專利名稱：半導(dǎo)體集成電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及一種半導(dǎo)體電路設(shè)計(jì)時，抽出自動設(shè)置布線時生 成的寄生元件的寄生元件抽出的，特別是有關(guān)CMP(Chemical Mechanical Polishing)中，為了完全平整處理布置了電路的半導(dǎo)體4于 底，在LSI布圖設(shè)計(jì)時設(shè)置了虛擬圖案的半導(dǎo)體集成電路。
背景技術(shù)：
伴隨著近年半導(dǎo)體裝置的高密度化和高集成化的期望，在半導(dǎo) 體電路的制造工序中，要求了更精細(xì)的圖案形成。 一般的，高密度 化和高集成化了的半導(dǎo)體裝置，具有在襯底上多層設(shè)置由絕緣膜分 離的布線層的多層布線構(gòu)造的很多。構(gòu)成這樣的半導(dǎo)體裝置的布線 層在上述制造工序中的曝光工序中各自被精細(xì)的圖案化是必要的。 這時，設(shè)置圖案掩模的村底表面具有凸凹平整度低的話，就會產(chǎn)生 曝光工序的解像度降低無法形成精細(xì)圖案的問題。在CMP中也是，
在某一層布線層在布線混雜度產(chǎn)生大的差的話，完全平整襯底表面
的處理是困難的。也就是，為了使干蝕刻工序之際晶片上的各芯片
中經(jīng)常使蝕刻處理狀態(tài)一定，不得不在布線混雜度低的布線區(qū)域設(shè)
置稱之為虛擬布線的虛擬圖案(又稱之為虛擬金屬)而使各芯片的面 積率(開口率)一定。 另一方面，在布線間隔寬的地方，插入虛擬圖案，但是由于這 個圖案的存在對周圍布線產(chǎn)生了附加的電容，其結(jié)果，成為了引起 信號布線圖案的電容變化的動作不良及千擾發(fā)生等的原因，給予電 路特性以影響?，F(xiàn)在的高性能半導(dǎo)體集成電路中，線路布置設(shè)計(jì)時 降低布線之間的電容是重要的課題。還有，即便是由于虛擬圖案的 插入而產(chǎn)生的附加電容的情況中也要盡可能的降低，還有使附加電 容均勻，從脈沖收斂的觀點(diǎn)而言是非常重要的課題之一。
為了降低因?yàn)樘摂M圖案的存在而產(chǎn)生的附加電容，可以采用盡 可能遠(yuǎn)離布線圖案的方式解決。然而，原本是在進(jìn)行布線的間隙設(shè) 置虛擬布線為目的的，在與布線圖案之間能夠設(shè)置的距離是有限制 的。還有，對于任意的布線圖案一律都相距一定距離的情況，從附 加電容的大小依賴于布線圖案的關(guān)系而言，附加電容是不均勻的。 因此，以前的虛擬圖案插入技術(shù)，如專利文獻(xiàn)3中，記載了對應(yīng)于 信號布線圖案的寬度設(shè)定其信號布線圖案和虛擬圖案之間的距離， 若達(dá)不到這個設(shè)定距離的情況就限定不設(shè)置虛擬圖案。根據(jù)這個方 法，不只是可以防止局部的虛擬金屬的占有率(開口率)的降低，還 可以防止因?yàn)樘摂M圖案的插入引起的既存布線圖案中信號性能的劣 化。還有，如專利文獻(xiàn)2所述的那樣，還有通過使處于不同層的虛 擬圖案的位置不相互重疊的設(shè)置，降低附加電容的技術(shù)。通常，附 加了大電容的情況，是圖案之間在上下層重疊的情況和同層間左右 鄰接的情況。相反，在不同布線層上下不重疊而在對角方向設(shè)置圖 案的情況中，這兩個圖案之間基本上不產(chǎn)生電容。利用了這種物理 現(xiàn)象的是專利文獻(xiàn)2的發(fā)明。
