專利名稱：有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適宜作為民生用和工業(yè)用的顯示器，具體地說，便攜電話、PDA、汽車導(dǎo)航、監(jiān)控器、TV等的顯示器的有機(jī)EL(場致發(fā)光)顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)EL顯示裝置由在彼此相對的電極間夾持著有機(jī)發(fā)光介質(zhì)的有機(jī)EL元件構(gòu)成。如果在有機(jī)EL元件的兩電極間外加電壓，從一方電極注入的電子和從另一方電極注入的空穴在有機(jī)發(fā)光介質(zhì)中的有機(jī)發(fā)光層再結(jié)合。有機(jī)發(fā)光層中的有機(jī)發(fā)光分子由于再結(jié)合能而一度成為激發(fā)狀態(tài)，然后由激發(fā)狀態(tài)返回基底狀態(tài)。通過將此時放出的能量作為光取出，有機(jī)EL發(fā)光元件發(fā)光。
由具有該發(fā)光原理的有機(jī)EL元件構(gòu)成的有機(jī)EL顯示裝置為完全固體元件，視認(rèn)性優(yōu)異，實(shí)現(xiàn)輕量化、薄膜化，而且可以只用幾伏的低電壓驅(qū)動。因此，期待有機(jī)EL顯示裝置作為彩色顯示器的利用，目前正在積極地研究。
圖5和圖6表示現(xiàn)有的有機(jī)EL顯示裝置的一例。
在圖5所示的有機(jī)EL顯示裝置(例如，參照美國專利第6268695號說明書和特開2000-223264號公報(bào))中，在支持基板1上形成TFT7和下部電極22，進(jìn)而在其上順次形成絕緣部件8、有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21、上部電極23、鈍化層3、平坦化層9和顏色轉(zhuǎn)換層5，在最上面設(shè)置透光性基板6。有機(jī)EL元件2由下部電極22、有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21和上部電極23構(gòu)成。鈍化層3具有密封的功能，防止從顏色轉(zhuǎn)換層5產(chǎn)生的不需要的物質(zhì)、其中含有的雜質(zhì)等浸透，轉(zhuǎn)移到有機(jī)EL元件2中。
在圖6所示的有機(jī)EL顯示裝置(例如，參照特開平10-12383號公報(bào)、特開平8-279394號公報(bào)和特開平11-260562號公報(bào))中，在支持基板1上形成TFT7和下部電極22，進(jìn)而在其上順次形成絕緣部件8、有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21、上部電極23、鈍化層4、平坦化層9和顏色轉(zhuǎn)換層5，在最上面設(shè)置透光性基板6。
當(dāng)以有機(jī)EL元件的支持基板為基準(zhǔn)時，這些有機(jī)EL顯示裝置為所謂的上取出型，在顏色轉(zhuǎn)換層5對有機(jī)EL元件2發(fā)出的光進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換，從透光性基板6側(cè)將所需的光取出。此外，圖中的箭頭表示光的取出方向。
這些有機(jī)EL顯示裝置在耐久性方面均需要改善。即，在圖5所示的有機(jī)EL顯示裝置中，由于構(gòu)成有機(jī)EL元件2的有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21為容易受到損傷的有機(jī)物，因此不能使在有機(jī)EL元件2上進(jìn)行鈍化層3成膜時的條件嚴(yán)格。此外，在進(jìn)行鈍化層3成膜時，有時從有機(jī)發(fā)光介質(zhì)中產(chǎn)生揮發(fā)成分。因此，有時不能得到致密且無針孔的鈍化層3，其結(jié)果從顏色轉(zhuǎn)換層5產(chǎn)生的水分、單體成分等揮發(fā)成分透過鈍化層3，在有機(jī)EL元件2的發(fā)光區(qū)域容易形成黑點(diǎn)等非發(fā)光區(qū)域，有時不能得到耐久性高的有機(jī)EL顯示裝置。
同樣地，在圖6所示的有機(jī)EL顯示裝置中，由于顏色轉(zhuǎn)換層5含有容易受到損傷的有機(jī)物，因此不能使在顏色轉(zhuǎn)換層5上進(jìn)行鈍化層4成膜時的條件嚴(yán)格。此外，在進(jìn)行鈍化層4成膜時，有時從顏色轉(zhuǎn)換層5中產(chǎn)生揮發(fā)成分。因此，有時不能得到致密且無針孔的鈍化層4，其結(jié)果從顏色轉(zhuǎn)換層5產(chǎn)生的水分、單體成分等揮發(fā)成分透過鈍化層4，在有機(jī)EL元件2的發(fā)光區(qū)域容易形成黑點(diǎn)等非發(fā)光區(qū)域，有時不能得到耐久性高的有機(jī)EL顯示裝置。
本發(fā)明鑒于上述情況而提出，目的在于提供黑點(diǎn)等非發(fā)光部分的產(chǎn)生少、耐久性優(yōu)異的有機(jī)EL顯示裝置及其制造方法。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，提供以下的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置及其制造方法。
.有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其以如下順序設(shè)置支持基板、有機(jī)場致發(fā)光元件、
第1鈍化層、第2鈍化層、對所述有機(jī)場致發(fā)光元件發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層、以及透光性基板。
.[1]所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，當(dāng)將所述第1鈍化層的膜厚記為T1，將所述第2鈍化層的膜厚記為T2時，T1+T2滿足0.001μm＜T1+T2＜200μm。
.[1]或[2]所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，在所述第1鈍化層和所述第2鈍化層之間設(shè)置中間層。
.[3]所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層由惰性流體構(gòu)成。
.[1]～[4]的任一項(xiàng)所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，所述顏色轉(zhuǎn)換層含有熒光介質(zhì)。
.有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其包括在支持基板上設(shè)置有機(jī)場致發(fā)光元件和第1鈍化層，形成第1基板；在透光性基板上設(shè)置對所述有機(jī)場致發(fā)光元件發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層和第2鈍化層，形成第2基板；將所述第1基板和所述第2基板貼合以使所述第1鈍化層和所述第2鈍化層相對。
