專利名稱：追蹤方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種追蹤方法和設(shè)備，其中通過在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動空間光學(xué)調(diào)制裝置來進(jìn)行追蹤，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置包括用于根據(jù)依據(jù)追蹤信息所傳送的控制信號調(diào)制輸入光的許多追蹤元件。
背景技術(shù)：
已知各種類型的追蹤裝置，其中根據(jù)圖像數(shù)據(jù)在追蹤面上產(chǎn)生預(yù)期的兩維圖案。
作為這種類型的追蹤裝置，例如，日本未審查的專利公開出版物第2004-233718號中提出使用空間調(diào)制裝置(例如，數(shù)字微鏡裝置(DMD)或類似裝置)的用于通過根據(jù)圖像數(shù)據(jù)調(diào)制光束來執(zhí)行光刻加工的各種類型的光刻機(jī)。DMD由許多極小的微鏡構(gòu)成，其中所述微鏡以兩維形式(L行×M列)布置在由硅或類似材料(舉例而言)制成的半導(dǎo)體基板上所形成的存儲單元(SRAM陣列)上，通過控制存儲單元中所儲存的電荷所提供的靜電力使微鏡傾斜來改變微鏡的反射面的角度。通過在預(yù)定方向上沿著曝光面掃描DMD執(zhí)行光刻加工。
此處，在上述的DMD中，圖像數(shù)據(jù)首先被傳送到SRAM陣列，接著重置各微鏡，即，各微鏡根據(jù)寫入SRAM陣列中的圖像數(shù)據(jù)的內(nèi)容(“0”或“1”)傾斜預(yù)定角度(“打開”或“關(guān)閉”)，從而將光線反射到不同的方向上。
然而，迄今為止，DMD由所述方法驅(qū)動，其中圖像數(shù)據(jù)被順序傳送到SRAM陣列并以逐行為基礎(chǔ)寫入所述SRAM陣列，當(dāng)所有行的圖像數(shù)據(jù)均傳送到SRAM陣列之后實施重置操作。這需要延長時間來傳送圖像數(shù)據(jù)，從而對于光刻加工造成調(diào)制速度慢并延長總時間。進(jìn)一步而言，由于調(diào)制速度慢，因此已難于進(jìn)行高分辨率的光刻加工。
考慮到上述情況，本發(fā)明的一個目的是提供使空間光學(xué)調(diào)制裝置可執(zhí)行快速調(diào)制的追蹤方法和設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一追蹤方法為一種使用空間光學(xué)調(diào)制裝置的追蹤方法，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光，其中通過將所述控制信號傳送到所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制、并在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置來進(jìn)行追蹤，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上被分成多個區(qū)塊；以及用于所述多個區(qū)塊中的每個區(qū)塊的所述控制信號并行傳送至所述多個區(qū)塊。
在上述的追蹤方法中，通過由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制、并控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制的時序和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，可以控制在所述追蹤面上對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各追蹤區(qū)的布置。
進(jìn)一步而言，所述追蹤可以首先由設(shè)置在所述掃描方向下游的所述區(qū)塊來執(zhí)行、接著由相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊來執(zhí)行。
更進(jìn)一步，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得對應(yīng)于設(shè)置在下游的所述區(qū)塊的追蹤區(qū)與對應(yīng)于在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)互相重疊。
進(jìn)一步而言，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得對應(yīng)于設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)內(nèi)的追蹤點(diǎn)之間。
更進(jìn)一步，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊相對應(yīng)的各所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
進(jìn)一步而言，各所述區(qū)塊可以進(jìn)一步再分成多個分段，所述控制信號可以被順序傳送到各所述區(qū)塊中的各所述分段，可以由各所述分段在完成所述控制信號的各傳送時順序?qū)嵤┧稣{(diào)制。
更進(jìn)一步，通過控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各分段追蹤區(qū)的布置。
進(jìn)一步而言，所述追蹤可以首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的分段執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的分段執(zhí)行。
更進(jìn)一步地，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的分段追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的分段相對應(yīng)的分段追蹤區(qū)互相重疊。
進(jìn)一步而言，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)之間。