另一方面，為了均勻附加電容，相對于布線圖案經(jīng)常保持相同 的虛擬圖案鄰接位置是一種解決策略。以前的虛擬圖案插入技術(shù)， 在專利文獻(xiàn)l中，記載了將虛擬圖案自身制成十字形狀，這個十字 形狀的突出部分為可以任意改變的。根據(jù)這項(xiàng)技術(shù)，對于這些十字 形狀的虛擬圖案，在它的上層或下層的布線層上形成的既存布線圖 案無論在何處，也可以使這個既存布線圖案上產(chǎn)生的附加電容基本 均勻。還有，即便是既存圖案無法設(shè)置于布線格子中的情況，通過 任意改變十字形狀的突出部分的長度，就能夠自在地設(shè)定虛擬圖案 和布線圖案之間的所規(guī)定值，并且使各布線間隔均勻成為可能。 (專利文獻(xiàn)1)專利公開平6-61Z30(第三頁第1圖)(平6=1994年) (專利文獻(xiàn)2)專利公開2002-231815(第五頁第1圖) (專利文獻(xiàn)3)專利公開2003_282569(第九頁第1圖) (發(fā)明所要解決的課題)
然而，專利文獻(xiàn)1的技術(shù)中，可以使由于虛擬圖案的存在引起 的上層或者是下層的布線層的既存布線圖案中產(chǎn)生的附加電容基本 一致，而為了將虛擬圖案形成為十字形狀，數(shù)據(jù)量增大。例如，相 對予四個頂點(diǎn)能夠形成的矩形虛擬圖案，要將十字形狀用頂點(diǎn)坐標(biāo) 表示的話就要十二個頂點(diǎn)。從虛擬圖案比通常信號布線圖案多的關(guān) 系上，與矩形虛擬圖案相比十字形狀虛擬圖案的數(shù)據(jù)量增加兩倍以 上。又因?yàn)閿?shù)據(jù)量增大的話計(jì)算機(jī)處理也要變難，最好是少量的數(shù) 據(jù)。再有，專利文獻(xiàn)l的技術(shù)中，十字形狀的虛擬圖案，因?yàn)槭呛?與它同一布線層的信號布線圖案平行設(shè)置的，產(chǎn)生了由于虛擬圖案 存在引起的這個信號布線圖案上產(chǎn)生的附加電容變大。
還有，專利文獻(xiàn)2中，是將各自形成在上下鄰接的兩層布線層 中的虛擬圖案相互上下不重疊的形式設(shè)置，所以在這些虛擬圖案上 產(chǎn)生的附加電容不大。然而，由于設(shè)置虛擬圖案的區(qū)域有限制，所 以即便是信號布線圖案數(shù)少的情況，在不同層上布線圖案相亙不同 設(shè)置的話，無法設(shè)置虛擬圖案，引起無法滿足開口率值的情況的問 題。
再有，專利文獻(xiàn)3中，限制了相應(yīng)于信號布線圖案的種類與虛 擬圖案之間的間隔距離，但是，這個方法，只是限制同一層布線之 間的，并沒有考慮設(shè)置在上下鄰接兩層布線層的布線圖案和虛擬圖 案之間的附加電容，在一層間產(chǎn)生附加電容成為了問題。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，在于降低虛擬圖案在同一布線層的布線圖案上 生成的附加電容的同時，用少量的數(shù)據(jù)均勻這個虛擬圖案在這個布 線層的上層或者是下層鄰接的布線層的布線圖案上產(chǎn)生的附加電容 的變動。(為解決課題的手段)
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明，相對于信號布線圖案等的布線圖 案的布線方向以45度等的方向傾斜設(shè)置多個虛擬圖案。
也就是說，本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè)置了由為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案 組，在沒有設(shè)置上述實(shí)圖案組的區(qū)域上設(shè)置了多個虛擬圖案的半導(dǎo) 體集成電路中，上述多個虛擬圖案，是設(shè)置為以在包含于上述多個 布線圖案的一個布線圖案方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，相對于上述基準(zhǔn)方向成45度角的方向?yàn)樘卣鞯摹?