此外，在本發(fā)明中，只要不損害本發(fā)明的作用效果，可以在各構(gòu)成部件間設(shè)置其他的中間層。


圖1為用于說明本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的一實(shí)施方式的模式圖。
圖2為表示多晶硅TFT的形成工序的圖。
圖3為表示含有多晶硅TFT的電開關(guān)連接結(jié)構(gòu)的電路圖。
圖4為表示含有多晶硅TFT的電開關(guān)連接結(jié)構(gòu)的平面透視圖。
圖5為表示現(xiàn)有的有機(jī)EL顯示裝置的構(gòu)成的模式圖。
圖6為表示現(xiàn)有的有機(jī)EL顯示裝置的構(gòu)成的模式圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖，對本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行說明。
圖1為表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的一實(shí)施方式的模式圖。
在該圖所示的有機(jī)EL顯示裝置中，在支持基板1上形成TFT7和下部電極22，進(jìn)而在其上順次形成絕緣部件8、有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21、上部電極23、第1鈍化層3、第2鈍化層4、平坦化層9和顏色轉(zhuǎn)換層5，在最上面設(shè)置透光性基板6。有機(jī)EL元件2由下部電極22、有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21和上部電極23構(gòu)成。如表示光的取出方向的箭頭所示，該裝置為從與支持基板1的相反側(cè)取出光的上取出型。
在該裝置中，如果在下部電極22和上部電極23之間外加電壓，被這些電極夾持的有機(jī)發(fā)光介質(zhì)21發(fā)光，該光透過第1鈍化層3和第2鈍化層4到達(dá)顏色轉(zhuǎn)換層5。顏色轉(zhuǎn)換層5根據(jù)需要對有機(jī)EL元件2發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換，分別發(fā)出紅、綠、藍(lán)色的光。這三色的光通過透光性基板6被取出到外部。
在該裝置中，設(shè)置第1鈍化層3和第2鈍化層4的2層作為鈍化層，因此即使在一個鈍化層中產(chǎn)生針孔，在另一個鈍化層中也能有效地阻隔針孔的通過，密封性提高，不易形成非發(fā)光區(qū)域。其結(jié)果產(chǎn)生協(xié)同效果，能夠制備耐久性高的有機(jī)EL顯示裝置。
此外，鈍化層3和4可以相同，也可以不同。對于鈍化層的構(gòu)成材料和厚度將在后面進(jìn)行說明。
以下對該有機(jī)EL顯示裝置的制造方法進(jìn)行說明。
首先，采用現(xiàn)有公知的方法，在支持基板1上形成有機(jī)EL元件2和絕緣部件8，再用第1鈍化層3進(jìn)行密封，制造有機(jī)EL元件基板(第1基板)。
另一方面，采用現(xiàn)有公知的方法，在透光性基板6上形成顏色轉(zhuǎn)換層5，用平坦化層9進(jìn)行平坦化后，用第2鈍化層4將它們密封，制造顏色轉(zhuǎn)換基板(第2基板)。
然后，將有機(jī)EL元件基板和顏色轉(zhuǎn)換基板貼合以使第1鈍化層3和第2鈍化層4相對，制造本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置。此外，在貼合兩基板時，可以適當(dāng)使用粘接劑等。
在該制造方法中，由于有機(jī)EL元件基板和顏色轉(zhuǎn)換基板分別用鈍化層密封，可以抑制制造線中有機(jī)成分的溶出、氣體等的產(chǎn)生。此外，不必考慮在各個基板上的水分吸濕，因此濕度管理也變得容易。此外，由于能與玻璃基板同樣地對這些基板處理，因此處理容易，也可以在各個基板的制造后進(jìn)行洗滌操作。
因此，在本實(shí)施方式的制造方法中，例如，與在基板上層疊各層進(jìn)行制造的方法相比，制造時的處理變得容易，制造效率也提高。
此外，本發(fā)明并不限于本實(shí)施方式，可以進(jìn)行各種變更。例如，可以在第1鈍化層3和第2鈍化層4之間設(shè)置中間層(例如粘接層、應(yīng)力緩和層等)。通過設(shè)置適當(dāng)?shù)闹虚g層，例如，不僅緩和有機(jī)EL元件基板和顏色轉(zhuǎn)換基板的應(yīng)力差(機(jī)械的、熱的)，還可以防止第1鈍化層3和第2鈍化層4的接觸產(chǎn)生的破壞。中間層的成分并無特別限制，優(yōu)選由惰性流體構(gòu)成。所謂惰性流體，是指對于有機(jī)EL元件2的陰極無氧化性，不浸透、溶解有機(jī)EL元件2的有機(jī)物的流體，具體地說，可以列舉氮、氬、氦等惰性氣體，氟化烴、硅油等惰性液體等。其中優(yōu)選氟化烴。
在應(yīng)力緩和層的情況下，優(yōu)選由具有透明性、楊氏模量小、顯示高伸長率的高彈性體構(gòu)成。例如，為硅橡膠等各種橡膠、凝膠等。為了緩和應(yīng)力，優(yōu)選楊氏模量為0.1～10MPa。當(dāng)應(yīng)力緩和層位于光取出側(cè)時，優(yōu)選透過率為50％以上。如果能充分吸收應(yīng)力、沖擊，應(yīng)力緩和層的厚度并無特別限制，但優(yōu)選為大致均勻的厚度，為了使有機(jī)EL顯示裝置薄型化，優(yōu)選其薄。例如，優(yōu)選0.001μm～200μm的范圍，更優(yōu)選0.01μm～10μm的范圍。如果比0.001μm薄，有可能無法充分吸收應(yīng)力、沖擊，如果比200μm厚，混色產(chǎn)生的色再現(xiàn)性的降低、視野角依存性有可能增大，有機(jī)EL顯示裝置的顯示品質(zhì)有可能顯著降低。應(yīng)力緩和層可以通過涂布(旋涂器、輥涂器)等形成。
可以用分散存在的墊板和填充墊板間空隙的填充劑構(gòu)成應(yīng)力緩和層。作為墊板的材料，可以列舉二氧化硅墊板、塑料墊板、玻璃等，作為填充劑，可以列舉液狀硅氧烷等。墊板可以用液晶顯示制造裝置的墊板散布裝置等形成。
此外，作為中間層，可以與上述墊板另外地使隔壁、干燥劑等存在中間。此外，氮化碳等有機(jī)膜也可以作為用于應(yīng)力緩和的中間層存在中間。
此外，鈍化層也可以設(shè)置3層以上。
此外，在本實(shí)施方式中，對具有TFT的裝置的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也適用于不具有TFT的裝置。
以下對本實(shí)施方式中有機(jī)EL顯示裝置的各構(gòu)成部件進(jìn)行說明。此外，只要沒有特別說明，可以使用通常的部件和構(gòu)成。在本發(fā)明的裝置的構(gòu)成中，可以適當(dāng)選擇最佳的作為這些部件。