更進(jìn)一步，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度可以受到控制，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
進(jìn)一步而言，各所述區(qū)塊中的所述分段數(shù)量N可以設(shè)定成滿足以下公式。
N＝Tsr/Ttr其中Ttr每個分段的調(diào)制時間Tsr控制信號至每個分段的傳送時間本發(fā)明的所述第二追蹤方法為一種使用空間光學(xué)調(diào)制裝置的追蹤方法，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光，其中通過將所述控制信號傳送到所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制、并在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置來進(jìn)行追蹤，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置被分成多個區(qū)塊；以及用于各所述多個區(qū)塊的所述控制信號并行傳送至所述多個區(qū)塊。
本發(fā)明的第一追蹤設(shè)備包括空間光學(xué)調(diào)制裝置，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光；用于在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的移動裝置；以及控制裝置，所述控制裝置用于通過將所述控制信號傳送至其、并通過控制所述移動裝置控制所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度使所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上被分成多個區(qū)塊；以及所述控制裝置包括多個控制信號傳送區(qū)段，各所述控制信號傳送區(qū)段提供用于各所述區(qū)塊，用以將所述控制信號并行傳送到各所述區(qū)塊。
在上述的所述追蹤設(shè)備中，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成通過由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制并控制各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來控制在所述追蹤面上對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各追蹤區(qū)的布置。
進(jìn)一步而言，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成使所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊執(zhí)行。
更進(jìn)一步，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)互相重疊。
進(jìn)一步而言，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)之間。
更進(jìn)一步，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得在所述掃描方向上以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊相對應(yīng)的各所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
進(jìn)一步而言，各所述區(qū)塊可以被進(jìn)一步再分成多個分段，所述控制信號可以順序傳送到各所述區(qū)塊中的各所述分段，可以由各所述分段從完成所述控制信號的各傳送時順序?qū)嵤┧稣{(diào)制。
更進(jìn)一步，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成通過控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各分段追蹤區(qū)的布置。
進(jìn)一步而言，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成使所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的分段執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的分段執(zhí)行。
更進(jìn)一步，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)互相重疊。
進(jìn)一步而言，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)內(nèi)的追蹤點(diǎn)之間。
更進(jìn)一步，所述控制區(qū)段可以被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
進(jìn)一步而言，各所述區(qū)塊中的所述分段數(shù)量N可以設(shè)定成滿足以下公式。
N＝Tsr/Ttr其中Ttr每個分段的調(diào)制時間Tsr控制信號至各分段的傳送時間此處，在此所使用的引用對象“用于所述多個區(qū)塊中的各區(qū)塊的控制信號被并行傳送至各所述區(qū)塊”表示用于至少兩個區(qū)塊的控制信號至少在預(yù)定時間點(diǎn)處同時傳送，并且可以包括在將所述控制信號傳送到各所述區(qū)塊的開始時序之間存在預(yù)定的時間差的情況、以及以相同的開始時序?qū)⑺隹刂菩盘杺魉偷礁魉鰠^(qū)塊的情況。
在此所使用的引用對象“在所述掃描方向上分成”表示設(shè)置所述追蹤元件的所述兩個正交方向中的任一方向?qū)?yīng)于所述掃描方向，所述劃分在該方向上進(jìn)行，以及所述兩個正交方向均不對應(yīng)于所述掃描方向，所述劃分在與所述掃描方向形成較小傾斜角度的方向上進(jìn)行。
本發(fā)明的第二追蹤設(shè)備包括空間光學(xué)調(diào)制裝置，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光；
