專利名稱：移送裝置及其控制方法以及真空處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及移送例如半導(dǎo)體晶片等移送對象物的移送裝置，特別是，涉及適于備有一個或多個處理腔的半導(dǎo)體制造裝置等的移送裝置。
背景技術(shù)：
歷來，在半導(dǎo)體制造裝置中，提出了使基板出入于進行各種加工處理的處理腔的移送裝置(例如，參照專利文獻1)。
在這種歷來的移送裝置中，成為分別使同心三軸構(gòu)成的第1臂、第2臂、第3臂獨立地旋轉(zhuǎn)。
而且，各旋轉(zhuǎn)軸由皮帶相對設(shè)在臂旋轉(zhuǎn)用馬達上的減速機連接。
此外，第1從動臂的基端部旋轉(zhuǎn)自如地連接于第1臂的前端部，并且第2從動臂的基端部旋轉(zhuǎn)自如地連接于第2臂的前端部，第1基板支持臺安裝于這些第1和第2從動臂的前端部。
進而，第3從動臂的基端部旋轉(zhuǎn)自如地連接于第3臂的前端部，并且第4從動臂的基端部與上述第2從動臂同心狀地旋轉(zhuǎn)自如地連接于上述第2臂的前端部，第2基板支持臺安裝于這些第2和第4從動臂的前端部。
專利文獻1專利3204115號公報在這種歷來的裝置中，第1、第2基板支持臺同時最接近同心旋轉(zhuǎn)軸而兩個基板支持臺在上下方向上對正的狀態(tài)(能夠旋轉(zhuǎn)狀態(tài))下，兩個基板支持臺關(guān)于通過同心旋轉(zhuǎn)軸的直線位于相互同一側(cè)。
因此，在把尺寸大的基板放在基板支持臺上使之旋轉(zhuǎn)動作的場合，存在著從基板的端部到旋轉(zhuǎn)中心的距離加長，移送裝置的旋轉(zhuǎn)半徑加大這樣的問題。
而且，在把這種旋轉(zhuǎn)半徑加大的移送裝置納入半導(dǎo)體制造裝置的場合，收容移送裝置的中央腔的尺寸加大，半導(dǎo)體制造裝置總體的設(shè)置面積加大。
此外，在像這樣旋轉(zhuǎn)半徑大的歷來裝置中，因為如果使裝置旋轉(zhuǎn)則在基板支持臺上的基板上作用著很大的離心力，故在加快移送裝置的旋轉(zhuǎn)速度的場合存在著在基板支持臺上基板的位置偏離而變得無法移送這樣的問題。
進而，在歷來的裝置中，因為各旋轉(zhuǎn)軸靠皮帶連接于設(shè)在臂旋轉(zhuǎn)用馬達上的減速機，故在因周圍的溫度變化、材料的歷時變化等某種原因皮帶的張力變化的場合有時減速機的旋轉(zhuǎn)力不能正確地傳遞到各旋轉(zhuǎn)軸上，而且有時因臂旋轉(zhuǎn)用馬達的正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)而各旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)中產(chǎn)生滯后。在這種場合，放置于基板支持臺上的基板就變得不能移送到正確的位置。
再有，在歷來的裝置中，各旋轉(zhuǎn)軸、臂旋轉(zhuǎn)用馬達、減速機等構(gòu)成零件多，制造費用高，并且這些構(gòu)成零件中滑動部分多，維護費用也高。
而且，因為在減速機中消耗傳遞力，故作為臂旋轉(zhuǎn)用馬達不得不使用發(fā)生轉(zhuǎn)矩大的馬達，結(jié)果，移送裝置的尺寸加大，并且制造費用提高。
另外，在歷來的裝置中，由于取為靠角度傳感器檢測臂旋轉(zhuǎn)用馬達軸的旋轉(zhuǎn)角度而進行其控制，不是直接檢測各旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度，所以不能確認各旋轉(zhuǎn)軸是否按給予臂旋轉(zhuǎn)用馬達的旋轉(zhuǎn)指令旋轉(zhuǎn)，存在著放置于基板支持臺上的基板不能移送到正確的位置的危險。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮到上述問題而提出的，其目的在于提供一種在支持尺寸大的基板等移送對象物而進行旋轉(zhuǎn)動作的場合旋轉(zhuǎn)半徑不加大，在把移送裝置納入半導(dǎo)體制造裝置等的真空處理裝置的場合裝置總體的設(shè)置面積不加大的移送裝置。
此外，本發(fā)明的目的在于提供一種在加快移送裝置的旋轉(zhuǎn)速度的場合作用于移送對象物的離心力不加大，能夠防止支持部上的移送對象物的位置偏離的移送裝置。
進而，本發(fā)明的目的在于提供一種使旋轉(zhuǎn)用馬達的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力正確地傳遞到移送用臂并且通過正確地檢測旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度能夠把移送部中的移送對象物移送到正確的位置，而且減少構(gòu)成零件數(shù)，維護費用與制造費用廉價的移送裝置。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案1是一種移送裝置，備有第1連桿機構(gòu)，具有能夠以規(guī)定的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第1移送部；第2連桿機構(gòu)，具有用與前述第1連桿機構(gòu)共同的臂來構(gòu)成而能夠以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第2移送部；以及驅(qū)動前述臂的驅(qū)動機構(gòu)，前述第1和第2移送部相互不干涉地分別越過前述同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
本發(fā)明的技術(shù)方案2是在技術(shù)方案1中，前述第1和第2連桿機構(gòu)由在水平方向上動作的平行四連桿機構(gòu)構(gòu)成，備有該第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂的張開角成為180°的、通過死點位置的死點位置通過機構(gòu)。
本發(fā)明的技術(shù)方案3是在技術(shù)方案1或2中，前述驅(qū)動機構(gòu)包括固定于前述第1和第2連桿機構(gòu)的臂上、同心狀地配置的第1～第3驅(qū)動軸，和分別控制該第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動控制部。
本發(fā)明的技術(shù)方案4是在技術(shù)方案1至3的任一項中，還備有使前述第1和第2連桿機構(gòu)向豎直方向移動的豎直移動機構(gòu)。
本發(fā)明的技術(shù)方案5是在技術(shù)方案1至4的任一項中，前述驅(qū)動機構(gòu)包括分別配置于前述第1～第3驅(qū)動軸的規(guī)定的部位上的永久磁鐵，和與前述永久磁鐵對應(yīng)地設(shè)置的電磁定子，基于規(guī)定的信息對前述電磁定子供給驅(qū)動電流。
本發(fā)明的技術(shù)方案6是在技術(shù)方案1至5的任一項中，前述驅(qū)動機構(gòu)包括分別檢測前述第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)角度的角度傳感器，基于在該角度傳感器中所得到的結(jié)果控制前述第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的技術(shù)方案7是控制技術(shù)方案1至6所述的移送裝置的方法，包括以下步驟通過使前述第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向同一方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1和第2移送部以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的技術(shù)方案8是控制技術(shù)方案1至6所述的移送裝置的方法，包括以下步驟通過使前述第1連桿機構(gòu)或第2連桿機構(gòu)中一方的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相互相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，并且使另一方的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相互相同方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1移送部或前述第2移送部中的某一方向通過前述同心旋轉(zhuǎn)軸的方向移動。
