專利名稱:顯示器基板、其制造方法及采用該基板的顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及顯示器基板以及所述顯示器基板的制造方法和具有所述顯示器基板的顯示裝置。更具體來講,本發(fā)明涉及能夠減少由錯位引起的缺陷的顯示器基板和制造所述顯示器基板的方法,以及具有所述顯示器基板的顯示裝置。
背景技術(shù):
諸如移動電話、數(shù)字照相機、筆記本電腦和監(jiān)視器的很多電氣設(shè)備都采用顯示裝置。顯示裝置的例子包括液晶顯示(LCD)裝置、有機光發(fā)射(OLED)裝置等。
LCD裝置和OLED裝置包括用于獨立驅(qū)動每一像素的顯示器基板。所述顯示器基板包括帶有信號布線的絕緣基板和在所述絕緣基板上形成的諸如薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動裝置。
玻璃基板已經(jīng)被用作了常規(guī)絕緣基板。但是,為了降低其重量和厚度可以采用柔性塑料基板作為絕緣基板。
在采用塑料基板作為絕緣基板時,在形成信號布線和TFT的過程中,塑料基板可能發(fā)生變形,從而導(dǎo)致錯位的產(chǎn)生。隨著塑料基板尺寸的增大,在塑料基板的邊緣區(qū)域錯位將變得嚴重。特別地,在結(jié)束TFT有源層的蝕刻過程之后塑料基板發(fā)生收縮,這時,源電極和漏電極不再覆蓋所述有源層,從而導(dǎo)致了“溝道敞開”狀態(tài),使得顯示器基板得不到驅(qū)動。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明,提供了一種能夠降低由錯位引起的缺陷的顯示器基板。
根據(jù)本發(fā)明,還提供了一種制造上述顯示器基板的方法。
根據(jù)本發(fā)明,還提供了一種具有所述顯示器基板的顯示裝置。
在根據(jù)本發(fā)明的一個示范性顯示器基板中,所述顯示器基板包括塑料基板、柵極布線、柵極絕緣層、第一和第二有源層、數(shù)據(jù)布線和漏極布線。在塑料基板上沿第一方向形成柵極布線。所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分和第二柵電極部分。在具有形成于其上的柵極布線的塑料基板上形成柵極絕緣層。在柵極絕緣層的第一和第二部分上形成第一和第二有源層。所述絕緣層的第一和第二部分分別對應(yīng)于第一和第二柵電極部分。在柵極絕緣層上沿不平行于第一方向的第二方向形成所述數(shù)據(jù)布線。所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線。在第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間布置所述漏極布線。所述漏極布線包括在所述第一有源層上形成的第一漏電極部分和包括形成于第二有源層上的第二漏電極部分的第二漏極布線。
優(yōu)選地,形成第一有源層,使得第一有源層的中央與第一源電極部分之間的距離小于第一有源層的中央與第一漏電極部分之間的距離。
此外,形成第二有源層,使得第二有源層的中央與第二源電極部分之間的距離小于第二有源層的中央與第二漏電極部分之間的距離。
在制造根據(jù)本發(fā)明的顯示器基板的示范性方法中,在塑料基板上形成柵極布線。所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分和第二柵電極部分。在具有形成于其上的柵極布線的塑料基板上形成柵極絕緣層。在柵極絕緣層的第一和第二部分上形成第一和第二有源層。所述絕緣層的第一和第二部分分別對應(yīng)于第一和第二柵電極部分。在柵極絕緣層上沿與第一方向交叉的第二方向形成所述數(shù)據(jù)布線。所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線。在第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間形成所述漏極布線。所述漏極布線包括在所述第一有源層上形成的第一漏電極部分和包括形成于第二有源層上的第二漏電極部分的第二漏極布線。