用于在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的移動裝置；以及控制裝置，所述控制裝置用于使所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件通過將所述控制信號傳送至其、并通過控制所述移動裝置控制所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來實施所述調(diào)制，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置被分成多個區(qū)塊；以及所述控制裝置包括多個控制信號傳送區(qū)段，各所述控制信號傳送區(qū)段被提供用于各所述區(qū)塊，用以將所述控制信號并行傳送到各所述區(qū)塊。
根據(jù)本發(fā)明的所述第一追蹤方法和設(shè)備，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上被分成多個區(qū)塊，用于所述多個區(qū)塊中的每一個區(qū)塊的控制信號被并行傳送至所述多個區(qū)塊，使得與圖像數(shù)據(jù)被順序傳送到所述SRAM陣列并以逐行為基礎(chǔ)寫入所述SRAM陣列內(nèi)的情況相比可以增加所述調(diào)制速度，并且在如傳統(tǒng)方法將所有行的圖像數(shù)據(jù)傳送到所述SRAM陣列之后執(zhí)行所述重置。例如，如果所述空間光學(xué)調(diào)制裝置被分成四個區(qū)塊，則所述調(diào)制速度可以變成四倍。
進(jìn)一步而言，在上述的追蹤方法和設(shè)備中，當(dāng)通過使由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制并控制各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊相對應(yīng)的各追蹤區(qū)的布置時，可以隨意控制在所述追蹤面上對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各所述追蹤區(qū)的布置。例如，可以在所述掃描方向上以規(guī)則間隔設(shè)置對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)，從而造成均勻分布的分辨率。
進(jìn)一步而言，當(dāng)各所述區(qū)塊在所述掃描方向上被進(jìn)一步再分成多個分段時，所述控制信號被順序傳送到所述多個分段中的各分段，當(dāng)在各所述區(qū)塊中完成所述控制信號的各傳送時順序?qū)嵤┧稣{(diào)制，接著，當(dāng)一個所述分段被重置時，在各所述區(qū)塊中可以實施至其它分段的控制信號傳送。這使得各所述區(qū)塊的所述調(diào)制速度進(jìn)一步增加。例如，如果各所述區(qū)塊被再分成三個分段，則所述調(diào)制速度可以進(jìn)一步變?yōu)槿?，使得與所述傳統(tǒng)方法相比在假定相同的分辨率時，通過結(jié)合將所述空間光學(xué)調(diào)制裝置分成區(qū)塊以及將各所述區(qū)塊分成分段，所述調(diào)制速度可以變?yōu)槭丁?br> 更進(jìn)一步，可以在各所述區(qū)塊中的所述調(diào)制時間期間產(chǎn)生各所述分段中的追蹤點(diǎn)，使得可以提高分辨率。例如，如果各所述區(qū)塊被再分成三個分段，則所述分辨率可以變?yōu)槿丁?br>

圖1是實施本發(fā)明的追蹤設(shè)備的一個實施例的光刻機(jī)的透視圖，用于圖示其外觀；圖2是圖1中所示的光刻機(jī)中所使用的掃描器的透視圖，用于說明設(shè)備的構(gòu)造；圖3A是感光材料的平面圖，用于圖示形成于感光材料上的曝光區(qū)；圖3B是說明各曝光頭的曝光區(qū)的布置的視圖；圖4是圖1中所示的光刻機(jī)中所使用的DMD的部分放大圖，圖示出設(shè)備的構(gòu)造；圖5A是說明DMD操作的DMD的透視圖；圖5B是說明DMD操作的DMD的透視圖；圖6是說明DMD上的區(qū)塊的視圖；圖7是控制信號傳送區(qū)段的示意性方塊圖，各控制信號傳送區(qū)段為各區(qū)塊而設(shè)；圖8A是說明各區(qū)塊中的控制信號的傳送及調(diào)制的時序的圖示；圖8B是說明以圖8A中所示的時序執(zhí)行追蹤時的追蹤點(diǎn)的實例的圖式；圖9是說明各區(qū)塊中的控制信號傳送及調(diào)制的時序的另一實例的圖式；圖10A是說明各區(qū)塊中的各分段中的控制信號傳送及調(diào)制的時序的圖示；圖10B是說明以圖10A中所示的時序執(zhí)行追蹤時的追蹤點(diǎn)的實例的圖示；圖11是說明各區(qū)塊中的各分段中的控制信號傳送及調(diào)制的時序的另一實例的圖式；
圖12A是說明傳統(tǒng)光刻機(jī)中的控制信號傳送及調(diào)制的時序的圖式；以及圖12B是說明以圖12A中所示的時序執(zhí)行追蹤時的追蹤點(diǎn)的實例的圖式。
具體實施例方式
在下文中，將參照附圖詳細(xì)說明采用本發(fā)明的追蹤方法及設(shè)備的第一實施例的光刻機(jī)。本實施例的光刻機(jī)使用由在正交方向上以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成的空間光學(xué)調(diào)制裝置，用以根據(jù)傳送至所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的控制信號調(diào)制輸入光，從而在將控制信號傳送到空間光學(xué)調(diào)制裝置的方法中具有區(qū)別性特征。然而，首先將說明本實施例的光刻機(jī)的整體構(gòu)造。圖1是說明示意性構(gòu)造的本實施例的光刻機(jī)的透視圖。
如圖1中所示，本實施例的光刻機(jī)10包括用于通過吸持使片狀感光材料12保持在其上的板狀移動臺14。沿著移動臺的移動方向延伸的兩個導(dǎo)向件20設(shè)置在由四個腿部16支承的厚板狀安裝平臺18的上表面上。移動臺14被布置成使其縱向被定向為移動臺的移動方向且以可移動方式由導(dǎo)向件20支承而可進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動。
跨越移動臺14的移動路徑的倒置U形門22被設(shè)置在安裝平臺18的中心部分處。倒置U形門22的各端部固定連接到安裝平臺18的各側(cè)面上。掃描器24設(shè)置在門20的一側(cè)，用于檢測感光材料12的前邊緣和后邊緣的多個傳感器26(例如，兩個)設(shè)置在另一側(cè)。掃描器24和傳感器26在移動臺14的整個移動路徑上固定連接到門22。掃描器24和傳感器26連接到稍后將說明的控制它們的控制區(qū)段。
