專利名稱：一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制備激光反射腔的裝置，特別是涉及一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置。
背景技術(shù)：
通常，采用三維或者多維環(huán)繞側(cè)泵浦的半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中，激光全反射腔或漫反射腔的結(jié)構(gòu)是在一個石英玻璃管外加裝金屬或者陶瓷反射腔來實(shí)現(xiàn)。石英玻璃管內(nèi)部安裝激光晶體，激光晶體與石英玻璃管之間充滿流動的冷卻液體，泵浦光在石英玻璃管外對激光晶體進(jìn)行泵浦，泵浦光被加裝在石英玻璃管外的金屬或陶瓷反射腔反射。而金屬或者陶瓷反射腔的加工工藝復(fù)雜，加工效率低，制成的反射腔結(jié)構(gòu)體積大，加長了泵浦半導(dǎo)體激光器(LD)的發(fā)光面和激光晶體之間的距離(而LD與激光晶體間的合適距離是提高抽運(yùn)模塊激光輸出功率的重要條件)，導(dǎo)致抽運(yùn)效率低。另外在已有的側(cè)泵浦半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中，LD的泵浦光第一次經(jīng)過激光晶體后，剩余的泵浦光透過石英管出射到金屬或者陶瓷反射腔上，會使其部件加熱，給激光裝置的散熱造成嚴(yán)重隱患。
因此，采用在圓形石英玻璃管的外表面鍍反射膜的方法，在圓形石英玻璃管外表面保留所需的泵浦光入射窗口，在其余部分鍍?nèi)瓷浠蛘呗瓷淠ぃ梢允辜す獬檫\(yùn)模塊的結(jié)構(gòu)更有利于提高泵浦效率，避免激光反射造成的器件溫度升高。由于采用了在表面精確鍍膜的石英玻璃管，側(cè)泵浦半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的圓形玻璃管或者石英玻璃管內(nèi)壁同時是激光晶體的水冷卻通道，水可以直接把熱量帶走，這樣既能減少其它部件的熱量，還可提高激光器的效率，可獲得大功率激光輸出，從而使側(cè)泵浦半導(dǎo)體激光裝置效率高，體積小。該種激光全反射腔或漫反射腔的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，工藝先進(jìn)，可以使而LD與激光晶體間的距離安裝在恰當(dāng)?shù)木嚯x內(nèi)，激光抽運(yùn)效率高，可以使激光抽運(yùn)模塊的體積小，裝配工藝簡單，使得半導(dǎo)體側(cè)泵浦抽運(yùn)模塊機(jī)構(gòu)小型化、高效化。
但是，電于側(cè)面泵浦抽運(yùn)模塊中所用激光二極管發(fā)光面細(xì)小，照射在圓形玻璃管表面的寬度一般為0.5～1.2mm左右，長度一般在20～100mm之間，并且泵浦光要求入射窗口在圓周上精確分度。而手工操作很難達(dá)到所需的精度，尤其是泵浦光入射窗口的尺寸精度，如果沒有精密的工裝設(shè)備，在鍍膜過程中將難以控制。因此就需要一種裝置，該裝置可以直接在圓形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留所需的LD的泵浦光入射窗口，在其余部分鍍?nèi)瓷浠蛘呗瓷淠ぁ?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在問題，提供一種制備各種采用三維或者多維環(huán)繞側(cè)泵浦半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中激光全反射腔或漫反射腔的裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案如下一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，如圖1所示，包括至少一個遮擋壓片3，壓片的一側(cè)緊靠需要鍍膜的圓形管4；兩個分度定位盤2，用于對所述遮擋壓片進(jìn)行定位，待鍍膜的圓形管4放置在兩個所述分度定位盤2之間；兩個壓片鎖緊構(gòu)件1，用于固定所述遮擋壓片3使其一側(cè)緊靠需要鍍膜的圓形管4的外表面上。
在上述技術(shù)方案中，所述遮擋壓片3的與圓形管4緊靠的一側(cè)面為弧形面31，其曲率與所述圓形管4的外表面相同，可以很好地與所述圓形管4外表面靠緊。
在上述技術(shù)方案中，所述兩個分度定位盤2的四周邊沿上分別對應(yīng)地開有多個用于定位的定位槽21；所述遮擋壓片2的兩個端頭可穩(wěn)固地嵌入兩個對應(yīng)的定位槽21中。
在上述技術(shù)方案中，所述兩個壓片鎖緊構(gòu)件1和兩個分度定位盤2之間通過螺紋旋緊將所述遮擋壓片2固定。
在上述技術(shù)方案中，所述遮擋壓片2的至少一端開有缺口32；所述缺口32可以穩(wěn)固地卡住所述分度定位盤2的定位槽21，使所述遮擋壓片2穩(wěn)定靠緊在圓形管4的外表面。
在上述技術(shù)方案中，所述遮擋壓片2的至少一端的側(cè)面有一斜面33，使得所述壓片鎖緊構(gòu)件1可抵在該斜面上33將所述遮擋壓片2很好地固定，從而使其緊緊靠在圓形管4的外表面。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明裝置可以方便地直接在圓形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留適當(dāng)?shù)谋闷止馊肷浯翱?，在其余部分鍍?nèi)瓷浠蛘呗瓷淠ぃ揖雀?、使用方便?br>