1.支持基板有機(jī)EL顯示裝置中的支持基板是用于支持有機(jī)EL元件等的部件，優(yōu)選機(jī)械強(qiáng)度、尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異。
作為該支持基板的材料，可以列舉例如玻璃板、金屬板、陶瓷板或塑料板(例如，聚碳酸酯樹脂、丙烯酸類樹脂、氯乙烯樹脂、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亞胺樹脂、聚酯樹脂、環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂、硅樹脂、氟樹脂、聚醚砜樹脂)等。
此外，為了防止水分侵入到有機(jī)EL顯示裝置內(nèi)，由這些材料構(gòu)成的支持基板優(yōu)選進(jìn)一步形成無機(jī)膜，或者涂布氟樹脂，實(shí)施防濕處理、疏水性處理。
在本發(fā)明中，為了避免水分侵入有機(jī)發(fā)光介質(zhì)，特別優(yōu)選使支持基板的含水率和氣體透過系數(shù)小。具體地，優(yōu)選使支持基板的含水率為0.0001重量％以下，并且使氣體透過系數(shù)為1×10-13cc·cm/cm2·sec.cmHg以下。
此外，在本發(fā)明中，由于從支持基板的相反側(cè)，即上部電極側(cè)將EL發(fā)光取出，因此支持基板不必具有透明性。
2.有機(jī)EL元件通常，有機(jī)EL元件由有機(jī)發(fā)光介質(zhì)、夾持其的上部電極和下部電極構(gòu)成。以下對于有機(jī)EL元件的各構(gòu)成要素按(1)有機(jī)發(fā)光介質(zhì)、(2)上部電極和(3)下部電極的順序進(jìn)行說明。
(1)有機(jī)發(fā)光介質(zhì)有機(jī)發(fā)光介質(zhì)是含有電子和空穴再結(jié)合而能夠EL發(fā)光的有機(jī)發(fā)光層的介質(zhì)。該有機(jī)發(fā)光介質(zhì)，例如，可以通過在陽極上層疊以下①～⑦的任一個所示的各層而構(gòu)成。
①有機(jī)發(fā)光層②空穴注入層/有機(jī)發(fā)光層③有機(jī)發(fā)光層/電子注入層④空穴注入層/有機(jī)發(fā)光層/電子注入層⑤有機(jī)半導(dǎo)體層/有機(jī)發(fā)光層⑥有機(jī)半導(dǎo)體層/電子屏蔽層/有機(jī)發(fā)光層⑦空穴注入層/有機(jī)發(fā)光層/附著改善層此外，在上述①～⑦的構(gòu)成中，由于④的構(gòu)成能獲得更高的發(fā)光輝度，耐久性也優(yōu)異，因此特別優(yōu)選。
(i)有機(jī)發(fā)光層作為有機(jī)發(fā)光層的發(fā)光材料，可以列舉例如以對聯(lián)四苯衍生物、對聯(lián)五苯衍生物、苯并二唑類化合物、苯并咪唑類化合物、苯并噁唑類化合物、金屬螯合物化ォキシノィド化合物、噁二唑類化合物、苯乙烯基苯類化合物、二苯乙烯基吡嗪衍生物、丁二烯類化合物、萘酰亞胺化合物、苝化合物、醛連氮衍生物、ピラジリン衍生物、環(huán)戊二烯衍生物、吡咯并吡咯衍生物、苯乙烯胺衍生物、香豆素類化合物、芳香族二次甲基類化合物、8-羥基喹啉衍生物為配體的金屬絡(luò)合物、聚苯類化合物等的一種單獨(dú)或兩種以上的組合。
此外，在這些有機(jī)發(fā)光材料中，更優(yōu)選作為芳香族二次甲基類化合物的4，4-二(2，2-二叔丁基苯基乙烯基)聯(lián)苯(簡寫為DTBPBBi)、4，4’-二(2，2-二苯基乙烯基)聯(lián)苯(簡寫為DPVBi)和它們的衍生物。
此外，也優(yōu)選以具有二苯乙烯基亞芳基骨架等的有機(jī)發(fā)光材料作為基質(zhì)(host)材料，在該基質(zhì)材料中并用作為摻雜劑的從藍(lán)色到紅色的強(qiáng)熒光色素，例如香豆素類材料、或摻雜了與基質(zhì)同樣的熒光色素的材料。更具體地說，作為基質(zhì)材料，優(yōu)選使用上述的DPVBi等，作為摻雜劑，優(yōu)選使用1，4-二[4-(N，N-二苯基氨基苯乙烯基苯)](簡寫為DPAVB)等。
(ii)空穴注入層在空穴注入層中，優(yōu)選使用當(dāng)外加1×104～1×106V/cm的電壓時測定的空穴移動度為1×10-6cm2/V·秒以上，離子化能量為5.5eV以下的化合物。通過設(shè)置該空穴注入層，向有機(jī)發(fā)光層的空穴注入變得良好，獲得高發(fā)光輝度，或者可以低電壓驅(qū)動。
作為該空穴注入層的構(gòu)成材料，具體地說，可以列舉卟啉化合物、芳香族叔胺化合物、苯乙烯胺化合物、芳香族二次甲基類化合物、縮合芳香族環(huán)化合物，例如4，4-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]聯(lián)苯(簡寫為NPD)、4，4′，4″-三[N-(3-甲基苯基)-N-苯基氨基]三苯胺(簡寫為MTDATA)等有機(jī)化合物。
此外，作為空穴注入層的構(gòu)成材料，還優(yōu)選使用p型-Si、p型-SiC等無機(jī)化合物。
此外，還優(yōu)選在上述空穴注入層和陽極層之間，或者在上述空穴注入層和有機(jī)發(fā)光層之間設(shè)置電導(dǎo)率為1×10-10S/cm以上的有機(jī)半導(dǎo)體層。通過設(shè)置該有機(jī)半導(dǎo)體層，向有機(jī)發(fā)光層的空穴注入變得更加良好。
(iii)電子注入層在電子注入層中，優(yōu)選使用當(dāng)外加1×104～1×106V/cm的電壓時測定的電子移動度為1×10-6cm2/V·秒以上，離子化能量超過5.5eV的化合物。通過設(shè)置該電子注入層，向有機(jī)發(fā)光層的電子注入變得良好，獲得高發(fā)光輝度，或者可以低電壓驅(qū)動。
作為該電子注入層的構(gòu)成材料，具體地說，可以列舉8-羥基喹啉的金屬絡(luò)合物(Al絡(luò)合物Alq)或其衍生物、或噁二唑衍生物。
(iv)附著改善層附著改善層可以看作該電子注入層的一方式。即，附著改善層在電子注入層中，特別優(yōu)選為由與陰極的粘接性良好的材料構(gòu)成的層，優(yōu)選由8-羥基喹啉的金屬絡(luò)合物或其衍生物等構(gòu)成。
此外，還優(yōu)選設(shè)置與上述電子注入層相接，電導(dǎo)率為1×10-10S/cm以上的有機(jī)半導(dǎo)體層。通過設(shè)置該有機(jī)半導(dǎo)體層，向有機(jī)發(fā)光層的電子注入性變得更為良好。
(v)有機(jī)發(fā)光介質(zhì)的厚度對于有機(jī)發(fā)光介質(zhì)的厚度并無特別限制，優(yōu)選例如為5nm～5μm。如果有機(jī)發(fā)光介質(zhì)的厚度不足5nm，發(fā)光輝度、耐久性有時降低。另一方面，如果超過5μm，外加電壓的值有時升高。有機(jī)發(fā)光介質(zhì)的厚度更優(yōu)選為10nm～3μm，進(jìn)一步優(yōu)選為20nm～1μm。
(2)上部電極在本實(shí)施方式中，上部電極在顯示區(qū)域整個面上連續(xù)設(shè)置。
