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半導(dǎo)體裝置及其制造方法、電路基板以及電子設(shè)備的制作方法

文檔序號:6834284閱讀:122來源:國知局
專利名稱:半導(dǎo)體裝置及其制造方法、電路基板以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置及其制造方法、電路基板以及電子設(shè)備背景技術(shù)眾所周知有在半導(dǎo)體封裝上搭載具有密封部的其它半導(dǎo)體封裝的半導(dǎo)體裝置。并且,也周知通過在半導(dǎo)體封裝之間設(shè)置的導(dǎo)電部,可實現(xiàn)兩個半導(dǎo)體封裝之間的電導(dǎo)通。這時,如果能減緩施加在該導(dǎo)電部的力,將可以提高半導(dǎo)體裝置的可靠性。
專利文獻1特開平6-13541號公報。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可靠性高的半導(dǎo)體裝置及其制造方法、電路基板以及電子設(shè)備。
(1)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;只是在所述第1基板的角部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第1半導(dǎo)體封裝的第1基板的角部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以可靠性高并且樹脂使用量少的半導(dǎo)體裝置。
(2)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;只是在所述第2基板的角部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第2半導(dǎo)體封裝的第2基板的角部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以可靠性高并且樹脂使用量少的半導(dǎo)體裝置。
(3)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;所述第2基板的外形是長方形;僅在所述第2基板的短邊的端部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第2半導(dǎo)體封裝的第2基板的短邊端部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以可靠性高并且樹脂使用量少的半導(dǎo)體裝置。
(4)在該半導(dǎo)體裝置中,也可以是在所述第1半導(dǎo)體封裝上,搭載兩個以上的所述第2半導(dǎo)體封裝。
(5)有關(guān)本發(fā)明的電路基板,安裝有上述半導(dǎo)體裝置。
(6)有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備,具有上述半導(dǎo)體裝置。
(7)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第1基板的角部的各個所述第1焊盤和與其分別相面對的各個所述第2焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第1基板的角部之外的區(qū)域的各個所述第1焊盤和與其分別相面對的各個所述第2焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第1基板的角部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第1半導(dǎo)體封裝的第1基板的角部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以采用最低限量的樹脂制造可靠性高的半導(dǎo)體裝置。
(8)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第2基板的角部的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第2基板的角部之外的區(qū)域的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第2基板的角部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第2半導(dǎo)體封裝的第2基板的角部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以采用最低限量的樹脂制造可靠性高的半導(dǎo)體裝置。
(9)有關(guān)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤且外形成長方形的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第2基板的短邊的端部的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第2基板的短邊的端部之外的區(qū)域的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第2基板的短邊的端部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