圖1是本發(fā)明的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置的分解圖；圖2(a)是本發(fā)明的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置正視圖；圖2(b)是本發(fā)明的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置側(cè)視圖；圖3(a)表示沿圖2(a)中虛線A-A’的剖面圖；圖3(b)表示圖3(a)中遮擋壓片3的放大圖；圖4表示遮擋壓片3的正視圖。
具體實(shí)施例方式
如圖1所示，本發(fā)明通過把圓形管4安裝在兩個分度定位盤2的中間；根據(jù)需要，可以在分度定位盤2周圍邊沿上精確地加工出所需的定位槽21或其它定位構(gòu)件，將帶有和圓形管4的外圓半徑相同弧度的一組遮擋壓片3通過壓片鎖緊構(gòu)件2緊密夾緊在圓形管4的外表面，就可以將需要保留的激光入射窗口通過該組遮擋壓片3保護(hù)起來；然后可以直接將該裝置連同被固定在其上的圓形管4放入鍍膜區(qū)域，在圓形管4外壁表面其余部分鍍各種所需的金屬反射膜或者激光介質(zhì)膜，形成全反射或者漫反射膜；鍍膜以后拆下該裝置即得到留有入射窗的激光反射腔。
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，如圖1所示，包括三個遮擋壓片3，遮擋壓片3的一側(cè)緊靠需要鍍膜的圓形管4的外表面上；遮擋壓片3的與圓形管4靠緊的側(cè)面的寬度根據(jù)所需泵浦光入射窗口的寬度而定；本實(shí)施例中遮擋壓片3的寬度為1.2mm；遮擋壓片3的長度要大于圓形管4的長度，本實(shí)施例中，圓形管4為石英玻璃管，其長度為41mm，外徑為D7mm；如圖4所示，遮擋壓片3的長度為45mm；遮擋壓片3兩端的兩個缺口32的長度為6.5mm，深度為1.5mm；遮擋壓片3兩端各有一個斜面33，斜面33與壓片縱向的夾角為150°。遮擋壓片3的與圓形管4緊靠的一側(cè)面為弧形面31，其曲率與圓形管4的外表面相同，可以很好地與圓形管4外表面靠緊。
兩個分度定位盤2，用于對所述遮擋壓片3進(jìn)行定位，待鍍膜的圓形管4放置在兩個所述分度定位盤2之間；分度定位盤2的四周邊沿上有六個定位用的等間距的定位槽21；分度定位盤2的外側(cè)面上有螺紋可以與壓片鎖緊構(gòu)件1結(jié)合。
兩個壓片鎖緊構(gòu)件1，用于固定遮擋壓片3使其弧形面31緊靠需要鍍膜的圓形管4的外表面；本實(shí)施例，兩個壓片鎖緊構(gòu)件1為兩個圓環(huán)型的旋鈕，其內(nèi)側(cè)表面有螺紋可以與分度定位盤2結(jié)合。
使用時，將圓形管4放置于三個遮擋壓片3的中間，三個遮擋壓片3的兩個端頭可穩(wěn)固地嵌入兩個對應(yīng)的分度定位盤2的定位槽21中，兩個壓片鎖緊構(gòu)件1通過螺紋旋合于分度定位盤2上，使得壓片鎖緊構(gòu)件1抵在遮擋壓片3的斜面33上，使得遮擋壓片3靠緊圓形管4的外表面。將本裝置連同固定于其上的圓形管4一起放入真空室進(jìn)行鍍膜，鍍膜完成后取出，將該裝置從圓形管4上卸下，即可得到留有泵浦光入射窗口的反射腔。
本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)各種直徑、各種長度的圓形管的外表面分度鍍膜，可以實(shí)現(xiàn)在各種圓形管的外表面包括120度、180度或其他角度的均勻分度或者其他角度的不均勻分度，只需加工不同分度的精密分度定位盤和相應(yīng)的精密遮擋壓片組即可實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，包括至少一個遮擋壓片(3)，壓片的一側(cè)緊靠需要鍍膜的圓形管(4)；兩個用于對所述遮擋壓片(3)進(jìn)行定位的分度定位盤(2)；兩個用于固定所述遮擋壓片(3)的壓片鎖緊構(gòu)件(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述遮擋壓片(3)的一側(cè)面是弧形面(31)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述分度定位盤(2)的四周邊沿上分別對應(yīng)地開有用于定位的定位槽(21)；所述遮擋壓片(2)的兩端穩(wěn)固地嵌入兩個對應(yīng)的定位槽(21)中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述兩個壓片鎖緊構(gòu)件(1)和兩個分度定位盤(2)之間通過螺紋旋緊將所述遮擋壓片(2)固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述遮擋壓片(2)的至少一端的側(cè)面有一斜面(33)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述弧形面(31)的曲率與所述圓形管(4)的外表面相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置，其特征在于，所述遮擋壓片(2)的至少一端開有缺口(32)；所述缺口(32)可以穩(wěn)固地卡住所述分度定位盤(2)的定位槽(21)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制備半導(dǎo)體激光抽運(yùn)模塊中的激光反射腔的裝置。該裝置包括至少一個遮擋壓片，兩個分度定位盤，兩個壓片鎖緊構(gòu)件。本發(fā)明裝置可以方便地直接在圓形玻璃管或者石英玻璃管外壁表面，保留適當(dāng)?shù)谋闷止馊肷浯翱?，在其余部分鍍?nèi)瓷浠蛘呗瓷淠ぃ揖雀?、使用方便?br> 文檔編號H01S5/10GK1893204SQ20051008282
公開日2007年1月10日 申請日期2005年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月8日
發(fā)明者樊仲維, 趙劍波, 郝亮, 裴博 申請人:北京國科世紀(jì)激光技術(shù)有限公司