本發(fā)明的技術(shù)方案9是控制技術(shù)方案1至6所述的移送裝置的方法，包括以下步驟在分別使前述第1和第2移送部向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動之際，通過分別使前述第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1和第2移送部向朝著前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向移動，在前述第1移送部或第2移送部的某一個到達前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的時刻，通過使包括該到達可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相同方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，并且通過分別使包括未到達前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部向朝著前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向繼續(xù)移動。
本發(fā)明的技術(shù)方案10是一種真空處理裝置，備有具有技術(shù)方案1至6所述的移送裝置的移送室，以及與前述移送室連通，用前述移送裝置交接處理對象地構(gòu)成的真空處理室。
在本發(fā)明的場合，由于是第1移送部與第2移送部相互不干涉地分別越過共同的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動，所以可以把處于第1和第2移送部的移送對象物分別移送到旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸附近(內(nèi)縮位置)。
而且，由于在第1移送部與第2移送部處于這種內(nèi)縮位置的場合，可以使第1移送部與第2移送部在上下方向上重合，所以在內(nèi)縮位置處支持大的移送對象物而旋轉(zhuǎn)的場合，與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以減小旋轉(zhuǎn)半徑，借此可以使移送裝置緊湊。
此外，根據(jù)本發(fā)明，則因為可以把各移送對象物配置于旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸附近，與現(xiàn)有技術(shù)相比，即使加快移送裝置的旋轉(zhuǎn)速度，作用于移送對象物的離心力也不加大，旋轉(zhuǎn)之際不會引起移送部上的移送對象物位置偏離。
另一方面，在本發(fā)明中，由于第1和第2連桿機構(gòu)由在水平方向上動作的平行四連桿機構(gòu)來構(gòu)成，在備有該第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂的張開角成為180°的、通過死點位置的死點位置通過機構(gòu)的場合，此外，在驅(qū)動機構(gòu)包括固定于第1和第2連桿機構(gòu)的臂而同心狀地配置的第1～第3驅(qū)動軸，和分別控制該第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動控制部的場合，可以使驅(qū)動第1和第2移送部的第1和第2連桿機構(gòu)的軌跡成為最小限度，所以可以得到設(shè)置面積更小的移送裝置。
此外，在本發(fā)明中，由于在備有使第1和第2連桿機構(gòu)向豎直方向移動的豎直移動機構(gòu)的場合，可不影響處于處理腔內(nèi)的晶片等移送物交接機構(gòu)(例如升降機構(gòu))的動作時間地使移送物升降，所以可以在短時間內(nèi)進行處理腔內(nèi)的移送對象物的交接，可以縮短裝置總體的移送對象物的更換時間。
進而，由于在第1和第2連桿機構(gòu)的伸縮動作時，可以靠豎直移動機構(gòu)使在上下方向上留出間隔地配置的第1和第2移送部分別一致于移送物的移送線，所以處理腔的開口部高度很小就夠了，因此處理腔的高度降低，可以使裝置緊湊化。
此外，在本發(fā)明中，因為在驅(qū)動機構(gòu)包括分別配置于前述第1～第3驅(qū)動軸的規(guī)定的部位上的永久磁鐵，和對應(yīng)于前述永久磁鐵所設(shè)置的電磁定子，基于規(guī)定的信息對電磁定子供給驅(qū)動電流的場合，通過電磁定子與永久磁鐵的磁性的作用而產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由第1～第3驅(qū)動軸直接正確地傳遞到第1和第2連桿機構(gòu)，故在馬達的正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)時，在旋轉(zhuǎn)中不產(chǎn)生滯后，可以把第1和第2移送部中的移送對象物移送到正確的位置。
而且，根據(jù)本發(fā)明，則由于構(gòu)成零件數(shù)少，所以可以把制造費用抑制得很低，并且由于滑動部少，所以可以把維護費用抑制得很低。進而，不需要減速機等，沒有傳遞力的消耗。由此，因為馬達產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩很小即可，故馬達的尺寸減小，可以把制造費用抑制得很低，并且可以減小移送裝置的尺寸。
此外，在本發(fā)明中，由于在靠角度傳感器分別檢測第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)角度，基于其結(jié)果控制前述第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)的場合，可以直接確認各旋轉(zhuǎn)軸是否按給予馬達的旋轉(zhuǎn)指令旋轉(zhuǎn)，所以可以把第1和第2移送部中的移送對象物移送到正確的位置。
在本發(fā)明中，通過使第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向同一方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使第1和第2移送部以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。
此外，通過使第1連桿機構(gòu)或第2連桿機構(gòu)中一方的連桿機構(gòu)的一對臂以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，并且使另一方的連桿機構(gòu)的一對臂以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相同的方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使第1移送部或第2移送部的任何一方向通過同心旋轉(zhuǎn)軸的直線的方向移動。
而且，通過組合這種動作，可以在一方的移送部處于內(nèi)縮位置的狀態(tài)下，使另一方的移送部在一個方向上伸縮，此外，在第1和第2移送部同時處于該內(nèi)縮位置的狀態(tài)下，使第1和第2連桿機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
這樣一來，根據(jù)本發(fā)明，則可以把放置于一方的移送部的移送對象物移動到移送目的地，用另一方的移送部把它與移送目的地的移送對象物交換，謀求移送對象物的更換時間的縮短化成為可能。
此外，在本發(fā)明中，如果在分別使第1和第2移送部在可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動之際，通過分別使第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使第1和第2移送部向朝著可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向移動，在第1移送部或第2移送部中的某一個到達可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的時刻，通過使包括該到達可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向同一方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，并且通過包括使未到達可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂分別以同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部向朝著可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向繼續(xù)移動，則第1和第2連桿機構(gòu)的可動部分不會碰撞于移送裝置周邊的結(jié)構(gòu)物，可以使各自移動到內(nèi)縮位置。