本發(fā)明，是以在上述半導(dǎo)體集成電路中，上述多個虛擬圖案內(nèi)，與上述多個布線圖案的任何一個鄰接的多個虛擬圖案，設(shè)置在離這個鄰接布線圖案相等的距離處為特征的。
本發(fā)明，上述半導(dǎo)體集成電路中，是以上述多個虛擬圖案，每一個都是矩形為特征的。
本發(fā)明，上迷半導(dǎo)體集成電路中，是以上述多個虛擬圖案，包含相互不同大小的多個矩形為特征的。
本發(fā)明，上述半導(dǎo)體集成電路中，是以上述多層布線層中，設(shè)置在上下鄰接的兩個布線層的每一層中的多個虛擬圖案，以90度的角度相交叉為特征的。
本發(fā)明，上迷半導(dǎo)體集成電路中，是以上述多個虛擬圖案，包括連接在固定電位上的電位固定虛擬圖案、沒有連接在固定電位上的浮動(floating)虛擬圖案，上述電位固定虛擬圖案中的一部分，與上述布線圖案鄰接的設(shè)置為特征的。
本發(fā)明，上述半導(dǎo)體集成電路中，是以上述浮動虛擬圖案，占上述多個虛擬圖案總數(shù)的50%以上為特征的。
本發(fā)明，上迷半導(dǎo)體集成電路中，是以上述多個虛擬圖案，包括連接于固定電位上的電位固定虛擬圖案、和沒有連接在固定電位上的浮動虛擬圖案，上述浮動虛擬圖案的 一部分與上述布線圖案鄰接，與鄰接上述布線圖案設(shè)置的浮動虛擬圖案鄰接的虛擬圖案，是上述電位固定虛擬圖案為特征的。
本發(fā)明，上述半導(dǎo)體集成電路中，是以上述固定電位，為電源電位或接地電位為特征的。
本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè)
置了由為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案組、和在沒 有設(shè)置上述實(shí)圖案組的區(qū)域設(shè)置了多個虛擬圖案的半導(dǎo)體集成電路 中，以上述多個虛擬圖案，包含在上述多個布線圖案中的一個布線 圖案的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，傾斜于上述基準(zhǔn)方向成所規(guī)定的角度的 方向的多個傾斜虛擬圖案，包含在上述多個布線層的第一布線層中 的上述多個傾斜虛擬圖案，與包含在不同于上述第一布線層的第二 布線層中的上迷多個布線圖案之間，從平面上看是交叉的為特征的。
本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè) 置了由為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案組、和在沒 有設(shè)置上述實(shí)圖案組的區(qū)域設(shè)置了多個虛擬圖案的半導(dǎo)體集成電路 中，以上迷多個虛擬圖案，包含在上述多個布線圖案中的一個布線 圖案的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，傾斜于上述基準(zhǔn)方向成所規(guī)定的角度的 方向的多個傾斜虛擬圖案，包含在上述多個布線層的第一布線層中 的上述多個傾斜虛擬圖案，設(shè)置為與同一布線層的一個布線圖案相 距相等的距離的為特征的。
由以上所述，本發(fā)明中，包含一個任意的布線圖案的方向相sf 于已定的標(biāo)準(zhǔn)方向，例如只傾斜45度角度的多個虛擬圖案，這些虛 擬圖案相互平行延伸。在這種狀態(tài)下，這些45度角度的傾斜虛擬圖 案布線層的上層或者是下層的鄰接的布線層中形成了布線圖案的情 況下，這個布線圖案和上述45度等的傾斜虛擬圖案的交叉面積，無 論是這個布線圖案形成在這個鄰接布線層的什么位置，都成為相同 的交叉面積。因此，45度等的傾斜虛擬圖案與這個鄰接的布線層的 布線圖案所產(chǎn)生的電容增加部分，與這個布線圖案的位置無關(guān)成為 均勻的。