如圖2和圖3B中所示，掃描器24具有設(shè)置成大體為兩行及五列矩陣形式的十個曝光頭。在下文中，設(shè)置在第m行的第n列處的曝光頭將被標(biāo)示為曝光頭30mn。
各曝光頭30包括為空間光學(xué)調(diào)制裝置的數(shù)字微鏡裝置(DMD)36。DMD 36包括用作沿正交方向以兩維方式設(shè)置于其上的追蹤元件的微鏡。DMD 36連接到各曝光頭30，使得沿其設(shè)置微鏡的方向相對于掃描方向形成預(yù)定的傾斜角度θ。因此，如圖3B中所示，各曝光頭30的曝光區(qū)32具有相對于掃描方向傾斜的矩形形狀。在下文中，設(shè)置在第m陣列的第n列的曝光頭的曝光區(qū)將被標(biāo)示為曝光區(qū)32mn。
纖維陣列光源(圖中未示)和聚光透鏡系統(tǒng)(圖中未示)被設(shè)置在DMD 36的光線進(jìn)入側(cè)，其中所述纖維陣列光源具有在與曝光區(qū)32的長側(cè)方向相對應(yīng)的方向上線性布置的發(fā)光點(diǎn)，所述聚光透鏡系統(tǒng)用于使從纖維陣列光源輸出的激光束準(zhǔn)直，并且在準(zhǔn)直激光束被校正以提供均勻分布的發(fā)光能量之后將準(zhǔn)直激光束聚焦到DMD 36上。
用于將圖像聚焦到感光材料120上的成像透鏡系統(tǒng)(圖中未示)設(shè)置在DMD 36的反光側(cè)。
如圖3A中所示，當(dāng)臺14移動時，條紋形曝光區(qū)34通過各曝光頭30形成于感光材料12上。線性排列成一行的各曝光頭30在排列方向上從線性排列成另一行的各對應(yīng)的曝光頭30移置預(yù)定距離，使得各條紋形曝光區(qū)34與相鄰曝光區(qū)34部分重疊。因此，與第一行中的曝光區(qū)3211和3212之間的空間相對應(yīng)的感光材料的未曝光部分通過第二行中的曝光區(qū)3221可以曝光。
如圖4中所示，DMD 36包括每一個均由支柱支承在SRAM陣列的SRAM(存儲單元)56上的微鏡58。沿正交方向以兩維方式設(shè)置的形成像素的許多(例如，13.68μm間距，1024×768)微鏡58構(gòu)成微鏡裝置。如上所述，可以由用于一般半導(dǎo)體存儲器的生產(chǎn)線生產(chǎn)的硅柵CMOS SRAM陣列56通過每一個均包括鉸鏈和軛(yoke)的支柱被設(shè)置在微鏡58之下。
當(dāng)用作控制信號的數(shù)字信號寫入DMD 36的SRAM陣列56內(nèi)時，控制電壓根據(jù)數(shù)字信號被施加到各微鏡58的電極區(qū)段(圖中未示)上。接著，由各支柱支承的各微鏡58通過由施加的電壓產(chǎn)生的靜電力在斜對角線的中心處在±α度(例如，±10度)的范圍內(nèi)傾斜。圖5A顯示傾斜+α度的一個微鏡58，表示微鏡處于打開狀態(tài)，圖5B顯示傾斜-α度的一個微鏡58，表示微鏡處于關(guān)閉狀態(tài)。在一個微鏡處于打開狀態(tài)下輸入所述一個微鏡58內(nèi)的光束B朝著感光材料12反射，在一個微鏡處于關(guān)閉狀態(tài)下輸入所述一個微鏡58內(nèi)的光束B朝著光吸收材料而非感光材料12反射。
此處，如圖6中所示，本實施例的光刻機(jī)的DMD 36被分成四個區(qū)塊A至D，每一區(qū)塊均包括多個微鏡。
如圖7中所示，各曝光頭30包括四個控制信號傳送區(qū)段60A至60D，每一個均為DMD 36的各區(qū)塊A至D而設(shè)置，用以將控制信號并行傳送到各區(qū)塊A至D。在圖7中，省略控制信號傳送區(qū)段60C。進(jìn)一步而言，在本實施例中，DMD 36被分成四個區(qū)塊，但是DMD 36也可以分成不少于兩個的任何數(shù)量的區(qū)塊。
如圖7中所示，控制信號傳送區(qū)段60A至60D中的每一個區(qū)段均包括P個移位寄存器電路61、閂鎖電路(latch circuit)62和列驅(qū)動器電路63。時鐘信號CK從控制器65輸入到各P個移位寄存器電路61。一個控制信號根據(jù)時鐘信號CK同時寫入各P個移位寄存器電路61內(nèi)。當(dāng)N個控制信號被寫入各P個移位寄存器電路61內(nèi)時，單行的N×P個控制信號被傳送到閂鎖電路62。
傳送到閂鎖電路62的單行控制信號依原樣被傳送到列驅(qū)動器電路63。從列驅(qū)動器電路63輸出的單行控制信號被寫入SRAM陣列56的預(yù)定行內(nèi)。要寫入控制信號的預(yù)定行由行譯碼器64根據(jù)地址信號進(jìn)行選擇。
當(dāng)控制信號如上所述被閂鎖電路62鎖存并寫入SRAM陣列56的預(yù)定行內(nèi)時，下一行的控制信號被寫入移位寄存器電路61內(nèi)。
對于將控制信號寫入移位寄存器電路61、閂鎖電路62、列驅(qū)動器電路63和SRAM陣列56內(nèi)的時序由控制器65控制。
當(dāng)控制信號被寫入SRAM陣列56內(nèi)之后，根據(jù)寫入SRAM陣列56的控制信號的控制電壓被從電壓控制區(qū)段66施加到微鏡58的各電極區(qū)段，從而重置各微鏡。
為各區(qū)塊A至D設(shè)置的電壓控制區(qū)段66能夠?qū)⒖刂齐妷狠敵龅饺齻€分段1至3中的每一個分段，其中通過在各區(qū)塊A至D中進(jìn)一步劃分各K行中的微鏡行來提供所述分段。在本實施例中，各區(qū)塊A至D被分成三個分段，但是各區(qū)塊A至D也可以被分成不少于兩個的任何數(shù)量的分段。
優(yōu)選地，各區(qū)塊中的分段數(shù)量N滿足以下公式。
N＝Tsr/Ttr其中Ttr各分段的調(diào)制時間Tsr控制信號至各分段的傳送時間本實施例的光刻機(jī)10進(jìn)一步包括用于執(zhí)行光刻機(jī)的總體控制的控制區(qū)段70、以及用于將控制信號輸出到各曝光頭30的控制信號傳送區(qū)段60A至60D的數(shù)據(jù)控制區(qū)段68?？刂菩盘栔罝MD 36的SRAM陣列56內(nèi)的寫入操作以及微鏡58的驅(qū)動由控制區(qū)段70控制。控制區(qū)段70進(jìn)一步驅(qū)動控制使移動臺14移動的移動臺驅(qū)動單元72。
在下文中，將詳細(xì)說明本實施例的光刻機(jī)10的操作。
