專利名稱：用于在有機(jī)功能設(shè)備中形成電極層圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在有機(jī)功能設(shè)備中形成電極層圖案的方法， 該有機(jī)功能設(shè)備包括第一透明電極層、笫二電極層以及夾在第一和第 二電極層之間的有機(jī)功能層，該第一電極層提供在襯底上。
背景技術(shù)：
所有有機(jī)功能設(shè)備的共同之處在于將至少一個(gè)有機(jī)層夾在一對(duì)電 極層之間并且與這一對(duì)電極層相互作用，所述有機(jī)功能設(shè)備如有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)、有機(jī)太陽能電池、有機(jī)光伏元件、有機(jī)光電二極管、 有機(jī)光敏器件等。在0LED中，在電極層之間施加電壓導(dǎo)致由該有才幾層 發(fā)射光，并且在有機(jī)太陽能電池中，該有機(jī)層對(duì)光的吸收致使在電極 層之間產(chǎn)生電壓。通常使有機(jī)功能設(shè)備的電極層形成圖案，以便例如增強(qiáng)有機(jī)發(fā)光 板(organic light—emitting panel)的功育fe。電極層形成圖案也可 以提高諸如有機(jī)太陽能電池之類的大面積有機(jī)功能設(shè)備的總產(chǎn)量，因 為與電極層不形成圖案相比，在具有形成圖案的電極層的整個(gè)設(shè)備上 的缺陷分布使更小比例的設(shè)備不能工作?？梢岳酶鞣N技術(shù)使有機(jī)功能設(shè)備的電極層形成圖案，這些技術(shù) 如光刻法、汽相沉積或激光加工。與其他已知技術(shù)相比，激光加工在 圖案形成中提供了更多的自由度。例如，可以經(jīng)軟件來控制激光器， 圖案形成變得非常靈活，并且變化幾乎立刻就可以實(shí)施。在US 2004/0051446中，公開了 一種用于通過激光燒蝕來構(gòu)造有機(jī) 發(fā)光顯示器中的電極的方法。這里，利用擴(kuò)展的(expanded)激光束 來燒蝕金屬電極層，以便形成周期性的電極結(jié)構(gòu)。被燒蝕的材料由排 氣單元吸收以便不污染該有機(jī)發(fā)光顯示器。利用該方法，可以發(fā)現(xiàn)在進(jìn)行電極構(gòu)造或形成圖案時(shí)以及在進(jìn)行 構(gòu)造的裝置的裝載和卸載期間需要非常小心地操縱該顯示器。眾所周 知的是，敏感過程，如US 2004/00501446中/>開的方法，比穩(wěn)固的過程更容易產(chǎn)生更多的錯(cuò)誤并且更加昂貴。 因此需要一種用于使有機(jī)功能設(shè)備中的電極層形成圖案的更穩(wěn)固 且不太昂貴的方法。 發(fā)明內(nèi)容鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述和其他缺陷，本發(fā)明的一般目的是提供一種 用于在有機(jī)功能設(shè)備中的電極層形成圖案的改進(jìn)方法。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于使有機(jī)功能設(shè)備中的電極層能夠相對(duì)穩(wěn) 固地形成圖案。本發(fā)明的附加目的在于提供一種用于在有機(jī)功能設(shè)備中的電極層 形成圖案的不太昂貴的方法。根據(jù)本發(fā)明，通過一種用于在有機(jī)功能設(shè)備中形成電極層圖案的 方法來實(shí)現(xiàn)這些和其他目的，所述有機(jī)功能設(shè)備包括第一透明電極 層、第二電極層和夾在該第一和第二電極層之間的有機(jī)功能層，所述方法包括以下步驟設(shè)置激光器來通過第一透明電極層輻照有機(jī)功能 設(shè)備，選擇一組激光器參數(shù)以便使該激光器能夠局部地改變第二電極 層的電導(dǎo)率，以及依照該組激光器參數(shù)由該激光器來局部地改變第二 電極層的電導(dǎo)率，由此形成該電極層圖案。有機(jī)功能設(shè)備的例子包括有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)、有機(jī)光電池、 有機(jī)光伏元件(organic photovoltaic element )、有機(jī)光電二極管 和有機(jī)光敏器件。