這些等的45度的傾斜虛擬圖案，沒有必要象以前那樣作為 十字形狀，而可以用比十字形狀的十二頂點(diǎn)少的點(diǎn)數(shù)、例如四頂點(diǎn) 的矩形形成，所以必要的數(shù)據(jù)數(shù)就減少了 。再有，虛擬圖案是以45 度等的角度傾斜的，所以，這些傾斜虛擬圖案位于同一層布線層的 布線圖案附近的情況，與以前那樣的虛擬圖案相對于布線圖案平行 或者垂直相交而設(shè)置的情況相比，這些等的傾斜虛擬圖案接近布線 圖案部分的面積減少，這些等的傾斜虛擬圖案在布線圖案上產(chǎn)生的附加電容就變小。再加上，由于多個傾斜虛擬圖案的設(shè)置使開口率 達(dá)到所希望的值是可能的。
特別是，本發(fā)明中，多個虛擬圖案設(shè)置為相距布線圖案相等的 距離，設(shè)置在與布線圖案同一布線層的虛擬圖案引起這個布線圖案 單位長度上的附加電容是均勻的。
還有，本發(fā)明中，45度等的傾斜虛擬圖案，與不同層布線層的 虛擬圖案的關(guān)系中，是成90度角度設(shè)置的，所以在上下鄰接兩個布 線層之間交叉的虛擬圖案間的交叉面積一定，也可以使不同布線層 的虛擬圖案間產(chǎn)生的附加電容均勻。
再有，本發(fā)明中，是將布線圖案中鄰接的虛擬圖案連接到固定 電位上，就可以封住來自其他布線圖案的結(jié)合電容的影響。還有， 由于布線圖案中除了鄰接設(shè)置的虛擬圖案以外還包括浮動(floating) 虛擬圖案，所以，就可以減少伴隨著布圖修正時不得不被剝落的虛 擬圖案的數(shù)量。
再加上，本發(fā)明中，布線圖案中鄰接設(shè)置的虛擬圖案中使用了 浮動虛擬圖案，所以能夠減少伴隨著布圖修正時不得不被剝落的虛 擬圖案的數(shù)量。還有，上述浮動虛擬圖案，介于連接在固定電位上 的電位固定虛擬圖案和布線圖案之間，所以，電位固定虛擬圖案離 開布線圖案且附加電容成為串聯(lián)連接，就可以降低電位固定虛擬圖 案加在布線圖案上的附加電容。 一發(fā)明的效果一
正如以上所述的那樣，根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路，能夠降 低形成在同一布線層上的布線圖案和虛擬圖案之間產(chǎn)生的附加電容 的同時，還可以均勻這個虛擬圖案與這個布線層鄰接的布線層的布 線圖案之間產(chǎn)生的附加電容，可以謀得寄生電容抽出的計(jì)算精度的 提高。
特別是，根據(jù)本發(fā)明，在同一布線層中，使多個虛擬圖案位于 離布線圖案相等的距離的位置，所以，均勻這些虛擬圖案在布線圖 案的單位長度上產(chǎn)生的附加電容是可能的。
還有，根據(jù)本發(fā)明，使上下鄰接兩層布線層的虛擬圖案的交叉
面積，在任何兩層布線層之間都有同一面積，所以，均勻了這些虛 擬圖案之間的附加電容，就能夠圖謀寄生電容抽出計(jì)算精度的提高。
還有，根據(jù)本發(fā)明，由鄰接布線圖案的固定電位的虛擬圖案得到封住效果，在降低交調(diào)失真(cross talk)的影響的同時，包含容易 剝離布線的浮動虛擬圖案，就能夠筒單化再布線。
再有，根據(jù)本發(fā)明，布線圖案上夾著浮動虛擬圖案設(shè)置了電位 固定虛擬圖案，所以，能夠降低電位固定虛擬圖案給予布線圖案的 附加電容，可以提高寄生電容抽出的計(jì)算精度。


圖l，是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體集成電路的主要部分 構(gòu)成的圖。圖2，表示同半導(dǎo)體集成電路的變形例，也表示小片分割虛擬 圖案樣子的圖。圖3，是表示同半導(dǎo)體集成電路中上下鄰接的兩個布線層虛擬 圖案設(shè)置關(guān)系的圖。圖4，是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的半導(dǎo)體集成電路的主要部 分構(gòu)成的圖。 (符號說明)1 虛擬圖案(傾斜虛擬圖案)2 信號布線圖案(布線圖案)3 鄰接布線層的信號布線圖案 5 連接圖案11 電位固定虛擬圖案12 小片化虛擬圖案13 上層虛擬圖案具體實(shí)施方式