而且，根據(jù)備有本發(fā)明的移送裝置的真空處理裝置，則處理對象物可順利且迅速地出入于處理室，有助于其處理能力的提高。
此外，本發(fā)明的移送裝置由于旋轉(zhuǎn)半徑小，所以可以使加工半導(dǎo)體晶片或液晶顯示板等的半導(dǎo)體制造裝置緊湊化。
根據(jù)本發(fā)明，則即使在支持尺寸大的基板等移送對象物使之旋轉(zhuǎn)的場合，旋轉(zhuǎn)半徑也不加大，在把移送裝置納入半導(dǎo)體制造裝置等的真空處理裝置的場合可以減小裝置總體的設(shè)置面積。
此外，根據(jù)本發(fā)明，則在加快移送裝置的旋轉(zhuǎn)速度的場合，作用于移送對象物的離心力不加大，在支持部上沒有移送對象物的位置偏離。
進而，根據(jù)本發(fā)明，則可以通過正確地傳遞旋轉(zhuǎn)用馬達的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力并且正確地檢測旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度，可以把移送部中的移送對象物移送到正確的位置，而且，可以削減構(gòu)成零件的數(shù)目，并且降低維護費用與制造費用。


圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的移送裝置的基本構(gòu)成的俯視圖。
圖2是表示該移送裝置的基本構(gòu)成的縱剖視圖。
圖3是表示該實施方式的移送裝置的具體的構(gòu)成的俯視圖。
圖4是表示該移送裝置的構(gòu)成的縱剖視圖。
圖5(a)(b)是表示該移送裝置的死點位置通過機構(gòu)的動作的說明圖。
圖6(a)～(c)是表示該移送裝置的動作的說明圖(之一)。
圖7(d)～(f)是表示該移送裝置的動作的說明圖(之二)。
圖8(g)～(i)是表示該移送裝置的動作的說明圖(之三)。
圖9(a)～(c)是表示該移送裝置中使第1和第2連桿從可旋轉(zhuǎn)區(qū)域外向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動的方法的說明圖(之一)。
圖10(d)(e)是表示該移送裝置中使第1和第2連桿從可旋轉(zhuǎn)區(qū)域外向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動的方法的說明圖(之二)。
圖11是表示本發(fā)明的第2實施方式的移送裝置的構(gòu)成的俯視圖。
圖12是表示該移送裝置的構(gòu)成的縱剖視圖。
圖13(a)(b)是表示該移送裝置的死點位置通過機構(gòu)的動作的說明圖。
圖14是概略地表示備有根據(jù)本發(fā)明的移送裝置的真空處理裝置的實施方式的構(gòu)成的俯視圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。
圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的移送裝置的基本構(gòu)成的俯視圖，圖2是表示該移送裝置的基本構(gòu)成的縱剖視圖。
如圖1和圖2中所示，本實施方式的移送裝置1包括分別從中心側(cè)同心狀地豎立設(shè)置的第1驅(qū)動軸1a、第2驅(qū)動軸1b和第3驅(qū)動軸1c，對這些第1～第3驅(qū)動軸1a～1c，分別傳遞后述的驅(qū)動機構(gòu)6的旋轉(zhuǎn)動力，各自的旋轉(zhuǎn)被控制。
在第1驅(qū)動軸1a的上端部、第2驅(qū)動軸1b的上端部、第3驅(qū)動軸1c的上端部上分別以水平狀態(tài)安裝固定著第1臂2、第2臂3、第3臂4。
再者，第1～第3驅(qū)動軸1a～1c靠后述的豎直移動機構(gòu)11可以在豎直方向上移動。
在本實施方式中，設(shè)有以下說明的可動臂總成14。
也就是說，在本實施方式的可動臂總成14中，從動臂2a在水平面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)地連接于直線狀地延伸的第1臂2的前端部，并且從動臂4a在水平面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)地連接于直線狀地延伸的第3臂4的前端部，進而這些從動臂2a與從動臂4a的前端部相對支軸8a能夠相互同心狀地旋轉(zhuǎn)地連接。
在這種場合，從動臂2a、4a用例如未畫出的軸承安裝設(shè)在各自的基端部的旋轉(zhuǎn)軸7a、7b，此外，從動臂2a與從動臂4a的前端部相對支軸8a用例如未畫出的軸承安裝。
在支軸8a上固定支持臺9a，在這種支持臺9a上，支持臺9a始終對伸縮移動方向保持平行的姿勢地，安裝著例如特開2002～200584號公報中所示的公知的姿勢控制機構(gòu)13a。
在這種支持臺9a上，安裝著用來放置作為移送物的例如晶片的第1托架(第1移送部)10a。
這樣一來，在本實施方式中，由第1臂2、第3臂4、從動臂2a、從動臂4a構(gòu)成平行四連桿結(jié)構(gòu)的第1連桿(第1連桿機構(gòu))12a。
再者，在這種第1連桿12a上，越過第1臂2與第3臂4的張開角180°的狀態(tài)(以下稱為死點位置)，支持臺9a與第1托架10a設(shè)有用來通過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)中心軸上的后述的第1死點位置通過機構(gòu)5a。
另一方面，第2臂3設(shè)置比它長的水平腕部30a與在豎直方向上延伸的垂直腕部30b而形成大致コ字形，以便上述第1臂2和從動臂2a不接觸(干涉)，進而在從動臂2a的上方的位置處在第2臂3的返回部30c上在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)地連接著從動臂3a。
此外，在上述從動臂4a的基端部處，直線狀地延伸的從動臂4b與第1臂2和支持臺9a不接觸地在其上方處在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)地連接著，進而這種從動臂4b與上述從動臂3a的前端部相對支軸8a能夠相互同心狀地旋轉(zhuǎn)地連接。
這里，從動臂3a、4b用例如未畫出的軸承安裝設(shè)在各自的基端部的旋轉(zhuǎn)軸7c、7d。
此外，從動臂4a的旋轉(zhuǎn)軸7b的中心與從動臂4b的旋轉(zhuǎn)軸7d的中心一致地定位。
進而，從動臂3a與從動臂4b的前端部的連接也是采用了例如未畫出的軸承。
支持臺9b固定于支軸8b上，在這種支持臺9b上，為了使支持臺9b始終保持平行于伸縮移動方向的姿勢地，安裝著上述特開2002-200584公報中所示的公知的姿勢控制機構(gòu)13b。
在這種支持臺9b上安裝著用來放置作為移送物的例如晶片的第2托架10b。
這樣一來，在本實施方式中，由第2臂3、第3臂4、從動臂3a、從動臂4b構(gòu)成具有位于上述第1托架10a的上方的第2托架10b的平行四連桿結(jié)構(gòu)的第2連桿(第2連桿機構(gòu))12b。
而且，這些第1和第2連桿12a、12b雖然共同用第3臂4，但是通過上述的構(gòu)成，在各自的第1和第2托架10a、10b的移動之際相互不接觸(干涉)。
此外，在第2連桿12b上，設(shè)有越過第2臂3與第3臂4的張開角180°的狀態(tài)，支持臺9b與第2托架10b用來通過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)中心線的后述的第2死點位置通過機構(gòu)5b。
再者，在本實施方式中，第1臂2、第2臂3、第3臂4、從動臂2a、從動臂3a、從動臂4a、從動臂4b的臂長(旋轉(zhuǎn)軸間的長度)取為全都成為同一的。
圖3是表示本實施方式的移送裝置的具體構(gòu)成的俯視圖，圖4是表示該移送裝置的構(gòu)成的縱剖視圖，圖5(a)(b)是表示該移送裝置的死點位置通過機構(gòu)的動作的說明圖。