首先，與要曝光到感光材料12上的圖像相對應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)由預(yù)定的數(shù)據(jù)產(chǎn)生裝置(圖中未示)產(chǎn)生并輸出到數(shù)據(jù)控制區(qū)段68。在數(shù)據(jù)控制區(qū)段68中，根據(jù)圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生要輸出到各曝光頭30的控制信號。在本實施例的光刻機(jī)10中，控制信號被傳送到DMD 36的區(qū)塊A至D、從而以逐區(qū)塊為基礎(chǔ)驅(qū)動微鏡58，使得控制信號也以逐區(qū)塊為基礎(chǔ)而產(chǎn)生。
當(dāng)數(shù)據(jù)控制區(qū)段68產(chǎn)生用于各曝光頭30的控制信號時，移動臺驅(qū)動控制信號從控制區(qū)段70輸出到移動臺驅(qū)動單元72。移動臺驅(qū)動單元72根據(jù)移動臺驅(qū)動控制信號使移動臺14以預(yù)期速度在移動臺移動方向上沿著導(dǎo)向件20移動。當(dāng)移動臺14通過門22下方時，感光材料12的前邊緣被連接到門22的傳感器26檢測到。接著，控制信號從數(shù)據(jù)控制區(qū)段68輸出到各曝光頭30，并且各曝光頭30開始進(jìn)行追蹤。
在下文中，將詳細(xì)說明對各曝光頭30的DMD 36的驅(qū)動控制。
首先，以如上所述方式產(chǎn)生的用于DMD 36的各區(qū)塊A至D的控制信號以逐行為基礎(chǔ)從數(shù)據(jù)控制區(qū)段68傳送到各控制信號傳送區(qū)段60A至60D。此處，控制信號以圖8A中所示的時序被傳送到各區(qū)塊A至D。即，控制信號以如圖8A中所示順序延遲預(yù)定時間的開始時機(jī)傳送到各區(qū)塊A至D。
以上述方式傳送的控制信號通過為各區(qū)塊A至D提供的各控制信號傳送區(qū)段60A至60D被寫入各區(qū)塊A至D中的SRAM陣列56內(nèi)。
接著，如圖8A中所示，微鏡根據(jù)傳送至其的控制信號從已完成控制信號至其的傳送的區(qū)塊中的微鏡順序重置。
圖8B顯示通過將控制信號傳送到各區(qū)塊A至D以便以圖8A中所示的時序重置各區(qū)塊A至D中的微鏡58，而在感光材料12上產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)的實例。在圖8B中，開圓表示區(qū)塊A的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，雙圓表示區(qū)塊B的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，填充圓表示區(qū)塊C的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，陰影線圓表示區(qū)塊D的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)。如圖8B中所示，在本實施例的光刻機(jī)的DMD 36中，各區(qū)塊A至D中的微鏡58被設(shè)置成相對于掃描方向形成傾斜角度θ，使得各區(qū)塊中的各微鏡沿著相同的掃描線通過。
例如，如圖8B中所示，各區(qū)塊B至D中的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)可以以規(guī)則間隔設(shè)置在通過以如上所述的預(yù)定時間順序延遲各區(qū)塊中的調(diào)制時序而由區(qū)塊A中的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)之間。圖8B中所示的區(qū)塊A的調(diào)制時間期間在區(qū)塊B至D中產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)不是在相同幀中產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)，所述追蹤點(diǎn)是在不同幀中產(chǎn)生的點(diǎn)。此處，引用對象“幀”表示通過從區(qū)塊A至區(qū)塊D順序傳送控制信號來順序重置各區(qū)塊A至D的處理單元。
進(jìn)一步而言，還可以通過控制感光材料12在掃描方向上的移動速度(即，移動臺14的移動速度)而不是通過順序延遲各區(qū)塊A至D中的調(diào)制時序，而以規(guī)則間隔將各區(qū)塊B至D中的追蹤點(diǎn)設(shè)置在區(qū)塊A中的追蹤點(diǎn)之間。
移動臺14的移動速度根據(jù)區(qū)塊A至D中的各調(diào)制時序之間的時間差被預(yù)先設(shè)定在控制區(qū)段70中，移動臺驅(qū)動單元72受到控制以使移動臺14以預(yù)定速度移動。
在本實施例的光刻機(jī)中，各區(qū)塊A至D中的調(diào)制時序如上所述被順序延遲。然而，這不是必需的，而控制信號可以同時傳送到各區(qū)塊A至D以同時重置各區(qū)塊A至D中的微鏡，如圖9中所示。
進(jìn)一步而言，在本實施例中，移動臺14的移動速度可以首先被預(yù)先設(shè)定為預(yù)期速度，接著可以根據(jù)移動臺14的預(yù)設(shè)移動速度控制或設(shè)定各區(qū)塊A至D中的調(diào)制時序。
更進(jìn)一步，在本實施例中，各區(qū)塊A至D中的調(diào)制時序和移動臺14的移動速度可以被控制成使各區(qū)塊A至D中的追蹤點(diǎn)互相重疊。
為了進(jìn)行比較，不同于控制信號被獨(dú)立地傳送到各區(qū)塊且在各區(qū)塊A至D中順序?qū)嵤┲刂貌僮鞯那闆r，圖12B中顯示在控制信號被傳送到所有的區(qū)塊A至D中之后實施重置操作的追蹤點(diǎn)的實例。當(dāng)如圖12A中所示在控制信號被傳送到所有的區(qū)塊A至D之后實施重置操作時，例如，如圖12B中所示，區(qū)塊B至D的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)隨機(jī)地設(shè)置在區(qū)塊A的微鏡所追蹤的追蹤點(diǎn)之間。這是因為各區(qū)塊A至D的追蹤時序僅由調(diào)制時間決定而與掃描速度無關(guān)。
在本實施例的光刻機(jī)中，通過以如上所述的方式驅(qū)動控制各曝光頭30中的DMD 36在感光材料12上產(chǎn)生追蹤點(diǎn)。
接著，感光材料12以恒定速度與移動臺14一起移動。感光材料12由掃描器24在與移動臺移動方向相反的方向上進(jìn)行掃描，并且各曝光頭30形成條紋形曝光區(qū)34。
