專(zhuān)利名稱(chēng)：晶片加工操作臺(tái)的本地儲(chǔ)存器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及盒的儲(chǔ)存，具體地涉及一種用于在集成電路制造系統(tǒng)中在一或多部加工操作臺(tái)處或附近本地緩沖半導(dǎo)體晶片盒(也稱(chēng)作“承載器”或“片盒”)的裝置。
背景技術(shù)：
集成電路(通常縮寫(xiě)為“IC”)模片是通過(guò)在制造系統(tǒng)(通?？s寫(xiě)為“fab”)中在半導(dǎo)體晶片(也稱(chēng)作“基片”)上實(shí)施多步工序而制成的。晶片一般被保持在中心儲(chǔ)存器1(通常稱(chēng)作“儲(chǔ)料器”)中，并被運(yùn)送到一部或多部加工操作臺(tái)2A-2M處(其中A≤J≤M，M是加工操作臺(tái)的總數(shù))。在運(yùn)送期間，多個(gè)晶片保持在盒3(也稱(chēng)作“承載器”、“片盒”“SMIF”、“盒”、“箱器”、“FOUP”和“運(yùn)送容器”)。承載器的大小取決于其中可以保持的晶片最大數(shù)量，現(xiàn)有技術(shù)公開(kāi)了用于保持13個(gè)晶片的承載器、以及用于保持多達(dá)25個(gè)晶片或者少至一個(gè)晶片的更為新近的承載器。
如圖1A中所示，承載器3可以由高架運(yùn)送器4(通?？s寫(xiě)為“OHV”)從儲(chǔ)料器1中拾取，并根據(jù)將在其上實(shí)施的制造工序而被運(yùn)送到某一加工操作臺(tái)2A-2M(也稱(chēng)作“加工系統(tǒng)”或“加工工具”)處。代替OHV 4，承載器也可以人工傳送，或者另外由一種自動(dòng)導(dǎo)向運(yùn)送器(圖1A中未示出；通?？s寫(xiě)為“AGV”)，由一種人工導(dǎo)向運(yùn)送器(圖1A中也未示出；通?？s寫(xiě)為“PGV”)或由一種軌道導(dǎo)向運(yùn)送器(圖1A中也未示出；縮寫(xiě)為“RGV”)。
授予Perlor等人的美國(guó)專(zhuān)利第6283692號(hào)(在此全文引用作為背景參考材料)指出，“為了確保加工設(shè)備不會(huì)閑置，在加工操作臺(tái)處應(yīng)當(dāng)幾乎連續(xù)的供應(yīng)未加工的基片。遺憾的是，許多加工操作臺(tái)只能在裝載臺(tái)處保持一個(gè)單獨(dú)的片盒。因此，一旦片盒中的所有基片已經(jīng)加工完成，片盒就必須或是用人工或是用AGV迅速更換，代以一個(gè)容納未加工基片的新片盒。遺憾的是，運(yùn)用這樣一種及時(shí)片盒存儲(chǔ)系統(tǒng)需要或是操作人工有效的監(jiān)視或是大量的AGV，從而加大了制造設(shè)施的成本。因此，在此需要一種方法和裝置，連續(xù)地向加工系統(tǒng)供應(yīng)基片片盒，以及系統(tǒng)空閑時(shí)間被減少或被消除?！币?jiàn)第一欄，34-45行。
Perlor等人提出“一種在加工操作臺(tái)處儲(chǔ)存多個(gè)片盒的方法和裝置，確保為加工形成未加工的基片的幾乎不間斷的供應(yīng)，以及確保加工設(shè)備不會(huì)閑置。多個(gè)片盒可以在一前端機(jī)架上被儲(chǔ)存在加工操作臺(tái)處，而一個(gè)片盒可以被移動(dòng)到一對(duì)接臺(tái)，在那里，基片被抽取和傳遞到加工設(shè)備。一自動(dòng)系統(tǒng)被安裝或設(shè)置在機(jī)架上，以在對(duì)接臺(tái)間或在加工操作臺(tái)間傳遞片盒。此裝置不會(huì)增加加工操作臺(tái)的占地面積，即所需的清潔室地板面積。在本發(fā)明的另一方案中，片盒可以在不同加工操作臺(tái)間運(yùn)送而不使用AGV?！币?jiàn)第一欄，53-67行。
參照?qǐng)D1A，在運(yùn)送后，每一承載器被安放在位于加工操作臺(tái)2A前面的盒開(kāi)啟器/裝載器5(也稱(chēng)作“裝載口岸”或“盒開(kāi)啟器”)上。每一盒開(kāi)啟器/裝載器5可打開(kāi)承載器的蓋，使得承載器內(nèi)部的晶片可以由位于加工操作臺(tái)2A機(jī)殼中的機(jī)器手進(jìn)行抽取。機(jī)殼形成了其中可以處理晶片的一種近乎無(wú)塵粒的環(huán)境，如比如SEMATECH國(guó)際組織，位于2706 Montopolis Drive，Austin Texas 78741，“I300I制造指南版本5.0”(此指南在此全文引用作為背景參考材料)所要求的那樣，見(jiàn)節(jié)2.7。
取決于多部加工操作臺(tái)2A-2M的處理量，也取決于制造期間使用加工操作臺(tái)2A-2M的次序，可以在一部加工操作臺(tái)前面設(shè)置一個(gè)、兩個(gè)或甚至四個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器，如圖1A中所示。雖然在圖1A中所示，每一盒開(kāi)啟器/裝載器只能支承一個(gè)承載器，但一個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器(也稱(chēng)作“裝載和卸載臺(tái)”)也可能支承兩件承載器，如比如由授予Mages等人的美國(guó)專(zhuān)利5772386所示(在此全文引用作為背景參考材料)。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，一種儲(chǔ)存器，具有分立于和不同于上述任何一項(xiàng)的其自身占地面積，本地設(shè)置在一加工操作臺(tái)處，比如，在一集成電路模片的制造系統(tǒng)中。此儲(chǔ)存器(也稱(chēng)作“緩沖裝置”)位于一盒開(kāi)啟器/裝載器附近，后者本身又靠近加工操作臺(tái)。此緩沖裝置可向/從盒開(kāi)啟器/裝載器一次傳遞一個(gè)盒，盒開(kāi)啟器/裝載器再打開(kāi)每個(gè)盒，而其中的晶片可以被傳遞給加工操作臺(tái)或從加工操作臺(tái)傳遞出去。在這些實(shí)施例中，緩沖裝置直接向/從盒開(kāi)啟器/裝載器傳遞盒，而在盒開(kāi)啟器/裝載器與緩沖裝置間不需任何媒介(諸如某一人、OHV、AGV、RGV或PGV)。取決于實(shí)施例，緩沖裝置可以向/從這樣一種媒介傳遞盒(另外或代替向/從盒開(kāi)啟器/裝載器傳遞盒)。
這種獨(dú)立緩沖裝置的一實(shí)施例包括兩類(lèi)機(jī)構(gòu)，分別沿垂直方向和沿水平方向向/從裝置內(nèi)的一存儲(chǔ)的位置(也稱(chēng)為存儲(chǔ)位置)移動(dòng)盒(也稱(chēng)作“承載器”)。具體地說(shuō)，一部機(jī)構(gòu)(下文中的“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，本身能夠沿垂直方向移動(dòng)，固接于一腳座，而另有多部機(jī)構(gòu)(下文中的“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，每個(gè)都能夠沿水平方向移動(dòng)，裝接于垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)。雖然在剛才說(shuō)明的實(shí)施例中，單獨(dú)一部機(jī)構(gòu)在承載器的任何垂直移動(dòng)期間諧調(diào)一致地移動(dòng)所有的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，但在另外一些實(shí)施例中，每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以獨(dú)立于另一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)的垂直移動(dòng)而在垂直方向被移動(dòng)。
緩沖裝置的幾種實(shí)施例可在上述儲(chǔ)存位置與位于由緩沖裝置占據(jù)的空間以外的預(yù)定位置(稱(chēng)作“傳遞位置”)之間移動(dòng)承載器。傳遞位置在水平方向上離開(kāi)腳座一個(gè)稱(chēng)作“水平范圍”的距離，而在垂直方向上離開(kāi)腳座另一個(gè)稱(chēng)作“垂直范圍”的距離。
在儲(chǔ)存作業(yè)期間，緩沖裝置從傳遞位置移動(dòng)一承載器經(jīng)過(guò)水平距離，而后沿垂直方向移動(dòng)此承載器進(jìn)入儲(chǔ)存位置。為取回先前儲(chǔ)存的承載器而要反轉(zhuǎn)這些動(dòng)作。上述緩沖裝置的一些實(shí)施例在上述傳遞位置(稱(chēng)作“上傳遞位置”)以外具有另一傳遞位置(稱(chēng)作“下傳遞位置”)。在一個(gè)這種實(shí)施例中，緩沖裝置設(shè)計(jì)得可把一承載器從任一儲(chǔ)存位置傳遞到任一傳遞位置。具體地說(shuō)，緩沖裝置可以把一承載器從最低的儲(chǔ)存位置傳遞到上傳遞位置，也可以把一承載器從最高的儲(chǔ)存位置傳遞到下傳遞位置。
上述這類(lèi)緩沖裝置具有多個(gè)儲(chǔ)存位置(彼此上下疊置)，在這些位置處可以?xún)?chǔ)存相應(yīng)數(shù)量的承載器。為了達(dá)到最低儲(chǔ)存位置，緩沖裝置的幾個(gè)實(shí)施例可移動(dòng)承載器經(jīng)過(guò)一或多個(gè)中間儲(chǔ)存位置。在這些實(shí)施例中，用于儲(chǔ)存這樣一部緩沖裝置內(nèi)的物體的空間也用于垂直運(yùn)送物體。
同一空間的雙重利用可使一緩沖裝置占據(jù)小的占地面積(對(duì)比于利用彼此不同的分別用于儲(chǔ)存和運(yùn)送的兩個(gè)空間，會(huì)實(shí)際上加倍占地面積)。緩沖裝置占地面積的較小尺寸可顯著地節(jié)約成本，比如在那些清潔室的占地面積備受重視的制造系統(tǒng)中。在一實(shí)施例中，緩沖裝置的占地面積域做得盡可能地小，比如與一個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器一樣小，雖然在其他一些實(shí)施例中可采用較大占地面積的盒裝置。
雖然是在制造系統(tǒng)的情況下說(shuō)明，但這樣一種緩沖裝置也可針對(duì)非承載器的物體而用在非制造系統(tǒng)的環(huán)境中。


圖1A是現(xiàn)有技術(shù)的一種制造系統(tǒng)的三維透視圖；圖1B示出并排配置的現(xiàn)有技術(shù)的兩套制造系統(tǒng)的視圖；圖2A-2C表明符合本發(fā)明的一種緩沖裝置的示意圖；圖3A-3C表明帶有一擱架的圖2A-2C的緩沖裝置的示意圖；圖4A-4C在擱架下提供一傳遞位置的圖3A-3C的緩沖裝置的示意圖；圖5A、5E、5F以三維透視圖以及圖5B、5C、5D和5G-5L以側(cè)視圖表明示于圖4A-4C中的緩沖裝置類(lèi)型的一具體實(shí)施例；圖6A、6B、6C和6D分別以一透視圖、一頂視圖、一側(cè)視圖和一前視圖表明圍封在一箱體中的圖5A-5L的緩沖裝置；圖6E以透視圖表明帶有一盒開(kāi)啟器/裝載器以形成一組合體的圖6A-6D的緩沖裝置(也稱(chēng)作“緩沖系統(tǒng)”)裝配的初始階段；圖7A-7J表明利用帶有高架運(yùn)送器(OHV)的圖6E的緩沖系統(tǒng)，以便在制造集成電路模片期間本地儲(chǔ)存晶片承載器；圖8A-8C分別以一側(cè)視圖、一透視圖和一分解圖表明緩沖裝置一具體實(shí)施例的實(shí)施細(xì)節(jié)；圖9A-9D以一側(cè)視圖、一前視圖、一平面視圖和一后視圖表明用在圖8A-8C的緩沖裝置中的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一個(gè)范例；圖9E和9F分別以一透視圖和一分解圖表明圖9A-9C的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)；圖10A-10B表明在一導(dǎo)向運(yùn)送器與一緩沖裝置間一承載器的傳遞；圖11表明一緩沖裝置安放在一盒開(kāi)啟器/裝載器的前面而不是側(cè)面；圖12A-12B示出成列的緩沖系統(tǒng)；圖12C示出成列的緩沖系統(tǒng)以及它們與導(dǎo)向運(yùn)送器的相互作用；圖13A示出一種致密排放配置中的成列的緩沖系統(tǒng)以及緩沖系統(tǒng)與OHV、導(dǎo)向運(yùn)送器和操作人工的相互作用；圖13B示出加工操作臺(tái)的致密排放以及從緩沖裝置的使用中導(dǎo)出的維護(hù)寬度；圖13C示出一種致密排放配置中的成列的緩沖系統(tǒng)以及緩沖系統(tǒng)與OHV、導(dǎo)向運(yùn)送器和操作人工的相互作用；圖13D示出一種成列的緩沖系統(tǒng)和可以用以從緩沖系統(tǒng)裝載或卸載承載器和多條通路；圖13E-13H表明一緩沖裝置從一部加工系統(tǒng)到另一加工系統(tǒng)的重新布署；圖14示出帶有延伸式緩沖裝置的一種成列的緩沖系統(tǒng)；圖15A-15C示出一種可移動(dòng)緩沖裝置在一人工導(dǎo)向運(yùn)送器、一軌道導(dǎo)向運(yùn)送器和一自動(dòng)導(dǎo)向運(yùn)送器中的應(yīng)用；圖16以一方框圖表明用在一種緩沖裝置一實(shí)施例中的電路系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式