術(shù)語"電極層"應(yīng)當(dāng)理解為導(dǎo)電層，該導(dǎo)電層可以是透光的或者 不透光的。透明的電極層可以例如由本來是導(dǎo)電的且透明的任何材料來制 造，或者可選擇地由足夠薄的金屬層來制造，所述金屬層可以結(jié)合透 明的導(dǎo)電或不導(dǎo)電層而被提供。"有機(jī)功能層，，可以由具有不同功能(如空穴注入、空穴傳輸、 空穴阻塞(blocking)、激勵(lì)阻塞、電子阻塞、電子遷移、電子注入或 光發(fā)射、光吸收層)的許多不同有機(jī)層或其混合來構(gòu)成，但也可以包 括如三重態(tài)發(fā)射器(triplet emitter)的金屬-有才幾材料，或者諸如 電介質(zhì)的、半導(dǎo)體的或者金屬量子點(diǎn)(metallic quantum dot)或者 納米粒子之類的無機(jī)材料。激光輻照可以是連續(xù)的，或者優(yōu)選是脈沖的，并且所用的激光器 可以是能被調(diào)到用于進(jìn)行電絕緣的適當(dāng)設(shè)置的任何激光器。這種激光
器可以包括各種類型的氣體激光器，或者固態(tài)激光器，氣體激光器如
C02激光器和準(zhǔn)分子激光器，固態(tài)激光器如Nd-YAG激光器和纖維激光器。
通過根據(jù)本發(fā)明的方法，在有機(jī)功能設(shè)備的生產(chǎn)中所涉及的所有 敏感的處理步驟可以在該設(shè)備的(多個(gè))電極層中形成最終圖案之前 發(fā)生。
由此，顯著降低了在圖案形成過程中對(duì)非常小心的操縱的需要。 此外，實(shí)際上不需要特殊的處理環(huán)境，如絕對(duì)無塵室、惰性氣體、
真空等等。
由此得出結(jié)論，根據(jù)本發(fā)明的方法能夠使成本更低并且更可靠地 在有機(jī)功能設(shè)備的電極層中形成圖案。
例如，可以在制造過程中很早地在第 一透明電極層中形成基本圖 案，并且在第二電極層中形成消費(fèi)者指定的圖案作為該設(shè)備制造中的 最后一步。
該組激光器參數(shù)可以選擇為使得該激光器同時(shí)局部地改變第一和 第二電極層的電導(dǎo)率。
通過該方法，獲得了用于形成消費(fèi)者指定圖案的新的自由度。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，透明電極層可以設(shè)置在透明襯底上，并且可以 通過該襯底施加激光輻照。
該襯底可以是例如薄玻璃片或者合適的塑料，其可以是剛性的或 者柔性的。
優(yōu)選的是，激光器參數(shù)可以選擇為使得通過燒蝕和熔化/去濕中的 任一種或其組合來改變第二電極層的電導(dǎo)率。
現(xiàn)在將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的這些和其他方面，附圖示 出了本發(fā)明的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施例。


圖la是有機(jī)功能設(shè)備的第一個(gè)例子的示意剖面圖，該有機(jī)功能設(shè) 備呈有機(jī)發(fā)光設(shè)備(OLED)的形式。
圖1 b是有機(jī)功能設(shè)備的第二個(gè)例子的示意剖面圖，該有機(jī)功能設(shè) 備呈有機(jī)太陽能電池的形式。
圖2a是用于照明的0LED的示意透視圖，其中已經(jīng)形成了圖案。
圖2b是圖2a中的OLED的示意平面圖。
圖2c是圖2b中的OLED沿著線I-I的示意剖面圖。 圖2d是圖2b中的OLED沿著線II-II的示意剖面圖。 圖3a是用作顯示器的0LED的示意透視圖，其中已經(jīng)形成了圖案。 圖3b是圖3a中的OLED的示意平面圖。 圖3c是圖3b中的OLED沿著線I-I的示意剖面圖。 圖4a是包含缺陷的有機(jī)太陽能電池的示意平面圖，其中已經(jīng)形成 了圖案。
圖4b是圖4a中的有機(jī)太陽能電池沿著線I-I的示意剖面圖。 圖5是說明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的方法的流程圖。 圖6a是用于執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的第一個(gè)例子的方法的裝 置的示意圖。