當(dāng)完成掃描器24對感光材料12的掃描且感光材料12的后邊緣被傳感器26檢測到時，移動臺14通過移動臺驅(qū)動單元72沿著導(dǎo)向件20返回到門22最上游的初始位置。其后，移動臺14在其上放置新的感光材料12之后再次以恒定速度沿著導(dǎo)向件20從門22的上游向下游移動。
在下文中，將說明采用本發(fā)明的追蹤方法及設(shè)備的第二實施例的光刻機(jī)。本實施例的光刻機(jī)的構(gòu)造與第一實施例的光刻機(jī)構(gòu)造相似。所述第二實施例與第一實施例的不同之處僅在于用于驅(qū)動控制各曝光頭30中的DMD 36的驅(qū)動控制方法。因此，下面在此將僅說明本實施例中的用于驅(qū)動控制各曝光頭30中的DMD 36的驅(qū)動控制方法。
首先，如第一實施例，以如上所述方式產(chǎn)生的用于DMD 36的各區(qū)塊A至D的控制信號以逐行為基礎(chǔ)從數(shù)據(jù)控制區(qū)段68傳送到各控制信號傳送區(qū)段60A至60D。接著，例如，如圖10A中所示，在區(qū)塊A中，控制信號被順序傳送到各分段1至3，各分段1至3中的微鏡在完成控制信號至各分段1至3的各傳送時順序被重置。同樣地，在其它區(qū)塊B至D中，控制信號被順序傳送到各分段1至3，各分段1至3中的微鏡從完成控制信號至各分段1至3的各傳送時順序被重置。如圖10A中所示，以預(yù)定時間順序延遲傳送用于各區(qū)塊A至D中的各分段1至3的控制信號。
圖10B顯示通過將控制信號傳送到各區(qū)塊A至D中的各分段1至3、以便以圖10A中所示的時序重置各區(qū)塊A至D中的各分段1至3中的微鏡58而在感光材料12上產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)的實例。在圖10B中，開圓表示區(qū)塊A的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，雙圓表示區(qū)塊B的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，填充圓表示區(qū)塊C的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)，陰影線圓表示區(qū)塊D的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)。
通過順序?qū)⒖刂菩盘杺魉偷礁鲄^(qū)塊A至D中的各分段1至3以順序?qū)嵤┲刂貌僮?、并以預(yù)定時間順序延遲各區(qū)塊A至D中的各分段1至3的重置時序，例如，各區(qū)塊B至D中的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)可以如圖10B中所示以規(guī)則間隔設(shè)置在區(qū)塊A中的微鏡58所追蹤的追蹤點(diǎn)之間，并且當(dāng)感光材料12以與圖10B中所示的調(diào)制時間的距離移動時，可以由各區(qū)塊A至D中的微鏡58以重復(fù)方式實施三次對追蹤點(diǎn)的追蹤。此處，可以直接控制或設(shè)定各分段1至3的重置時序。可供選擇地，可以通過對各區(qū)塊A至D的重置時序的控制來控制或設(shè)定各區(qū)塊A至D中的各分段1至3的重置時序。各區(qū)塊A至D在圖10B中所示的調(diào)制時間期間產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)不是在相同幀中產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)，所述追蹤點(diǎn)是在不同幀中產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)。進(jìn)一步而言，為了以規(guī)則間隔將各區(qū)塊B至D中的追蹤點(diǎn)設(shè)置在區(qū)塊A中的追蹤點(diǎn)之間，感光材料在掃描方向上的移動速度(即，移動臺14的移動速度)可以如第一實施例中一樣根據(jù)區(qū)塊A至D中的各調(diào)制時序之間的時間差來進(jìn)行控制。
在本實施例中的光刻機(jī)中，如上所述順序延遲各區(qū)塊A至D中的各對應(yīng)分段1至3中的調(diào)制時序。然而，這不是必需的，控制信號可以被同時傳送到各區(qū)塊A至D中的各對應(yīng)分段1至3，以同時重置各區(qū)塊A至D中的各對應(yīng)分段1至3中的微鏡，如圖11中所示。
進(jìn)一步而言，在本實施例中，各區(qū)塊A至D中的各分段1至3中的調(diào)制時序以及移動臺14的移動速度可以被控制成使各區(qū)塊A至D中的各分段所追蹤的追蹤點(diǎn)互相重疊。
進(jìn)一步而言，在上述的實施例中，DMD 36在掃描方向上被分成多個區(qū)塊A至D。然而，劃分方法不限于此。例如，DMD 36可以在正交于掃描方向的方向上分成多個區(qū)塊，并且控制信號可以被并行地傳送到各區(qū)塊。另外，以如上所述方式提供的各區(qū)塊在掃描方向上或正交于掃描方向的方向上可以進(jìn)一步被再分成數(shù)個分段，并且如在上述的實施例中，可以以逐段為基礎(chǔ)實施控制信號的傳送和調(diào)制。
更進(jìn)一步，在上述的實施例中，已說明包括作為空間光學(xué)調(diào)制裝置的DMD的光刻機(jī)。除了這種反射式空間光學(xué)調(diào)制裝置之外還可以使用透射式空間光學(xué)調(diào)制裝置。
進(jìn)一步而言，在上述的實施例中，已說明通常所說的平臺式光刻機(jī)。然而，本發(fā)明還可以應(yīng)用于通常所說的具有使感光材料卷在其上的卷筒的外卷筒式光刻機(jī)(outer drum photolithography machine)。
更進(jìn)一步，在上述的實施例中，為曝光目標(biāo)的感光材料12可以為印刷板或顯示器過濾片。進(jìn)一步而言，感光材料12可以為片狀形式或連續(xù)長度(例如，柔性基板或類似裝置)。
本發(fā)明的追蹤方法和設(shè)備還可以應(yīng)用于噴墨打印機(jī)或類似裝置的追蹤控制。例如，通過噴墨產(chǎn)生的追蹤點(diǎn)可以以本發(fā)明中所述的相似方式進(jìn)行控制。即，本發(fā)明的追蹤元件被替換成通過噴墨或類似方式產(chǎn)生追蹤點(diǎn)的元件。
權(quán)利要求