按照本發(fā)明，一種儲(chǔ)存器，小于并分立和不同于現(xiàn)有技術(shù)的集中儲(chǔ)料器(見(jiàn)圖1A)，本地設(shè)置在比如集成電路(IC)模片的制造系統(tǒng)中的加工操作臺(tái)處。此儲(chǔ)存器專(zhuān)用于在靠近加工操作臺(tái)的區(qū)域內(nèi)本地儲(chǔ)存物體(諸如承載器)。本地儲(chǔ)存的物體可以由加工操作臺(tái)立即處理，從而消除了加工操作臺(tái)使用中的停頓時(shí)間。因此，本地儲(chǔ)存器(也稱(chēng)作“緩沖裝置”)提供了即將用在加工操作臺(tái)中(或剛剛由操作臺(tái)使用過(guò))的物體的短期緩沖。對(duì)于IC制造系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，“緩沖裝置”一詞概括了任何一種能夠儲(chǔ)存以及向和從一裝載口岸(port)傳遞多個(gè)承載器的任何裝置。采用這樣一種緩沖裝置可通過(guò)減少運(yùn)送耗費(fèi)時(shí)間來(lái)減小AMHS(也稱(chēng)作“自動(dòng)物料裝卸系統(tǒng)”)的復(fù)雜性。
緩沖裝置10的一實(shí)施例(圖2A)包括兩類(lèi)分別沿垂直方向和水平方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。具體地說(shuō)，一機(jī)構(gòu)11(也稱(chēng)作“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠沿垂直方向移動(dòng)，固接于腳座12，以及另外多個(gè)機(jī)構(gòu)13A-13N(其中A≤I≤N，N是這些機(jī)構(gòu)的總數(shù))，能夠沿水平方向移動(dòng)，裝接于垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)11。數(shù)量N取決于采用緩沖裝置10的特定應(yīng)用場(chǎng)合，并取決于儲(chǔ)存在其中的物體的尺寸。
機(jī)構(gòu)11和13A-13N的具體設(shè)計(jì)可以是不同的，取決于實(shí)施例，雖然多個(gè)實(shí)施例采用至少三類(lèi)零部件；導(dǎo)引器、軸承和傳動(dòng)裝置?？梢杂迷谶@些機(jī)構(gòu)中的導(dǎo)引器實(shí)例包括，但不限于，一體式滑座與托架、伸縮式滑座或剪式機(jī)構(gòu)。可以用在這些機(jī)構(gòu)中的軸承實(shí)例包括，但不限于，線性軸承、球軸承、滑動(dòng)軸承、靜壓軸承或滾柱軸承?？梢杂迷谶@些機(jī)構(gòu)中的傳動(dòng)裝置實(shí)例包括，但不限于，由電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的絲杠、氣缸、由電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的纜繩滑輪機(jī)構(gòu)，或者由電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的帶有適當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的皮帶。
雖然以上描述了某些實(shí)例，但是，任何沿直線運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)構(gòu)都可以由技術(shù)工人依照這一公開(kāi)進(jìn)行組合、而構(gòu)成一種包括所述的一個(gè)垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)11和多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A-13N的裝置。用以實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)11的一或多個(gè)零件可以與用以實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)13A-13N的對(duì)應(yīng)零件具有相同的類(lèi)型、或者與具有不同的類(lèi)型，這取決于實(shí)施例。機(jī)構(gòu)11和13A-13N的設(shè)計(jì)可能取決于多種因素，諸如儲(chǔ)存在裝置10中的物體的重量和尺寸。
如圖2A中所示，每一機(jī)構(gòu)(也稱(chēng)作“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)13I可以由機(jī)構(gòu)11移動(dòng)、使垂直經(jīng)過(guò)一最大距離V范圍。如圖2C中所示，每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13I本身水平移動(dòng)(經(jīng)過(guò)一最大距離H范圍)。雖然在剛才說(shuō)明的實(shí)施例中，共用的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)11在垂直移動(dòng)期間一致地移動(dòng)所有的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A-13N，但在另外一些實(shí)施例中，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13N可以不依賴(lài)于另一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)諸如機(jī)構(gòu)13I的垂直移動(dòng)、而垂直移動(dòng)。
如圖2A-2C中所示，緩沖裝置10可以向/從相對(duì)于腳座的預(yù)定位置14(下文中的“傳遞位置”)傳遞任物體，此位置在水平方向上離開(kāi)腳座12一個(gè)距離Th和在垂直方向上離開(kāi)腳座12一個(gè)距離Tv，只要Th＜H范圍并且Tv＜V范圍即可。具體地說(shuō)，在作業(yè)期間，緩沖裝置10可移動(dòng)物體(在此物體聯(lián)接于水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A后)經(jīng)過(guò)水平范圍H范圍，此后垂直移動(dòng)物體進(jìn)入儲(chǔ)存位置15A-15N之一。
儲(chǔ)存在裝置10內(nèi)的物體的垂直移動(dòng)量取決于儲(chǔ)存位置15I的具體位置。比如，為了達(dá)到最低儲(chǔ)存位置15A，一將被儲(chǔ)存的物體被移動(dòng)經(jīng)過(guò)整個(gè)垂直范圍(比如從圖2B中機(jī)構(gòu)13A的位置到儲(chǔ)存位置15A)。相反，為了達(dá)到最上面儲(chǔ)存位置15N，物體只需要移動(dòng)經(jīng)過(guò)該垂直范圍的一部分，其中該部分(也稱(chēng)作“間距”)是由儲(chǔ)存位置的個(gè)數(shù)N來(lái)除該垂直范圍而獲得的。為儲(chǔ)存而實(shí)施的動(dòng)作(如上述)反向可導(dǎo)致物體從其儲(chǔ)存位置返回到傳遞位置14。
在一些實(shí)施例中，用于在裝置10內(nèi)儲(chǔ)存物體的空間也用于垂直運(yùn)送物體。同一空間的雙重利用可使裝置10占據(jù)較小的占地面積(與采用彼此不同的兩個(gè)空間、分別用于儲(chǔ)存和運(yùn)送相比)。在這種裝置10中占地面積的較小尺寸導(dǎo)致顯著地節(jié)約成本，比如在凈化室中的空間備受重視的制造系統(tǒng)中。
在圖2A-2C中所示的一種這樣的實(shí)施例中，為了達(dá)到最低儲(chǔ)存位置15A，緩沖裝置10沿垂直方向移動(dòng)一將被儲(chǔ)存的物體經(jīng)過(guò)最上面儲(chǔ)存位置15N，并經(jīng)過(guò)一或多個(gè)中間儲(chǔ)存位置15I和15B。在物體移動(dòng)到最低儲(chǔ)存位置15A期間，沒(méi)有任何物體可在任何儲(chǔ)存位置15A-15N上。以類(lèi)似方式，在物體移動(dòng)到次最低儲(chǔ)存位置15B期間，物體可以在最低儲(chǔ)存位置15A上，但沒(méi)有物體可在任何中間儲(chǔ)存位置15B和15I上，并且沒(méi)有物體可在最上面儲(chǔ)存位置15N上。
如上所指出，在圖2A-2C中所示的實(shí)施例中，在任何垂直移動(dòng)期間，所有的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A-13N協(xié)調(diào)一致地移動(dòng)。因此，當(dāng)物體由機(jī)構(gòu)13B接納時(shí)，已由機(jī)構(gòu)13A保持的另物體占據(jù)最上面儲(chǔ)存位置15N。此后兩個(gè)物體被協(xié)調(diào)一致地向下移動(dòng)進(jìn)入它們各自的儲(chǔ)存位置15A和15B。在此實(shí)例中，由機(jī)構(gòu)13A保持的物體移動(dòng)經(jīng)過(guò)儲(chǔ)存位置15I和15B，而由機(jī)構(gòu)13B保持的另物體移動(dòng)經(jīng)過(guò)儲(chǔ)存位置15N和15I。
在一實(shí)施例中，所有的儲(chǔ)存位置15A-15N位于傳遞位置14(也稱(chēng)作“上傳遞位置”)的高度Tv以下的高度處(自腳座起)，使得緩沖裝置10可以把物體移動(dòng)到一另外的傳遞位置16(也稱(chēng)作“下傳遞位置”)，后者位于上傳遞位置14以下，如圖3A中所示。比如，下傳遞位置16可以處在高度Tp處，后者大致上與最上面儲(chǔ)存位置15N的高度(N-1)*間距一樣。因此，在最上面儲(chǔ)存位置15N上的物體可以被運(yùn)送到下傳遞位置16(見(jiàn)圖3A)，具有少量垂直移動(dòng)或甚至沒(méi)有任何垂直移動(dòng)，取決于實(shí)施例。這種垂直移動(dòng)，如果存在，通常小于間距，比如25mm。
注意，先前儲(chǔ)存的物體被傳送到上傳遞位置14需要將此物體向上移動(dòng)(見(jiàn)參照?qǐng)D2A-2C的以上說(shuō)明)經(jīng)過(guò)大致上等于該間距的一個(gè)距離，如果此物體被保持在最上面儲(chǔ)存位置15N上的話。此外，由于在任一儲(chǔ)存位置15A-15N上的物體可以沿垂直方向移動(dòng)經(jīng)過(guò)距離V范圍，以便傳送到上傳遞位置14(見(jiàn)參照?qǐng)D2A-2C的以上說(shuō)明)，此物體可以通過(guò)少量的垂直移動(dòng)被傳送到下傳遞位置16。具體地說(shuō)，在儲(chǔ)存位置15A上的物體可以通過(guò)圖3C中的機(jī)構(gòu)13A延伸段被移動(dòng)到下傳遞位置16(圖3A)。因此，在此實(shí)施例中，在最上面儲(chǔ)存位置15N上的物體可以被傳遞到下傳遞位置16(見(jiàn)圖3A)，而另外在最低儲(chǔ)存位置15A上的物體可以被傳遞到上傳遞位置14(見(jiàn)圖3C)。