(第一實(shí)施方式)以下，參照圖1及圖2說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1中，矩形 虛擬圖案1，設(shè)置在構(gòu)成半導(dǎo)體集成電路的多個布線圖案組(實(shí)圖案組)中的與兩條信號布線圖案2同布線層的，沒有設(shè)置這個信號布線 圖案2的虛擬區(qū)域中，而且相對于這個信號布線圖案2各自傾斜約 45度平行且等間隔設(shè)置，寬度相同而長度不同的矩形多個虛擬圖 案，還有，信號布線圖案3是形成在與虛擬圖案1或布線圖案2形 成的布線層鄰接的布線層，例如形成在位于正上方的布線層的布線 層中的布線，構(gòu)成半導(dǎo)體集成電路的一部分。圖2中，虛擬圖案2， 是將上述圖1的虛擬圖案1分割成小片設(shè)置的虛擬圖案。在圖1及 圖2中，鄰接信號布線圖案2的多個虛擬圖案1或虛擬圖案12，每 一個都是與信號布線圖案2相距設(shè)定距離Sl而設(shè)置。
這樣，正如圖1或圖2所示的兩條信號布線圖案2之間，設(shè)置 了相對于信號布線圖案2(布線圖案)的方向(標(biāo)準(zhǔn)方向)成約45度角 度的方向的虛擬圖案1或12。圖1中，相對于設(shè)置在與設(shè)置了虛擬 圖案1的布線層(第一布線層)不同的布線層(第二布線層)的信號布 線圖案3(第二信號布線圖案)也成約45設(shè)置了虛擬圖案1，所以， 與信號布線圖案3交叉的虛擬圖案1的部分，沿著信號布線圖案3 有規(guī)則的棑列，由此，虛擬圖案1加在信號布線圖案3上的附加電 容，無論信號布線圖案3處于什么位置，相對于信號布線圖案3的 單位長度成為一定的大小。還有，圖1中所示的信號布線圖案3是 水平方向，但是從虛擬圖案1相對于信號布線圖案2成約45設(shè)置來 講，信號布線圖案3就是垂直方向也是一樣，也可以使附加電容的 單位長度的增加量均勻。還有，關(guān)于信號布線圖案2，由于鄰接的 多個虛擬圖案1或12只相距設(shè)定距離Sl的同一距離而設(shè)置，所以， 可以使因?yàn)樘摂M圖案1或虛擬圖案12引起的附加電容的單位長度上 的增加量均勻。
尚，在本實(shí)施方式中，顯示了相對于信號布線圖案2以及3使 虛擬圖案1傾斜了約45度而設(shè)置的構(gòu)成，盡管沒有附圖，這是因?yàn)?只要在兩條虛擬圖案1和一條信號布線圖案3交叉情況下虛擬圖案 1相對于信號布線圖案2成為所規(guī)定的角度，相對于這兩條虛擬圖 案l(多條傾斜虛擬圖案)， 一條信號布線圖案3(第二信號布線圖案)，
不靠近這個位置與兩條虛擬圖案1和一條信號布線圖案3以相同的 形狀交叉，與傾斜角約為45度的情況相同，可以使單位長度上的附 加電容的增加部分量均勾。但是，在這種情況，信號布線圖案3的 方向?yàn)樗椒较蚝痛怪狈较驎r的單位長度的附加電容增加部分量不 同。
還有，圖1中，虛擬圖案1與同層內(nèi)信號布線圖案2約成45度 角度鄰接設(shè)置，所以，與虛擬圖案1與信號布線圖案2垂直交叉或 平行方向設(shè)置的情況相比稍有遠(yuǎn)離。也就是，只要是垂直或者平行 設(shè)置的信號布線圖案2附近，虛擬圖案1的兩個頂點(diǎn)與信號布線圖 案2等距離，但是，通過將這個虛擬圖案l傾斜成約45度，留下一 端頂點(diǎn)而另一端頂點(diǎn)則遠(yuǎn)離信號布線圖案2，就這一部分虛擬圖案1 也遠(yuǎn)離了。由此，可以減少在信號布線圖案2上產(chǎn)生的附加電容。 因此，相同面積的虛擬區(qū)域上聚集鋪設(shè)虛擬圖案時，釆用約45度設(shè) 置的方法具有更能夠抑制電容增加部分量的優(yōu)點(diǎn)。尚，本實(shí)施方式 中，顯示了將信號布線圖案2和虛擬圖案1成約45度的角度設(shè)置的 情況，但是，其他的變形例中，例如通過使其成為垂直或平行以外 的關(guān)系，通過將虛擬圖案1相對于信號布線圖案2傾斜為如上所述 的虛擬圖案1的兩個頂點(diǎn)中的一端比另一端遠(yuǎn)離信號布線圖案2的 所規(guī)定的角度，同樣能夠得到降低信號布線圖案2的附加電容的效 果。