上部電極根據(jù)有機(jī)EL元件的構(gòu)成，相當(dāng)于陽極層或陰極層。當(dāng)相當(dāng)于陽極層時，為了使空穴的注入容易，優(yōu)選使用功函數(shù)大的材料，例如4.0eV以上的材料。此外，當(dāng)相當(dāng)于陰極層時，為了使電子的注入容易，優(yōu)選使用功函數(shù)小的材料，例如不足4.0eV的材料。
此外，在上取出型的有機(jī)EL顯示裝置中，由于通過上部電極將光取出，因此上部電極必須具有透明性。因此，當(dāng)上部電極相當(dāng)于陽極層時，可以使用例如銦錫氧化物(ITO)、銦鋅氧化物(IZO)、銦銅(CuIn)、氧化錫(SnO2)、氧化鋅(ZnO)、氧化銻(Sb2O3、Sb2O4、Sb2O5)、氧化鋁(Al2O3)等單獨(dú)一種，或兩種以上的組合。
此外，在本實(shí)施方式中，在不損害透明性的范圍內(nèi)，為了實(shí)現(xiàn)上部電極的低電阻化，還優(yōu)選單獨(dú)一種、或兩種以上組合添加Pt、Au、Ni、Mo、W、Cr、Ta、Al等金屬。
此外，作為上部電極的構(gòu)成材料，可以選擇從光透過性金屬膜、非收縮體的半導(dǎo)體、有機(jī)導(dǎo)電體、半導(dǎo)性碳化合物等中選取的至少一種構(gòu)成材料。例如，作為有機(jī)導(dǎo)電體，優(yōu)選為導(dǎo)電性共軛聚合物、氧化劑添加聚合物、還原劑添加聚合物、氧化劑添加低分子或還原劑添加低分子。
此外，作為在有機(jī)導(dǎo)電體中添加的氧化劑，可以列舉路易斯酸，例如氯化鐵、氯化銻、氯化鋁等。此外，同樣地，作為在有機(jī)導(dǎo)電體中添加的還原劑，可以列舉堿金屬、堿土類金屬、稀土類金屬、堿金屬化合物、堿土類金屬化合物或稀土類等。此外，作為導(dǎo)電性共軛聚合物，可以列舉聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、添加路易斯酸的胺化合物等。
此外，作為非收縮體的半導(dǎo)體，優(yōu)選例如為氧化物、氮化物或硫?qū)倩衔铩?br> 此外，作為碳化化合物，優(yōu)選例如為非晶C、石墨或金剛石型C。
此外，作為無機(jī)半導(dǎo)體，優(yōu)選例如為ZnS、ZnSe、ZnSSe、MgS、MgSSe、CdS、CdSe、CdTe或CdSSe。
上部電極的厚度優(yōu)選考慮面電阻等確定。例如，優(yōu)選使上部電極的厚度為50-5000nm，更優(yōu)選為100nm以上。如果使上部電極為該厚度，在獲得均勻的厚度分布、EL發(fā)光中60％以上的光透過率的同時，可以使上部電極的面電阻為15Ω/□以下，更優(yōu)選為10Ω/□以下。
(3)下部電極在本實(shí)施方式中，下部電極以平面圖案分別分離配置于每個像素。
下部電極根據(jù)有機(jī)EL顯示裝置的構(gòu)成，相當(dāng)于陰極層或陽極層。例如，當(dāng)下部電極相當(dāng)于陰極層時，為了使電子的注入容易，優(yōu)選使用功函數(shù)小的材料，例如不足4.0eV的金屬、合金、導(dǎo)電性化合物或它們的混合物或含有物。
作為該材料，優(yōu)選單獨(dú)一種或兩種以上組合使用例如鈉、鈉-鉀合金、銫、鎂、鋰、鎂-銀合金、鋁、氧化鋁、鋁-鋰合金、銦、稀土類金屬、這些金屬與有機(jī)發(fā)光介質(zhì)材料的混合物、以及這些金屬和電子注入層材料的混合物等構(gòu)成的電極材料。
此外，在本發(fā)明中，由于從上部電極側(cè)取出發(fā)光，因此對于下部電極的材料，不必具有透明性。相反，作為一優(yōu)選方式，可以由光吸收性的導(dǎo)電材料形成。如果為這樣的構(gòu)成，可以進(jìn)一步使有機(jī)EL顯示裝置的顯示對比度提高。此外，作為在這種情況下優(yōu)選的光吸收性的導(dǎo)電材料，可以列舉半導(dǎo)性的碳材料、有色性的有機(jī)化合物、或上述的還原劑和氧化劑的組合，此外還可以列舉有色性的導(dǎo)電性氧化物(例如VOx、MoOx、WOx等過渡金屬氧化物)。
對于下部電極的厚度，與上部電極同樣沒有特別限制，例如優(yōu)選為10-1000nm，更優(yōu)選為10-200nm。
3.絕緣部件本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置中的絕緣部件(電絕緣膜)設(shè)置在有機(jī)EL元件的附近或周邊。此外，絕緣部件用于作為有機(jī)EL顯示裝置整體的高精細(xì)化、防止有機(jī)EL元件的下部電極和上部電極的短路。此外，當(dāng)采用TFT驅(qū)動有機(jī)EL元件時，絕緣部件也作為用于保護(hù)TFT，或使有機(jī)EL元件的下部電極在平坦面上成膜的底層使用。
因此，絕緣部件根據(jù)需要有時稱為隔壁、墊板、平坦化膜等，在本發(fā)明中包括這些。
在本實(shí)施方式中，設(shè)置絕緣部件以將分離配置于每個像素設(shè)置的下部電極之間填埋。即，絕緣部件沿像素之間的邊界設(shè)置。
作為絕緣部件的材料，可以列舉通常的丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酰亞胺樹脂、氟化聚酰亞胺樹脂、苯并鳥糞胺樹脂、蜜胺樹脂、環(huán)狀聚烯烴、酚醛清漆樹脂、聚肉桂酸乙烯酯、環(huán)化橡膠、聚氯乙烯樹脂、聚苯乙烯、酚醛樹脂、醇酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、馬來酸樹脂、聚酰胺樹脂等。
此外，當(dāng)由無機(jī)氧化物構(gòu)成絕緣部件時，作為優(yōu)選的無機(jī)氧化物，可以列舉氧化硅(SiO2或SiOx)、氧化鋁(Al2O3或AlOx)、氧化鈦(TiO3或TiOx)、氧化釔(Y2O3或YOx)、氧化鍺(GeO2或GeOx)、氧化鋅(ZnO)、氧化鎂(MgO)、氧化鈣(CaO)、硼酸(B2O3)、氧化鍶(SrO)、氧化鋇(BaO)、氧化鉛(PbO)、氧化鋯(ZrO2)、氧化鈉(Na2O)、氧化鋰(Li2O)、氧化鉀(K2O)等。
此外，上述無機(jī)化合物中的x為1≤x≤3。
此外，當(dāng)要求絕緣部件具有耐熱性時，優(yōu)選使用丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂、氟化聚酰亞胺樹脂、環(huán)狀烯烴、環(huán)氧樹脂、無機(jī)氧化物。
此外，這些絕緣部件在有機(jī)物質(zhì)的情況下，可以導(dǎo)入感光性基團(tuán)采用光蝕刻法加工成所需的圖案，或者采用印刷手法形成所需的圖案。
絕緣部件的厚度因顯示的精細(xì)度、與有機(jī)EL元件組合的其他部件的凹凸而異，但優(yōu)選為10nm～1mm。如果為該厚度，可以充分地使TFT等的凹凸平坦化。
絕緣部件的厚度更優(yōu)選為100nm～100μm，進(jìn)一步優(yōu)選為100nm～10μm。