圖6b是用于執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的第二個(gè)例子的方法的裝 置的示意圖。
具體實(shí)施例方式
在圖1中，示出了呈有機(jī)發(fā)光設(shè)備(OLED)形式的有機(jī)功能設(shè)備 101，其中有機(jī)功能層102夾在第一透明電極層103和第二電極層104 之間。為了支承和保護(hù)，襯底105和保護(hù)覆蓋層(protective cover ) 109圍住由有機(jī)功能層102以及第一和笫二電極層103、 104構(gòu)成的有 機(jī)功能疊層。在該保護(hù)覆蓋層109和第二電極層104之間形成空腔 107。(這里，示出了設(shè)備101的一部分。因此空腔107看來似乎是敞 開的。然而，在設(shè)備101的邊界處是閉合的。)襯底105優(yōu)選是玻璃 的或者合適的塑料材料的，覆蓋層109可以由玻璃、塑料或金屬構(gòu)成。 空腔107充滿氣體，典型的是氮?dú)狻?br> 有機(jī)功能層102通?？砂◣讉€(gè)有機(jī)層。在有機(jī)功能設(shè)備101是 聚合物發(fā)光二極管(LED)的情況下，有機(jī)功能層102基本上包括由空 穴導(dǎo)體層和發(fā)光聚合物層組成的雙層疊層，并且可以進(jìn)一步包括在發(fā) 光聚合物上的幾個(gè)附加層，如脫水的(evaporated)有機(jī)空穴阻擋層。
在有機(jī)功能設(shè)備101是小分子0LED的情況下，有機(jī)功能層102通 常形成為更復(fù)雜的疊層，其包括空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋 層、發(fā)光層、空穴阻擋層和電子遷移層，以及電子阻擋層等等。
第一透明電極層103適當(dāng)?shù)赜裳趸熷a(ITO)、氧化銦鋅(IZ0 ) 等等形成，或者由透明襯底上形成的薄金屬層來形成。這種金屬層應(yīng)
當(dāng)足夠薄以便是透明的，即在5-20nm的范圍內(nèi)。
第二電極層104優(yōu)選是鋇(Ba )或鈣(Ca)、鋁(Al )、銀(Ag )、
硒化鋅(其透明且導(dǎo)電)等中的一種，或者是它們構(gòu)成的疊層，并且 另外可以包含注入層，如氟化鋰(LiF)等等。
當(dāng)利用電壓源108在電極層(陽極和陰極)之間施加電壓時(shí)，電 子從陰極層移動(dòng)到OLED設(shè)備中。同時(shí)空穴從陽極層移動(dòng)到OLED設(shè)備 中。
當(dāng)正電荷與負(fù)電荷相遇時(shí)，它們重新結(jié)合并產(chǎn)生光子。光子的波
OLED設(shè)備中，陰極層或陽極層或其二者對(duì)產(chǎn)生的光子都是透明的，允 許光從該設(shè)備發(fā)射到外界。
圖lb示出了呈有機(jī)太陽能電池201形式的有機(jī)功能設(shè)備。該有機(jī) 太陽能電池具有與圖la中所示OLED非常類似的結(jié)構(gòu)，主要的區(qū)別在 于有機(jī)功能層202的組成成分。在有機(jī)太陽能電池201中，入射的太 陽輻射導(dǎo)致在有機(jī)功能層中形成電子空穴對(duì)。由于電極層203、 204和 有機(jī)功能層202的材料性質(zhì)，電子被吸引到一個(gè)電極層而空穴被吸引 到另一個(gè)電極層。由此產(chǎn)生光電流Ip。
在圖2a-d中，示意性地示出了具有形成圖案的電極層的OLED照 明設(shè)備301。
圖2a是照明設(shè)備301的透視圖，其中可以看到層和圖案。 圖2b是照明設(shè)備301的平面圖，其中示出了呈箭頭形狀的光發(fā)射 部分302。利用在電極層103、 104之間連接的電壓源305，通過在笫 一透明電極層103的段303a-e與形成在第二電極層104中的箭頭形狀 的段304之間施加電壓V來使箭頭302發(fā)射光。該箭頭形狀的段由第 二電極層104中的輪廓線(outline) 306來限定，并且在電極層103、 104中沿著線307生成另一個(gè)圖案。