在一實(shí)施例中，緩沖裝置10在儲(chǔ)存物體時(shí)(或在空置時(shí))，亦即在無(wú)傳遞進(jìn)行時(shí)，保持所有的機(jī)構(gòu)11和13A-13N是收進(jìn)的(如圖2A所示)。因此，這種位置15A-15N(圖2B、3A和3C)已經(jīng)在以上說(shuō)明中稱(chēng)為“儲(chǔ)存位置”。注意，同一裝置10可以保持在鏡象形態(tài)中，其中位置17A-17N(圖3B)是儲(chǔ)存位置，而位置15A-15N(圖3A)只在向/從緩沖裝置10傳遞物體期間進(jìn)行利用。在這樣一種形態(tài)中，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)11在儲(chǔ)存物體時(shí)(或在空置時(shí))，亦即在無(wú)傳遞進(jìn)行時(shí)，是保持伸出的(見(jiàn)圖3A)。在此鏡象形態(tài)中，所有的儲(chǔ)存位置17A-17N(圖3B)都位于下傳遞位置16以上的高度處。因此，最低儲(chǔ)存位置17A上的物體被傳送到上傳遞位置14，具有少量的垂直移動(dòng)(或者甚至在某些實(shí)施例中不具有垂直移動(dòng))。物體從最低儲(chǔ)存位置17A傳送到下傳遞位置16需要大致上一個(gè)間距的向下移動(dòng)。
無(wú)論裝置10所用的形態(tài)如何，在多個(gè)實(shí)施例中，在裝置10內(nèi)部任一儲(chǔ)存位置的物體可以傳送到兩個(gè)傳遞位置14和16中的某一個(gè)。不過(guò)，其他一些實(shí)施例可以具有一個(gè)或多個(gè)儲(chǔ)存位置(未示出)，只能從最接近的兩個(gè)傳遞位置直接抵達(dá)。這些實(shí)施例必須在裝置10中具有至少一個(gè)儲(chǔ)存位置(也稱(chēng)作“共用儲(chǔ)存位置”)，從兩個(gè)傳遞位置14和16都可以直接抵達(dá)。一個(gè)或多個(gè)這種共用儲(chǔ)存位置可以用以使物體在兩個(gè)傳遞位置14與16間被調(diào)動(dòng)。因此，每一儲(chǔ)存位置可以從每一傳遞位置直接或間接抵達(dá)，視實(shí)施例而定。
在一實(shí)施例中，緩沖裝置10(圖4A)包括在上傳遞位置14處的擱架18，而擱架18由機(jī)架19固接于腳座12。擱架18處在與傳遞位置14同樣的高度處，使得物體可以由任一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A-13N，依靠其適當(dāng)?shù)拇怪币苿?dòng)，被安放在擱架18上或從擱架18處被拾取。比如，圖4B和4C表明伸出至擱架18上方的空間和從中收進(jìn)的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A。對(duì)于技術(shù)人工顯然可見(jiàn)的是，由于上述的鏡象形態(tài)，其他一些實(shí)施例的裝置10具有可能代替或附加于在上傳遞位置14處的擱架、而在下傳遞位置16處具有擱架18。
在一實(shí)施例中，緩沖裝置20(圖5A)是一單獨(dú)的、齊備的單元，具有其自身占地面積，分立并不同于任一其他現(xiàn)有技術(shù)中裝置的占地面積。比如，由尺寸Fw和Fd確定的前述的緩沖裝置20的占地面積(圖5A)大致上可以與一盒開(kāi)啟器/裝載器相同、并因而在制造系統(tǒng)的清潔室地板上占據(jù)與相同的面積。在圖5A的實(shí)施例中，被儲(chǔ)存在緩沖裝置20中的物體是基片的承載器(未示出)。
在此所用的“基片”一詞概括了在用于半導(dǎo)體裝置制造的加工操作臺(tái)中被加工的任何物體?！盎币辉~包括，但不限于，比如半導(dǎo)體晶片、光柵(reticle)、薄膜端晶片、平板顯示器、玻璃平板或盤(pán)，以及塑料工件。在此所用的“承載器”一詞概括了用于保持在半導(dǎo)體裝置加工操作臺(tái)中進(jìn)行加工的基片的任何裝置，諸如盒、箱器、片盒、容器、器皿等等，如述于但不限于，美國(guó)專(zhuān)利第6120229號(hào)，或如述于但不限于來(lái)自地址為3081Zanker Road，San Jose，CA 95134-2127的半導(dǎo)體裝置和材料國(guó)際組織(Semiconductor Equipement and Materials International)的SEMIE1-0697；E1.9-0701；E11-0697；E19-0697，-0998，-0996；E47-0301，.1-1101；E62-1101；E100-1101；E103-1000；E111-1101；以及E112-1101(這些中的每一都在此全文引用作為背景參考材料)。
在示于圖5A中的一具體實(shí)施例中，N是3(使得在裝置20內(nèi)可儲(chǔ)存3個(gè)承載器)，并因此具有三個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A-23C(圖5A和5B)。在圖5A的實(shí)例中，每一用于裝置20的承載器可以保持25個(gè)基片，雖然在其他一些實(shí)施中可以采用其他數(shù)量和其他尺寸的物體。其次，在圖5A的實(shí)例中，緩沖裝置20的占地面積在面積只比承載器的相應(yīng)面積大出25％，盡管在其他一些實(shí)施例中其他一些尺寸可以用于緩沖裝置20。
在示于圖5A中的具體實(shí)例中，在上傳遞位置處的擱架構(gòu)成承載器的裝載口岸21(比如，具有由銷(xiāo)件22A-22C構(gòu)成的移動(dòng)安裝架)?！把b載口岸”概括了加工操作臺(tái)上的任一交接部位，在該處承載器向和從加工操作臺(tái)傳送。有可能在此部位處基片不被從承載器中移去或被裝入到承載器。緩沖裝置20的裝載口岸21能夠一般地經(jīng)由一移動(dòng)安裝架以可重復(fù)的方式捕捉承載器27，此安裝架述于但不限于美國(guó)專(zhuān)利第5772386號(hào)或述于但不限于SEMIE15-0698、E15.1-0600、E57-0600。
裝載口岸21由臂21A和21B裝接于機(jī)架25(圖5A)，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24在機(jī)架中移動(dòng)。臂21A和21B分開(kāi)至足以形成一個(gè)在機(jī)構(gòu)24垂直移動(dòng)進(jìn)入其伸出位置期間、水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A-23C能夠(在收進(jìn)時(shí))穿過(guò)的開(kāi)孔(見(jiàn)圖5A)。
在收進(jìn)后(圖5A和5B)，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24具有比如1290mm的高度V靜置，而當(dāng)伸出到比如2590mm的V伸出后，此距離幾乎被加倍。注意，V伸出選定得小于2600mm以吻合為SEMI所允許的最大工具高度。裝置20在任何兩個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A與23B之間具有比如大約387mm的間距。間距可以選定為承載器的高度加上承載器與水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23B底部之間的間隙距離，比如5mm，再加上水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A的厚度，比如25mm。
其次，裝載口岸21處在比如1400mm的高度V擱架處。距離V擱架可以選定為在盒開(kāi)啟器/裝載器的擱架上方間距(比如16英寸)距離的最小高度處，因?yàn)檫@一實(shí)例的裝置20是為了與一盒開(kāi)啟器/裝載器一起使用而設(shè)計(jì)的。一盒開(kāi)啟器/裝載器的擱架在比如離開(kāi)地板900mm的高度V盒處(圖6E)，并因此V擱架可以選定為1300mm。
在收進(jìn)位置上，三個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A-23C的每一個(gè)具有比如285mm的長(zhǎng)度L收進(jìn)(圖5D)，而這一距離在伸出后大約加倍到比如770mm的長(zhǎng)度L伸出。如圖5E-5F所示，每個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A-23C具有相應(yīng)數(shù)量的端部操縱器26A-26C，用于以正常方式保持承載器27(比如，如圖5F中所示，端部操縱器的分叉部分滑動(dòng)在承載器27C頂部表面與承載器上把手27H的底部之間)。注意，雖然在此說(shuō)明和圖示一種端部操縱器，但用于接納承載器的其他裝置(也稱(chēng)作“承載器的接納裝置”)可以用在緩沖裝置20的其他一些實(shí)施例中。這種裝置包括抓握器、平臺(tái)和一些“叉舉鉗”。
在端部操縱器26A放在承載器27的把手27H以下后，如果要移動(dòng)承載器27，端部操縱器26A不可能簡(jiǎn)單的水平撤回。相反，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A在沿水平方向伸出時(shí)由垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24升起，從而把承載器的把手27H套住在端部操縱器26A中并脫開(kāi)裝載口岸21上的銷(xiāo)件22A-22C(圖5F)。水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A然后沿水平方向被收進(jìn)，拖著承載器27。垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24沿垂直方向被移動(dòng)到最低位置、為來(lái)自加工操作臺(tái)的進(jìn)一步指令作好準(zhǔn)備。在此階段，承載器27被保持儲(chǔ)存在裝置20中。
一旦緩沖裝置20為之服務(wù)的加工系統(tǒng)提出要求，在傳遞一承載器到比如下傳遞位置(到盒開(kāi)啟器/裝載器的擱架)時(shí)、剛才說(shuō)明的動(dòng)作就以相反的順序完成。具體地說(shuō)，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24被升高，使得所需被據(jù)用的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A被定位得鄰近下傳遞位置，如圖5I中所示。被據(jù)用的帶有插套在端部操縱器的承載器的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A沿水平方向伸出到下傳遞位置，同時(shí)脫開(kāi)了所有的垂直方向上的障礙，使得承載器(未示出)被定位在盒開(kāi)啟器/裝載器(未示出)的擱架(也稱(chēng)作“裝載口岸”)上面。接下來(lái)，被據(jù)用的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A借助于垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)24下降，從而把承載器設(shè)置在盒開(kāi)啟器/裝載器(未示出)的裝載口岸上。然后未予被據(jù)用的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A沿水平方向被收進(jìn)。
圖5D-5F表明使用最低水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A的端部操縱器26A從裝載口岸21拾取承載器27。圖5G和5H表明中間水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23B的端部操縱器26B用于從裝載口岸21拾取承載器(未示出)。圖5I表明最上面水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23C用于從下傳遞位置上拾取承載器(未示出)。圖5J和5K表明中間水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23B的端部操縱器26B用于從下傳遞位置上拾取承載器(未示出)。圖5L表明最低水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A的端部操縱器26A用于向/從下傳遞位置上傳遞承載器(未示出)。
示于圖5A-5L中的緩沖裝置20可以包括箱體27(圖6A-6D)，部分地封圍機(jī)構(gòu)23A-23C和24。在示于圖6A-6D中的實(shí)施例中，緩沖裝置20先已裝載兩個(gè)承載器27B和27C，而第三個(gè)承載器27A正在被裝載。如上述，最低水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A已經(jīng)充分伸出(比如大于承載器的寬度Cw)比如550mm。