優(yōu)選地,形成第一有源層,使得第一有源層的中央與第一源電極部分之間的距離小于第一有源層的中央與第一漏電極部分之間的距離;形成第二有源層,使得第二有源層的中央與第二源電極部分之間的距離小于第二有源層的中央與第二漏電極部分之間的距離。
在根據(jù)本發(fā)明的示范性顯示裝置中,所述顯示裝置包括第一基板、面對所述第一基板的第二基板和布置在所述第一和第二基板之間的液晶層。
第一基板包括第一塑料基板、柵極布線、柵極絕緣層、第一和第二有源層、數(shù)據(jù)布線和漏極布線。在所述第一塑料基板上沿第一方向形成柵極布線。所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分和第二柵電極部分。在具有形成于其上的柵極布線的塑料基板上形成柵極絕緣層。在柵極絕緣層的第一和第二部分上形成第一和第二有源層。所述絕緣層的第一和第二部分分別對應(yīng)于第一和第二柵電極部分。在柵極絕緣層上沿不平行于第一方向的第二方向形成所述數(shù)據(jù)布線。所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線。在第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間布置所述漏極布線。所述漏極布線包括在所述第一有源層上形成的第一漏電極部分和包括形成于第二有源層上的第二漏電極部分的第二漏極布線。
優(yōu)選地,形成第一有源層,使得第一有源層的中央與第一源電極部分之間的距離小于第一有源層的中央與第一漏電極部分之間的距離;形成第二有源層,使得第二有源層的中央與第二源電極部分之間的距離小于第二有源層的中央與第二漏電極部分之間的距離。
因此,即使由于顯示器基板收縮而在有源層和源極、漏極布線中產(chǎn)生錯位,所述的兩個開關(guān)裝置中的一個也可以保持正常工作。
通過參照附圖,對本發(fā)明的示范性實施例予以詳細說明,本發(fā)明的上述和其他特征和優(yōu)勢會變得更加明顯,其中圖1是說明根據(jù)本發(fā)明示范性實施例的一部分顯示器基板的布局圖;圖2是沿圖1的I-I′線得到的橫截面圖;圖3是說明收縮的一部分顯示器基板的布局圖;圖4是說明圖2中的塑料基板的橫截面圖;圖5到圖8是說明圖1和2中的顯示器基板的制造方法的橫截面圖;及圖9是根據(jù)本發(fā)明示范性實施例的顯示裝置的橫截面圖。
具體實施例方式
應(yīng)當理解的是,在不背離這里所公開的發(fā)明原理的情況下,可以對如下所述的本發(fā)明的示范性實施例進行很多種方式的改變或修改,因此,本發(fā)明的范圍不僅限于下文中這些特定的實施例。相反地,提供這些實施例的目的在于對本說明書進行充分、完整的公開,通過舉例而非限制的方式向本領(lǐng)域技術(shù)人員全面地傳達本發(fā)明的原理。
下面,將參照附圖對本發(fā)明的實施例子以詳細說明。
圖1是根據(jù)本發(fā)明示范性實施例的一部分顯示器基板的布局圖,圖2是沿圖1中的I-I′線得到的橫截面圖。
參照圖1和圖2,根據(jù)本發(fā)明實施例的顯示器基板100包括塑料基板110、柵極布線120、柵極絕緣層130、第一有源層140、第二有源層145、數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160。
塑料基板110具有柔軟的薄膜外形。塑料基板110可以包括光學(xué)透明的合成樹脂。
柵極布線120形成于塑料基板110上。柵極布線120包括柵極線122、第一柵電極部分124和第二柵電極部分126。第一柵電極部分124和第二柵電極部分126電連接至柵極線122。
柵極布線122沿第一方向延伸。第一柵電極部分124電連接至柵極線122,第一柵電極部分124是第一開關(guān)裝置TFT1的元件。第二柵電極部分126電連接至柵極線122,第二柵電極部分126是第二開關(guān)裝置TFT2的元件。
在其上形成了柵極布線120的塑料基板110上形成柵極絕緣層130。柵極絕緣層130包括,例如氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiOx)等。
在柵極絕緣層130的部分之上形成第一有源層140和第二有源層145,所述部分分別對應(yīng)于第一和第二柵電極部分124和126。