如圖4中所示，本實施方式的移送裝置1是上述可動臂總成14配置于真空槽20內(nèi)的底部，第1～第3驅(qū)動軸1a～1c收容于設(shè)在真空槽20下方的主體部15內(nèi)。
這里，主體部15具有安裝于真空槽20的下部的安裝法蘭37，在這種安裝法蘭37的下部，氣密地安裝著能夠伸縮的蛇腹狀的波紋管36的一端部，在這種波紋管36的另一端部上氣密地安裝著殼體61，進而在殼體61的下部固定著外殼62a、62b、62c。
此外，在安裝法蘭37上，向豎直方向安裝幾根例如線性導(dǎo)向器之類兼作導(dǎo)軌的支柱38，殼體61與外殼62a、62b、62c靠例如線性套筒之類滑動機構(gòu)39沿著支柱38升降地構(gòu)成。
在支柱38的下端部安裝著支持基板40。而且，靠設(shè)在支持基板40的規(guī)定位置的直動用馬達51的驅(qū)動力，安裝于外殼62a上的滾珠絲杠螺母5 3的滾珠絲杠52旋轉(zhuǎn)而使主體部15升降。
另一方面，在第1驅(qū)動軸1a與第2驅(qū)動軸1b之間，第2驅(qū)動軸1b與第3驅(qū)動軸1c之間，第3驅(qū)動軸與殼體61之間，分別配置著相互間氣密地滑動自如地連接用的，例如由磁性流體、O形圈、威爾遜密封等組成的軸封機構(gòu)63a、63b、63c。
接下來，就旋轉(zhuǎn)控制第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的驅(qū)動機構(gòu)6，和使第1和第2連桿12a、12b向豎直方向移動用的豎直移動機構(gòu)11進行說明。
本實施方式的驅(qū)動機構(gòu)6與豎直移動機構(gòu)11具有以下的構(gòu)成。
如圖4中所示，在第1、第2、第3驅(qū)動軸1a、1b、1c的下端部，分別安裝著永久磁鐵32a、32b、32c和檢測各驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)角度用的傳感器標板33a、33b、33c。
這些永久磁鐵32a、32b、32c分別由單體或多個磁性體來構(gòu)成。
此外，傳感器標板33a、33b、33c宜用圓盤形狀或圓筒形狀，跨越其全圓周形成賦予后述的檢測器35a、35b、35c以磁場變化之類例如凹凸部分，或者，形成賦予光學(xué)的變化之類例如窄縫狀的圖形。
另一方面，在外殼62a、62b、62c的內(nèi)壁上，在與上述永久磁鐵32a、32b、32c磁性上結(jié)合的最佳的位置上安裝電磁線圈34a、34b、34c。
這里，電磁線圈34a、34b、34c構(gòu)成為基于來自控制指令裝置54的旋轉(zhuǎn)指令從旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)55供給規(guī)定的電流。
此外，在外殼62a、62b、62c的內(nèi)壁上，在對傳感器標板33a、33b、33c最佳的位置上，分別安裝著檢測器35a、35b、35c。
而且，構(gòu)成為將由檢測器35a、35b、35c檢測的第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)角度的信息反饋到旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)55，正確地控制第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)。
在具有這種構(gòu)成的本實施方式中，如圖4中所示，如果由控制指令裝置54向旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)55發(fā)出旋轉(zhuǎn)指令，則由旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)55向電磁線圈34a、34b、34c供給電流，力作用于磁性上結(jié)合的永久磁鐵32a、32b、32c，第1～第3驅(qū)動軸1a～1c旋轉(zhuǎn)。
此時，由于在第1～第3驅(qū)動軸1a～1c旋轉(zhuǎn)的同時傳感器標板33a、33b、33c也旋轉(zhuǎn)，所以將由檢測器36a、36b、36c檢測的各驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)角度的信息反饋到旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)55，借此控制第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)。
此外，在使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c向豎直方向動作的場合，通過使直動用馬達51動作，隨著波紋管36的伸縮，使殼體61與外殼62a、62b、62c沿著支柱38升降。
此時，由于第1～第3驅(qū)動軸1a～1c與殼體61一起升降，所以安裝于第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的可動臂總成14的豎直方向的位置變化。
接下來，就圖2所示的死點位置通過機構(gòu)5a、5b的構(gòu)成進行說明。
如圖3和圖4中所示，在本實施方式中，第1驅(qū)動皮帶輪21a固定于上述第1驅(qū)動軸1a，并且在固定于從動臂4a的基端部的中空的旋轉(zhuǎn)軸17的下端部第1從動皮帶輪21b與中空的旋轉(zhuǎn)軸17使中心線一致地固定，中空的旋轉(zhuǎn)軸17構(gòu)成為繞著旋轉(zhuǎn)軸7d旋轉(zhuǎn)。進而，在這些第1驅(qū)動皮帶輪21a與第1從動皮帶輪21b之間繞掛著皮帶22a。
而且，由這些第1驅(qū)動皮帶輪21a、第1從動皮帶輪21b、皮帶22a，來構(gòu)成使第1臂2與第3臂4的張開角越過180°，使支持臺9a與第1托架10a通過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸上用的第1死點位置通過機構(gòu)5a。
另一方面，第2驅(qū)動皮帶輪21c固定于第2驅(qū)動軸1b的上端部，并且第2從動皮帶輪21d使中心線一致于從動臂4d的旋轉(zhuǎn)軸7d地固定，在這些第2驅(qū)動皮帶輪21c與第2從動皮帶輪21d之間繞掛著皮帶22b。
而且，由這些第2驅(qū)動皮帶輪21c、第2從動皮帶輪21d、皮帶22b，來構(gòu)成使第2臂3與第3臂4的張開角越過180°的狀態(tài)，使支持臺9b與第2托架10b通過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c旋轉(zhuǎn)中心線上用的第2死點位置通過機構(gòu)5b。
再者，在本實施方式的場合，第1死點位置通過機構(gòu)5a的第1驅(qū)動皮帶輪21a與第1從動皮帶輪21b的直徑相同，此外，第2死點位置通過機構(gòu)5b的第2驅(qū)動皮帶輪21c與第2從動皮帶輪21d的直徑相同。
此外，也可以把第1驅(qū)動皮帶輪21a、第1從動皮帶輪21b、第2驅(qū)動皮帶輪21c、第2驅(qū)動皮帶輪21d所有的直徑取為相同。
下面，就本實施方式中的死點位置通過機構(gòu)的動作，用圖5(a)(b)進行說明。
再者，在圖5(a)(b)中，為了說明的方便起見，分別表示第1連桿12a與第2連桿12b。
首先，以處于內(nèi)縮位置的第1連桿12a通過死點位置移動到外伸位置的場合為例說明第1死點位置通過機構(gòu)5a的動作。
如果使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c在相互相反方向上轉(zhuǎn)動同一角度(在圖5(a)中，使第1驅(qū)動軸1a(第1臂2)CW(順時針方向)旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CCW(逆時針方向)旋轉(zhuǎn))，則在第1臂2與第3臂4的張開角成為180°的時刻，第1連桿12a成為死點位置狀態(tài)。
這里，如果使第1驅(qū)動軸1a在CW方向上旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度θ，則對第1驅(qū)動軸1a成為同心地安裝的第1驅(qū)動皮帶輪21a也在CW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ。
與此并行地，由于第3驅(qū)動軸1c在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，所以從第3臂4看的第1驅(qū)動皮帶輪21a的相對的旋轉(zhuǎn)在CW方向上角度成為兩倍的2θ。