根據(jù)本發(fā)明,只是在第2半導(dǎo)體封裝的第2基板的短邊端部,用樹脂覆蓋焊錫。也就是說,只對應(yīng)力容易集中的焊錫用樹脂覆蓋。為此,可以采用最低限量的樹脂制造可靠性高的半導(dǎo)體裝置。
(10)在該半導(dǎo)體裝置的制造方法中,也可以是在1個所述第1半導(dǎo)體封裝上搭載2個以上的所述第2半導(dǎo)體封裝。


圖1(A)以及圖1(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置圖。
圖2(A)以及圖2(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置圖。
圖3(A)~圖3(C)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置圖。
圖4表示安裝適用了本發(fā)明的有關(guān)實施方式的半導(dǎo)體裝置的電路基板圖。
圖5(A)以及圖5(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式變形例的半導(dǎo)體裝置圖。
圖6是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法圖。
圖7(A)以及圖7(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法圖。
圖8(A)以及圖8(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第2實施方式的半導(dǎo)體裝置圖。
圖9(A)以及圖9(B)是用于說明適用了本發(fā)明的有關(guān)第2實施方式的半導(dǎo)體裝置圖。
圖10表示具有適用了本發(fā)明的有關(guān)實施方式的半導(dǎo)體裝置的電子設(shè)備圖。
圖11表示具有適用了本發(fā)明的有關(guān)實施方式的半導(dǎo)體裝置的電子設(shè)備圖。
圖中10-第1基板;12-第1焊盤;20-第1半導(dǎo)體芯片;30-第2基板;32-第2焊盤;40-第2半導(dǎo)體芯片;50-密封部;60-焊錫;70-樹脂;100-第1半導(dǎo)體封裝;200-第2半導(dǎo)體封裝。
具體實施例方式
下面,參照附圖對適用了本發(fā)明的實施方式進行說明。但是,本發(fā)明并不限定于以下的實施方式。
(第1實施方式)圖1(A)~圖4是用于對適用了本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置進行說明的圖。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置包括第1半導(dǎo)體封裝100。下面,對第1半導(dǎo)體封裝100進行說明。還有,圖1(A)和圖1(B)是用于說明第1半導(dǎo)體封裝100的圖。這里,圖1(A)是第1半導(dǎo)體封裝100的平面圖,圖1(B)是圖1(A)的IB-IB線截面的放大圖。
第1半導(dǎo)體封裝100具有第1基板10。對第1基板10的材料沒有特別限定,可以是有機類(比如環(huán)氧樹脂基板),無機類(比如陶瓷基板、玻璃基板),或者,這些材料的復(fù)合結(jié)構(gòu)(比如玻璃環(huán)氧樹脂基板)。第1基板10可以是剛性基板,這時,也可以將第1基板10稱作插入件?;蛘?,第1基板10也可以是聚酯基板和聚酰亞胺基板等柔軟性基板。第1基板10也可以是COF(Chip On Film)用的基板和TAB(Tape AutomatedBonding)用的基板。另外,第1基板10可以是由單層構(gòu)成的單層基板,也可以是具有層疊的多層的層疊基板。因此,對第1基板10的形狀和厚度也沒有特別限定。
第1基板10具有多個第1焊盤12。第1焊盤12,比如,也可以用銅(Cu)和鋁(Al)形成薄且平的形狀。另外,第1焊盤12的平面形狀也沒有特別限定,比如可以是圓形(參照圖1(A)),或者也可以是矩形(圖中沒有畫出)。如圖1(A)和圖1(B)所示,第1焊盤12也可以避開搭載第1半導(dǎo)體芯片20的區(qū)域進行配置。另外,第1基板10也可以具有焊盤14(參照圖1(B))。焊盤14是用于與后述的第1半導(dǎo)體芯片20電連接的焊盤。焊盤14,也可以被放置在第1基板10的形成了第1焊盤12的面上。焊盤14,也可以被放置在搭載第1半導(dǎo)體芯片20的區(qū)域中。第1基板10,也可以進一步具有焊盤15(參照圖1(B))。在焊盤15中,設(shè)置后述的外部端子18,用于與母板等電連接。焊盤15可以被設(shè)置在第1基板10中的形成了第1焊盤12相反一側(cè)的面上。
第1半導(dǎo)體封裝100,如圖1(A)和圖1(B)所示,具有第1半導(dǎo)體芯片20。第1半導(dǎo)體芯片20具有包括晶體管和存儲器元件等的集成電路22。另外第1半導(dǎo)體芯片20具有電極24。這時,電極24與第1半導(dǎo)體芯片20的內(nèi)部電連接。第1半導(dǎo)體芯片20,倒裝在第1基板10上。具體地說,第1半導(dǎo)體芯片20,如圖1(B)所示,按照形成集成電路22的面(有源面)與第1基板10相對的樣子被搭載。第1半導(dǎo)體芯片20被安裝在第1基板10上的形成了第1焊盤12的面上。并且,電極24和焊盤14相面對并電連接。如圖1(A)和圖1(B)所示,第1半導(dǎo)體芯片20也可以由樹脂部26固定在第1基板10上。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置包括第2半導(dǎo)體封裝200。下面,對第2半導(dǎo)體封裝200進行說明。圖2(A)和圖2(B)是用于說明第2半導(dǎo)體封裝200的圖。這里,圖2(A)是第2半導(dǎo)體封裝200的平面圖。圖2(B)是圖2(A)的IIB-IIB橫截面放大圖。