4.鈍化層作為鈍化層的材料，可以列舉透明樹脂、密封液和透明無機(jī)物。在本發(fā)明中，第1和第2鈍化層的構(gòu)成材料可以相同，也可以不同。此外，各鈍化層可以為單層結(jié)構(gòu)，也可以為多層結(jié)構(gòu)。
作為可以用作構(gòu)成鈍化層的材料的透明樹脂，可以列舉聚甲基丙烯酸苯酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚鄰氯苯乙烯、聚鄰萘基甲基丙烯酸酯、聚乙烯基萘、聚乙烯基咔唑、含有芴骨架的聚酯等。
此外，當(dāng)將透明樹脂用于鈍化層的材料時，還優(yōu)選其由紫外線固化型樹脂、可見光固化型樹脂、熱固性樹脂或使用了它們的粘接劑構(gòu)成。作為這些的具體例，可以列舉ラックストラックLCR0278、0242D(均為東亞合成(株)制)、TB3102(環(huán)氧類スリ一ボンド(株)制)、ベネフィックスVL(丙烯酸類ァ一デル(株)制)等市售品。
此外，作為可以用作構(gòu)成鈍化層的材料的透明無機(jī)物，可以列舉SiO2、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3、AlOxNy、TiO2、TiOx、SiAlOxNy、TiAlOx、TiAlOxNy、SiTiOx、SiTiOxNy(式中，x優(yōu)選0.1-4，y優(yōu)選0.1-3)。此外，可以列舉堿石灰玻璃、含鋇-鍶的玻璃、鉛玻璃、鋁硅酸鹽玻璃、硼硅酸玻璃、硼硅酸鋇玻璃、派勒斯玻璃、高硼硅酸耐熱玻璃、至少含有硅氧化物、硼氧化物和鋁氧化物的玻璃、至少含有硅氧化物、硼氧化物、鋁氧化物和堿金屬氧化物的玻璃、至少含有硅氧化物、硼氧化物、鋁氧化物和堿土類金屬氧化物的玻璃、至少含有硅氧化物、硼氧化物、鋁氧化物和稀土類元素金屬氧化物的玻璃等。這些玻璃以原子半徑大的元素為中心，以原子半徑小的元素形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，從而形成致密性更高的鈍化層，因此優(yōu)選。
還優(yōu)選將這些透明無機(jī)物和透明樹脂1個以上反復(fù)層疊。由于用透明樹脂將形成針孔的透明無機(jī)物的膜填充、平坦化，因此可以抑制針孔的產(chǎn)生。
此外，還優(yōu)選將這些透明無機(jī)物和氮化碳1個以上反復(fù)層疊。可以用氮化碳吸收透明無機(jī)物的應(yīng)力，使耐熱沖擊性提高，抑制開裂等。
此外，當(dāng)將透明無機(jī)物用于鈍化層的材料時，特別優(yōu)選在低溫(100℃以下)下使成膜速度放緩進(jìn)行成膜，以不使有機(jī)EL元件劣化，具體地說，優(yōu)選濺射、對向靶濺射、蒸鍍、CVD等方法。
此外，這些透明無機(jī)物為非晶質(zhì)(無定形)，但由于水分、氧、低分子單體等的阻隔效果高，抑制有機(jī)EL元件的劣化，因此優(yōu)選。
此外，作為可以用作構(gòu)成鈍化層的材料的密封液，可以列舉氟化烴、氟化烯烴的低聚物等。
此外，可以添加含有芳香環(huán)的化合物、含有芴骨架的化合物、含溴化合物或含硫化合物，進(jìn)而可以添加高折射率的化合物，例如烷氧基鈦等的金屬化合物(二甲氧基鈦、二乙氧基鈦)、烷氧基鈦等調(diào)整折射率。
此外，對于鈍化層的厚度并無特別限制，當(dāng)將第1鈍化層的膜厚記為T1，將第2鈍化層的膜厚記為T2時，優(yōu)選使T1+T2滿足0.001μm＜T1+T2＜200μm。如果為0.001μm以下，鈍化層接近單原子層，成為島狀結(jié)構(gòu)等，因此不能維持致密性，有時不能獲得鈍化效果(有機(jī)發(fā)光介質(zhì)或顏色轉(zhuǎn)換層的揮發(fā)成分的阻塞)。另一方面，如果為200μm以上，為了成為多色、全色顯示而將不同顏色轉(zhuǎn)換層相對于各有機(jī)EL像素配置時，對應(yīng)的有機(jī)EL像素和顏色轉(zhuǎn)換層的距離增大，有機(jī)EL像素的發(fā)光容易入射到不對應(yīng)的顏色轉(zhuǎn)換層中，因此有時混色產(chǎn)生顏色再現(xiàn)性降低、視野角依存性增大，有機(jī)EL顯示裝置的顯示品質(zhì)顯著降低。
更優(yōu)選地，0.01μm＜T1+T2＜10μm。
優(yōu)選第1鈍化膜與有機(jī)EL元件緊密結(jié)合，第2鈍化膜與顏色轉(zhuǎn)換層緊密結(jié)合。
5.平坦化層將透明基板上設(shè)置的顏色轉(zhuǎn)換層平坦化的平坦化層由具有透明性的材料構(gòu)成。作為平坦化層的材料，優(yōu)選使用例如與鈍化層的材料相同的材料。
此外，平坦化層的厚度如果能將顏色轉(zhuǎn)換層平坦化，則并無特別限制，但為了使有機(jī)EL顯示裝置薄型化，優(yōu)選其厚度薄。例如，包括顏色轉(zhuǎn)換層，優(yōu)選厚度1μm～10μm的范圍。
6.顏色轉(zhuǎn)換層作為對有機(jī)EL元件發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層，可以列舉①濾色器單獨(dú)的情況、②熒光介質(zhì)單獨(dú)的情況、或③濾色器和熒光介質(zhì)組合的情況三種情況。
顏色轉(zhuǎn)換層優(yōu)選含有熒光介質(zhì)。如果含有熒光介質(zhì)，可以創(chuàng)造出有機(jī)EL光本來所不具有發(fā)光色，或者可以使弱色的光增強(qiáng)，可以降低有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光效率(消耗電力)。
在上述①～③中，在③將濾色器和熒光介質(zhì)組合的情況下，在使三原色的各色發(fā)光時，可以以低電力實(shí)現(xiàn)輝度的提高，而且顯示的色純度好，還可以實(shí)現(xiàn)色平衡的提高，因此特別優(yōu)選。
例如，當(dāng)用有機(jī)EL元件發(fā)出藍(lán)色的光時，可以在藍(lán)色像素處只設(shè)置藍(lán)色濾色器，在綠色的像素處設(shè)置將藍(lán)色光轉(zhuǎn)換為綠色光的熒光介質(zhì)和綠色濾光器，進(jìn)而在紅色的像素處，使將藍(lán)色光轉(zhuǎn)換為紅色光的熒光介質(zhì)和紅色濾色器組合設(shè)置。
以下對于濾色器和熒光介質(zhì)的構(gòu)成等分別進(jìn)行說明。
(1)濾色器濾色器具有將光分解或分割，進(jìn)行顏色調(diào)整或使對比度提高的功能。
作為濾色器的材料，可以列舉例如下述色素或使該色素溶解或分散到粘合劑樹脂中的固體狀態(tài)物質(zhì)。
紅色(R)色素可以使用苝類顏料、色淀顏料、偶氮類顏料、喹吖啶酮類顏料、蒽醌類顏料、蒽類顏料、異吲哚啉類顏料、異吲哚啉酮類顏料、二酮基吡咯并吡咯類顏料等的單品和至少2種以上的混合物。
綠色(G)色素可以使用鹵素多取代酞菁類顏料、鹵素多取代酞菁酮類顏料、三苯基甲烷類堿性染料、偶氮類顏料、異吲哚啉類顏料、異吲哚啉酮類顏料等的單品和至少2種以上的混合物。
藍(lán)色(B)色素可以使用酞菁酮類顏料、陰丹酮類顏料、靛酚類顏料、花青類顏料、二噁嗪類顏料等的單品和至少2種以上的混合物。