圖2c是圖2a中的照明設(shè)備301沿著線I-I的剖面圖，其中能夠 看到在第二電極層104中的箭頭形狀的段304的橫截面。沿著箭頭3(M 的輪廓線306，材料已經(jīng)從第二電極層104中去除，并且沿著線307b, 材料已經(jīng)從第二電極層104中去除，而第一電極層已被形成局部高阻 抗307a。
圖2d是圖2a中的照明設(shè)備301沿著線II-II的剖面圖，其中能 夠看到在第二電極層104中的箭頭形狀的段304的橫截面。在與該段 304相對(duì)應(yīng)的照明設(shè)備301的區(qū)域中，光發(fā)射如圖2d中箭頭所示。
在圖3a-c中，示意性地示出了具有形成圖案的電極層的無源矩陣 0LED顯示器401 (在下文中簡(jiǎn)稱為"顯示器，，)的一部分。
圖3a是顯示器401的透視圖。
圖3b是顯示器401的平面圖，其具有在第一透明電極層103中形 成的垂直延伸的平行段402a-m，以及在第二電極層104中形成的水平 延伸的平行段403a-i。利用電壓源404在段402c和403d之間施加電 壓V，由此如圖3a-c中所表明的使一個(gè)像素405發(fā)射光。
圖3c是圖3a中的顯示器4 01沿著線I-1的剖面圖，其中可以看 到第二電極層104中的段403c-f的橫截面。已經(jīng)從第二電極層104中 去掉了段403a-i之間的材料。
在圖4a-b中，示意性地示出了具有形成圖案的電極層的有機(jī)太陽 能電池501的一部分。
圖4a是太陽能電池501的平面圖，其具有在笫二電極層204中形 成的水平延伸的平行段502a-e。
圖4b是圖4a中的太陽能電池501沿著線I-1的剖面圖，其中可 以看到第二電極層104中的段502a-d的橫截面。已經(jīng)從第二電極層 204中去掉了段503a-e之間的材料。
入射的太陽輻射導(dǎo)致在第一和笫二電極層203、 204之間產(chǎn)生電 壓。通過將第二電極層204分成多個(gè)段502a-d，有機(jī)太陽能電池501 變得更穩(wěn)固，因?yàn)樵谝粋€(gè)段502c中的缺陷，例如短路503a-c，現(xiàn)在 可以僅僅致使與段502c相對(duì)應(yīng)的太陽能電池501的一個(gè)區(qū)域的故障， 而不能致使整個(gè)太陽能電池501的故障。
圖5是說明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的方法的流程圖。在第一步驟 601中，設(shè)置激光器通過襯底105、 205來輻照有機(jī)功能器件101、 201、 301、 401、 501。在下一個(gè)步驟602中，選擇一組激光器參數(shù)。該組激 光器參數(shù)是根據(jù)應(yīng)該被形成圖案的電極層(或多層)來選擇的。
用于在第二電極層104; 204中形成圖案而不影響第一電極層 103; 203的電導(dǎo)率的合適的激光器參數(shù)的例子為 a)脈沖Nd-YAG激光器，入-1064nm，脈沖寬度大約100ns，脈沖頻 率為5kHz，能量分布高斯，平均脈沖能量密度為1. 1J/cm2，每個(gè)位
置的脈沖數(shù)為5。b)脈沖準(zhǔn)分子激光器，入-351nm，脈沖寬度大約20ns，脈沖頻率為 100Hz，能量分布禮帽形(top-hat )，平均脈沖能量密度為0. 4J/cm2， 每個(gè)位置的脈沖數(shù)16。當(dāng)僅僅使第二電極層104; 204形成圖案時(shí)，激光輻照的一個(gè)作用 是沿著定義該圖案的(多條)線燒蝕材料。激光處理過程中的熱顯影 (heat development)的另 一個(gè)作用是金屬被熔化在激光光點(diǎn)周圍并 由于去濕而被移走。通常，通過這些作用中的任意一種或其組合而在 第二電極層中形成圖案。用于同時(shí)在第一和第二電極層103、 104; 203、 204中形成圖案的 合適的激光器參數(shù)的例子為a) 脈沖Nd-YAG激光器，X=1064nm,脈沖寬度大約100ns，脈沖頻 率為5kHz，能量分布高斯，平均脈沖能量密度為9J/cm2，每個(gè)位置 的脈沖數(shù)為5。b) a)脈沖Nd-YAG激光器，入-532nm，脈沖寬度大約80ns，脈沖頻 率為4kHz,能量分布高斯，平均脈沖能量密度為0. 8J/cm2，每個(gè)位 置的脈沖數(shù)為3。