在示于圖6E的一具體實(shí)例中，緩沖裝置20在上傳遞位置處具有裝載口岸21，而盒開(kāi)啟器/裝載器28(緩沖裝置20與之一起使用)在下傳遞位置處具有其自身的擱架29。擱架29處在V盒的高度處，可以是比如900mm。
這樣的盒開(kāi)啟器/裝載器28通常位于加工操作臺(tái)30附近，如圖6E中所示。緩沖裝置20因此可向/從盒開(kāi)啟器/裝載器28傳遞承載器，而盒開(kāi)啟器/裝載器28反過(guò)來(lái)又向/從加工操作臺(tái)30傳遞晶片。在這些實(shí)施例中，緩沖裝置20可直接向/從盒開(kāi)啟器/裝載器28傳遞承載器，在盒開(kāi)啟器/裝載器28與緩沖裝置20間沒(méi)有任何媒介(諸如人工、OHV、AGV或DGV)。
不過(guò)，視實(shí)施例而定，緩沖裝置20可以向/從在上和/或下傳遞位置處的媒介(諸如導(dǎo)向運(yùn)送器)傳遞承載器。“導(dǎo)向運(yùn)送器”一詞在此用以概括任何能夠或是以人工協(xié)助模式或是以微控機(jī)動(dòng)模式把晶片傳送到加工操作臺(tái)的裝載口岸。一般存在但不限于三種類(lèi)型，即人工式、軌道式和自動(dòng)式，如述于但不限于美國(guó)專(zhuān)利第5570990號(hào)、第5967740號(hào)和第6068104號(hào)中，或者如述于但不限于SEMI E64-0600、EB3-1000(每個(gè)均在此完整地引入作為背景參考材料)。
裝載口岸21以上的垂直空間(在緩沖裝置20在裝配期間已在箭頭A的方向上移動(dòng)后)沒(méi)有任何障礙，因此一高架運(yùn)送器(OHV)可從儲(chǔ)料器(諸如圖1的儲(chǔ)料器1)處帶走一承載器、并把此承載器留在裝載口岸21上以?xún)?chǔ)存在緩沖裝置20內(nèi)。這樣，在緩沖裝置20中可以或是用OHV或是用自動(dòng)導(dǎo)向運(yùn)送器(AGV)或別的這種媒介儲(chǔ)存多至3個(gè)承載器。
緩沖裝置20用于加工操作臺(tái)30(圖6E)以確保為加工可提供幾乎不斷的未加工的基片供應(yīng)，且緩沖裝置20為之工作的加工操作臺(tái)不會(huì)閑置。在作業(yè)期間，承載器可以由緩沖裝置20傳遞到盒開(kāi)啟器/裝載器28，在那里，基片被提取并傳遞到加工操作臺(tái)30。緩沖裝置20的存在并不增大加工操作臺(tái)的占地面積，因?yàn)榫彌_裝置20在清潔室地面上占據(jù)的面積是按照SEMIE15.1-0600另外進(jìn)行保留的(后者在此全文引用作為背景參考材料)。另一方面，采用緩沖裝置20在使用地點(diǎn)處增加了加工操作臺(tái)30的加工工作量(“WIP”)。另外，增加的加工操作臺(tái)WIP，通過(guò)從儲(chǔ)料器把儲(chǔ)存物移動(dòng)到加工系統(tǒng)的前面而便于減少儲(chǔ)料器內(nèi)室尺寸和需求。
在另一實(shí)施例中，緩沖裝置20是可以借助于諸如自位輪配置(casterarrangement)(未示出)這樣的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)移動(dòng)的。緩沖裝置20的可動(dòng)性便于現(xiàn)場(chǎng)更換或遠(yuǎn)離加工操作臺(tái)從事維修。緩沖裝置20可以借助于包括以象征方式示于圖6E中的可重用安裝件31的對(duì)接裝置(未示出)來(lái)進(jìn)行配準(zhǔn)和定位。
機(jī)械工程領(lǐng)域的技術(shù)人工所熟知的任何對(duì)接裝置都可以用以把緩沖裝置20固牢在任何適當(dāng)?shù)牡攸c(diǎn)處。具體地說(shuō)，緩沖裝置的一些實(shí)施例采用具有三部分的對(duì)接裝置，這三部分是導(dǎo)引裝置、定位裝置和鎖定裝置。每一部分有一移動(dòng)件裝接在將被對(duì)接和解除對(duì)接的裝置，以及一固定件安裝于不可移動(dòng)的設(shè)備或地面。注意，可以采用任何通常的導(dǎo)引裝置，并在一些實(shí)施例中，導(dǎo)引裝置包括滾動(dòng)在導(dǎo)軌上的轉(zhuǎn)輪、滑動(dòng)在導(dǎo)軌上的銷(xiāo)件，或者滑進(jìn)套筒的錐形銷(xiāo)件。
一種以精確和可重復(fù)方式定位緩沖裝置20的方法是利用任何已知的運(yùn)動(dòng)或半運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的方法。一種定位裝置的實(shí)例可以采取的形式是，配置兩個(gè)裝接于移動(dòng)件的銷(xiāo)件，彼此側(cè)向間隔開(kāi)來(lái)，以及一孔眼，與固定件上的一水平取向的槽沿側(cè)向間隔開(kāi)來(lái)。銷(xiāo)件的尺寸定得使得它們以最小的間隙(一般0.125mm)滑進(jìn)孔眼和槽，而銷(xiāo)件的間距大致上是孔眼中心到槽中心的間距。
鎖定對(duì)接裝置就位的一般方法包括采用一個(gè)螺絲或一組螺絲把移動(dòng)件接合或夾緊于固定件。另外，一凸輪裝置可以用以接合或卡緊這兩個(gè)元件，從而把它們鎖定在一起并把它們定位在諸如盒開(kāi)啟器/裝載器的裝置附近。
此外，可以用于緩沖裝置20的對(duì)接裝置可以包括用于電力、電信號(hào)和流體動(dòng)力傳輸?shù)碾[蔽配件。這樣一種對(duì)接裝置可使緩沖裝置20以精確和可重復(fù)的方式定位在任何加工系統(tǒng)裝載口岸29附近或別的所需部位，因而不再需要水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)23A～23C被調(diào)準(zhǔn)于或使“認(rèn)識(shí)”于加工系統(tǒng)裝載口岸。不需調(diào)準(zhǔn)可使緩沖裝置被迅速重新配置、交換或現(xiàn)場(chǎng)更換而不影響加工系統(tǒng)的操作?？梢栽谕ㄟ^(guò)卸掉機(jī)構(gòu)被封圍在其中的箱體的箱蓋55(也稱(chēng)作“前蓋”)而從前面對(duì)接緩沖裝置20時(shí)、實(shí)施現(xiàn)場(chǎng)維修。
在圖7A中，承載器38由OHV39運(yùn)送并定位在裝載口岸43上方。在此階段，裝載口岸43是未被據(jù)用的(亦即沒(méi)有承載器)。接下來(lái)，如圖7B中所示，承載器38通過(guò)OHV 39被落下并放置到未被據(jù)用的裝載口岸43上。OHV 39然后像圖7C中那樣被向上收進(jìn)。同時(shí)，緩沖裝置32伸出水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)33A以從緩沖裝載口岸43處拾取承載器38(見(jiàn)圖7D)。注意，當(dāng)緩沖裝置32空出時(shí)，可以使用任一機(jī)構(gòu)33A-33C。剛才說(shuō)明的動(dòng)作可以重復(fù)至兩次，以便在緩沖裝置32中儲(chǔ)存三個(gè)承載器。
在加工系統(tǒng)45加工承載器中的基片時(shí)，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)被適當(dāng)移動(dòng)、如如前所述把承載器38安放在加工系統(tǒng)裝載口岸34(見(jiàn)圖7E)附近。水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)33C然后被伸出(見(jiàn)圖7E)以落放承載器38在加工系統(tǒng)裝載口岸44，并在此后被收進(jìn)，借以把承載器38留在裝載口岸44上(圖7G)。同時(shí)，另外一些承載器可以在緩沖裝載口岸43處被接納(圖7H)、并被儲(chǔ)存在緩沖裝置32中(圖7I)。當(dāng)承載器38在加工系統(tǒng)裝載口岸44處時(shí)，機(jī)構(gòu)33A-33C之一可以保持空位，使得承載器38可以在加工完成時(shí)被拾取而返回到緩沖裝載口岸43以便由OHV撤走。在示于圖7J中的實(shí)例中，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)33B曾經(jīng)為此而保持空位并顯示出正以此方式被利用。
如果機(jī)構(gòu)33A-33C之一可供使用，則可以操作緩沖裝置32以直接從緩沖裝載口岸43把承載器38傳遞到加工系統(tǒng)裝置口岸44、而不把承載器38保留在儲(chǔ)存器中。這樣一種不加儲(chǔ)存的傳遞在“加急批量”(亦即具有需要立即加工的基片的承載器)需要先于任何先前儲(chǔ)存在緩沖裝置32中的其他一些承載器而進(jìn)行加工時(shí)是很有用的。在儲(chǔ)存在加急批量承載器38中的基片由加工系統(tǒng)45進(jìn)行加工后，緩沖裝置32反轉(zhuǎn)其動(dòng)作以便把承載器38放回到未被據(jù)用的緩沖裝載口岸43，隨后由OHV 39撤走。
同樣，如果在緩沖裝置內(nèi)只有一個(gè)位置可供使用，意味著33A-33C不可使用和盒開(kāi)啟/裝置器現(xiàn)有一個(gè)承載器，則緩沖裝置32可以“調(diào)動(dòng)”或移動(dòng)“加急批量”到盒開(kāi)啟器/裝載器?！罢{(diào)動(dòng)”要求把承載器移動(dòng)到臨時(shí)位置以便把“加急批量”移動(dòng)到盒開(kāi)啟/裝置器。
圖8A、8B和8C按照常規(guī)技術(shù)細(xì)節(jié)而非抽象地顯示緩沖裝置100。在圖8A中，表明緩沖裝置100的透視圖?？刂苾x表盤(pán)131安放在一人機(jī)適應(yīng)高度處，以便以人工操作緩沖裝置100。在圖8B中，表明在水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)117伸出情況下的緩沖裝置100的側(cè)視圖。在緩沖裝置100的底部處，在用于電力、電信號(hào)和流體動(dòng)力傳輸?shù)碾[蔽連接件所在處可以看到配件盤(pán)(facility panel)132，部分對(duì)接裝置129。配件盤(pán)132經(jīng)由對(duì)接裝置129裝接于地面。
圖8C示出緩沖裝置100的分解視圖。單個(gè)緩沖裝載口岸113顯示為裝接于緩沖裝置100的機(jī)架114。在視圖可以看到機(jī)架114的多個(gè)零件。機(jī)架114為緩沖裝置100提供構(gòu)架和支承，在那里，板金零部件使多個(gè)部分便于組裝成單一部件。板金零件可以代替需要經(jīng)由一些固緊件彼此裝接的多個(gè)機(jī)加工零件，多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)117裝接于垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)126c的部分并由構(gòu)件126d進(jìn)行支承。垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一組線性軸承126a、固定構(gòu)件126b、移動(dòng)構(gòu)件126c、絲杠127a、皮帶/帶輪組合127c(皮帶未示出)、固定地安裝于機(jī)架124的電氣馬達(dá)，以及纜繩導(dǎo)軌128。
一組線性軸承126a在固定構(gòu)件126b與移動(dòng)構(gòu)件126c之間、被鎖位到裝在固定構(gòu)件126b和移動(dòng)構(gòu)件126c的軌道內(nèi)。與機(jī)架114的底部交接，對(duì)接裝置129包括裝接于機(jī)架114的移動(dòng)構(gòu)件129a、固定地安裝于地面的固定構(gòu)件129b，以及由用于移動(dòng)和調(diào)平緩沖裝置的自位輪或撬板(skid)組成的移動(dòng)構(gòu)件130。移動(dòng)構(gòu)件129a以舌板(tab)和槽孔形態(tài)滑入固定構(gòu)件129b，從而把緩沖裝置剛性地固定/卡緊就位。