第一有源層140包括第一半導(dǎo)體層141和第一歐姆接觸層142。第二有源層145包括第二半導(dǎo)體層146和第二歐姆接觸層147。第一和第二半導(dǎo)體層141和146包括非晶硅(a-Si)。第一和第二歐姆接觸層142和147包括具有n型摻雜劑的非晶硅(n+a-Si)。
在柵極絕緣層130上沿基本上垂直于第一方向的第二方向形成數(shù)據(jù)布線150。數(shù)據(jù)布線150包括對應(yīng)于第一柵電極部分124的第一數(shù)據(jù)線151和對應(yīng)于第二柵電極部分126的第二數(shù)據(jù)線152。第一和第二數(shù)據(jù)線151和152沿第二方向延伸,使得第一和第二數(shù)據(jù)線151和152基本上垂直于沿第一方向延伸的柵極線122。
第一數(shù)據(jù)線151包括布置在第一有源層140上的第一源電極部分153。第一源電極部分153是第一開關(guān)裝置TFT1的元件。第二數(shù)據(jù)線152包括布置在所述第二有源層145上的第二源電極部分154。第二源電極部分154是第二開關(guān)裝置TFT2的元件。
在柵極絕緣層130上形成漏極布線160。在第一和第二數(shù)據(jù)線151和152之間布置漏極布線160。漏極布線160包括第一漏電極部分161和第二漏電極部分162。在第一有源層140上布置第一漏電極部分161,在第二有源層145上布置第二漏電極部分162。
第一漏電極部分161是第一開關(guān)裝置TFT1的元件,第二漏電極部分162是第二開關(guān)裝置TFT2的元件。
第一源電極部分153和第一漏電極部分161在第一有源層140之上間隔一定距離。第一有源層140對應(yīng)于第一開關(guān)裝置TFT1的溝道。第二源電極部分154和第二漏電極部分162在第二有源層145之上間隔一定距離。第二有源層145對應(yīng)于第二開關(guān)裝置TFT2的溝道。
漏極布線160進一步包括與第一和第二漏電極部分161和162電連接的接觸部分163。接觸部分163布置在第一和第二漏電極部分161和162之間。
數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160包括基本上相同的材料。數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160通過相同的工藝形成。
顯示器基板100進一步包括保護層170和像素電極180。保護層170形成于柵極絕緣層130上,柵極絕緣層130具有形成于其上的數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160。保護層170包括暴露漏極布線160的接觸部分163的接觸孔172。
在保護層170上形成像素電極180,使得像素電極180覆蓋漏極布線160的接觸部分163。像素電極180包括光學(xué)透明的導(dǎo)電材料。例如,像素電極180可以包括氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等。
像素電極180通過接觸孔172電連接至漏極布線160的接觸部分163。
盡管在圖中未示出,顯示器基板100可以有選擇地包括布置在保護層170和像素電極180之間的有機層(未示出),從而使顯示器基板100的表面平面化。
根據(jù)本發(fā)明的顯示器基板100采用了柔性塑料基板110。在形成信號布線和開關(guān)裝置的過程中施加的熱量容易使塑料基板110變形。特別地,在用于形成第一和第二有源層140和145的蝕刻過程結(jié)束后,塑料基板110將發(fā)生收縮。由于存在收縮,所以基板110的邊緣部分的錯位量大于中央部分的錯位量。由于在塑料基板110的中央部分上形成的開關(guān)裝置在錯位的影響下無法覆蓋有源層、源電極和漏電極,因此,布置在邊緣部分的開關(guān)裝置的溝道可能敞開。
為了防止開關(guān)裝置的溝道敞開,根據(jù)本發(fā)明的顯示器基板100在每一像素電極處包括兩條數(shù)據(jù)線151和152,以及兩個開關(guān)裝置TFT1和TFT2。