第2半導(dǎo)體封裝200具有第2基板30。對第2基板30的材料或者結(jié)構(gòu)也沒有特別限定,可以應(yīng)用任何關(guān)于第1基板10所說明的內(nèi)容。
第2基板30具有多個第2焊盤32。第2焊盤32的材料以及形狀也可以應(yīng)用關(guān)于第1焊盤12所說明的任意一項內(nèi)容。第2焊盤32,在把第2半導(dǎo)體封裝200搭載到第1半導(dǎo)體封裝100上時,按與第1半導(dǎo)體芯片20不重疊的樣子放置(參照圖3(B))。換句話說,第2焊盤32,配置在在第2基板30上避開與第1半導(dǎo)體芯片20重疊的區(qū)域。另外,第2基板30進一步具有焊盤34。焊盤34是用于與后述的第2半導(dǎo)體芯片40電連接的焊盤。焊盤34,也可以在第2基板30的形成第2焊盤32相反一側(cè)的面上形成。
第2半導(dǎo)體封裝200具有第2半導(dǎo)體芯片40。第2半導(dǎo)體芯片40也可以具有集成電路42。另外第2半導(dǎo)體芯片40也可以具有電極44。這時,電極44也可以與第2半導(dǎo)體芯片40的內(nèi)部電連接。第2半導(dǎo)體芯片40被搭載在第2基板30上于形成了第2焊盤32的面相反一側(cè)面上。也就是說,第2半導(dǎo)體芯片40也可以被搭載在第2基板30上的形成了焊盤34的面上。第2半導(dǎo)體芯片40,比如,也可以面朝上焊接在第2基板30上。也就是說,如圖2(B)所示,第2半導(dǎo)體芯片40,也可以被搭載在與形成了集成電路42的面(有源面)相反的面上并與第2基板30相對。而且,第2半導(dǎo)體芯片40的電極44和第2基板30的焊盤34也可以通過電線46電連接。但是,這里對第2半導(dǎo)體芯片40的安裝方式?jīng)]有限定。另外,一個第2半導(dǎo)體封裝200也可以有多個第2半導(dǎo)體芯片40。這時,第2半導(dǎo)體芯片40也可以被層疊(圖中沒有表示)。
第2半導(dǎo)體封裝200具有密封部50(參照圖2(B))。密封部50在第2基板30上安裝了第2半導(dǎo)體芯片40一側(cè)形成。因此,密封部50將第2半導(dǎo)體芯片40密封。密封部50也可以進一步密封焊盤34以及電線46。
在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,第2半導(dǎo)體封裝200,被搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上(參照圖3(A)~圖3(C))。第2半導(dǎo)體封裝200,按照與第1半導(dǎo)體芯片20重疊的樣子被搭載(參照圖3(B))。因此,第2半導(dǎo)體封裝200被搭載成第1焊盤12和第2焊盤32相面對(參照圖3(B)以及圖3(C))。還有,圖3(A)~圖3(C)表示有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置1。這里,圖3(A)是半導(dǎo)體裝置1的平面圖。但是,為了簡單起見,省略了焊盤(具體地說,焊盤12、14、15、32、34)以及半導(dǎo)體芯片(第1以及第2半導(dǎo)體芯片20、40)。并且,圖3(B)是圖3(A)的IIIB-IIIB線截面的放大圖,圖3(C)是圖3(A)的IIIC-IIIC線截面的放大圖。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,如圖3(A)~圖3(C)所示,包括多個焊錫60。焊錫60設(shè)置在第1以及第2基板10、30之間。因此,通過各個焊錫60,將各個第1焊盤12和各個第2焊盤32電連接。
在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,僅在第1基板10的角部用樹脂70覆蓋每個焊錫60(參照圖3(A)以及圖3(B))。如上所述,有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,形成將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上的結(jié)構(gòu)。并且,第2半導(dǎo)體封裝200形成有密封部50的結(jié)構(gòu),而第1半導(dǎo)體封裝100形成沒有密封部的結(jié)構(gòu)。在形成這種結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置中,由于密封部50等的影響,導(dǎo)致第1基板10和第2基板30的膨脹率不同。因此由于上述原因,力被施加在第1焊盤12和第2焊盤32之間設(shè)置的焊錫60上。特別在第1基板10的角部附近,很大的力被施加在焊錫60上。然而,有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,僅在第1基板10的角部,將每個焊錫60用樹脂70覆蓋。這樣,可以只對應(yīng)力容易集中的區(qū)域加固焊錫60,采用最低限量的樹脂70就可以提高半導(dǎo)體裝置的可靠性。因此,以低廉的價格能夠制造可靠性高的半導(dǎo)體裝置。