1.一種使用空間光學(xué)調(diào)制裝置的追蹤方法，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光，其中通過將所述控制信號傳送到所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制、并在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置來進(jìn)行追蹤，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上被分成多個區(qū)塊；以及用于各所述多個區(qū)塊的所述控制信號被并行傳送至所述多個區(qū)塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的追蹤方法，其中，通過由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制、并控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊相對應(yīng)的各追蹤區(qū)的布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的追蹤方法，其中，所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊來執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊來執(zhí)行。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的追蹤方法，其中，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)互相重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的追蹤方法，其中，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)內(nèi)的追蹤點(diǎn)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的追蹤方法，其中，由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊相對應(yīng)的各所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的追蹤方法，其中各所述區(qū)塊被進(jìn)一步再分成多個分段；并且所述控制信號被順序傳送到各所述區(qū)塊中的各所述分段，由各所述分段在完成所述控制信號的各傳送時順序?qū)嵤┧稣{(diào)制。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的追蹤方法，其中，通過控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各分段追蹤區(qū)的布置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的追蹤方法，其中，所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的分段執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的分段執(zhí)行。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的追蹤方法，其中，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的分段追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的分段追蹤區(qū)互相重疊。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的追蹤方法，其中，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的追蹤方法，其中，各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度受到控制，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的追蹤方法，其中，各所述區(qū)塊中的所述分段的數(shù)量N滿足以下公式。N＝Tsr/Ttr其中Ttr各分段的調(diào)制時間Tsr控制信號至各分段的傳送時間
14.一種使用空間光學(xué)調(diào)制裝置的追蹤方法，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光，其中通過將所述控制信號傳送到所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制、并在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置來進(jìn)行追蹤，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置被分成多個區(qū)塊；以及用于各所述多個區(qū)塊的所述控制信號被并行傳送至所述多個區(qū)塊。
15.一種追蹤設(shè)備，包括空間光學(xué)調(diào)制裝置，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光；用于在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的移動裝置；以及控制裝置，所述控制裝置用于通過將所述控制信號傳送至其、并通過控制所述移動裝置控制所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度使所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件實施所述調(diào)制，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上被分成多個區(qū)塊；以及所述控制裝置包括多個控制信號傳送區(qū)段，各所述控制信號傳送區(qū)段為各所述區(qū)塊而被提供，用以將所述控制信號并行傳送到各所述區(qū)塊。