作為濾色器材料的粘合劑樹脂，優(yōu)選使用透明的(可見光范圍的透過率50％以上)材料?？梢粤信e例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸酯、聚碳酸酯、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、羥乙基纖維素、羧甲基纖維素等透明樹脂(高分子)等，可以使用這些的1種或2種以上混合使用。
此外，當(dāng)將噴墨法等印刷法用于濾色器的形成時，可以使用使用了透明樹脂的印刷油墨(介質(zhì)，medium)?？梢允褂?種或2種以上例如聚氯乙烯樹脂、聚偏氯乙烯樹脂、蜜胺樹脂、酚醛樹脂、醇酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、馬來酸樹脂、由聚酰胺樹脂的單體、低聚物、聚合物構(gòu)成的組合物、以及聚甲基丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸酯、聚碳酸酯、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、羥乙基纖維素、羧甲基纖維素等透明樹脂。
當(dāng)將光刻蝕法用于濾色器的形成時，優(yōu)選使用感光性樹脂?？梢粤信e例如丙烯酸類、甲基丙烯酸類、聚肉桂酸乙烯酯類、環(huán)化橡膠類等具有反應(yīng)性乙烯基的光固化型抗蝕劑材料等，可以使用這些的一種或2種以上混合使用。
當(dāng)熒光介質(zhì)由熒光色素和上述樹脂構(gòu)成時，優(yōu)選將熒光色素、樹脂和適當(dāng)?shù)娜軇┗旌?、分散或可溶化，成為液狀物，用旋涂、輥涂、流延法等方法將該液狀物成膜，然后用光刻蝕法形成所需的熒光介質(zhì)的圖案，或者采用噴墨、絲網(wǎng)印刷等方法形成所需的圖案，形成熒光介質(zhì)。
濾色器的厚度并無特別限制，優(yōu)選為10nm～1000μm，更優(yōu)選為0.5μm～500μm，進(jìn)一步優(yōu)選為1μm～100μm。
(2)熒光介質(zhì)熒光介質(zhì)具有吸收有機(jī)EL元件的發(fā)光，發(fā)出波長更長的熒光的功能。
各熒光介質(zhì)優(yōu)選對應(yīng)于有機(jī)EL元件的發(fā)光區(qū)域，例如上部電極和下部電極的交叉部分的位置配置。如果上部電極和下部電極的交叉部分中的有機(jī)發(fā)光層發(fā)光，則各熒光介質(zhì)接受該光，可以將不同顏色(波長)的發(fā)光取出到外部。
熒光介質(zhì)的構(gòu)成材料并無特別限制，例如，由熒光色素和樹脂、或只由熒光色素構(gòu)成，熒光色素和樹脂可以列舉使熒光色素溶解或分散到顏料樹脂和/或粘合劑樹脂中的固體狀態(tài)的物質(zhì)。
對具體的熒光色素進(jìn)行說明，作為將有機(jī)EL元件中由近紫外光到紫色的發(fā)光轉(zhuǎn)換為藍(lán)色發(fā)光的熒光色素，可以列舉1，4-二(2-甲基苯乙烯基)苯(以下記為Bis-MBS)、反式-4，4’-二苯基芪(以下記為DPS)等芪類色素，7-羥基-4-甲基香豆素(以下記為香豆素4)等香豆素類色素。
對于將有機(jī)EL元件中藍(lán)色、藍(lán)綠色或白色的發(fā)光轉(zhuǎn)換為綠色發(fā)光時的熒光色素，可以列舉例如2，3，5，6-1H，4H-四氫-8-三氟甲基喹嗪并(9，9a，1-gh)香豆素(以下記為香豆素153)、3-(2’-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基香豆素(以下記為香豆素6)、3-(2’-苯并咪唑基)-7-N，N-二乙基氨基香豆素(以下記為香豆素7)等香豆素色素、作為其他香豆素色素類染料的堿性黃-51、以及溶劑黃-11、溶劑黃-116等萘二甲酰亞胺色素。
對于將有機(jī)EL元件中從藍(lán)色到綠色的發(fā)光、或白色的發(fā)光轉(zhuǎn)換為從橙色到紅色的發(fā)光時的熒光色素，可以列舉例如4-二氰基亞甲基-2-甲基-6-(對二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(以下記為DCM)等花青類色素，1-乙基-2-(4-(對二甲基氨基苯基)-1，3-丁二烯基)-吡啶鎓高氯酸鹽(以下記為吡啶1)等吡啶類色素，若丹明B、若丹明6G等若丹明類色素，其他的噁嗪類色素、堿性紫11、香豆素6等。
此外，如果各種染料(直接染料、酸性染料、堿性染料、分散染料等)也具有熒光性，則可以選擇作為熒光色素。
可以預(yù)先將熒光色素在聚甲基丙烯酸酯、聚氯乙烯、氯乙烯醋酸乙烯酯共聚物、醇酸樹脂、芳香族砜酰胺樹脂、脲樹脂、蜜胺樹脂、苯并鳥糞胺樹脂等顏料樹脂中煉入，使其顏料化。
此外，作為熒光色素，也可以使用由金屬化合物等無機(jī)化合物構(gòu)成，吸收可見光而發(fā)出比吸收的光長的熒光的無機(jī)熒光體。為了提高在粘合劑樹脂中的分散性，可以用例如長鏈烷基、膦酸等有機(jī)物在無機(jī)熒光體的表面修飾表面。
具體地，可以使用以下的無機(jī)熒光體。
(a)在金屬氧化物中摻雜過渡金屬離子的無機(jī)熒光體可以列舉在Y2O3、Gd2O3、ZnO、Y3Al5O12、Zn2SiO4等金屬氧化物中摻雜Eu2+、Eu3+、Ce3+、Tb3+等吸收可見光的過渡金屬離子形成的無機(jī)熒光體。
(b)在金屬硫?qū)僭鼗镏袚诫s過渡金屬離子的無機(jī)熒光體可以列舉在ZnS、CdS、CdSe等金屬硫?qū)僭鼗镏袚诫sEu2+、Eu3+、Ce3+、Tb3+等吸收可見光的過渡金屬離子形成的無機(jī)熒光體。
(c)利用半導(dǎo)體的帶隙，吸收可見光、發(fā)光的無機(jī)熒光體可以列舉CdS、CdSe、CdTe、ZnS、ZnSe、InP等半導(dǎo)體粒子。如在特表2002-510866號公報(bào)等文獻(xiàn)中知道的那樣，通過使它們的粒徑納米尺寸化，可以控制帶隙，其結(jié)果可以改變吸收-熒光波長。
在無機(jī)熒光體中，為了防止S、Se等從粘合劑樹脂的反應(yīng)成分中拔出，可以用二氧化硅等金屬氧化物、有機(jī)物等進(jìn)行表面修飾。例如，可以用ZnS這樣帶隙能量更高的半導(dǎo)體材料的殼被覆CdSe微粒的表面。這樣，容易體現(xiàn)中心微粒子內(nèi)產(chǎn)生的電子的封閉效果。
此外，上述熒光色素可以一種單獨(dú)使用，也可以兩種以上組合使用。
對于粘合劑樹脂，可以使用與濾色器相同的粘合劑樹脂。
此外，熒光介質(zhì)的形成方法也可以使用與濾色器相同的形成方法。
熒光介質(zhì)的厚度并無特別限制，例如，優(yōu)選為10nm～1000μm，更優(yōu)選為0.1μm～500μm，進(jìn)一步優(yōu)選為5μm～100μm。
7.透明基板為了防止水分侵入有機(jī)發(fā)光介質(zhì)內(nèi)部，透明基板優(yōu)選設(shè)置得使其至少覆蓋有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光區(qū)域。