圖2中，設(shè)置了將虛擬圖案1分割為小片的虛擬圖案12。逸過 這樣，將虛擬圖案12鄰接同層信號布線圖案2設(shè)置時的附加電容依 賴于虛擬圖案的大小，所以，圖2與圖1相比，減少信號布線圖案 2的附加電容是可能的。然而，由于數(shù)據(jù)量增加，最好的是抑制小 片化的最小限度。
還有，圖3，是表示在形成了信號布線圖案3的布線層中，設(shè)置 了在它的下層布線層上形成的與傾斜虛擬圖案l交叉成約卯度角度 的多個傾斜虛擬圖案13。也就是，這個上層的多個虛擬圖案13，以 信號布線圖案2布線方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向，與下層的多個虛擬圖案1的 傾斜方向的逆方向成約45度傾斜角度設(shè)置。
圖3中，表示了鄰接的兩個布線層的多個虛擬圖案1、 13的布 圖關(guān)系，但是，其他的布線層，上下鄰接的兩個布線層之間，使傾 斜虛擬圖案之間成約90度角度交叉的形式設(shè)置隔虛擬圖案。因此， 上下鄰接的兩個布線層之間，形成在一個布線層的多個虛擬圖案1 和形成在與這個布線層鄰接的其他布線層的多個虛擬圖案13相互 重合的面積是一定的。其結(jié)果，上下鄰接布線層的虛擬圖案之間產(chǎn) 生的附加電容，在任何兩個布線層之間也是相同的、均勻的。因此， 提高寄生元件的抽出制度是可能的。
尚，圖3中，說明了延長的虛擬圖案1、 13，但是，如圖2那樣 的小片虛擬圖案12，當(dāng)然也是在上下鄰接兩個布線層間將這個傾斜 虛擬圖案的交叉角度設(shè)定為約90度亦可。
以上，上述圖1、圖2及圖3中，是將虛擬圖案l、 12、 13的形 狀制成了矩形，但是，本發(fā)明不只限于矩形。虛擬圖案即便是不為 矩形，只要將這個不為矩形的多個虛擬圖案相對于信號布線圖案成 約45度傾斜有規(guī)則的設(shè)置，這些等的虛擬圖案、與鄰接這個虛擬圖 案的布線層的其他布線層上形成的信號布線圖案的交叉面積，無論 這個信號布線處于什么位置都為同一面積，所以，相對于鄰接布線 層的信號布線圖案虛擬圖案所給予的電容增加部分量與這個信號布 線圖案在鄰接布線層內(nèi)的位置無關(guān)可以是均勻的。
還有，如圖3所表示的那樣，只要形成了多個虛擬圖案13的布 線層中，相對于同一布線層的信號布線3，鄰接的多個虛擬圖案13 各自只離開相等的設(shè)定距離Sl而設(shè)置，就能夠均勻由于這些等的 虛擬圖案13的存在而引起的同一布線層的信號布線圖案13中的附 加電容單位長度增加部分量。但是，若是虛擬圖案13的形狀變復(fù)雜 的話，傾斜虛擬圖案13的數(shù)據(jù)量就會變大。
(第二實(shí)施方式)以下，參照附圖4說明第二實(shí)施方式。同圖中，虛擬圖案11 是連接在電源或接地等的固定電源上的虛擬圖案，虛擬圖案12是與 包含信號布線圖案2的半導(dǎo)體集成電路上的多個布線圖案的任何一 個也不電連接的浮動虛擬圖案，連接圖案5是連接于虛擬圖案11
的布線圖案，為了調(diào)整面積率，這些虛擬圖案11及12設(shè)置在沒有 設(shè)置信號布線圖案2的區(qū)域。
相對于圖2在圖4中，連接在電源或接地上的虛擬圖案11，鄰 接信號布線圖案2設(shè)置。這樣做的話，在兩個信號布線圖案2之間， 介于虛擬圖案12產(chǎn)生的電容結(jié)合基本上會消失。也就是所謂的屏蔽 作用起到效果，抑制了交調(diào)失真現(xiàn)象。在此，鄰接信號布線圖案2 設(shè)置的虛擬圖案ll，沒有必要全部連接于固定電位，只要至少有一 個連接在固定電源上(未圖示)，那么至少這個虛擬圖案11能夠得到 本發(fā)明的封住效果。