在圖9A-9F，示出水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)117。水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)117中的導(dǎo)引裝置135包括由三段120a、120b和120c組成的伸縮裝置122。第一段120a裝有承載器接納器120(比如一叉式端部操縱器)和凸形軌道135a。凸形軌道135a與一組線性軸承135e相互作用。線性軸承135e在構(gòu)件120b的對(duì)置凹形軌道135b上滑動(dòng)。在構(gòu)件120b的外側(cè)上，一組凸形軌道135c與第二組線性軸承135f相互作用。線性軸承135f在構(gòu)件120c的凹形軌道135d上滑動(dòng)。水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)117的側(cè)向驅(qū)動(dòng)裝置136包括兩個(gè)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)裝置136和137，各對(duì)應(yīng)伸縮裝置122的每段。
構(gòu)件120a經(jīng)由驅(qū)動(dòng)裝置136相對(duì)于構(gòu)件120b被驅(qū)動(dòng)進(jìn)出。驅(qū)動(dòng)裝置136包括成對(duì)絲杠136a、一條聯(lián)接驅(qū)動(dòng)皮帶136b、電氣馬達(dá)136c、三個(gè)帶輪136d，以及固定地安裝于構(gòu)件120b的底板136e。第二驅(qū)動(dòng)裝置137可使構(gòu)件120b相對(duì)于構(gòu)件120被驅(qū)動(dòng)而進(jìn)出。驅(qū)動(dòng)裝置137包括成對(duì)絲杠137a、三條聯(lián)接驅(qū)動(dòng)皮帶137b、電氣馬達(dá)137c、五個(gè)帶輪137d，以及固定地安裝于構(gòu)件120c的底板137e。成對(duì)絲杠136a和137b可提供均衡的用以伸出和收進(jìn)伸縮裝置122的伸展力量而無(wú)裝置的非穩(wěn)定負(fù)載。
雖然以上參照?qǐng)D8A-8C和9A-9F說(shuō)明了一種緩沖裝置的一具體實(shí)施，但在披露的內(nèi)容方面，一種在此所述類(lèi)型的緩沖裝置的其他實(shí)施，對(duì)于熟練的機(jī)械工程師來(lái)說(shuō)，將是顯而易見(jiàn)的。可以用在其他實(shí)施中的垂直導(dǎo)引裝置的一些實(shí)例包括但不限于集成式滑座和托架、伸縮滑座，或者剪刀式結(jié)構(gòu)。另外，垂直導(dǎo)引裝置的線性軸承(未示出)包括但不限于球軸承、滑座軸承、靜壓軸承，或者滾柱軸承。其次，用在緩沖裝置中的垂直驅(qū)動(dòng)裝置可以包括但不限于由電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的絲杠、氣壓缸體、由電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的纜繩和繩輪裝置、線性伺服馬達(dá)，或者由帶有適當(dāng)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的電氣馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的皮帶。
同樣，水平導(dǎo)引裝置的一些實(shí)施可以包括但不限于伸縮裝置，或者剪刀式機(jī)構(gòu)。水平導(dǎo)引裝置的線性軸承包括但不限于球軸承、滑座軸承、靜壓軸承，或滾柱軸承。水平驅(qū)動(dòng)裝置可以包括但不限于絲杠、氣壓缸體、纜繩和繩輪傳動(dòng)裝置、線性伺服馬達(dá)，或者帶有適當(dāng)控制系統(tǒng)的皮帶傳動(dòng)裝置。
雖然已經(jīng)說(shuō)明緩沖裝置32與OHV相互作用，但緩沖裝置也可以與導(dǎo)向運(yùn)送器相互作用。具體地說(shuō)，承載器可以由導(dǎo)向運(yùn)送器210(圖10A和10B)安置在未被據(jù)用的緩沖裝載口岸213上、或另外安置在未被據(jù)用的加工系統(tǒng)裝載口岸225上。承載器218和219可以由未被據(jù)用的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)拾取并儲(chǔ)存在其中，等待被安置在未被據(jù)用的加工系統(tǒng)裝載口岸225上，以便由緩沖裝置200為之服務(wù)的加工操作臺(tái)(未示出)立即進(jìn)行加工。
如上述，緩沖裝置200具有移動(dòng)裝置(比如由一些自位輪或撬板組成)，可使裝置200被安放在加工系統(tǒng)裝載口岸225的前面以及附近，以便形成暫時(shí)增加的WIP，如圖11所示。在另外一實(shí)施例中，根據(jù)重組需求，緩沖裝置可以被移動(dòng)到另一加工系統(tǒng)裝載口岸(未示出)。重組需求可以是由于比如在加工操作臺(tái)處WIP中的臨時(shí)超載，或者是由于半導(dǎo)體制造工藝過(guò)程中的改變而引起的。
在本發(fā)明的另一方面中，兩部或更多的緩沖裝置(圖12A和12B)用于儲(chǔ)存以及向和從單個(gè)加工操作臺(tái)傳遞承載器。如果加工操作臺(tái)具有兩個(gè)彼此靠近的盒開(kāi)啟器/裝載器(圖12A)，則兩個(gè)緩沖裝置可以安放在加工操作臺(tái)和盒開(kāi)啟器/裝載器的總裝體的外側(cè)，且每個(gè)緩沖裝置實(shí)際上靠近一個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器。不過(guò)，要注意，如圖12B中所示，兩個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器可以彼此分隔開(kāi)來(lái)，而每一盒開(kāi)啟器/裝載器在其兩側(cè)上具有兩個(gè)緩沖裝置，使得一列四個(gè)緩沖裝置服務(wù)于加工操作臺(tái)。一列緩沖裝置用于單一的加工操作臺(tái)確?？蔀榧庸ぬ峁┙踹B續(xù)的未加工基片的供應(yīng)而加工操作臺(tái)不會(huì)閑置。這樣一列緩沖裝置便于單獨(dú)一個(gè)緩沖裝置的維修或現(xiàn)場(chǎng)更換，同時(shí)余留的緩沖裝置把承載器提供給加工操作臺(tái)，消除了系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間。
在圖12C中，示意性地示出的設(shè)備是陣列式緩沖系統(tǒng)238的組合，包括陣列式緩沖系統(tǒng)239a-239c，OHV系統(tǒng)230和可移動(dòng)的緩沖裝置231a-231b。此示意圖示出了每一部件相對(duì)于所示設(shè)備的層次和關(guān)聯(lián)。多種相互作用會(huì)出現(xiàn)在陣列式緩沖系統(tǒng)組合238與OHV系統(tǒng)230和移動(dòng)的緩沖裝置231a-231b之間。垂直箭頭(箭頭B)表明OHV系統(tǒng)230與陣列式緩沖系統(tǒng)239b間的相互作用，此處承載器235a向和從OHV系統(tǒng)230和陣列式加工系統(tǒng)239b被傳遞。兩個(gè)垂直箭頭(箭頭B和C)表明可移動(dòng)的緩沖裝置231a-231b與陣列式緩沖系統(tǒng)239a和239c間的相互作用，此處承載器235b向和從陣列式加工系統(tǒng)239a和239c與可移動(dòng)的緩沖裝置231a-231b被傳遞。
另外，如圖13A和13B中所示，陣列式緩沖裝置242a-242c可以如下述進(jìn)行“密集拼合”SEMATECH“I300I工廠準(zhǔn)則(Factory Guidelines)版本5.0”(在此全文引用作為背景參考材料)，參見(jiàn)節(jié)2.12和7.12；Intel公司“使用300mm晶片的大容量工廠事項(xiàng)(Factory Consideration for HighVolume Manulactoring Using 300mm wafer)”STS97，Gargini and Pillai(在此全文引用作背景參考材料)，參見(jiàn)STS97的第60頁(yè)。
密集拼合便于相鄰加工系統(tǒng)244a-244c的EFEM被安放得分開(kāi)一個(gè)維護(hù)寬度245，同時(shí)把兩個(gè)相鄰的陣列式緩沖系統(tǒng)242a和242b的緩沖裝置243a和242b安放得彼此直接挨著而不分開(kāi)一個(gè)維護(hù)寬度245。在美國(guó)，維護(hù)寬度由OSHA規(guī)定為三英尺。在其他國(guó)家中，維護(hù)寬度可以是一米。維護(hù)寬度并非緩沖裝置所必需，由于有能力從緩沖裝置的前面進(jìn)行維修。
圖13C示出兩個(gè)可移動(dòng)的緩沖裝置337和351，都不帶緩沖裝載口岸，而可移動(dòng)的緩沖裝置337把承載器318直接傳遞到不帶緩沖裝載口岸301的緩沖裝置里面。
圖13C也示出了緩沖裝置345，在那里，緩沖裝載口岸已被挪開(kāi)(或是另外沿水平方向收進(jìn)到裝置345里面，或是折進(jìn)一垂直位置)以允許OHV 346直接把承載器347傳遞到加工系統(tǒng)裝載口岸348。承載器直接安放到盒開(kāi)啟器上面便于加急批量繞過(guò)緩沖裝置。如果緩沖裝載口岸被挪開(kāi)，則以等同于一自動(dòng)儲(chǔ)存送料裝置比如一自動(dòng)射釘槍或一文件訂書(shū)機(jī)的方式來(lái)利用緩沖裝置。
圖13C還示出了緩沖裝置349，在那里，操作工350已經(jīng)接近緩沖裝置349以進(jìn)行對(duì)于緩沖裝置349的定期保養(yǎng)或維修；圖13C也示出了可移動(dòng)的緩沖裝置351，用以增加未配備陣列式緩沖系統(tǒng)的加工系統(tǒng)352的WIP。
對(duì)于熟練的技術(shù)人工來(lái)說(shuō)，由說(shuō)明而顯見(jiàn)的是，對(duì)于在此所述類(lèi)型的緩沖裝置可以作出多種修改和調(diào)整。比如，緩沖裝置可以配有一些轉(zhuǎn)輪，而且可以利用一或多根軌道在清潔室地面上移動(dòng)期間進(jìn)行導(dǎo)引。此外，兩或多部緩沖裝置可以彼此連接起來(lái)以增大儲(chǔ)存容量。同樣，在其他一些實(shí)施例中，一緩沖裝置可以實(shí)際上連接于一盒開(kāi)啟器/裝載器，以構(gòu)成儲(chǔ)存以及開(kāi)啟承載器的組合裝置。
另外，本發(fā)明的一個(gè)方案是減小周?chē)岸搜b置(EFEM)270a和270b的占地面積、而導(dǎo)致通過(guò)移去EFEM機(jī)器人軌道而降低EFEM復(fù)雜性。最終節(jié)省占地面積50％。在本發(fā)明的另一方案中，通過(guò)安放彼此靠近的多個(gè)緩沖裝置以及共用一共同維護(hù)廊道/寬度的EFEM而實(shí)現(xiàn)密集拼合。利用密集拼合便于減少清潔室占地面積。在用于如圖1B中所示的現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)中的區(qū)域272a與按照本發(fā)明用于如圖13B中所示的區(qū)域272b之間減少占地面積導(dǎo)致節(jié)省25％。
圖13D示出了靠近緩沖裝置253a的空間段251a(以虛線示出)和靠近第二緩沖裝置253b的第二空間段251b。兩個(gè)空間段251a和251b中的每一個(gè)代表一個(gè)獨(dú)立的通路，用于從包括靠近其裝載口岸255a和255b的兩個(gè)緩沖裝置253a和253b的緩沖系統(tǒng)250裝載和卸載承載器。如圖13D中所示，每一空間段(也稱(chēng)作“通路”)從其各自的裝載口岸255a或255b沿垂直方向向上伸展到OHV 254的軌道257。對(duì)于技術(shù)人工來(lái)說(shuō)，顯而易見(jiàn)的是，每一通路251a和251b具有的橫截面積大于或等于一個(gè)承載器的橫截面積，借以適應(yīng)由OHV 254造成的承載器垂直運(yùn)動(dòng)。
在任一給定時(shí)刻，或是通路251a或是通路251b可以由OHV 254利用來(lái)裝載或卸載緩沖系統(tǒng)250。注意，采用兩個(gè)通路251a和251b提供了冗余性，比如支持加工系統(tǒng)252的不停頓晶片加工。具體地說(shuō)，在通路251a因某種原因而無(wú)法提供時(shí)，OHV 254可以仍然經(jīng)由另一通路251b傳送承載器給加工系統(tǒng)252，借以使得加工系統(tǒng)252繼續(xù)操作。因此，某些實(shí)施例的進(jìn)入緩沖系統(tǒng)250的多條通路便于在進(jìn)出通路由于維修、故障或發(fā)生另外事件而被阻止的情況下、允許緩沖系統(tǒng)250為之服務(wù)的加工系統(tǒng)252維持操作。