由于這種第1驅(qū)動皮帶輪21a的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由皮帶22a向第1從動皮帶輪21b傳遞，所以第1從動皮帶輪21b也相對第3臂4在CW方向上相對旋轉(zhuǎn)角度2θ。
這樣一來，如果使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c旋轉(zhuǎn)，則第1從動皮帶輪21b也旋轉(zhuǎn)，由于從動臂4a相對第3臂4旋轉(zhuǎn)，所以第1連桿12a脫出死點位置狀態(tài)，第1托架10a和支持臺9a就越過第1、第2、第3驅(qū)動軸1a、1b、1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
再者，使處于外伸位置的第1連桿12a通過死點位置回到內(nèi)縮位置時，在完全相反的方向上進行上面說明的動作。
接下來，以處于內(nèi)縮位置的第2連桿12b通過死點位置移動到外伸位置的場合為例說明第2死點位置通過機構(gòu)5b的動作。
如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c在相互相反方向上轉(zhuǎn)動同一角度(在圖5(b)中，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)沿CW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)沿CCW方向旋轉(zhuǎn))，則在第2臂3與第3臂4的張開角成為180°的時刻，第2連桿12b成為死點位置狀態(tài)。
這里，如果使第2驅(qū)動軸1b在CW方向上旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度θ，則相對第2驅(qū)動軸1b同心地安裝的第2驅(qū)動皮帶輪21c也在CW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ。
與此并行地，由于第3驅(qū)動軸1c在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，所以從第3臂4看的第2驅(qū)動皮帶輪21c的相對的旋轉(zhuǎn)在CW方向上角度成為兩倍的2θ。
因為這種第2驅(qū)動皮帶輪21c的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由皮帶22b向第2從動皮帶輪21d傳遞，所以第2從動皮帶輪21d也相對第3臂4在CW方向上相對旋轉(zhuǎn)角度2θ。
這樣一來，如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c旋轉(zhuǎn)，則第2從動皮帶輪21d也旋轉(zhuǎn)，由于從動臂4b相對第3臂4旋轉(zhuǎn)，所以第2連桿12b脫出死點位置狀態(tài)，第2托架10b和支持臺9b就越過第1、第2、第3驅(qū)動軸1a、1b、1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
再者，使處于外伸位置的第2連桿12b通過死點位置回到內(nèi)縮位置時，在完全相反的方向上進行上面說明的動作。
接下來，用圖6～圖8，就本實施方式的移送裝置的動作，以把處于半導(dǎo)體制造裝置的處理腔(未畫出)內(nèi)的處理過的晶片B與未處理晶片A更換的場合為例進行說明。
這里，考慮在第2托架10b上有未處理晶片A，在第1托架10a上沒有晶片的狀態(tài)。
如圖6(a)中所示，首先，把第1和第2連桿12a、12b置于內(nèi)縮位置狀態(tài)。此時，第1和第2連桿10a、10b在上下方向上對置，并且晶片A處于第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近的位置。
在這種狀態(tài)下，如果使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c同時向同一方向旋轉(zhuǎn)同一角度，則由于第1～3臂2～4的相對位置沒有變化，所以可動臂總成14總體以保持內(nèi)縮的狀態(tài)以第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)。結(jié)果，可以使兩個托架10a、10b與處于處理腔內(nèi)的處理過的晶片B對正(圖6(a))。
再者，雖然本來可動臂總成14處于內(nèi)縮位置狀態(tài)時，第1連桿12a與第2連桿12b成為重合的狀態(tài)，但是為了說明的方便起見，在圖中稍微錯開地表示。
接著，雖然如果使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c向相互相反方向旋轉(zhuǎn)同一角度(在圖6(a)中，使第1驅(qū)動軸1a(第1臂2)CW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CCW方向旋轉(zhuǎn))，則第1連桿12a成為死點位置狀態(tài)(圖6(b))，但是通過上述第1死點位置通過機構(gòu)5a的作用第1連桿12a脫出死點位置狀態(tài)，第1托架10a和支持臺9a越過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動。
進而如果使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第1托架10a到達外伸位置(圖6(c))。
在這種狀態(tài)下，由于第1托架10a位于處理過的晶片B的下方側(cè)，所以使豎直移動機構(gòu)11動作，使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c向豎直上方移動而使包括第1連桿12a在內(nèi)的可動臂總成14總體向上移動，由第1托架10a接受處理過的晶片B。
接著，雖然如果為了使處于外伸位置的第1托架10a回到內(nèi)縮位置，與先前的動作相反使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c在相互相反方向上旋轉(zhuǎn)同一角度(在圖6(c)中，使第1驅(qū)動軸1a CCW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c CW方向旋轉(zhuǎn))，則第1連桿12a再次成為死點位置狀態(tài)(圖7(d))，但是通過第1死點位置通過機構(gòu)5a的作用第1連桿12a脫出死點位置狀態(tài)，第1托架10a和支持臺9a越過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動。
進而如果使第1、第3驅(qū)動軸1a、1c繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第1托架10a回到第1連桿12a的內(nèi)縮位置(圖7(e))。
在這種狀態(tài)下，第1和第2托架10a、10b在上下方向上正對。而且兩晶片A、B也以在上下方向上正對的狀態(tài)位于第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近。
再者，如果與至此為止的第1、第3驅(qū)動軸1a、1c的上述一系列的動作并行地，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)向與第3驅(qū)動軸1c同一方向旋轉(zhuǎn)同一角度，則由于第2連桿12b保持內(nèi)縮位置狀態(tài)而以第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)(圖6(b)～圖7(e))，所以第2托架10b上的晶片A不移動而在第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近旋轉(zhuǎn)，不會碰撞到移送裝置周邊的結(jié)構(gòu)物。
