透明電極層；上述掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)上述透明電極層進(jìn)行電連接，其特征在于，在配置有多個(gè)掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔的區(qū)域上，上述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置成矩陣狀，且上述掃描線(xiàn)層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置。
2. 如權(quán)利要求l所述的顯示裝置用基板，其特征在于，上述掃描線(xiàn)層 通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置的方式包括掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn) 層通孔被成排的交錯(cuò)配置。
3. 如權(quán)利要求2所述的顯示裝置用基板，其特征在于，上述掃描線(xiàn)層 通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔^^皮成成排的交錯(cuò)配置包括上述掃描線(xiàn)層通孔和上述 信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置為相互咬合的梳型形狀。
4. 如權(quán)利要求3所述的顯示裝置用基板，其特征在于，上述信號(hào)線(xiàn)層 通孔的配置所形成的信號(hào)線(xiàn)梳型形狀的梳齒的根部所構(gòu)成的梳型的背部， 由兩列以上的上述信號(hào)線(xiàn)層通孔的列形成。
5. 如權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的顯示裝置用基板，其特征在于， 上述顯示裝置用基板是有源矩陣型液晶顯示裝置用的基板。
6. 如權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的顯示裝置用基板，其特征在于， 上述透明電極是ITO。
7. 如權(quán)利要求l所述的顯示裝置用基板，其特征在于，上述顯示裝置 用基板還包括顯示單元，形成于上述信號(hào)線(xiàn)及掃描線(xiàn)的各交點(diǎn)附近。
8. 如權(quán)利要求1或7所述的顯示裝置用基板，其特征在于， 上述信號(hào)線(xiàn)和掃描線(xiàn)，夾著絕緣層縱橫排列在絕緣基板上； 上述透明電極層設(shè)置于上述信號(hào)線(xiàn)及掃描線(xiàn)的上部； 上述顯示裝置用基板的構(gòu)造是，在制作了上述掃描線(xiàn)所在的掃描線(xiàn)層之后，制造上述信號(hào)線(xiàn)所在的信號(hào)線(xiàn)層，進(jìn)而，在其后的工序制作上述透 明電極層。
9. 如權(quán)利要求8所述的顯示裝置用基板，其特征在于，上述掃描線(xiàn)層 和信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)上述透明電極層進(jìn)行電連接的方式包括上述掃描線(xiàn)層和 信號(hào)線(xiàn)層通過(guò)填充在設(shè)置于上述掃描線(xiàn)層的掃描線(xiàn)層通孔和設(shè)置于上述 信號(hào)線(xiàn)層上的信號(hào)線(xiàn)層通孔中的透明電極層進(jìn)行電連接。
10. —種顯示裝置，具有權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的顯示裝置用 基板。
11. 一種顯示裝置用基板制造方法，其特征在于，其包括 形成具有多個(gè)信號(hào)線(xiàn)層通孔的信號(hào)線(xiàn)層； 形成具有多個(gè)掃描線(xiàn)層通孔的掃描線(xiàn)層；形成透明電極層，其中透明電機(jī)層被填充于所述信號(hào)線(xiàn)層通孔及掃描 線(xiàn)層通孔內(nèi)以使信號(hào)線(xiàn)層及掃描線(xiàn)層通過(guò)透明電機(jī)層電連接；其中上述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔:^皮配置成矩陣狀，且上述掃描線(xiàn)層 通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔^:交叉配置。
12. 如權(quán)利要求ll所述的顯示裝置用基板制造方法，其特征在于，上 述掃描線(xiàn)層通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被交叉配置的方式包括掃描線(xiàn)層通 孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被成排的交錯(cuò)配置。
13. 如權(quán)利要求12所述的顯示裝置用基板制造方法，其特征在于，上 述掃描線(xiàn)層通孔和信號(hào)線(xiàn)層通孔被成成排的交錯(cuò)配置包括上述掃描線(xiàn)層 通孔和上述信號(hào)線(xiàn)層通孔被配置為相互p交合的梳型形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示裝置用基板，作為基板布線(xiàn)構(gòu)造，連接掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層的方法不是采用在掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層之間設(shè)置通孔而直接進(jìn)行連接的方法，而是采用了在掃描線(xiàn)層和ITO層之間設(shè)置通孔的同時(shí)，也在信號(hào)線(xiàn)層和ITO層之間設(shè)置通孔，并通過(guò)ITO層連接掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層的方法。其目的是減小掃描線(xiàn)層和信號(hào)線(xiàn)層之間的連接電阻的值。連接掃描線(xiàn)層和ITO層的通孔和連接信號(hào)線(xiàn)層和ITO層的通孔是以各自的通孔的配置成梳型形狀，且雙方的梳型相互咬合的方式來(lái)配置的，由此，使連接掃描線(xiàn)層和ITO層所必要的ITO層的長(zhǎng)度縮短，減小連接電阻值。
文檔編號(hào)H01L27/12GK101154668SQ200710151680
公開(kāi)日2008年4月2日 申請(qǐng)日期2007年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月26日
發(fā)明者川野英郎, 砂山英樹(shù) 申請(qǐng)人:龍騰光電(控股)有限公司