專利名稱：一種電力半導體器件管芯的燒結方法
技術領域：
本實用新型涉及電力半導體器件制造技術，特別是一種電力半導體器件管芯的燒結方法。
背景技術：
電力半導體器件管芯的生產中，為了支撐硅片、歐姆接觸以及散熱作用，需要將硅片燒結在襯底片(如鉬片)上以制成管芯。已有的電力半導體器件管芯的燒結方法，通常采用抽真空法燒結，或者是在燒結爐石英管內通入氫氣，以氫氣作還原氣氛進行燒結。抽真空法燒結一般需要較高的真空度，生產成本高、操作麻煩；而通氫法燒結，不僅安全性差、氫氣成本高，而且還會產生水汽，影響管芯燒結質量。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種效果好、安全性強的電力半導體器件管芯的燒結方法。
本發(fā)明所述的一種電力半導體器件管芯的燒結方法，包括按常規(guī)將硅片、焊片和襯底片放在燒結舟上，推入燒結爐的石英管中進行燒結；特別是在燒結時，向燒結爐石英管中通一氧化碳氣，以一氧化碳氣作還原氣氛。
所述一氧化碳氣純度可以為80％以上；所述通入燒結爐石英管內一氧化碳氣體的氣壓為1.5-3個大氣壓；所述的襯底片可以為鉬片。
本發(fā)明采用向燒結爐石英管內通入一氧化碳氣，以一氧化碳氣作還原氣氛進行燒結，具有安全性好、成本低，管芯燒結成品率達95％以上等優(yōu)點。
具體實施例方式
一種電力半導體器件管芯的燒結方法，包括按常規(guī)將硅片、焊片和襯底片放在燒結舟上，推入燒結爐的石英管中進行燒結；特別是燒結時向燒結爐石英管中通一氧化碳氣，以一氧化碳氣作還原氣氛。
所述的一氧化碳氣純度應為80％以上，以利較好消除燒結時石英管中的氧氣。通入燒結爐石英管內的一氧化碳氣氣壓應在1.5-3個大氣壓之間，使得燒結爐石英管中能有較理想的還原氣氛狀態(tài)。襯底片可為鉬片，焊片為銀鉛錫合金，或金銻合金焊片及其它材料的焊片。
本發(fā)明采用一氧化碳氣作還原氣氛燒結，成本較低，安全性強，在燒結過程中，一氧化碳燃燒所釋放出的高熱，還有利于節(jié)能。
此外，一氧化碳氣燃燒后不會產生水汽，從而可避免合金材料被水汽氧化和發(fā)生其它有害的化學反應。本發(fā)明燒結的管芯其合金共熔充分，有利于形成良好的低電阻歐姆接觸，能顯著提高管芯燒結質量及成品率。管芯燒結的成品率高達95％以上。
權利要求
1.一種電力半導體器件管芯的燒結方法，包括按常規(guī)將硅片、焊片和襯底片放在燒結舟上，推入燒結爐的石英管中進行燒結；其特征是燒結時向燒結爐石英管中通一氧化碳氣，以一氧化碳氣作還原氣氛。
2.根據權利要求1所述的一種電力半導體器件管芯的燒結方法，其特征是所述一氧化碳氣純度為80％以上。
3.根據權利要求1或2所述的一種電力半導體器件管芯的燒結方法，其特征是所述通入燒結爐石英管內一氧化碳氣的氣壓為1.5-3個大氣壓。
4.根據權利要求1所述的一種電力半導體器件管芯的燒結方法，其特征是所述的襯底片為鉬片。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電力半導體器件管芯的燒結方法，其包括按常規(guī)將硅片、焊接片和襯底片放在燒結舟上，推入燒結爐的石英管中進行燒結；特別是燒結時向燒結爐石英管內通一氧化碳氣，以一氧化碳氣作還原氣氛。本發(fā)明具有安全性好、生產成本較低，管芯燒結成品率高等優(yōu)點。
文檔編號H01L21/324GK1832108SQ200610049648
公開日2006年9月13日 申請日期2006年3月1日 優(yōu)先權日2006年3月1日
發(fā)明者田鈺貞, 田小鈺 申請人:田鈺貞