接著，雖然如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c在相互相反方向上旋轉(zhuǎn)同一角度(在圖7(e)中，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)CW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CCW方向旋轉(zhuǎn))，則第2連桿12b成為死點位置狀態(tài)(圖7(f))，但是通過第2死點位置通過機構(gòu)5b的作用第2連桿12b脫出死點位置狀態(tài)，第2托架10b和支持臺9b越過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動。
進而如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第2托架10b與晶片A到達第2連桿12b的外伸位置(圖8(g))。
在這種狀態(tài)下，使豎直移動機構(gòu)11動作，使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c豎直向下移動而使第2托架10b上的未處理晶片A向未畫出的處理裝置交接。
接著，雖然如果為了使處于外伸位置的第2托架10b回到內(nèi)縮位置，與先前的動作相反，使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c在相互相反方向上旋轉(zhuǎn)同一角度(在圖8(g)中，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)CCW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CW方向旋轉(zhuǎn))，則第2連桿12b再次成為死點位置狀態(tài)(圖8(h))，但是通過第2死點位置通過機構(gòu)5b的作用第2連桿12b脫出死點位置狀態(tài)，第2托架10b和支持臺9b越過第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動。
進而如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第2托架10b回到內(nèi)縮位置(圖8(f))。
在這種狀態(tài)下，第1和第2托架10a、10b在上下方向上對正，此外晶片B處于第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近的位置。
再者，由于如果與至此為止的第2、第3驅(qū)動軸1b、1c的上述一系列的動作并行地，使第1驅(qū)動軸1a(第1臂2)向與第3驅(qū)動軸1c同一方向旋轉(zhuǎn)同一角度，則第1連桿12a保持內(nèi)縮位置狀態(tài)而以第1～第3驅(qū)動軸1a～1c為中心旋轉(zhuǎn)(圖7(f)～圖8(i))，所以第1托架10a上的晶片B不移動地在第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近旋轉(zhuǎn)，不會碰撞移送裝置周邊的結(jié)構(gòu)物。
這樣一來，可以效率高地在短時間內(nèi)把處于半導(dǎo)體制造裝置的處理腔內(nèi)的處理過的晶片B與未處理晶片A更換。
接下來，就使第1連桿12a與第2連桿12b分別從可旋轉(zhuǎn)區(qū)域外向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動的方法用圖9和圖10進行說明。
這種動作在剛剛起動移送裝置1后，分別把第1連桿12a與第2連桿12b置于其內(nèi)縮位置狀態(tài)(例如圖6(a)中所示的狀態(tài))的場合等中是必要的。
在圖9(a)～(c)和圖10(a)(b)中，用單點劃線所示的圓表示例如半導(dǎo)體制造裝置的真空隔壁的位置，第1連桿12a與第2連桿12b在位于這種圓內(nèi)時成為能夠旋轉(zhuǎn)。
這里，如圖9(a)中所示，考慮在剛剛起動移送裝置1后，第1連桿12a與第2連桿12b的一部分位于上述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域外的場合。
在這種場合，首先，在圖9(a)中，使第1驅(qū)動軸1a(第1臂2)CW方向旋轉(zhuǎn)，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)CCW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CCW方向旋轉(zhuǎn)同一角度。
借此，支持臺9a與第1托架10a沿著成為關(guān)于第1連桿12a線對稱的對稱軸的直線16a后退，支持臺9b與第2托架10b沿著成為關(guān)于第2連桿12b線對稱的對稱軸的直線16b后退。
然后，如果使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c照原樣向同一方向繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第2連桿12b通過第2死點位置通過機構(gòu)5b的作用而通過死點位置(圖9(b))，到達可旋轉(zhuǎn)的內(nèi)縮位置(圖9(c))。
進而，在第2連桿12b到達能夠旋轉(zhuǎn)的內(nèi)縮位置的時刻，把第2驅(qū)動軸1b的旋轉(zhuǎn)方向從CCW方向切換成CW方向，分別使第1驅(qū)動軸1a CW方向旋轉(zhuǎn)，使第2驅(qū)動軸1b CW方向旋轉(zhuǎn)，使第3驅(qū)動軸1cC CW方向旋轉(zhuǎn)同一角度。
借此，雖然由于第1連桿12a通過第1死點位置通過機構(gòu)5a的作用而通過死點位置，所以支持臺9a與第1托架10a繼續(xù)沿著直線16a后退，但是由于第1驅(qū)動軸1a與第2驅(qū)動軸1b向同一方向轉(zhuǎn)動同一角度，所以第2托架12b保持內(nèi)縮位置狀態(tài)而以第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)(圖10(d))。
進而，如果使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c照原樣繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，則第1連桿12a到達內(nèi)縮位置狀態(tài)(圖10(e))。在這種狀態(tài)下，第1和第2托架10a、10b在上下方向上對正。
通過進行這種動作，可以使第1連桿12a與第2連桿12b分別從可旋轉(zhuǎn)區(qū)域外向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動。
再者，在第1連桿12a與第2連桿12b的位置關(guān)系與圖9(a)相反的場合也是，與前述的動作同樣地使第1～第3驅(qū)動軸1a～1c旋轉(zhuǎn)就可以了。
如以上所述，根據(jù)本實施方式，則由于可以使處于第1和第2托架10a、10b上的晶片等移動到第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的同心旋轉(zhuǎn)軸附近，所以即使是在內(nèi)縮位置處支持大的晶片等而旋轉(zhuǎn)的場合，與現(xiàn)有技術(shù)相比也可以減小旋轉(zhuǎn)半徑，借此可以謀求裝置的緊湊化。
此外根據(jù)本實施方式，則與現(xiàn)有技術(shù)相比，即使加快移送裝置1的旋轉(zhuǎn)速度，作用于晶片等的離心力也不加大，在旋轉(zhuǎn)之際第1和第2托架10a、10b上的晶片等不引起位置偏離。
此外，根據(jù)本實施方式，則因為因電磁線圈34a～34c與永久磁鐵32a～32c的磁性的作用而發(fā)生的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由第1～第3驅(qū)動軸1a～1c直接正確地傳遞到第1和第2連桿12a、12b，故在馬達的正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)中，在旋轉(zhuǎn)中不產(chǎn)生滯后，可以把第1和第2托架10a、10b上的晶片等移送到正確的位置。
此外，在本實施方式中，因為反饋由檢測部35a、35b、35c檢測的第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)角度的信息而控制第1～第3驅(qū)動軸1a～1c的旋轉(zhuǎn)，所以可以把第1和第2托架10a、10b上的晶片等移送到正確的位置。