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成通過由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制并控制各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來控制在所述追蹤面上對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各追蹤區(qū)的布置。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成使所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊執(zhí)行。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)互相重疊。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)或所述多個追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向上布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊相對應(yīng)的所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)之間。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制由各所述區(qū)塊獨(dú)立實施的所述調(diào)制的時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得在所述掃描方向上以規(guī)則間隔設(shè)置對應(yīng)于各所述區(qū)塊的各所述追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的追蹤設(shè)備，其中各所述區(qū)塊被進(jìn)一步再分成多個分段；并且所述控制信號被順序傳送到各所述區(qū)塊中的各所述分段，由各所述分段從完成所述控制信號的各傳送時順序?qū)嵤┧稣{(diào)制。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成通過控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來控制在所述追蹤面上與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各分段追蹤區(qū)的布置。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成使所述追蹤首先由設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段執(zhí)行、接著由在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段執(zhí)行。
24.根據(jù)權(quán)利要求22所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)和與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)互相重疊。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得與設(shè)置在上游的所述區(qū)塊或所述多個區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)被設(shè)置在沿所述掃描方向布置在與在所述掃描方向上相對于所述追蹤面設(shè)置在下游的所述區(qū)塊中的所述分段相對應(yīng)的所述分段追蹤區(qū)內(nèi)的追蹤點(diǎn)之間。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的追蹤設(shè)備，其中，所述控制裝置被設(shè)置成控制各所述區(qū)塊中的所述分段中的調(diào)制時序、和/或所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度，使得沿所述掃描方向以規(guī)則間隔設(shè)置與各所述區(qū)塊中的各所述分段相對應(yīng)的各所述分段追蹤區(qū)中的追蹤點(diǎn)。
27.根據(jù)權(quán)利要求21所述的追蹤設(shè)備，其中，各所述區(qū)塊中的所述分段的數(shù)量N滿足以下公式。N＝Tsr/Ttr其中Ttr各分段的調(diào)制時間Tsr控制信號至各分段的傳送時間
28.一種追蹤設(shè)備，包括空間光學(xué)調(diào)制裝置，所述空間光學(xué)調(diào)制裝置由以兩維方式設(shè)置于其上的許多追蹤元件構(gòu)成，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光；用于在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的移動裝置；以及控制裝置，所述控制裝置用于使所述空間光學(xué)調(diào)制裝置的所述追蹤元件通過將所述控制信號傳送至其、并通過控制所述移動裝置控制所述空間光學(xué)調(diào)制裝置在所述掃描方向上的所述相對移動速度來實施所述調(diào)制，其中所述空間光學(xué)調(diào)制裝置被分成多個區(qū)塊；以及所述控制裝置包括多個控制信號傳送區(qū)段，各所述控制信號傳送區(qū)段為各所述區(qū)塊而被提供，用以將所述控制信號并行傳送到各所述區(qū)塊。
全文摘要
一種追蹤方法，其中通過在預(yù)定的掃描方向上相對于追蹤面移動空間光學(xué)調(diào)制裝置來執(zhí)行追蹤操作。空間光學(xué)調(diào)制裝置包括許多追蹤元件，用以根據(jù)依據(jù)追蹤信息傳送的控制信號調(diào)制輸入光。所述方法使空間光學(xué)調(diào)制裝置可快速執(zhí)行所述調(diào)制以減少追蹤時間。特定的調(diào)制裝置被分成多個區(qū)塊A至D，用于各區(qū)塊A至D的控制信號被并行傳送到區(qū)塊。
文檔編號H01L21/027GK101052920SQ20058003533
公開日2007年10月10日 申請日期2005年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月15日
發(fā)明者尾崎多可雄, 岡崎洋二 申請人:富士膠片株式會社