還有，虛擬圖案12，全部表示成浮動虛擬圖案的樣子。由此， 即便是在布圖設(shè)計(jì)修正發(fā)生的情況下，撕下的虛擬圖案，可以抑制 在只是布圖設(shè)計(jì)不要的部位。但是，正如本實(shí)施方式所表示的那樣， 并不需要虛擬圖案12全部為浮動虛擬圖案，只要虛擬圖案12的一 部分處于浮動狀態(tài)，對于這個浮動虛擬圖案12附近的布圖設(shè)計(jì)修 正，就能夠得到本發(fā)明的效果。但是，布圖設(shè)計(jì)修正發(fā)生的情況下， 盡可能減少不得不撕下的虛擬圖案12就會使再布線容易進(jìn)行，所以 最好的是虛擬圖案12的50%以上是浮動虛擬圖案。
還有，盡管沒有圖示，將虛擬圖案12連接到電源或接地等的固 定電源，正象將虛擬圖案11制成浮動虛擬圖案那樣，換成圖4的狀 態(tài)，可以得到圖4那樣的封住效果，在信號布線圖案2上產(chǎn)生的附 加電容值比圖4所示狀態(tài)小成為可能。其理由是，相對于信號布線 圖案2，通過連接在電源或接地上的虛擬圖案12的遠(yuǎn)離而減小附加 電容，且在電源或接地上固定了電位的虛擬圖案12和信號布線圖案 12之間介有浮動虛擬圖案11,由此，電容就成為串聯(lián)連接，進(jìn)一步 降低附加電容成為可能。這種情況下，鄰接信號布線圖案2設(shè)置的 浮動虛擬圖案ll，沒有必要全部為浮動的，只要至少有一部分為浮 動虛擬圖案，在這一部分浮動虛擬圖案11上就能夠得到本發(fā)明的效 果。一產(chǎn)業(yè)上的利用可能性一
本發(fā)明所涉及的虛擬圖案設(shè)置中，相對于實(shí)圖案的布線圖案將
虛擬圖案成約45度等的角度傾斜狀態(tài)設(shè)置，所以，在可以減小布線 圖案上產(chǎn)生的附加電容的同時，又使鄰接布線層之間的虛擬圖案垂 直交叉，就可使鄰接布線層之間產(chǎn)生的附加電容量均勻，還提高了 脈沖收束性，對脈沖制約嚴(yán)格的LSI設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體集成電路等是有 用的。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè)置了由為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案組，在沒有設(shè)置上述實(shí)圖案組的區(qū)域上設(shè)置了多個虛擬圖案，其特征在于上述多個虛擬圖案，設(shè)置為在以包含于上述多個布線圖案的一個布線圖案方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，相對于上述基準(zhǔn)方向成45度角的方向。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上述多個虛擬圖案內(nèi)，與上述多個布線圖案的任何一個鄰接的多個虛擬圖案，設(shè)置在離這個鄰接布線圖案相等的距離處。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上迷多個虛擬圖案，每一個都是矩形的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上迷多個虛擬圖案，包含相互不同大小的多個矩形。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l至4任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 設(shè)置在上迷多層布線層中，上下鄰接的兩個布線層的每一層中的多個虛擬圖案，以卯度的角度相交叉。