專利名稱：一種有機(jī)頂發(fā)光器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及發(fā)光器件技術(shù)，特別是涉及一種有機(jī)頂發(fā)光器件及其制造方法的技術(shù)。
背景技術(shù)：
有機(jī)頂發(fā)光器件是一種正在發(fā)展中的技術(shù)，所謂頂發(fā)光就是有機(jī)層產(chǎn)生的光不 經(jīng)過基板玻璃出射，而是穿過發(fā)光有機(jī)層上面的陰極出射，因此陰極必須要足夠透 明，才會(huì)有比較高的出光效率。目前陰極的結(jié)構(gòu)主要是一層很薄的金屬層和一層銦錫氧化物層復(fù)合而成，由于需要透光性好，金屬必須做得很薄，通常在5納米到40納米。銦錫氧化物是一層透明導(dǎo)電層，它主要的作用是提高陰極的導(dǎo)電性和出光效率。但銦錫氧化物層一般是采用濺射的工藝來制作的，而濺射過程中被濺射出來的粒子能量較高，粒子將會(huì)轟擊金屬層和發(fā)光有機(jī)層，由于金屬層很薄，粒子很容易穿過金屬層破壞發(fā)光有機(jī)層，同時(shí)濺射過程產(chǎn)生紫外線也會(huì)使有機(jī)發(fā)光器件的性能遭到破壞。所以這種陰極結(jié)構(gòu)在實(shí)際制作中很難避免這樣的問題。 發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能提 高陰極的導(dǎo)電性和出光效率，能減弱濺射過程中高能粒子和紫外線對(duì)金屬層下面的 發(fā)光有機(jī)層的破壞，以提高頂發(fā)射有機(jī)發(fā)光器件的性能的有機(jī)頂發(fā)光器件及其制造 方法。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所提供的一種有機(jī)頂發(fā)光器件，自下而上是基 板、光刻好的陽極、發(fā)光部分有機(jī)層、透明陰極，其特征在于，所述透明陰極自下 而上是陰極的金屬層、陰極的有機(jī)層。 進(jìn)一步地，所述透明陰極的有機(jī)層上設(shè)有銦錫氧化物層。進(jìn)一步地，所述陰極的金屬層為一層1納米的氟化鋰和150納米的鋁膜。進(jìn)一步地，所述陰極的有機(jī)層為一層八羥基奎啉鋁的有機(jī)層。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所提供的一種制造所述有機(jī)頂發(fā)光器件的方法:1) 在光刻好陽極的基板上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳 輸層等構(gòu)層器件的發(fā)光部分的有機(jī)層；2) 然后再在上面蒸鍍一層氟化鋰和鋁膜，構(gòu)成陰極的金屬層部分； 其特征在于，3) 在金屬層的上面蒸鍍一層八羥基奎啉鋁的陰極的有機(jī)層。進(jìn)一步地，所述步驟3)中在該有機(jī)層的上面濺射一層陰極的銦錫氧化物層。利用本發(fā)明提供的有機(jī)頂發(fā)光器件及其制造方法，由于在陰極金屬層上增加了一層有機(jī)層，可以部分替代銦錫氧化物層的功能，即提高陰極的導(dǎo)電性和出光效率,同時(shí)在制造過程中不會(huì)對(duì)金屬層下面的發(fā)光有機(jī)層造成破壞，如果在其上面再濺射銦錫氧化物層或其它導(dǎo)電無機(jī)物，可以減弱濺射過程中高能粒子和紫外線對(duì)金屬層下面的發(fā)光有機(jī)層的破壞，提高頂發(fā)射有機(jī)發(fā)光器件的性能。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例有機(jī)頂發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明另一實(shí)施例有機(jī)頂發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合

對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但本實(shí)施例并不用于 限制本發(fā)明，凡是采用本發(fā)明的相似結(jié)構(gòu)、制造方法及其相似變化，均應(yīng)列入本發(fā) 明的保護(hù)范圍。本發(fā)明是針對(duì)上述陰極結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)，提出一種新的陰極的結(jié)構(gòu)，以避免在陰極 制作過程中破壞陰極下面的有機(jī)層。本發(fā)明是在陰極的金屬層附加一層導(dǎo)電的透明