另外,在有關(guān)本發(fā)明方式的半導(dǎo)體裝置中,由于通過樹脂70能夠防止第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200的位置偏差,因此能夠提供可靠性高的半導(dǎo)體裝置。還有,在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,如圖3(A)所示,用樹脂70覆蓋的焊錫60也可以在第1基板10的每個角部設(shè)置多個(在圖3(A)中各3個)。但是,與其不同,用樹脂70覆蓋的焊錫60,也可以在第1基板10的每個角部只設(shè)置1個(沒圖示)。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,如圖3(B)以及圖3(C)所示,也可以具有外部端子18。外部端子18,也可以被設(shè)置在第1基板10的焊盤15上。并且,圖4表示安裝了適用本發(fā)明的有關(guān)實施方式的半導(dǎo)體裝置1的電路基板1000。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置1成為上述結(jié)構(gòu)。然而,適用本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置并不限定于此,可以有各種變形例。比如,如圖5(A)以及圖5(B)所示,在一個第1半導(dǎo)體封裝100上,也可以搭載兩個以上的第2半導(dǎo)體封裝200。這樣也可以得到同樣的效果,所以能夠提供具有多個半導(dǎo)體芯片且可靠性高的半導(dǎo)體裝置。另外,圖5(A)是適用本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的變形例的半導(dǎo)體裝置的平面圖。另外,圖5(B)是圖5(A)的VB-VB線截面的放大圖。
下面,對有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法進行說明。圖6~圖7(B)是用于對適用本發(fā)明的有關(guān)第1實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法進行說明的圖。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括預(yù)備第1半導(dǎo)體封裝100以及第2半導(dǎo)體封裝200的步驟。第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200的結(jié)構(gòu)如同上述說明。第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200也可以應(yīng)用公知的任意一種方法形成。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上的步驟(參照圖7(A)以及圖7(B))。如圖6所示,也可以在第1半導(dǎo)體封裝100的第1焊盤12上設(shè)置膏料62、64。詳細講,也可以在配置于第1基板10的角部的每個第1焊盤12上設(shè)置膏料62。還有,在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法中,如圖6所示,也可以在配置于第1基板10的每個角部的多個第1焊盤12設(shè)置膏料62(在圖6表示的例子中為3個)?;蛘?,也可以只在配置于第1基板10的每個角部的1個第1焊盤12設(shè)置膏料62(沒圖示)。這里,膏料62含有熱固化性樹脂。進一步膏料62也可以含有焊錫。另外,也可以在配置于第1基板10的角部以外的區(qū)域的每個第1焊盤12上設(shè)置膏料64。這里,膏料64是不含有熱固化樹脂的膏料。膏料64,比如也可以是焊錫膏料。另外,膏料62、64,進一步也可以包含焊劑。而且,也可以在第2半導(dǎo)體封裝200的每個第2焊盤32上設(shè)置焊錫球66。在這之后,將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上。圖7(A)以及圖7(B)表示第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200的層疊狀態(tài)的橫截面圖。如圖7(A)所示,將第2半導(dǎo)體封裝200按照第1半導(dǎo)體芯片20與第2半導(dǎo)體封裝200重疊的樣子搭載。而且,如圖7(B)所示,將第2半導(dǎo)體封裝200按照第1焊盤12與第2焊盤32相面對的樣子搭載。
此外,將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上的方法并不限定于此。也就是說,也可以根據(jù)下述任意一種方法將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上在配置于第1基板10角部的每個第1焊盤12、和與該焊盤相對的每個第2焊盤32之間設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂;或者,在配置于第1基板10角部以外區(qū)域的每個第1焊盤12、和與該焊錫相對的每個第2焊盤32之間設(shè)置焊錫。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括加熱焊錫以及熱固化樹脂的步驟。比如,如圖7(A)以及圖7(B)所示,也可以在將第1半導(dǎo)體封裝100和第2半導(dǎo)體封裝200層疊的狀態(tài)下,加熱焊錫球66以及膏料62、64。通過加熱焊錫球66將其熔化,形成將各個第1焊盤12與各個第2焊盤32電連接的導(dǎo)電部(焊錫60)。還有,在膏料62、64含有焊錫時,也可以讓這些焊錫熔化而形成導(dǎo)電部(焊錫60)。并且,通過加熱在膏料62中所含的熱固化性樹脂,使其固化的同時讓其向外側(cè)移動,這樣形成覆蓋配置在第1基板10的角部的多個導(dǎo)電部(焊錫60)中的每一個的樹脂70。