某些實(shí)施例的緩沖系統(tǒng)在故障狀況下能夠在其中儲(chǔ)存加工工件數(shù)量(WIP)是初始儲(chǔ)存容量的一半。具體地說(shuō)，在一示范性實(shí)施例中，緩沖系統(tǒng)250具有8個(gè)承載器的初始容量，其中四個(gè)承載器裝放在每一緩沖裝置253a和253b中(并經(jīng)由自的通路251a和251b被傳遞到那里)。當(dāng)緩沖裝置250的一條通路251a受阻時(shí)，到緩沖裝置253a的進(jìn)出受阻。不過(guò)，由于緩沖系統(tǒng)250具有第二通路251b、而仍然允許緩沖裝置253b以正常方式裝載和卸載，所以加工系統(tǒng)252可以仍然存取傳送給緩沖系統(tǒng)250的承載器(亦即經(jīng)由通路251b)。在如此存取承載器的情況下，加工系統(tǒng)252可以繼續(xù)加工晶片，以制造半導(dǎo)體設(shè)備。緩沖系統(tǒng)250最終的儲(chǔ)存容量是初始的一半或者四個(gè)承載器。為此原因，當(dāng)裝載口岸256a失效時(shí)，OHV 254以如果兩個(gè)裝載口岸都是正常時(shí)可采用的正常使用率的兩倍來(lái)使用另一裝載口岸256b。
圖13E-13H表明一種從一部加工系統(tǒng)290a重新布署緩沖裝置270于另一部加工系統(tǒng)290c的方法。圖13E示出了一部分半導(dǎo)體制造艙室269，采用三個(gè)緩沖系統(tǒng)272a-272c，位于各自加工系統(tǒng)290a-290c附近。如圖13E中所示，緩沖裝置270在箭頭E所指的方向上從緩沖裝置272a(比如通過(guò)松開(kāi)上述以及示于圖6E中的一類(lèi)可重用的安裝架)處挪開(kāi)或解除對(duì)接。大約同時(shí)，盒開(kāi)啟器/裝載器280以同樣方式(在箭頭F所指的方向上)從加工系統(tǒng)290c處挪開(kāi)。下文中的，盒開(kāi)啟器/裝載器280從加工系統(tǒng)290c處移走，如圖13F所示。然后，如所指出，緩沖裝置270(在箭頭G所指方向上)被移向盒開(kāi)啟器/裝載器所空出的地點(diǎn)而對(duì)接、使得裝置270此時(shí)可以與加工系統(tǒng)290c相互作用。
圖13H表明安放在緩沖系統(tǒng)272c附近的緩沖裝置，亦即裝置270此時(shí)位于先前由盒開(kāi)啟器/裝載器281占據(jù)的空間內(nèi)。在其新的位置上，緩沖裝置270此時(shí)能夠與盒開(kāi)啟器/裝載器281相互作用。為了容易重新布署緩沖裝置，在可能需要緩沖裝置的每一位置處需要一個(gè)對(duì)接裝置。這樣一種對(duì)接裝置已經(jīng)在前面參照?qǐng)D6E進(jìn)行說(shuō)明。容易地重新布署一部緩沖裝置的能力可使半導(dǎo)體制造設(shè)施的操作人工根據(jù)容量、處理量和加工需求的變化而調(diào)整。在加工一般不穩(wěn)定且未作良好特征化的場(chǎng)合下生產(chǎn)能力發(fā)生變化時(shí)、可重新布署緩沖裝置的靈活性是非常有意義的。
圖14表明一種擴(kuò)展的陣列式緩沖系統(tǒng)353，其中緩沖裝置354a-354b經(jīng)由孔356伸展到地板355以下。為明晰孔356示出的比所需的大一些。
如在圖15A-15C中，一部或多部緩沖裝置可以增加一些特點(diǎn)和/或減少一些特點(diǎn)而用作一種導(dǎo)向運(yùn)送器，諸如PGV 357或RGV 359或AGV 361。具體地說(shuō)，機(jī)器人臂220(圖10B)可以從承載器210處挪開(kāi)，而上述擱架可以從緩沖裝置處挪開(kāi)。下文中的，多個(gè)緩沖裝置(比如四部)被安放在由壁板211所組成的空間內(nèi)(圖10B)。多部緩沖裝置的典型配置包括制成一至兩排緩沖裝置并把它們安放得彼此靠近，使得一排362a用作導(dǎo)向運(yùn)送器的一側(cè)而另一排362b用作導(dǎo)向運(yùn)送器的對(duì)置一側(cè)，如示于圖15C中的AGV 361。
另外，在圖12C中，示出制造艙室225a的一半，而AGV 231a的一半226a示出與陣列式緩沖裝置239a相互作用。AGV 231a的對(duì)置一半226b可以與制造艙室225b的對(duì)置一側(cè)相互作用。配置一導(dǎo)向車(chē)為反向相對(duì)的兩排，就不再必需回轉(zhuǎn)較大的承載器或能夠服務(wù)于承載器兩側(cè)的機(jī)器人，從而減小了復(fù)雜性。因此，緩沖裝置可代替否則為已有導(dǎo)向承載器所需的自動(dòng)的機(jī)器人臂220，如述于但不限于美國(guó)專(zhuān)利5570990那樣，后者在此完整地被引入作為參考。采用緩沖裝置作為導(dǎo)向承載器的一部分，由于從導(dǎo)向承載器處移去機(jī)器人，可導(dǎo)致導(dǎo)向承載器容量增大和復(fù)雜性減小。
PGV 357(圖15A)是由于一或多種上述修改而獲得的，并具有用于人工推動(dòng)PGV 357的手柄358。示于圖15A中的PGV 357個(gè)包括一部緩沖裝置，但不限于一部緩沖裝置。一般用在PGV 357中的緩沖裝置的數(shù)量可以在1至12之間變動(dòng)，取決于需要用來(lái)推動(dòng)PGV 357的操作者或所用助力系統(tǒng)的能力。軌道360可導(dǎo)引圖15B中的RGV 359。所示RGV 359由兩部緩沖裝置組成，但不限于兩部緩沖裝置。一般用在RGV 359中的緩沖裝置的數(shù)量可以從1變動(dòng)到12。在圖15c中，AGV 361由自動(dòng)系統(tǒng)(未示出)所導(dǎo)引。所示AGV 361由四部緩沖裝置組成，但不限于四部緩沖裝置。一般用在AGV 361中的緩沖裝置的數(shù)量可以從1變動(dòng)到12。如圖15c中所示，AGV 361配置有兩排緩沖裝置362a和362b。緩沖裝置的成排配置完全利用了制造艙室內(nèi)可用的垂直空間而盡量減少使用水平空間，導(dǎo)致在制造艙室內(nèi)所需的承載器較少。當(dāng)前，本發(fā)明者所知的通常的導(dǎo)向承載器不緩沖承載器。它們只為承載器提供從加工系統(tǒng)到加工系統(tǒng)的運(yùn)送。
注意，導(dǎo)向承載器可以通過(guò)使用導(dǎo)向承載器中所用類(lèi)型的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪裝置或自由轉(zhuǎn)輪裝置來(lái)代替裝入緩沖裝置實(shí)施例中的移動(dòng)裝置而獲得。
圖16示出用于緩沖裝置400的控制系統(tǒng)簡(jiǎn)圖。兩部緩沖裝置401a和401b中401a詳細(xì)示出。緩沖裝置401a的緩沖控制器405a是兩部緩沖裝置401a與401b間的主導(dǎo)控制器。對(duì)等的緩沖控制器405b至405n連同其相應(yīng)的緩沖裝置401b至401n作為緩沖控制器405a的從動(dòng)裝置。主導(dǎo)緩沖控制器405a連通于加工系統(tǒng)控制器403，后者本身又連通于AMHS402和周?chē)岸搜b置404。一般，一或兩個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器在用在緩沖系統(tǒng)400中時(shí)會(huì)連通于加工系統(tǒng)控制器403。
另外，圖16示出緩沖裝置401a的詳細(xì)控制系統(tǒng)。在控制系統(tǒng)的中心處是緩沖控制器405a。緩沖控制器405a輸出信息以便顯示在緩沖用戶(hù)交接406(也稱(chēng)作“UI”)上。此外，緩沖控制器405a接收和傳送信息給條碼閱讀器408，用以識(shí)別緩沖裝置內(nèi)的承載器。除了以上指出的部件以外，緩沖控制器405a從多個(gè)傳感器處接收信號(hào)，這些傳感器包括緩沖裝載口岸承載器存在傳感器407a；緩沖裝載口岸承載器座放傳感器407b；上傳遞位置、頂部傳感器417a；上傳遞位置、底部傳感器417b；下傳遞位置、頂部傳感器418a；下傳遞位置、底部傳感器418b；垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)部傳感器(vertically moving mechanism home sensor)421；以及安全傳感器423。緩沖控制器405a還與緩沖設(shè)備操縱臺(tái)422交互通信和電力。電力從制造系統(tǒng)經(jīng)由電力連接裝置409提供給緩沖裝置401a。設(shè)備操縱臺(tái)422還將緩沖裝置401a連接于加工系統(tǒng)控制器403。最后，緩沖控制器405a可控制垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)馬達(dá)420。
單一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)(也稱(chēng)作“HMM”)由單一的從動(dòng)控制414a-c構(gòu)成。單一的HMM控制器414a-c可控制單一HMM的成對(duì)馬達(dá)410a-c和412a-c。此外，HMM控制器414a-c可接收傳感器輸入，它們包括座放在端部操作器傳感器409a-c中的承載器；HMM外部臺(tái)架收進(jìn)傳感器411a-c；HMM內(nèi)部臺(tái)架收進(jìn)傳感器413a-c；片盒存在傳感器415a-c。
在此所述的幾次實(shí)施例利用了靠近加工操作臺(tái)裝載口岸的可供使用的空間，借以增大加工操作臺(tái)的儲(chǔ)存容量而不增大加工操作臺(tái)的占地面積(由加工操作臺(tái)占據(jù)的區(qū)域，以地面面積計(jì))，如圖6E、7A-7J、12A-12C、13A-13D和14所示。
視實(shí)施例而定，一種緩沖裝置(屬于在此所述類(lèi)型)為之服務(wù)的加工系統(tǒng)可能僅具有單一的加工腔室，或者它可能是一種諸如化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，不包括任何加工腔室，如述于但不限于美國(guó)專(zhuān)利第5435682號(hào)、第6267853號(hào)、第6298685號(hào)、第6336845號(hào)，或第6339730號(hào)。此外，加工系統(tǒng)可以代替或附加于制造工序來(lái)進(jìn)行計(jì)量或檢驗(yàn)。最后，加工系統(tǒng)可以執(zhí)行傳遞步驟，諸如從一個(gè)承載器把基片傳遞到另一個(gè)或從一個(gè)承載器到加工系統(tǒng)，如述于但不限于如美國(guó)專(zhuān)利第5807062號(hào)中所示的晶片分揀器、片盒傳遞裝置。
雖然裝載口岸21已如上述作為緩沖裝置20的一部分進(jìn)行說(shuō)明，但在其他一些實(shí)施例中，這樣一種擱架可以是結(jié)合緩沖裝置20所用的另一裝置的一部分。在某些實(shí)施例中，擱架的上述配置是反轉(zhuǎn)的，其中盒開(kāi)啟器/裝載器在上傳遞位置處具有一擱架，而緩沖裝置在下傳遞位置處具有一擱架。在多個(gè)實(shí)施例中，兩個(gè)擱架可以包含在一個(gè)盒開(kāi)啟器/裝載器中，或者另外，兩個(gè)擱架可以包含在一個(gè)緩沖裝置中，視實(shí)施例而定。
雖然緩沖裝置20已經(jīng)說(shuō)明為剛性地安裝于清潔室地面，但在另外一些實(shí)施例中，緩沖裝置可以剛性地安裝于清潔室壁部、加工系統(tǒng)前部端面，或者清潔室頂板。
在另一實(shí)施例中，陣列式緩沖系統(tǒng)包括一或多個(gè)緩沖系統(tǒng)，用以向和從加工系統(tǒng)傳遞承載器，該加工系統(tǒng)包括加工設(shè)備以在基片上完成某制造步驟，該加工設(shè)備包括中間壁板，隔開(kāi)加工設(shè)備與清潔室；中間壁板上的開(kāi)口；盒開(kāi)啟器/裝載器；能夠在盒開(kāi)啟器/裝載器與加工設(shè)備間經(jīng)過(guò)開(kāi)口傳遞基片的EFEM，如圖12A-12B中所示。
還有另一實(shí)施例，陣列式緩沖系統(tǒng)包括一或多個(gè)緩沖系統(tǒng)，用以向和從加工系統(tǒng)傳遞所述承載器，該加工系統(tǒng)包括計(jì)量設(shè)備以在基片上完成某計(jì)量步驟，計(jì)量設(shè)備包括中間壁板，隔開(kāi)計(jì)量設(shè)備與清潔室；中間壁板上的開(kāi)口；盒開(kāi)啟器/裝載器；能夠在盒開(kāi)啟器/裝載器與計(jì)量設(shè)備間經(jīng)過(guò)開(kāi)口傳遞基片的EFEM，如圖12A-12B中所示。