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l至4任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上述多個虛擬圖案，包括連接在固定電位上的電位固定虛擬圖案、和沒有連接在固定電位上的浮動虛擬圖案，上述電位固定虛擬圖案中的一部分，與上述布線圖案鄰接設(shè)置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上述浮動虛擬圖案，占上述多個虛擬圖案總數(shù)的50%以上。 8. 根據(jù)權(quán)利要求l至4任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上述多個虛擬圖案，包括連接于固定電位上的電位固定虛擬圖案、和沒有連接在固定電位上的浮動虛擬圖案，上述浮動虛擬圖案的一部分，與上述布線圖案鄰接設(shè)置， 與鄰接上述布線圖案設(shè)置的浮動虛擬圖案鄰接的虛擬圖案，是上述電位固定虛擬圖案。9. 根據(jù)權(quán)利要求6至8任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路，其特征在于 上述固定電位，為電源電位或接地電位。10. —種半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè)置了由 為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案組，在沒有設(shè)置上迷實(shí)圖 案組的區(qū)域設(shè)置了多個虛擬圖案，其特征在于上述多個虛擬圖案，是以包含于上述多個布線圖案中的一個布線圖案 的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，傾斜于上述基準(zhǔn)方向成所規(guī)定的角度的方向的多個 傾斜虛擬圖案，包含在上述多個布線層的第一布線層中的上述多個傾斜虛擬圖案，與 包含在不同于上述第一布線層的第二布線層中的上述多個布線圖案之間， 從平面上看是交叉的。11. 一種半導(dǎo)體集成電路，是在多層布線層的各布線層上，設(shè)置了由 為連接電路及元件的多個布線圖案形成的實(shí)圖案組、和在沒有設(shè)置上迷實(shí) 圖案組的區(qū)域設(shè)置了多個虛擬圖案，其特征在于上述多個虛擬圖案，是以包含在上述多個布線圖案中的一個布線圖案 的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)方向時，傾斜于上述基準(zhǔn)方向成所規(guī)定的角度的方向的多個 傾斜虛擬圖案，包含在上述多個布線層的第 一布線層中的上述多個傾斜虛擬圖案，設(shè) 置為與同一布線層的一個布線圖案相距相等的距離。全文摘要
在LSI布圖設(shè)計(jì)圖案的平整化處理中，設(shè)置虛擬圖案的情況下，設(shè)置了信號布線圖案(2)的布線層內(nèi)，設(shè)置著相對于信號布線圖案(2)傾斜約為45度傾斜角的多個虛擬圖案(1)。這些虛擬圖案(1)，相對于上層或者是下層相鄰的其他布線層中形成的信號布線(3)成約為45度傾斜角交叉。上述信號布線圖案(3)的布線層中，設(shè)置了相對于這個信號布線圖案(3)成約45度傾斜角的多個虛擬圖案(13)。上述鄰接的兩個布線層的虛擬圖案(1、13)成約90度的角度交叉。因此，在降低布線電容變動的同時，也盡可能使布線電容變動量均一化。
文檔編號H01L23/52GK101128921SQ200680006348
公開日2008年2月20日 申請日期2006年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月11日
發(fā)明者川上善之 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社