此外,形成第一有源層140,使得第一有源層140的中央與第一源電極部分153之間的距離小于第一有源層140的中央與第一漏電極部分161之間的距離。此外,形成第二有源層145,使得第二有源層145的中央與第二源電極部分154之間的距離小于第二有源層145的中央與第二漏電極部分162之間的距離。
具體來講,在對應(yīng)于第一有源層140的區(qū)域內(nèi),第一源電極部分153和第一漏電極部分161基本上平行,在對應(yīng)于第二有源層145的區(qū)域內(nèi)第二源電極部分154和第二漏電極部分162基本上平行。對布置在像素電極180的左側(cè)的第一有源層140(如圖1所示)進行這樣的布置,使得第一有源層140的中央位于第一源電極部分153和第一漏電極部分161間的中心線的左側(cè)。
對布置在像素電極180的右側(cè)的第二有源層145進行這樣的布置,使得第二有源層145的中央位于第二源電極部分154和第二漏電極部分162之間的中心線的右側(cè)。
圖3是說明收縮的一部分顯示器基板的布局圖。
參照圖3,顯示器基板100的中央部分CA收縮了一個較小的量,使得第一和第二開關(guān)裝置TFT1和TFT2的溝道層沒有敞開。因此,第一和第二開關(guān)裝置TFT1和TFT2都正常工作。
顯示器基板100的左側(cè)部分LA向右收縮了一個較大的量,使得第一和第二有源層140和145向右移動。
形成第一有源層140,使得第一有源層140的中央布置在第一源電極部分153和第一漏電極部分161之間的中心線的左側(cè)。因此,即使第一有源層140相對第一源電極部分153和第一漏電極部分161向右移動,第一有源層140仍然被第一源電極部分153和第一漏電極部分161覆蓋。因此,第一開關(guān)裝置TFT1的第一溝道沒有敞開。相反,形成第二有源層145,使得第二有源層145的中央位于第二源電極部分154和第二漏電極部分162之間的中心線的右側(cè)。因此,當?shù)诙性磳?45向右移動時,第二有源層145不再被第二源電極部分154和第二漏電極部分162覆蓋。因此,第二開關(guān)裝置TFT2的溝道層敞開。
因此,在顯示器基板100的左側(cè)部分LA中,只有布置在像素電極(未示出)左側(cè)的第一開關(guān)裝置TFT1正常工作。
顯示器基板100的右側(cè)部分RA向左收縮了一個較大的量,使得第一和第二有源層140和145向左移動。
形成第一有源層140,使得第一有源層140的中央布置在第一源電極部分153和第一漏電極部分161之間的中心線的左側(cè)。因此,當?shù)谝挥性磳?40向左移動時,第一有源層140不再被第一源電極部分153和第一漏電極部分161覆蓋。因此,第一開關(guān)裝置TFT1的第一溝道敞開。相反,形成第二有源層145,使得第二有源層145的中央位于第二源電極部分154和第二漏電極部分162之間的中心線的右側(cè)。因此,當?shù)诙性磳?45向左移動時,第二有源層145仍然被第二源電極部分154和第二漏電極部分162覆蓋。因此,第二開關(guān)裝置TFT2的溝道層沒有敞開。
因此,在顯示器基板100的右側(cè)部分RA中,只有布置在像素電極(未示出)右側(cè)的第二開關(guān)裝置TFT2正常工作。
如上所述,在塑料基板110收縮時,處于塑料基板110的中央部分CA的第一和第二開關(guān)裝置TFT1和TFT2都正常工作。此外,位于塑料基板110的左側(cè)部分LA和右側(cè)部分RA的第一開關(guān)裝置TFT1和第二開關(guān)裝置TFT2中的一個正常工作。因此,即使在塑料基板110發(fā)生收縮時,第一和第二有源層140和150相對于第一和第二源電極部分153-154,以及第一和第二漏電極部分161-162發(fā)生了錯位,第一和第二開關(guān)裝置TFT1和TFT2中的至少一個也能正常工作。因此,降低了由于溝道敞開缺陷導(dǎo)致的像素不工作的可能性。
圖4是說明圖2中的塑料基板的橫截面圖。
參照圖4,塑料基板110包括基礎(chǔ)基板112、第一阻擋層114和第二阻擋層116。在基礎(chǔ)基板112的上表面形成第一阻擋層114,在基礎(chǔ)基板112的下表面形成第二阻擋層116。