在另外的實(shí)施例中，陣列式緩沖系統(tǒng)包括一或多個(gè)緩沖系統(tǒng)，用以向和從加工系統(tǒng)傳遞所述承載器，該加工系統(tǒng)包括基片傳遞設(shè)備以在基片上完成傳遞步驟，該基片傳遞設(shè)備包括隔開(kāi)基片傳遞設(shè)備與清潔室的中間壁板；中間壁板上的開(kāi)口；盒開(kāi)啟器/裝載器；能夠在盒開(kāi)啟器/裝載器與基片傳遞設(shè)備中間經(jīng)過(guò)開(kāi)口傳遞基片的EFEM，如圖12A-12B中所示。
還有，在另一實(shí)施例中，陣列式緩沖系統(tǒng)能夠從高架運(yùn)送器或傳送系統(tǒng)把承載器接收到最上面緩沖口岸上去、并向此高架運(yùn)送器或此傳送系統(tǒng)把承載器提供到此口岸上去，如圖12C、13A、13C中所示。
在另一實(shí)施例中，陣列式緩沖系統(tǒng)能夠從人工導(dǎo)引運(yùn)送器、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器把承載器接收到緩沖裝載口岸或盒開(kāi)啟器/裝載器、并向這些運(yùn)送器把承載器提供到此口岸或開(kāi)啟器/裝載器上去，如圖12C、13A、13C中所示。
再有，在另一實(shí)施例中，陣列式緩沖裝置能夠同時(shí)地從高架運(yùn)送器把承載器接收在最上面裝載口岸上、并向高架運(yùn)送器把承載器提供到最上面裝載口岸上、并向下列的人工導(dǎo)引運(yùn)送器、自動(dòng)導(dǎo)引導(dǎo)運(yùn)送器或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器把承載器提供到其余的緩沖裝載口岸或盒開(kāi)啟器/裝載器上去，如圖13C中所示。
在另一實(shí)施例中，陣列式緩沖系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)緩沖系統(tǒng)，其中所述緩沖系統(tǒng)共用一組由盒開(kāi)啟器/裝載器和一組緩沖裝載口岸組成的裝載口岸，如圖12B中所示。
其次，在一實(shí)施例中，如圖13C所示，陣列式緩沖系統(tǒng)能夠在對(duì)接時(shí)至少?gòu)木彌_裝置的前面進(jìn)行維修。
再者，在另一實(shí)施例中，包括多個(gè)相鄰的陣列式緩沖系統(tǒng)的陣列式緩沖系統(tǒng)組合能夠共用單一的EFEM維護(hù)寬度，如圖13B和13D中所示。
另外，如圖13C中所示，實(shí)施例為能夠在對(duì)接的同時(shí)從陣列式緩沖系統(tǒng)組合的前面進(jìn)行維修的陣列式緩沖系統(tǒng)組合。
另一實(shí)施例是由包括多個(gè)相鄰的陣列式緩沖系統(tǒng)的陣列式緩沖系統(tǒng)組合構(gòu)成的，其能夠從高架運(yùn)送器或傳送系統(tǒng)把承載器接收到最上面緩沖裝載口岸上去、并向此高架運(yùn)送器或此傳送系統(tǒng)把承載器提供到這些口岸上去，如圖12C、13A、13C中所示。
另一實(shí)施例是由包括多個(gè)相鄰的陣列式緩沖系統(tǒng)的陣列式緩沖系統(tǒng)組合構(gòu)成的，能夠從人工導(dǎo)引運(yùn)送器、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器把承載器接收到某緩沖裝載口岸或所述加工系統(tǒng)裝載口岸上去、并向這些運(yùn)送器把承載器提供到某口岸或所述口岸上去，如圖12C、13A、13C中所示。
在又一另外的實(shí)施例中，包括多個(gè)相鄰的陣列式緩沖系統(tǒng)的陣列式緩沖系統(tǒng)組合能夠同時(shí)地從高架運(yùn)送器把承載器接收在所述最上面裝載口岸上、并向高架運(yùn)送器把承載器提供到所述最上面裝載口岸上、并向下列人工導(dǎo)引運(yùn)送器、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器把承載器提供到所述其余的緩沖裝載口岸或所述加工系統(tǒng)裝載口岸上去，如圖13C中所示。
另外的一個(gè)實(shí)施例是由用以?xún)?chǔ)存承載器以及向和從裝載口岸傳遞承載器的緩沖裝置構(gòu)成的，所述緩沖裝置包括一垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)、用于儲(chǔ)存以及向和從裝載口岸傳遞相應(yīng)的多個(gè)承載器；一個(gè)或多個(gè)緩沖裝載口岸，包括一組側(cè)于垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)的緩沖裝載口岸，用以裝載或卸載所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)；一固定安裝的機(jī)架，支承所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述緩沖裝載口岸，所述機(jī)架靠近并借助于對(duì)接裝置聯(lián)接于清潔室地面、清潔室壁部、加工系統(tǒng)或清潔室頂板；以及地面上的開(kāi)口，便于所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)換位在地面水平以下，如圖14中所示。
能夠向和從固定于相鄰裝置的裝載口岸傳遞承載器的人工導(dǎo)引運(yùn)送器、軌道導(dǎo)引運(yùn)送器或自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器包括一或多個(gè)垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)、用于儲(chǔ)存和傳遞相應(yīng)的多個(gè)承載器；固定安裝的機(jī)架，支承所述垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架裝接于腳座，后者帶有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪裝置371、373或375，分別裝接于所述腳座371、373或375的周邊，如圖15A-15C中所示。
在最后實(shí)施例中，緩沖裝載口岸可以向旁邊樞轉(zhuǎn)以把它們從盒開(kāi)啟器/裝載器垂直上部的路徑處挪開(kāi)，允許承載器被直接放在盒開(kāi)啟器/裝載器上。
因此，在此所述的實(shí)施例、執(zhí)行方案和范例的多種這樣的修改和調(diào)整都被包含在所附項(xiàng)權(quán)利要求內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種裝置(下文中的“緩沖裝置”)，包括多個(gè)第一機(jī)構(gòu)(下文中的“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠水平移動(dòng)經(jīng)過(guò)第一距離；第二機(jī)構(gòu)(下文中的“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠垂直移動(dòng)第二距離，多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的每一個(gè)安裝在該垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)上；以及機(jī)架，包括腳座，其上該垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)被固定支承，該機(jī)架還包括由一支座固定地裝接于腳座的擱架，其中該擱架在水平方向上與該腳座隔開(kāi)大約第一距離、并且該擱架在垂直方向上與該腳座隔開(kāi)大約第二距離。
2.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)引裝置；驅(qū)動(dòng)裝置，由該導(dǎo)引裝置進(jìn)行導(dǎo)引；承載器接收器，裝在該驅(qū)動(dòng)裝置的一端處。
3.按照權(quán)利要求2所述的裝置，其中該承載器接收器包括叉式端部操縱器。
4.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中該垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)引裝置和驅(qū)動(dòng)裝置。
5.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中還包括移動(dòng)安裝架，裝接于該擱架的上表面。
6.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中該腳座包括對(duì)接裝置的安裝于清潔室地面的部分。
7.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中該腳座包括包括自位輪或撬板的滑動(dòng)裝置。
8.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其中該腳座包括自由轉(zhuǎn)輪裝置或驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置，位于所述腳座底面以由人工或機(jī)械運(yùn)送裝置驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。
9.一種在加工操作臺(tái)附近儲(chǔ)存多個(gè)承載器的方法，此方法包括從該上部裝載口岸把承載器傳遞到加工操作臺(tái)附近的空間段；從該空間段把承載器傳遞到該下部裝載口岸，而該上部裝載口岸保持為未據(jù)用。
10.按照權(quán)利要求9所述的方法，其中還包括在傳遞動(dòng)作前，從高架運(yùn)送器(OHV)把承載器傳遞到該上部裝載口岸。
11.按照權(quán)利要求9所述的方法，其中還包括在傳遞動(dòng)作前，從人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)把承載器傳遞到該上部裝載口岸和該下部裝載口岸兩者中的任何一個(gè)。
12.按照權(quán)利要求9所述的方法，其中還包括從高架運(yùn)送器(OHV)把承載器傳遞到該上部裝載口岸、并同時(shí)從該下部裝載口岸把另一承載器傳遞到人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)。
13.按照權(quán)利要求9所述的方法，其中該空間段封圍在緩沖裝置內(nèi)，而此方法還包括把該緩沖裝置對(duì)接于加工操作臺(tái)；以及在對(duì)接時(shí)從前面維修該緩沖裝置。
14.一種系統(tǒng)，包括盒開(kāi)啟器/裝載器，具有裝載口岸(下文中的“盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸”)；以及一裝置(下文中的“緩沖裝置”)，位于該盒開(kāi)啟器/裝載器附近，此緩沖裝置包括多個(gè)第一機(jī)構(gòu)(下文中的“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠在水平方向上移動(dòng)經(jīng)過(guò)第一距離；第二機(jī)構(gòu)(下文中的“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，支承每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)并能夠使每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)垂直移動(dòng)經(jīng)過(guò)第二距離；此垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)被固定地支承在該緩沖裝置的腳座上；其中該緩沖裝置的一傳遞位置在該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸處，而第二距離大于該腳座與該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸之間的垂直距離。