而且，根據(jù)本實施方式，則由于構(gòu)成零件少，所以可以把制造費用抑制得很低，并且由于滑動部少，所以可以把維護費用抑制得很低。進而，不需要減速機等，沒有傳遞力的消耗，由此，因為用馬達的發(fā)生轉(zhuǎn)矩小者就足夠了，故馬達的尺寸減小，可以把制造費用抑制得很低，并且可以減小移送裝置1的尺寸。
圖11是表示本發(fā)明的第2實施方式的移送裝置的構(gòu)成的俯視圖，圖12是表示該移送裝置的構(gòu)成的縱剖視圖，圖13(a)(b)是表示該移送裝置的死點位置通過機構(gòu)的動作的說明圖。以下，針對與上述實施方式對應(yīng)的部分賦予同一標號而省略其詳細說明。
如圖11中所示，本實施方式的移送裝置1A取為第2連桿12b的臂長比第1連桿12a的臂長要長。
在本實施方式中，構(gòu)成為第1～第3臂2～4當(dāng)中，第2臂3與第3臂4的長度比第1臂2要長，進而，對應(yīng)的各從動臂3a、4b的長度為比從動臂2a、4a要長。
而且，在靠第2驅(qū)動軸1b所驅(qū)動的第2臂3的中腹部分，從動臂4a以設(shè)在其基端部的旋轉(zhuǎn)軸7b為中心在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)。進而，這種從動臂2a與從動臂4a與上述實施方式同樣，各自的前端部相對支持臺9a的支軸8a連接成能夠相互同心狀地旋轉(zhuǎn)，借此構(gòu)成第1連桿12a。
另一方面，就第2連桿12b而言，具有與上述實施方式的場合同一的基本構(gòu)成。
也就是說，在第2臂3的前端部上連接成從動臂4b以設(shè)在其基端部的旋轉(zhuǎn)軸7b為中心在水平面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)，并且在第3臂4的前端部連接成從動臂3a以設(shè)在其基端部的旋轉(zhuǎn)軸7c為中心在水平面內(nèi)能夠旋轉(zhuǎn)，進而這些從動臂4b與從動臂3a的前端部連接成對支持臺9b的支軸8b能夠相互同心狀地旋轉(zhuǎn)。
在這種場合，把第2臂3與第3臂4的長度設(shè)定成與第1連桿12a不接觸(干涉)，并且加長旋轉(zhuǎn)軸7c、7d的長度，成為從動臂3a、4b位于支持臺9a的上方的構(gòu)成。
而且，在支持臺9b上安裝上述第2托架10b，借此，與第1托架10a相互不干涉地構(gòu)成包括位于其上方的第2托架10b的第2連桿12b。
進而，在本實施方式的場合，驅(qū)動皮帶輪25固定于第2驅(qū)動軸1b上，并且使中心線一致于從動臂2a的旋轉(zhuǎn)軸7a地固定第1從動皮帶輪21b，在這些驅(qū)動皮帶輪25與第1從動皮帶輪21b之間繞掛著皮帶22a。
而且，由這些驅(qū)動皮帶輪25、第1從動皮帶輪21b、皮帶22a，構(gòu)成上述同樣的第1死點位置通過機構(gòu)5a。
此外，使中心線一致于從動臂3a的旋轉(zhuǎn)軸7c地固定第2從動皮帶輪21d，在這種第2從動皮帶輪21d與上述驅(qū)動皮帶輪25之間繞掛著皮帶22b，由這些驅(qū)動皮帶輪25、第2從動皮帶輪21d、皮帶22b，構(gòu)成上述同樣的第2死點位置通過機構(gòu)5b。
首先，以處于內(nèi)縮位置的第1連桿12a通過死點位置而移動到外伸位置的場合為例說明第1死點位置通過機構(gòu)5a的動作。
如果使第1、第2驅(qū)動軸1a、1b在相互相反方向上轉(zhuǎn)動同一角度(在圖13(a)中，使第1驅(qū)動軸1a(第1臂2)CW方向旋轉(zhuǎn)，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)CCW方向旋轉(zhuǎn))，則在第1臂2與第2臂3的張開角成為180°的時刻，第1連桿12a成為死點位置狀態(tài)。
這里，如果使第2驅(qū)動軸1b在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，則對第2驅(qū)動軸1b成為同心地安裝的驅(qū)動皮帶輪25也在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ。
與此并行地，由于第1驅(qū)動軸1a在CW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，所以從第1臂2看的驅(qū)動皮帶輪25的相對的旋轉(zhuǎn)在CCW方向上角度成為兩倍的2θ。
由于這種驅(qū)動皮帶輪25的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由皮帶22a向第1從動皮帶輪21b傳遞，所以第1從動皮帶輪21b也相對第1臂2在CCW方向上相對旋轉(zhuǎn)角度2θ。
這樣一來，如果使第1、第2驅(qū)動軸1a、1b旋轉(zhuǎn)，則第1從動皮帶輪21b也旋轉(zhuǎn)，由于從動臂2a相對第1臂2旋轉(zhuǎn)，所以第1連桿12a脫出死點位置狀態(tài)，第1托架10a和支持臺9a就越過第1、第2、第3驅(qū)動軸1a、1b、1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
再者，使處于外伸位置的第1連桿12a通過死點位置回到內(nèi)縮位置時，在完全相反的方向上進行上面說明的動作。
接下來，以處于內(nèi)縮位置的第2連桿12b通過死點位置移動到外伸位置的場合為例說明第2死點位置通過機構(gòu)5b的動作。
如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c在相互相反方向上轉(zhuǎn)動同一角度(在圖13(b)中，使第3驅(qū)動軸1c(第3臂4)CW方向旋轉(zhuǎn)，使第2驅(qū)動軸1b(第2臂3)CCW方向旋轉(zhuǎn))，則在第2臂3與第3臂4的張開角成為180°的時刻，第2連桿12b成為死點位置狀態(tài)。
這里，如果使第2驅(qū)動軸1b在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，則相對第2驅(qū)動軸1b同心地安裝的驅(qū)動皮帶輪25也在CCW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ。
與此并行地，由于第3驅(qū)動軸1c在CW方向上旋轉(zhuǎn)角度θ，所以從第3臂4看的驅(qū)動皮帶輪25的相對的旋轉(zhuǎn)在CCW方向角度成為兩倍的2θ。
因為這種驅(qū)動皮帶輪25的旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)由皮帶22b向第2從動皮帶輪21d傳遞，所以第2從動皮帶輪21d也相對第3臂4在CCW方向上相對旋轉(zhuǎn)角度2θ。
這樣一來，如果使第2、第3驅(qū)動軸1b、1c旋轉(zhuǎn)，則第2從動皮帶輪21d也旋轉(zhuǎn)，由于從動臂3a相對第3臂4旋轉(zhuǎn)，所以第2連桿12b脫出死點位置狀態(tài)，第2托架10b和支持臺9b就越過第1、第2、第3驅(qū)動軸1a、1b、1c共同的同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
再者，使處于外伸位置的第2連桿12b通過死點位置回到內(nèi)縮位置時，在完全相反的方向上進行上面說明的動作。
根據(jù)具有這種構(gòu)成的本實施方式，則除了與上述實施方式同樣的效果外，由于第1從動皮帶輪21b所安裝的旋轉(zhuǎn)軸7c與第2從動皮帶輪21d所安裝的旋轉(zhuǎn)軸7a與上述實施方式不同而成為獨立結(jié)構(gòu)，所以組裝作業(yè)是簡單的，存在著組裝作業(yè)時間縮短這樣的優(yōu)點。由于就其他的構(gòu)成和作用效果而言與上述實施方式是同一的，所以省略其詳細說明。
圖14是概略地表示備有根據(jù)本發(fā)明的移送裝置的真空處理裝置的實施方式的構(gòu)成的俯視圖。
如圖14中所示，在作為本發(fā)明的真空處理裝置之一例的半導(dǎo)體制造裝置40中，在上述移送裝置1所設(shè)置的移送腔41的周圍，配置著三個能夠并列加工處理的處理腔42、43、44，用來移入晶片的移入腔45，以及用來移出晶片的移出腔46。
這些處理腔42～44，移入腔45，移出腔46連接于未畫出的真空排氣系統(tǒng)上，分別在與移送腔41之間設(shè)有隔離閥42a～46a。
由上述移送裝置1取出收容于移入腔45的未處理晶片50a，保持它而移送到例如處理腔42。
此時，移送裝置1通過進行上述動作，從處理腔42收取處理過的晶片50b，把它向另一個例如處理腔43移送。