而且,經(jīng)過設(shè)置外部端子的工序、和檢查工序等,也可以制造半導(dǎo)體裝置1(參照圖3(A)~圖3(C))。還有,也可以將兩個以上的第2半導(dǎo)體封裝200搭載在一個第1半導(dǎo)體封裝100上,由此也可以制造有關(guān)本實施方式變形例的半導(dǎo)體裝置(參照圖5(A)以及圖5(B))。
(第2實施方式)圖8(A)以及圖8(B)是用于對適用本發(fā)明的有關(guān)第2實施方式的半導(dǎo)體裝置進行說明的圖。還有,在本實施方式中,在可能的范圍內(nèi)也可以適用已經(jīng)說明的內(nèi)容。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,包括第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200以及焊錫60。對于這些內(nèi)容也可以適用已經(jīng)說明的內(nèi)容的任一個。將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上。有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,如圖8(A)以及圖8(B)所示,也可以將2個第2半導(dǎo)體封裝200搭載在1個第1半導(dǎo)體封裝100上?;蛘?,也可以將一個第2半導(dǎo)體封裝200搭載在一個第1半導(dǎo)體封裝100上(參照圖3(A))。而且,通過焊錫60,將第1焊盤12與第2焊盤32電連接。
并且,有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,僅在第2基板30的角部,用樹脂72覆蓋每個焊錫60(參照圖8(A)以及圖8(B))。按照先前的說明,有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,形成將第2半導(dǎo)體封裝搭載在第1密封裝置100上的結(jié)構(gòu)。這時,力被施加在第1焊盤12與第2焊盤32之間所設(shè)置的焊錫60上。特別在第2基板30的角部附近,很大的力被施加在焊錫60上。這時,在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,僅在第2基板30的角部,用樹脂72覆蓋焊錫60。這樣,可以只對應(yīng)力容易集中的區(qū)域加固焊錫60,采用最低限量的樹脂就可以提高半導(dǎo)體裝置的可靠性。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,按照上述構(gòu)成。下面,對其制造方法進行說明。有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括預(yù)備第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200的步驟。半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括如下步驟按照第1半導(dǎo)體芯片20與第2半導(dǎo)體封裝200重疊且第1焊盤12與第2焊盤32相對的樣子,將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上。半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括如下步驟在配置于第2基板30角部的每個第2焊盤32和與該焊盤相對的每個第1焊盤12之間設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂。半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括如下步驟在配置于第2基板30角部以外區(qū)域的每個第2焊盤32和與該焊錫相對的每個第1焊盤12之間設(shè)置焊錫。半導(dǎo)體裝置的制造方法包括如下步驟加熱焊錫以及熱固化性樹脂,形成將每個第1焊盤12與每個第2焊盤32電連接的導(dǎo)電部(焊錫60),并且,形成覆蓋在第2基板30的角部配置的多個導(dǎo)電部(焊錫60)的每一個的樹脂72。詳細講,通過加熱焊錫,讓焊錫熔化,形成將每個第1焊盤12和每個第2焊盤32電連接的導(dǎo)電部(焊錫60)。并且,通過加熱熱固化性樹脂,使該熱固化性樹脂固化的同時讓該樹脂向外側(cè)移動,這樣形成覆蓋配置在第2基板30的角部的多個導(dǎo)電部(焊錫60)的每一個的樹脂72。