當(dāng)同時(shí)使兩個(gè)電極層形成圖案時(shí)，除了上述局部改變第二電極層 104; 204的電導(dǎo)率之外，還局部地改變了第一電極層103; 203的電 導(dǎo)率。然后，激光輻照的一個(gè)附加的作用是由于第一電極層103; 203 的局部加熱而使第一透明電極層103; 203的電導(dǎo)率局部地降低到沿著 限定第一電極層103; 2 03中圖案的(多條)線形成電斷開(electrical open)的程度。在隨后的步驟603中，通過激光來局部地改變至少一個(gè)電極層 103、 104; 203、 204的電導(dǎo)率。電導(dǎo)率依照所選擇的一組激光器參數(shù) 進(jìn)行修改，并且由于該選擇，在第二電極層104; 204中形成圖案，或 者同時(shí)在第一和第二電極層103、 104; 203、 204中形成圖案。圖6a-b示意性地示出了用于執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的方法的 裝置的兩個(gè)例子。根據(jù)第一個(gè)例子，參考圖6a，將有機(jī)功能設(shè)備701定位在X-Y工 作臺(tái)702上。計(jì)算機(jī)703控制X-Y工作臺(tái)702的運(yùn)動(dòng)以及激光器704 的操作。該激光器在這種情況下是固態(tài)激光器或氣體激光器，所述激
光器設(shè)置為通過任選的光學(xué)裝置705而輻照有機(jī)功能設(shè)備701。根據(jù)所 希望的圖案，計(jì)算機(jī)703通過X-Y工作臺(tái)來控制有機(jī)功能設(shè)備701的 位置和激光器704參數(shù)，從而可以形成所希望的電極層圖案。根據(jù)第二個(gè)例子，參考圖6b，激光器804是能夠產(chǎn)生相對(duì)寬的光 束的激光器(例如準(zhǔn)分子激光器)。在激光器804和有機(jī)功能設(shè)備801 之間設(shè)置掩模(mask) 805和透鏡裝置806。掩模805具有與要在有機(jī) 功能設(shè)備801中形成的圖案相對(duì)應(yīng)的圖案。掩模805改變的光束通過 透鏡裝置806而在更大的面積擴(kuò)展開。通過該裝置，可以使有機(jī)功能 設(shè)備801的相當(dāng)大的部分同時(shí)形成圖案。在使該設(shè)備801的第一部分 形成圖案之后，可以利用X-Y工作臺(tái)802步進(jìn)(step)該設(shè)備801的 位置，從而使得下一部分可以暴露于激光輻照中。這里可以通過調(diào)諧激光器804來選擇激光器參數(shù)，從而可以同時(shí) 改變第一和第二電極層103、 104; 203、 204的電導(dǎo)率。然后通過按照 下列方式通過制造掩模805來形成圖案，所述方式為在不應(yīng)當(dāng)形成圖 案的地方，激光輻照被完全地阻擋住，僅在第二電極層104; 204中應(yīng) 當(dāng)形成圖案的地方，激光輻照被部分地阻擋住，應(yīng)當(dāng)同時(shí)在電極層 103、 104; 203、 204中形成圖案的地方，激光輻照不被阻擋。換句話 說，利用一組調(diào)諧的激光器參數(shù)和灰度級(jí)掩模805可以在選擇的(多 個(gè))電極層中形成圖案。本領(lǐng)域技術(shù)人員了解本發(fā)明決不限于上述優(yōu)選實(shí)施例。相反，在 隨附的權(quán)利要求書的范圍內(nèi)許多修改和變化都是可能的。例如，激光 器704; 804可以被移動(dòng)，而有機(jī)功能設(shè)備701; 801保持靜止。本文描述的各種有機(jī)功能設(shè)備所有都按照"傳統(tǒng)的"方式來制造， 其具有保護(hù)覆蓋層109; 209和充氣腔107; 207。本發(fā)明的方法同樣 可應(yīng)用于薄膜型的有機(jī)功能設(shè)備，其中用(多個(gè))保護(hù)層代替保護(hù)覆 蓋層109; 209和充氣腔107; 207，所述保護(hù)層例如呈塑料膜或SLO, 和SLNy的多個(gè)交替層的形式。根據(jù)本發(fā)明，可以在圖案形成之前或者 優(yōu)選在之后增加這個(gè)/這些保護(hù)層。