有機(jī)層，由于這層有機(jī)層是導(dǎo)電的，它可以增加陰極的導(dǎo)電性，而且它也是透明介 質(zhì)層，也可以提高陰極的出光效率。這一層導(dǎo)電的透明有機(jī)層起的作用與銦錫氧化 物基本一樣，但有機(jī)層的制作工藝一般采用熱蒸鍍工藝，不會(huì)產(chǎn)生高能粒子和紫外 線，在制作過程中破壞金屬下面的有機(jī)層。如果再在導(dǎo)電的透明有機(jī)層上濺射銦錫 氧化物層或其它導(dǎo)電無機(jī)物，可以更好的提高器件性能，由于陰極金屬上面有一層 導(dǎo)電的透明有機(jī)層保護(hù)，它可以減弱濺射過程中高能粒子和紫外線對(duì)金屬層下面的 發(fā)光有機(jī)層的破壞。本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)頂發(fā)光器件的一種實(shí)施方式是在光刻好陽極2的基板1 上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層等構(gòu)層器件的發(fā)光部分的有機(jī)層3，然后再在上面蒸鍍一層1納米的氟化鋰和150納米的鋁膜，構(gòu)成陰極 的金屬層部分4，再在金屬層的上面蒸鍍一層100納米的八羥基奎啉鋁的陰極的有 機(jī)層5。最終的器件如圖l所示。本發(fā)明實(shí)施例的有機(jī)頂發(fā)光器件的另一實(shí)施方式是在光刻好陽極2的基板1 上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層等構(gòu)層器件的發(fā)光部分 的有機(jī)層3，然后再在上面蒸鍍一層1納米的氟化鋰和150納米的鋁膜，構(gòu)成陰極 的金屬層部分4，再在金屬層的上面蒸鍍一層60納米的八羥基奎啉鋁的陰極的有機(jī) 層5,再在該有機(jī)層的上面濺射一層100納米的陰極的銦錫氧化物層6，最終的器件 如圖2所示。
權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)頂發(fā)光器件，自下而上是基板、光刻好的陽極、發(fā)光部分有機(jī)層、透明陰極，其特征在于，所述透明陰極自下而上是陰極的金屬層、陰極的有機(jī)層。
2 、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)頂發(fā)光器件，其特征在于，所述透明陰極的 金屬層上設(shè)有有機(jī)層。
3 、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)頂發(fā)光器件，其特征在于，所述透明陰極的 有機(jī)層上設(shè)有銦錫氧化物層。
全文摘要
一種有機(jī)頂發(fā)光器件及其制造方法，涉及發(fā)光器件技術(shù)領(lǐng)域；該有機(jī)頂發(fā)光器件，自下而上是基板、光刻好的陽極、發(fā)光部分有機(jī)層、透明陰極，所述透明陰極自下而上是陰極的金屬層、陰極的有機(jī)層。所述透明陰極的有機(jī)層上設(shè)有銦錫氧化物層。該制造方法1)在光刻好陽極的基板上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層等構(gòu)層器件的發(fā)光部分的有機(jī)層；2)然后再在上面蒸鍍一層氟化鋰和鋁膜，構(gòu)成陰極的金屬層部分；3)在金屬層的上面蒸鍍一層八羥基奎啉鋁的陰極的有機(jī)層。本發(fā)明能提高陰極的導(dǎo)電性和出光效率，能減弱濺射過程中高能粒子和紫外線對(duì)金屬層下面的發(fā)光有機(jī)層的破壞，以提高頂發(fā)射有機(jī)發(fā)光器件的性能。
文檔編號(hào)H01L51/50GK101212023SQ200610148149
公開日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2006年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月28日
發(fā)明者進(jìn) 徐, 劍 林, 科 陳 申請(qǐng)人:上海廣電電子股份有限公司