(第3實施方式)圖9(A)以及圖9(B)是用于對適用本發(fā)明的有關(guān)第3實施方式的半導(dǎo)體裝置進行說明的圖。還有,在可能的范圍內(nèi)也可以適用已經(jīng)說明的內(nèi)容。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,包括第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200以及焊錫60。對于這些內(nèi)容也可以適用已經(jīng)說明的內(nèi)容的任一個。但是,在本實施方式中,第2半導(dǎo)體封裝200的第2基板30的外形是長方形。將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上。有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,如圖9(A)以及圖9(B)所示,也可以將2個第2半導(dǎo)體封裝200搭載在1個第1半導(dǎo)體封裝100上。或者,也可以將一個第2半導(dǎo)體封裝200搭載在一個第1半導(dǎo)體封裝100上(圖中未畫出)。而且,通過焊錫60,將第1焊盤12與第2焊盤32電連接。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,僅在第2基板30的短邊的端部,用樹脂74覆蓋焊錫60(參照圖9(A)以及圖9(B))。還有,此時也可以用樹脂74覆蓋僅在第2基板30的每個短邊的端部的2個以上(在圖9(A)和圖9(B)中為2個)的焊錫60。另外,也可以用樹脂74覆蓋在每個短邊端部配置的全部的焊錫60?;蛘撸部梢杂脴渲?4僅覆蓋在每個短邊端部配置的一個焊錫60(圖中沒有畫出)。按照先前的說明,有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,形成將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1密封裝置100上的結(jié)構(gòu)。此時,力被施加在第1焊盤12與第2焊盤32之間所設(shè)置的焊錫60上。特別當(dāng)?shù)?基板30的外形是長方形時,在第2基板30外部的短邊端部附近,很大的力被施加在焊錫60上。此時,在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置中,僅在第2基板30外形短邊的端部,用樹脂74覆蓋焊錫60。這樣,可以只對應(yīng)力容易集中的區(qū)域加固焊錫60,采用最低限量的樹脂就可以提高半導(dǎo)體裝置的可靠性。
有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置,按照上述構(gòu)成。下面,對其制造方法進行說明。有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括預(yù)備第1以及第2半導(dǎo)體封裝100、200的步驟。還有,在有關(guān)本實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法中,第2半導(dǎo)體封裝200的第2基板30的外形為長方形。半導(dǎo)體裝置的制造方法包括如下步驟按照第1半導(dǎo)體芯片20與第2半導(dǎo)體封裝200重疊且第1焊盤12與第2焊盤32相對的樣子,將第2半導(dǎo)體封裝200搭載在第1半導(dǎo)體封裝100上。半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括如下步驟將焊錫和熱固化性樹脂設(shè)置在配置于第2基板30角部的每個第2焊盤32和與該焊盤相對的每個第1焊盤12之間。半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括將焊錫設(shè)置在配置在第2基板30的角部以外區(qū)域的每個第2焊盤32與該焊錫相對的每個第1焊盤12之間。半導(dǎo)體裝置的制造方法包括如下步驟加熱焊錫以及熱固化性樹脂,形成將每個第1焊盤12與每個第2焊盤32電連接的導(dǎo)電部(焊錫60),并且,形成覆蓋在第2基板30的角部配置的多個導(dǎo)電部(焊錫60)的每一個的樹脂74。詳細講,通過加熱焊錫,讓該焊錫熔化,形成將每個第1焊盤12和每個第2焊盤32電連接的導(dǎo)電部(焊錫60)。因而,通過對熱固化性樹脂加熱,使該熱固化性樹脂固化的同時讓該樹脂向外側(cè)移動,這樣,形成覆蓋配置在第2基板30的短邊端部的多個導(dǎo)電部(焊錫60)中的每一個的樹脂74。
最后,作為應(yīng)用本發(fā)明實施方式的半導(dǎo)體裝置的電子設(shè)備,分別表示為在圖10中的筆記本電腦2000和圖11中的移動電話機。
還有,本發(fā)明,并不限定于上述實施方式,可以進行各種變形。比如,本發(fā)明,包括與在實施方式中說明的構(gòu)成實質(zhì)上相同的構(gòu)成(比如,功能、方法、以及結(jié)果相同的構(gòu)成,或者目的以及效果相同的構(gòu)成)。另外,本發(fā)明,包括將在實施方式中所說明構(gòu)成的非本質(zhì)部分置換后的構(gòu)成。另外,本發(fā)明包括取得與在實施方式中說明的構(gòu)成相同作用效果的構(gòu)成,或者,能夠達到相同目的的構(gòu)成。另外,本發(fā)明包括將公知技術(shù)添加到實施方式所說明的構(gòu)成中的構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;只是在所述第1基板的角部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
2.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;只是在所述第2基板的角部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