以下同樣地，用移送裝置1在處理腔42～44、移入腔45、移出腔46間，進行未處理晶片50a和處理過的晶片50b的交接。
根據(jù)具有這種構(gòu)成的本實施方式，則可以提供裝置總體的設(shè)置面積小的半導(dǎo)體制造裝置。
再者，本發(fā)明不限于上述實施方式，可以進行種種的變更。
例如，雖然在上述實施方式中，作為第1和第2連桿機構(gòu)，用由平行四連桿結(jié)構(gòu)組成的，但是本發(fā)明不限于此，也可采用其他連桿機構(gòu)。
但是，從旋轉(zhuǎn)半徑的小直徑化和零件數(shù)的消減的觀點來說，最好是用由上述平行四連桿結(jié)構(gòu)組成的。
進而，雖然在上述實施方式的死點位置通過機構(gòu)中，使用皮帶輪與皮帶，但是也可以代替皮帶而使用齒輪，此外也可使用鏈條與鏈輪。
權(quán)利要求
1.一種移送裝置，備有第1連桿機構(gòu)，具有能夠以規(guī)定的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第1移送部；第2連桿機構(gòu)，具有用與前述第1連桿機構(gòu)共同的臂來構(gòu)成而能夠以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第2移送部；驅(qū)動前述臂的驅(qū)動機構(gòu)，前述第1和第2移送部相互不干涉地分別越過前述同心旋轉(zhuǎn)軸移動。
2.權(quán)利要求1所述的移送裝置，前述第1和第2連桿機構(gòu)由在水平方向上動作的平行四連桿機構(gòu)構(gòu)成，備有該第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂的張開角成為180°的、通過死點位置的死點位置通過機構(gòu)。
3.權(quán)利要求1所述的移送裝置，前述驅(qū)動機構(gòu)包括固定于前述第1和第2連桿機構(gòu)的臂上、同心狀地配置的第1～第3驅(qū)動軸，和分別控制該第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動控制部。
4.權(quán)利要求1所述的移送裝置，還備有使前述第1和第2連桿機構(gòu)向豎直方向移動的豎直移動機構(gòu)。
5.權(quán)利要求1所述的移送裝置，前述驅(qū)動機構(gòu)包括分別配置于前述第1～第3驅(qū)動軸的規(guī)定的部位上的永久磁鐵，和與前述永久磁鐵對應(yīng)地設(shè)置的電磁定子，基于規(guī)定的信息對前述電磁定于供給驅(qū)動電流。
6.權(quán)利要求1所述的移送裝置，前述驅(qū)動機構(gòu)包括分別檢測前述第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)角度的角度傳感器，基于在該角度傳感器中所得到的結(jié)果控制前述第1～第3驅(qū)動軸的旋轉(zhuǎn)。
7.一種控制移送裝置的方法，前述移送裝置備有第1連桿機構(gòu)，具有能夠以規(guī)定的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第1移送部；第2連桿機構(gòu)，具有用與前述第1連桿機構(gòu)共同的臂來構(gòu)成而能夠以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中而旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第2移送部；驅(qū)動前述臂的驅(qū)動機構(gòu)，前述第1和第2移送部相互不干涉地分別越過前述同心旋轉(zhuǎn)軸移動，該方法包括以下步驟通過使前述第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向同一方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1和第2移送部以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。
8.權(quán)利要求7所述的控制移送裝置的方法，包括以下步驟通過使前述第1連桿機構(gòu)或第2連桿機構(gòu)中一方的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相互相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，并且使另一方的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相互相同方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1移送部或前述第2移送部中的某一方向通過前述同心旋轉(zhuǎn)軸的方向移動。
9.權(quán)利要求7所述的控制移送裝置的方法，包括以下步驟在分別使前述第1和第2移送部向可旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)移動之際，通過分別使前述第1和第2連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使前述第1和第2移送部向朝著前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向移動，在前述第1移送部或第2移送部的某一個到達前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的時刻，通過使包括該到達可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相同方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，并且通過分別使包括未到達前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的移送部的連桿機構(gòu)的一對臂以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中心向相反方向旋轉(zhuǎn)相等角度，使該移送部向朝著前述可旋轉(zhuǎn)區(qū)域的方向繼續(xù)移動。
10.一種真空處理裝置，備有移送裝置，該移送裝置備有第1連桿機構(gòu)，第2連桿機構(gòu)，和驅(qū)動機構(gòu)，所述第1連桿機構(gòu)具有能夠以規(guī)定的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第1移送部，所述第2連桿機構(gòu)具有用與前述第1連桿機構(gòu)共同的臂來構(gòu)成而能夠以前述同心旋轉(zhuǎn)軸為中而旋轉(zhuǎn)的一對臂，并設(shè)有用來對移送對象物進行移送的第2移送部，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動前述臂，前述第1和第2移送部相互不干涉地分別越過前述同心旋轉(zhuǎn)軸移動，具有前述移送裝置的移送室，以及與前述移送室連通，用前述移送裝置交接處理對象的真空處理室。
全文摘要
提供一種在支持尺寸大的基板等移送對象物而進行旋轉(zhuǎn)動作的場合旋轉(zhuǎn)半徑不加大，在把移送裝置納入半導(dǎo)體制造裝置等的真空處理裝置的場合裝置總體的設(shè)置面積不加大的移送裝置。本發(fā)明的移送裝置(1)包括第1和第2連桿(12a、12b)。第1連桿(12a)包括能夠以同軸狀地設(shè)置的第1～第3驅(qū)動軸(1a～1c)為中心旋轉(zhuǎn)的第1和第3臂(2、4)，移送第1托架(10a)。第2連桿(12b)包括能夠以第1～第3驅(qū)動軸(1a～1c)的同心旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的第2和第3臂(3、4)，移送第2托架(10b)。第1和第2連桿(12a、12b)構(gòu)成為第1和第2托架(10a、10b)互不干涉地分別越過第1～第3驅(qū)動軸(1a～1c)的同心旋轉(zhuǎn)軸而移動。
文檔編號H01L21/67GK1676285SQ20051006263
公開日2005年10月5日 申請日期2005年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月2日
發(fā)明者南展史, 吾鄉(xiāng)健二, 川口崇文, 小池土志夫, 湯山純平 申請人:株式會社愛發(fā)科