作為該透明基板，可以使用與支持基板同種的材料。特別地，可以使用水分、氧的阻隔效果高的玻璃板或陶瓷基板。此外，對于透明基板的形態(tài)也無特別限制，例如，優(yōu)選為板狀、杯狀。此外，例如，當(dāng)為板狀時，優(yōu)選使其厚度為0.01～5mm。
此外，還優(yōu)選在支持基板的一部分設(shè)置溝等，將透明基板壓入其中將其固定，或者還優(yōu)選使用光固化型粘接劑等，固定到支持基板的一部分上。
實(shí)施例實(shí)施例1(1)TFT基板的制作圖2(a)～(i)為表示多晶硅TFT的形成工序的圖。此外，圖3表示含有多晶硅TFT的電開關(guān)連接結(jié)構(gòu)的電路圖，圖4為表示含有多晶硅TFT的電開關(guān)連接結(jié)構(gòu)的平面透視圖。
首先，采用減壓CVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)等方法，在112mm×143mm×1.1mm的玻璃基板2(OA2玻璃、日本電氣硝子(株)制)上層疊α-Si層40(圖2(a))。然后，將KrF(248nm)激光等的激元激光照射到α-Si層40上，進(jìn)行退火結(jié)晶，成為多晶硅(圖2(b))。采用光刻蝕方式使該多晶硅成為島狀圖案(圖2(c))。采用化學(xué)蒸鍍(CVD)等在得到的島狀多晶硅41和基板2的表面上層疊絕緣門極材料42，成為門極氧化物絕緣層42(圖2(d))。然后，采用蒸鍍或?yàn)R射成膜，形成門電極43(圖2(e))，在濺射門電極43的同時進(jìn)行陽極氧化(圖2(f)～(h))。進(jìn)而采用離子摻雜(離子注入)形成摻雜區(qū)域，這樣形成活性層，成為源電極45和漏電極47，形成多晶硅TFT(圖2(i))。此時，以門電極43(和圖4的掃描電極50、電容器57的底部電極)為Al，使TFT的源電極45和漏電極47為n+型。
然后，采用CRCVD法在得到的活性層上以500nm的膜厚形成層間絕緣膜(SiO2)，然后進(jìn)行信號電極線51和共通電極線52、電容器上部電極57(Al)的形成，進(jìn)行第2晶體管(Tr2)56的源電極和共通電極的連接，進(jìn)行第1晶體管(Tr1)55的漏電極和信號電極的連接(圖3、圖4)。各TFT和各電極的連接通過采用氫氟酸的濕式蝕刻將層間絕緣膜SiO2開口而適當(dāng)進(jìn)行。
然后，采用濺射順次分別以2000、1300形成Cr和ITO膜。在該基板上旋涂正型抗蝕劑(HPR204富士膠卷ァ一チ制)，通過成為90μm×320μm的點(diǎn)狀圖案的光掩模進(jìn)行紫外線曝光，用TMAH(四甲基氫氧化銨)顯影液進(jìn)行顯影，在130℃下進(jìn)行烘烤，得到抗蝕劑圖案。
然后，用47％氫溴酸構(gòu)成的ITO蝕刻液對露出部分的ITO進(jìn)行蝕刻，然后用硝酸鈰銨/高氯酸水溶液(HCE長瀨產(chǎn)業(yè)制)對Cr進(jìn)行蝕刻。然后，用以乙醇胺為主成分的剝離液(N303長瀨產(chǎn)業(yè)制)對抗蝕劑進(jìn)行處理，得到Cr/ITO圖案(下部電極陽極)。
此時，Tr2 56和下部電極10通過開口部59連接(圖4)。
接著，作為第二層間絕緣膜，旋涂反型抗蝕劑(V259BK新日鐵化學(xué)社制)，進(jìn)行紫外線曝光，用TMAH(四甲基氫氧化銨)顯影液進(jìn)行顯影。然后，在180℃下進(jìn)行烘烤，形成將Cr/ITO的邊緣被覆(ITO的開口部70μm×200μm)的有機(jī)膜的層間絕緣膜(未圖示)。
(2)有機(jī)EL元件的制作用純水和異丙醇將這樣制得的帶有層間絕緣膜的基板超聲波洗滌，通過吹氣干燥后，進(jìn)行UV洗滌。
然后，將TFT基板移動到有機(jī)蒸鍍裝置(日本真空技術(shù)制)中，將基板固定到基板支架上。此外，預(yù)先在各自的鉬制的加熱船中分別裝入作為空穴注入材料的4，4’，4”-三[N-(3-甲基苯基)-N-苯基氨基]三苯胺(MTDATA)、4，4’-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]聯(lián)苯(NPD)，作為發(fā)光材料的基質(zhì)的4，4’-二(2，2-二苯基乙烯基)聯(lián)苯(DPVBi)，作為摻雜劑的1，4-二[4-(N，N-二苯基氨基苯乙烯基苯)](DPAVB)，作為電子注入材料和陰極的三(8-羥基喹啉)鋁(Alq)和Li，進(jìn)而作為陰極的取出電極，將IZO(先出)靶裝到另外的濺射槽中作為電極。
然后，將真空槽減壓到6.65×10-5Pa后，按以下順序在中途不破壞真空的情況下，以一次抽真空順次層疊從空穴注入層到陰極。
首先，以蒸鍍速度0.1～0.3nm/秒、膜厚60nm蒸鍍MTDATA以及以蒸鍍速度0.1～0.3nm/秒、膜厚20nm蒸鍍NPD作為空穴注入層，分別以蒸鍍速度0.1～0.3nm/秒、蒸鍍速度0.03～0.05nm/秒共蒸鍍膜厚50nm的DPVBi和DPAVB作為發(fā)光層，以蒸鍍速度0.1～0.3nm/秒蒸鍍膜厚20nm的Alq作為電子注入層，再分別以蒸鍍速度0.1～0.3nm/秒、0.005nm/秒共蒸鍍Alq和Li作為陰極，使膜厚為20nm。
然后，將基板移動到濺射槽中，作為陰極的取出電極，以成膜速度0.1～0.3nm/秒形成膜厚200nm的IZO，制作有機(jī)EL元件。
(3)鈍化層的制作和有機(jī)EL元件基板的制作然后，作為鈍化層，采用低溫CVD在有機(jī)EL元件的上部電極上以200nm的厚度形成SiOxNy(O/O+N＝50％原子比)膜作為透明無機(jī)膜。這樣便得到有機(jī)EL元件基板。
(4)顏色轉(zhuǎn)換基板的制作在102mm×133mm×1.1mm的支持基板(透明基板)(OA2玻璃日本電氣硝子社制)上旋涂V259BK(新日鐵化學(xué)社制)作為黑色基質(zhì)(matrix)(BM)的材料，通過成為格子狀圖案的光掩模進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在200℃下進(jìn)行烘烤，形成黑色基質(zhì)(膜厚1.5μm)的圖案。
然后，旋涂含有酞菁銅類顏料的V259B(新日鐵化學(xué)社制)作為藍(lán)色濾色器的材料，通過能獲得320根長方形(90μm線、240μm間隙)的帶狀圖案的光掩模，與BM位置對應(yīng)進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在200℃下進(jìn)行烘烤，形成藍(lán)色濾色器(膜厚1.5μm)的圖案。
然后，旋涂含有溴化酞菁類偶氮類顏料的V259G(新日鐵化學(xué)社制)作為綠色濾色器的材料，通過能獲得320根長方形(90μm線、240μm間隙)的帶狀圖案的光掩模，與BM位置對應(yīng)進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在200℃下進(jìn)行烘烤，與藍(lán)色濾色器相鄰形成綠色濾色器(膜厚1.5μm)的圖案。
然后，旋涂含有二氧代吡咯并吡咯(ジケトピロロピァ-ト)類偶氮類顏料的V259R(新日鐵化學(xué)社制)作為紅色濾色器的材料，通過能獲得320根長方形(90μm線、240μm間隙)的帶狀圖案的光掩模，與BM位置對應(yīng)進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在200℃下進(jìn)行烘烤，在藍(lán)色濾色器和綠色濾色器之間形成紅色濾色器(膜厚1.5μm)的圖案。