權(quán)利要求
1.一種用于在有機(jī)功能設(shè)備(101；201)中形成電極層圖案的方法，該有機(jī)功能設(shè)備包括第一透明電極層(103；203)、第二電極層(104；204)和夾在所述第一和第二電極層(103，104；203，204)之間的有機(jī)功能層(102；202)，包括以下步驟-設(shè)置(601)激光器(704；804)通過所述第一透明電極層(103；203)來輻照所述有機(jī)功能設(shè)備(701；801)；-選擇(602)一組激光器參數(shù)以便使得所述激光器(704；804)能夠局部地改變所述第二電極層(104；204)的電導(dǎo)率，以及；-依照所述一組激光器參數(shù)由所述激光器(704；804)來局部地改變所述第二電極層(104；204)的電導(dǎo)率，由此形成所述電極層圖案。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述一組激光器參數(shù)選擇為 使得所述激光器(704; 804 )同時(shí)局部地改變所述第一和第二電極層(103， 104; 203， 204 )的所述電導(dǎo)率。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述第一透明電極層 (103; 203 )提供在透明襯底(105; 205 )上，并且其中所述激光器輻照通過所述襯底(105; 205 )施加。
4. 根據(jù)前面任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述第二電極層 (104; 204 )的所述電導(dǎo)率通過燒蝕和熔化/去濕中的任一種或其組合來局部地改變。
5. 根據(jù)前面任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述激光器(704; 804 )是脈沖的。
6. 根據(jù)前面任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述有機(jī)功能設(shè)備 (101， 301， 401)是有才幾發(fā)光板。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述 有機(jī)功能設(shè)備(201， 501 )是有機(jī)太陽能電池。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)權(quán)利要求的方法的用途，用于在 有機(jī)發(fā)光板(IOI， 301， 401)中形成電極層圖案。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)權(quán)利要求的方法的用途，用于在 有機(jī)太陽能電池(201， 501)中形成電極層圖案。
全文摘要
一種用于在有機(jī)功能設(shè)備(101；201)中形成電極層圖案的方法，該有機(jī)功能設(shè)備包括第一透明電極層(103；203)、第二電極層(104；204)和夾在所述第一和第二電極層(103，104；203，204)中間的有機(jī)功能層(102；202)。該方法包括以下步驟設(shè)置(601)激光器(704；804)通過所述第一透明電極層(103；203)來輻照所述有機(jī)功能設(shè)備(701；801)，選擇(602)一組激光器參數(shù)以便使得所述激光器(704；804)能夠局部地改變所述第二電極層(104；204)的電導(dǎo)率，以及依照所述一組激光器參數(shù)由所述激光器(704；804)來局部地改變所述第二電極層(104；204)的電導(dǎo)率，由此形成所述電極層圖案。
文檔編號(hào)H01L51/00GK101213682SQ200680024052
公開日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2006年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月30日
發(fā)明者A·塞姆佩爾, E·W·A·揚(yáng), I·J·博勒菲恩, M·布切爾 申請(qǐng)人:皇家飛利浦電子股份有限公司