基礎(chǔ)基板112包括諸如聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚酰亞胺(PI)、聚丙烯酸酯(PA)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)等的樹脂。
分別在基礎(chǔ)基板112的上下表面形成第一和第二阻擋層114和116,從而防止水分或氣體向基礎(chǔ)基板112滲透并擴散到基礎(chǔ)基板112中。第一和第二阻擋層114和116包括,例如,丙烯基樹脂。
在下文中,將參照圖5到圖8對根據(jù)本發(fā)明的顯示器基板的制造方法予以說明。
圖5到圖8是說明圖1和圖2中的顯示器基板的制造方法的橫截面圖。
參照圖1和圖4,在塑料基板110上形成第一金屬層(未示出),之后對所述第一金屬層進行構(gòu)圖,以形成包括柵極線122、第一柵電極部分124和第二柵電極部分126的柵極布線120。
柵極布線120沿第一方向延伸。第一和第二柵電極部分124和126分別是第一和第二開關(guān)裝置TFT1和TFT2的元件。
在其上形成了柵極布線120的塑料基板110上形成柵極絕緣層130。柵極絕緣層130包括,例如氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiOx)。
參照圖1和圖6,在柵極絕緣層130上形成用于形成半導(dǎo)體層的a-Si層,在所述a-Si層上形成用于形成所述歐姆接觸層的n+a-Si層。對a-Si層和n+a-Si層進行構(gòu)圖,從而形成分別布置在第一和第二柵電極部分124和126之上的第一和第二有源層140和145。
第一有源層140包括第一半導(dǎo)體層141和第一歐姆接觸層142,第二有源層145包括第二半導(dǎo)體層146和第二歐姆接觸層147。
第一和第二半導(dǎo)體層141和146包括a-Si。第一和第二歐姆接觸層145和147包括n+a-Si。
參照圖1和圖7,在柵極絕緣層130以及第一和第二有源層140和145上形成第二金屬層(未示出),對第二金屬層構(gòu)圖以形成數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160。
數(shù)據(jù)布線150包括第一數(shù)據(jù)線151和第二數(shù)據(jù)線152。第一數(shù)據(jù)線151包括布置在所述第一有源層140上的第一源電極部分153,第二數(shù)據(jù)線152包括布置在第二有源層145上的第二源電極部分154。
第一和第二數(shù)據(jù)線151和152沿基本上垂直于第一方向的第二方向延伸。第一源電極部分153是第一開關(guān)裝置TFT1的元件,第二源電極部分154是第二開關(guān)裝置TFT2的元件。
漏極布線160包括布置在第一有源層140上的第一漏電極部分161、布置在第二有源層145上的第二漏電極部分162和布置在柵極絕緣層130上的接觸部分163。在第一和第二數(shù)據(jù)線151和152之間布置漏極布線160。
第一漏電極部分161是第一開關(guān)裝置TFT1的元件,第二漏電極部分162是第二開關(guān)裝置TFT2的元件。
第一源電極部分153和第一漏電極部分161彼此間隔一定距離。第一源電極部分153和第一漏電極部分161布置在第一有源層140之上,使得電流可通過第一有源層140在第一源電極部分153和第一漏電極部分161間流動。第二源電極部分154和第二漏電極部分162彼此間隔一定距離。第二源電極部分154和第二漏電極部分162布置在第二有源層145之上,使得電流可以通過第二有源層145在第二源電極部分154和第二漏電極部分162之間流動。
接觸部分163布置在第一漏電極部分161和第二漏電極部分162之間。第一漏電極部分161和第二漏電極部分162電連接至接觸部分163。
之后,去除布置在第一源電極部分153和第一漏電極部分161間的第一歐姆接觸層142和布置在第二源電極部分154和第二漏電極部分162間的第二歐姆接觸層147,從而分別暴露第一半導(dǎo)體層141和第二半導(dǎo)體層146。