3.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包括第1半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;第2半導(dǎo)體封裝,其包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部,按照與所述第1半導(dǎo)體芯片重疊,且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子被搭載在所述第1基板上;和焊錫,其被設(shè)置在所述第1基板以及所述第2基板之間,將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接;所述第2基板的外形是長方形;僅在所述第2基板的短邊的端部,用樹脂覆蓋所述焊錫。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,在所述第1半導(dǎo)體封裝上,搭載兩個以上的所述第2半導(dǎo)體封裝。
5.一種電路基板,其特征在于,安裝有權(quán)利要求1~4中任一項所述的半導(dǎo)體裝置。
6.一種電子設(shè)備,其特征在于,具有權(quán)利要求1~4中任一項所述的半導(dǎo)體裝置。
7.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第1基板的角部的各個所述第1焊盤和與其分別相面對的各個所述第2焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第1基板的角部之外的區(qū)域的各個所述第1焊盤和與其分別相面對的各個所述第2焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第1基板的角部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
8.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第2基板的角部的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第2基板的角部之外的區(qū)域的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第2基板的角部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
9.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括準(zhǔn)備第1半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第1半導(dǎo)體封裝包括具有多個第1焊盤的第1基板、和在所述第1基板上形成了所述第1焊盤的面上面朝下安裝的第1半導(dǎo)體芯片;準(zhǔn)備第2半導(dǎo)體封裝的步驟,所述第2半導(dǎo)體封裝包括具有多個第2焊盤且外形成長方形的第2基板、在所述第2基板上與形成了所述第2焊盤的面相反的面上搭載的第2半導(dǎo)體芯片、和密封所述第2半導(dǎo)體芯片的密封部;將所述第2半導(dǎo)體封裝搭載在所述第1半導(dǎo)體封裝上的步驟,按照讓所述第1半導(dǎo)體芯片與所述第2半導(dǎo)體封裝重疊,并且所述第1焊盤與所述第2焊盤相面對的樣子進行搭載;設(shè)置焊錫和熱固化性樹脂的步驟,在配置在所述第2基板的短邊的端部的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;設(shè)置焊錫的步驟,在配置在所述第2基板的短邊的端部之外的區(qū)域的各個所述第2焊盤和與其分別相面對的各個所述第1焊盤之間進行設(shè)置;然后,加熱所述焊錫以及所述熱固化性樹脂,讓所述焊錫熔化,形成將各個所述第1焊盤與各個所述第2焊盤分別電連接的導(dǎo)電部,并且,讓所述熱固化性樹脂固化,讓其向外側(cè)移動,形成分別覆蓋在所述第2基板的短邊的端部上配置的多個所述導(dǎo)電部的樹脂部。
10.根據(jù)權(quán)利要求7~10中任一項所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,在1個所述第1半導(dǎo)體封裝上搭載2個以上的所述第2半導(dǎo)體封裝。
全文摘要
一種半導(dǎo)體裝置,包括第1半導(dǎo)體封裝(100),其包括具有第1焊盤(12)的第1基板(10)和具有第2焊盤(32)的第2基板(30);第2半導(dǎo)體封裝(200),其被搭載在第1半導(dǎo)體封裝(100)上;和焊錫(60),其被設(shè)置在第1以及第2基板(10、30)之間,將各個第1焊盤(12)和各個第2焊盤(32)電連接。并且,只在第1基板(10)的角部用樹脂(70)覆蓋焊錫(60)。因此,可以提供一種可靠性高的半導(dǎo)體裝置及其制造方法、電路基板和電子設(shè)備。
文檔編號H01L23/498GK1606160SQ200410084989
公開日2005年4月13日 申請日期2004年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月9日
發(fā)明者青栁哲理 申請人:精工愛普生株式會社
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