然后，作為綠色熒光介質(zhì)的材料，調(diào)制將0.04mol/kg(對固體成分而言)量的香豆素6溶解于丙烯酸類負(fù)型光致抗蝕劑(V259PA、固體成分濃度50％新日鐵化學(xué)社制)的油墨。
將該油墨旋涂于前面的基板上，在綠色濾色器上進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在200℃下進(jìn)行烘烤，在綠色濾色器上形成綠色轉(zhuǎn)換膜的圖案(膜厚10μm)的圖案。
然后，作為紅色熒光介質(zhì)的材料，調(diào)制將香豆素60.53g、堿性紫111.5g、若丹明6G1.5g溶解于丙烯酸類負(fù)型光致抗蝕劑(V259PA、固體成分濃度50％新目鐵化學(xué)社制)100g中的油墨。
將該油墨旋涂于前面的基板上，在紅色濾色器上進(jìn)行紫外線曝光，用2％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影后，在180℃下進(jìn)行烘烤，在紅色濾色器上形成紅色轉(zhuǎn)換膜的圖案(膜厚10μm)。
然后，在前面的基板上旋涂丙烯酸類熱固性樹脂(V259PH新日鐵化學(xué)社制)上作為平坦化膜，在180℃下進(jìn)行烘烤，形成了平坦化膜(膜厚12μm)。
其次，采用低溫CVD在平坦化膜上，以200nm的厚度形成SiOxNy(O/O+N＝50％原子比)膜作為鈍化層。這樣便獲得了顏色轉(zhuǎn)換基板。
(5)上下基板的貼合將制作的有機(jī)EL元件基板和顏色轉(zhuǎn)換基板移動到流通有干燥氮?dú)獾母上鋬?nèi)，在有機(jī)EL元件基板的顯示部(發(fā)光部)周邊用分散器(dispenser)涂布陽離子型光固化型粘接劑(スリ一ボンド制3102)。
然后，使有機(jī)EL元件基板和顏色轉(zhuǎn)換基板與位置配合標(biāo)記相符合，通過光照射進(jìn)行貼合，在相當(dāng)于顯示部的部分填充預(yù)先進(jìn)行了脫氣處理的惰性液體(氟化烴スリ一エム制FC70)。
(6)有機(jī)EL顯示裝置的可靠性評價如上所述制作主動(active)有機(jī)EL顯示裝置(圖1)，在其下部電極(ITO/Cr)和上部電極(IZO)上外加DC7V的電壓(下部電極(+)，上部電極(-))，各電極的交叉部分(像素)發(fā)光。
然后，在本裝置中，在85℃下實(shí)施500小時保存試驗(yàn)，通過顯微鏡觀察來測定發(fā)光像素區(qū)域的縮小率(％)，結(jié)果其為3％，確認(rèn)得到耐久性優(yōu)異的有機(jī)EL顯示裝置。此外，縮小率(％)如下所示求出。
縮小率(％)＝(保存試驗(yàn)前的發(fā)光像素面積-保存試驗(yàn)后的發(fā)光像素面積)×100/保存試驗(yàn)前的發(fā)光像素面積比較例1在實(shí)施例1中，除了不在顏色轉(zhuǎn)換基板上形成鈍化層外，在同一條件下制作有機(jī)EL顯示裝置(圖5)，實(shí)施可靠性評價。
其結(jié)果發(fā)光像素區(qū)域的縮小率為12％，與實(shí)施例相比，有機(jī)EL顯示裝置的耐久性差。
比較例2在實(shí)施例1中，除了不在有機(jī)EL元件基板上形成鈍化層外，在同一條件下制作有機(jī)EL顯示裝置(圖6)，實(shí)施可靠性評價。
其結(jié)果發(fā)光像素區(qū)域的縮小率為10％，與實(shí)施例相比，有機(jī)EL顯示裝置的耐久性差。
由以上可以確認(rèn)，通過在有機(jī)EL元件基板上和顏色轉(zhuǎn)換基板上形成鈍化層，有機(jī)EL顯示裝置的耐久性提高。評價結(jié)果示于表1。
表1有機(jī)EL顯示裝置的耐久性比較

根據(jù)本發(fā)明，可以提供黑點(diǎn)等非發(fā)光部分的產(chǎn)生少，耐久性優(yōu)異的有機(jī)EL顯示裝置及其制造方法。
權(quán)利要求
1.有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其以如下順序設(shè)置支持基板、有機(jī)場致發(fā)光元件、第1鈍化層、第2鈍化層、對所述有機(jī)場致發(fā)光元件發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層、以及透光性基板。
2.權(quán)利要求1所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，當(dāng)將所述第1鈍化層的膜厚記為T1，將所述第2鈍化層的膜厚記為T2時，T1+T2滿足0.001μm＜T1+T2＜200μm。
3.權(quán)利要求1所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，在所述第1鈍化層和所述第2鈍化層之間設(shè)置中間層。
4.權(quán)利要求3所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，所述中間層由惰性流體構(gòu)成。
5.權(quán)利要求1所述的有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其中，所述顏色轉(zhuǎn)換層含有熒光介質(zhì)。
6.有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其包括在支持基板上設(shè)置有機(jī)場致發(fā)光元件和第1鈍化層，形成第1基板；在透光性基板上設(shè)置對所述有機(jī)場致發(fā)光元件發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層和第2鈍化層，形成第2基板；將所述第1基板和所述第2基板貼合以使所述第1鈍化層和所述第2鈍化層相對。
全文摘要
有機(jī)場致發(fā)光顯示裝置，其以如下順序設(shè)置支持基板(1)、有機(jī)EL元件(2)、第1鈍化層(3)、第2鈍化層(4)、對有機(jī)EL元件(2)發(fā)出的光的顏色進(jìn)行調(diào)整和/或轉(zhuǎn)換的顏色轉(zhuǎn)換層(5)以及透光性基板(6)。在該裝置中，由于設(shè)置2層鈍化層，因此可以有效地阻隔針孔的通過，密封性提高，不易形成非發(fā)光區(qū)域。因此，得到黑點(diǎn)等非發(fā)光部分的產(chǎn)生少，耐久性優(yōu)異的有機(jī)EL顯示裝置。
文檔編號H01L51/52GK1706226SQ200380101569
公開日2005年12月7日 申請日期2003年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月16日
發(fā)明者榮田暢, 熊均, 細(xì)川地潮 申請人:出光興產(chǎn)株式會社