參照圖1和圖8,在具有形成于其上的數(shù)據(jù)布線150和漏極布線160的柵極絕緣層130上形成保護層170。之后,去除一部分保護層170,以形成接觸孔172,其暴露了漏極布線160的一部分接觸部分163。
再次參照圖1和圖2,在保護層170上形成透明導(dǎo)電層(未示出),并對透明導(dǎo)電層構(gòu)圖,以形成像素電極180。像素電極180包括光學(xué)透明的導(dǎo)電材料。像素電極180包括,例如,氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等。
像素電極180通過在保護層170處形成的接觸孔172電連接至漏極布線160的接觸部分163。
根據(jù)本發(fā)明,形成第一有源層140,使得第一有源層140的中央與第一源電極部分153之間的距離小于第一有源層140的中央與第一漏電極部分161之間的距離;形成第二有源層145,使得第二有源層145的中央與第二源電極部分154之間的距離小于第二有源層145的中央與第二漏電極部分162之間的距離。
具體來講,對布置在像素電極180的左側(cè)的第一有源層140進行這樣的布置,使得第一有源層140的中央位于第一源電極部分153和第一漏電極部分161之間的中心線的左側(cè)。對布置在像素電極180的右側(cè)的第二有源層145進行這樣的布置,使得第二有源層145的中央位于第二源電極部分154和第二漏電極部分162之間的中心線的右側(cè)。
圖9是說明根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的顯示裝置的橫截面圖;本實施例的顯示器基板100與圖2所示的相同。因此,采用與圖2中相同的附圖標記表示相同或相似的部件,因此,省略了對上述元件的進一步說明。
參照圖9,根據(jù)本發(fā)明實例的顯示裝置200包括顯示器基板100;面對所述顯示器基板100的濾色器基板300;以及布置在所述顯示器基板100和濾色器基板300之間的液晶層400。
濾色器基板300包括塑料基板310、濾色器層320和公共電極330。
塑料基板310具有柔軟的薄膜外形。塑料基板310包括,例如,光學(xué)透明樹脂。塑料基板310可以包括,例如聚醚砜(PES)。
在面對顯示器基板100的塑料基板310的一側(cè)形成濾色器層320。濾色器層320包括紅色濾色器、綠色濾色器和藍色濾色器。或者,可以在顯示器基板100上形成濾色器層320。
在濾色器層320上形成公共電極330,使得公共電極330面對顯示器基板100。公共電極330包括光學(xué)透明的導(dǎo)電材料。公共電極330包括,例如,氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等。
液晶層400包括規(guī)則排列的液晶分子。液晶層400在折射率和介電系數(shù)上為各項異性。在將電場施加到液晶層400上時,改變液晶層400的排列,從而通過液晶層400對光透射率進行控制。
根據(jù)所述顯示器基板、所述顯示器基板的制造方法以及具有所述顯示器基板的顯示裝置,每一像素包括兩個數(shù)據(jù)線和兩個開關(guān)裝置。在形成所述的兩個開關(guān)裝置時,對布置在像素電極左側(cè)的第一有源層進行這樣的布置,使得第一有源層的中央位于第一源電極部分和第一漏電極部分之間的中心線的左側(cè)。對布置在所述像素電極右側(cè)的第二有源層進行這樣的布置,使得第二有源層的中央位于第二源電極部分和第二漏電極部分間的中心線的右側(cè)。
因此,即使在顯示器基板收縮時,至少所述的兩個開關(guān)裝置中的一個保持正常工作,從而降低了由錯位引起的像素損壞的可能性。
已經(jīng)對本發(fā)明的示范性實施例及其優(yōu)勢進行了說明,應(yīng)當指出的是,在不背離附加的權(quán)利要求界定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下,可以對所述實施例做出各種改變、替換和修改。
權(quán)利要求
1.一種顯示器基板,其包括塑料基板;在所述塑料基板上形成的柵極絕緣層,所述柵極絕緣層包括第一和第二部分;在所述塑料基板和柵極絕緣層之間沿第一方向形成的柵極布線,所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分、和第二柵電極部分,所述第一柵電極部分與所述柵極絕緣層的第一部分對準,所述第二柵電極部分與所述柵極絕緣層的第二部分對準;形成于所述柵極絕緣層的第一和第二部分上的第一和第二有源層;在所述柵極絕緣層上沿不平行于所述第一方向的第二方向形成的數(shù)據(jù)布線,所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線,和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線;以及布置在所述第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間的漏極布線,所述漏極布線包括形成于第一有源層上的第一漏電極部分,和包括形成于所述第二有源層上的第二漏電極部分的第二漏極布線。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示器基板,其中,形成第一有源層,使得第一有源層的中央與第一源電極部分之間的距離小于第一有源層的中央與第一漏電極部分之間的距離。
3.如權(quán)利要求1所述的顯示器基板,其中,形成第二有源層,使得第二有源層的中央與第二源電極部分之間的距離小于第二有源層的中央與第二漏電極部分之間的距離。
4.如權(quán)利要求1所述的顯示器基板,其進一步包括在具有形成于其上的數(shù)據(jù)布線和漏極布線的柵極絕緣層上形成的保護層;以及在所述保護層上形成的像素電極。
5.如權(quán)利要求4所述的顯示器基板,其中,所述漏極布線進一步包括電連接至所述第一和第二漏電極部分的接觸部分。
6.如權(quán)利要求5所述的顯示器基板,其中,所述接觸部分布置在第一和第二漏電極部分之間。
7.如權(quán)利要求5所述的顯示器基板,其中,所述像素電極通過形成于所述保護層中的接觸孔電連接至所述接觸部分。
8.如權(quán)利要求1所述的顯示器基板,其中,所述塑料基板包括基礎(chǔ)基板;在所述基礎(chǔ)基板的上表面形成的第一阻擋層;以及在所述基礎(chǔ)基板的下表面形成的第二阻擋層。
9.如權(quán)利要求8所述的顯示器基板,其中,所述基礎(chǔ)基板包括從下述材料構(gòu)成的集合中選出的任何一種材料聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亞胺、聚丙烯酸酯、聚萘二甲酸乙二酯和聚對苯二甲酸乙二酯。
10.如權(quán)利要求8所述的顯示器基板,其中,所述第一和第二阻擋層包括丙烯基樹脂。
11.如權(quán)利要求1所述的顯示器基板,其中,所述第一和第二有源層包括包括非晶硅的半導(dǎo)體層;和在所述半導(dǎo)體層上形成的歐姆接觸層,所述歐姆接觸層包括具有n型摻雜劑的非晶硅。
12.一種制造顯示器基板的方法,其包括在塑料基板上形成柵極布線,所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分和第二柵電極部分;在具有形成于其上的所述柵極布線的塑料基板上形成柵極絕緣層;在所述柵極絕緣層的第一和第二部分上形成第一和第二有源層,所述絕緣層的所述第一和第二部分分別對應(yīng)于所述第一和第二柵電極部分;在所述柵極絕緣層上沿不平行于所述第一方向的第二方向形成數(shù)據(jù)布線,所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線,和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線;以及在所述第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間形成漏極布線,所述漏極布線包括形成于第一有源層上的第一漏電極部分,和形成于所述第二有源層上的第二漏電極部分。
13.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,形成所述第一有源層,使得所述第一有源層的中央與所述第一源電極部分之間的距離小于所述第一有源層的中央與所述第一漏電極部分之間的距離;形成所述第二有源層,使得所述第二有源層的中央與所述第二源電極部分之間的距離小于所述第二有源層的中央與所述第二漏電極部分之間的距離。
14.如權(quán)利要求13所述的方法,其進一步包括在具有形成于其上的數(shù)據(jù)布線和漏極布線的柵極絕緣層上形成保護層;以及在所述保護層上形成像素電極。
15.如權(quán)利要求14所述的方法,其中,所述漏極布線進一步包括電連接至所述第一和第二漏電極部分的接觸部分。
16.如權(quán)利要求15所述的方法,其中,所述像素電極通過形成于所述保護層中的接觸孔電連接至所述接觸部分。
17.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,所述數(shù)據(jù)布線和漏極布線由單個金屬層形成。
18.一種顯示裝置,其包括第一基板;面對所述第一基板的第二基板;以及布置在所述第一和第二基板之間的液晶層,其中,所述第一基板包括第一塑料基板;在所述第一塑料基板上形成的柵極絕緣層,所述柵極絕緣層包括第一和第二部分;在所述塑料基板和柵極絕緣層之間沿第一方向形成的柵極布線,所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分、和第二柵電極部分,所述第一柵電極部分與所述柵極絕緣層的第一部分對準,所述第二柵電極部分與所述柵極絕緣層的第二部分對準;形成于所述柵極絕緣層的第一和第二部分上的第一和第二有源層;在所述柵極絕緣層上沿不平行于所述第一方向的第二方向形成的數(shù)據(jù)布線,所述數(shù)據(jù)布線包括具有形成于所述第一有源層上的第一源電極部分的第一數(shù)據(jù)線,和具有形成于所述第二有源層上的第二源電極部分的第二數(shù)據(jù)線;以及布置在所述第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間的漏極布線,所述漏極布線包括形成于第一有源層上的第一漏電極部分,和包括形成于所述第二有源層上的第二漏電極部分的第二漏極布線。
19.如權(quán)利要求18所述的顯示裝置,其中,形成所述第一有源層,使得所述第一有源層的中央與所述第一源電極部分之間的距離小于所述第一有源層的中央與所述第一漏電極部分之間的距離;形成所述第二有源層,使得所述第二有源層的中央與所述第二源電極部分之間的距離小于所述第二有源層的中央與所述第二漏電極部分之間的距離。
20.如權(quán)利要求19所述的顯示裝置,其進一步包括在具有形成于其上的數(shù)據(jù)布線和漏極布線的柵極絕緣層上形成的保護層;以及在所述保護層上形成的像素電極。
21.如權(quán)利要求20所述的顯示裝置,其中,所述漏極布線進一步包括電連接至所述第一和第二漏電極部分的接觸部分,并且所述像素電極通過形成于所述保護層中的接觸孔電連接至所述接觸部分。
22.如權(quán)利要求20所述的顯示裝置,其中,所述第二基板包括第二塑料基板;以及在所述第二塑料基板上形成的公共電極,使得所述公共電極面對所述像素電極。
全文摘要
一種顯示器基板,其包括塑料基板、柵極布線、柵極絕緣層、第一和第二有源層、數(shù)據(jù)布線和漏極布線。所述柵極布線包括柵極線、第一柵電極部分和第二柵電極部分。所述第一和第二有源層形成于所述柵極絕緣層的第一和第二部分上。所述數(shù)據(jù)布線包括的第一數(shù)據(jù)線具有分別形成于所述第一和第二有源層上的第一和第二源電極部分。在第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線之間布置所述漏極布線。所述漏極布線包括分別形成于所述第一和第二有源層上的第一和第二漏電極部分。因此,即使由于顯示器基板收縮而在有源層和源極、漏極布線中產(chǎn)生錯位,所述兩個薄膜晶體管中的一個也可以保持正常工作。還提供了顯示器基板的制造方法和具有該基板的顯示裝置。
文檔編號H01L21/84GK1893089SQ20051012683
公開日2007年1月10日 申請日期2005年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月5日
發(fā)明者徐宗鉉, 洪雯杓, 吳濬鶴 申請人:三星電子株式會社