15.按照權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中該緩沖裝置安放在該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸附近，而該緩沖裝置具有在所述盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸上方的輔助裝載口岸(下文中的“緩沖裝置裝載口岸”)。
16.按照權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中該裝載口岸能夠從高架運(yùn)送器(OHV)接收承載器、并提供一承載器到此高架運(yùn)送器。
17.按照權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中該裝載口岸能夠從人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)接收承載器、并提供承載器到這些運(yùn)送器。
18.按照權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中包括多個(gè)裝載口岸，能夠同時(shí)地從高架運(yùn)送器接收承載器到所述最上面裝載口岸上、并把承載器提供到所述最上面裝載口岸上的高架運(yùn)載車(chē)以及人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)。
19.一種系統(tǒng)，包括一盒開(kāi)啟器/裝載器，具有裝載口岸(下文中的“盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸”)；以及一對(duì)裝置，位于該盒開(kāi)啟器/裝載器附近并在其任一側(cè)上，每一裝置(下文中的稱(chēng)作“緩沖裝置”)包括多個(gè)第一機(jī)構(gòu)(下文中的“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠沿水平方向移動(dòng)經(jīng)過(guò)第一距離；第二機(jī)構(gòu)(下文中的“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，支承每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)并能夠使每一水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)垂直移動(dòng)經(jīng)過(guò)第二距離；此垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)被固定地支承在該緩沖裝置的腳座上；其中每一緩沖裝置的傳遞位置是在該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸處，而第二距離大于該腳座與該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸間的垂直距離。
20.按照權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中該緩沖裝置安放在該盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸附近并在其任一側(cè)上，而這對(duì)緩沖裝置在所述盒開(kāi)啟器/裝載器的裝載口岸上方具有輔助裝載口岸(下文中的“緩沖裝置裝載口岸”)，使得所述一對(duì)緩沖裝置位于緩沖裝置裝載口岸的任一側(cè)上。
21.按照權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中該裝載口岸能夠從高架運(yùn)送器(OHV)接收承載器并向此運(yùn)送器提供承載器。
22.按照權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中該裝載口岸能夠從人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)接收承載器、并向這些運(yùn)送器提供承載器。
23.按照權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中包括多個(gè)裝載口岸，能夠同時(shí)地從所述高架運(yùn)送器接收承載器到最上面裝載口岸上、并向所述最上面裝載口岸上的高架運(yùn)送器和人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)提供承載器。
24.一種接收和提供多個(gè)承載器至靠近加工操作臺(tái)的緩沖裝置的方法，此方法包括傳遞承載器經(jīng)過(guò)該緩沖裝置附近和所述緩沖裝置的裝載口岸上方的空間段。
25.按照權(quán)利要求24所述的方法，其中還包括在高架運(yùn)送器(OHV)與該緩沖裝置的裝載口岸之間傳遞一承載器。
26.按照權(quán)利要求24所述的方法，其中還包括在人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)與該緩沖裝置的裝載口岸之間傳遞承載器。
27.按照權(quán)利要求24所述的方法，其中還包括從高架運(yùn)送器(OHV)把承載器傳遞到該緩沖裝置的裝載口岸、并同時(shí)地在該加工系統(tǒng)裝載口岸與人工導(dǎo)引運(yùn)送器(PGV)、自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)送器(AGV)或軌道導(dǎo)引運(yùn)送器(RGV)之間傳遞另一承載器。
28.按照權(quán)利要求24所述的方法，其中第二空間段位于第二緩沖裝置附近并所述第二緩沖裝置的第二裝載口岸上方，而此方法還包括經(jīng)過(guò)該第二空間段接收和提供承載器至第二緩沖裝置；以及經(jīng)過(guò)該第二空間段傳遞承載器到第二緩沖裝置的裝載口岸。
29.一種把緩沖裝置對(duì)接于盒開(kāi)啟器/裝載器附近的方法，此方法包括把對(duì)接裝置的移動(dòng)構(gòu)件裝接于該緩沖裝置；以及把所述對(duì)接裝置的固定構(gòu)件安裝于清潔室地面。
30.按照權(quán)利要求29所述的方法，其中還包括所述對(duì)接方式是通過(guò)把緩沖裝置定位在盒開(kāi)啟器/裝載器附近，使得對(duì)接裝置的該移動(dòng)構(gòu)件聯(lián)接于所述對(duì)接裝置的固定構(gòu)件而實(shí)現(xiàn)的。
31.按照權(quán)利要求29所述的方法，其中一第二對(duì)接裝置的固定構(gòu)件固定地裝接于清潔室地面，靠近一第二盒開(kāi)啟器/裝載器附近，此方法還包括解脫所述緩沖裝置對(duì)接；以及移動(dòng)所述緩沖裝置靠近該第二盒開(kāi)啟器/裝載器附近；以及對(duì)接所述緩沖裝置。
32.一種重新定位緩沖裝置的方法，其中此方法包括從一第一加工系統(tǒng)解脫緩沖裝置對(duì)接；以及移動(dòng)緩沖裝置靠近一第二加工系統(tǒng)；以及對(duì)接該緩沖裝置于第二加工系統(tǒng)。
33.按照權(quán)利要求32所述的方法，其中所述移動(dòng)由一人工操作工完成。
34.按照權(quán)利要求32所述的方法，其中該緩沖裝置的腳座包括自由轉(zhuǎn)輪裝置或驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置，以使之由人移動(dòng)。
35.一種可移動(dòng)的緩沖裝置，包括多個(gè)第一機(jī)構(gòu)(下文中的“水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠沿水平方向移動(dòng)經(jīng)過(guò)第一距離；以及一第二機(jī)構(gòu)(下文中的“垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)”)，能夠沿垂直方向移動(dòng)經(jīng)過(guò)第二距離，每一個(gè)多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在該垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)上；以及一機(jī)架，包括一腳座，其上固定支承垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及一驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置，固定裝接于所述腳座的周邊；以及一電池系統(tǒng)，以向裝置供應(yīng)電力。
36.按照權(quán)利要求35所述的裝置，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置包括一手柄，以便于由人導(dǎo)引可移動(dòng)緩沖裝置的移動(dòng)；以及一作用力反饋系統(tǒng)，聯(lián)接于手柄以便于由人進(jìn)行可移動(dòng)緩沖裝置的速度受控移動(dòng)。
37.按照權(quán)利要求35所述的裝置，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置包括一自動(dòng)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，便于可移動(dòng)緩沖裝置的自動(dòng)導(dǎo)引的移動(dòng)。
38.按照權(quán)利要求35所述的裝置，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置包括一導(dǎo)引裝置，允許可移動(dòng)緩沖裝置順隨導(dǎo)引軌道的路徑；以及一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，便于可移動(dòng)緩沖裝置的軌道導(dǎo)引的移動(dòng)。
39.一種移動(dòng)緩沖裝置，包括多個(gè)緩沖裝置，固定地安裝于可移動(dòng)的平臺(tái)，而所述緩沖裝置彼此配置成行并在同一方向上；以及一驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式機(jī)構(gòu)，固定地裝接于所述可移動(dòng)平臺(tái)的周邊；以及一電池系統(tǒng)，向裝置供應(yīng)電力。
40.按照權(quán)利要求39所述的系統(tǒng)，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置還包括一手柄，便于由人導(dǎo)引可移動(dòng)緩沖裝置的移動(dòng)；以及一作用力反饋系統(tǒng)，聯(lián)接于手柄以便于由人進(jìn)行可移動(dòng)緩沖裝置的速度受控的移動(dòng)。
41.按照權(quán)利要求39所述的裝置，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置還包括一自動(dòng)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，便于可移動(dòng)緩沖裝置的自動(dòng)導(dǎo)引的移動(dòng)。
42.按照權(quán)利要求39所述的裝置，其中該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)輪式裝置還包括一導(dǎo)引裝置，使可移動(dòng)緩沖裝置順隨導(dǎo)引軌道的路徑；以及一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，便于可移動(dòng)緩沖系統(tǒng)的軌道導(dǎo)引的移動(dòng)。
43.一種在可移動(dòng)平臺(tái)上配置多個(gè)緩沖裝置的方法，此方法包括在所述移動(dòng)平臺(tái)上把多個(gè)緩沖裝置彼此靠近地設(shè)置成一排；以及設(shè)置所述緩沖裝置，使得每一個(gè)面對(duì)一共同的方向。
44.按照權(quán)利要求43所述的方法，其中還包括彼此靠近地配置兩排緩沖裝置，使得第一排緩沖裝置面對(duì)第二排緩沖裝置的相反方向。
45.按照權(quán)利要求43所述的方法，其中還包括在第一排緩沖裝置與生產(chǎn)線第一側(cè)上的加工系統(tǒng)之間傳遞承載器；以及在第二排緩沖裝置與所述生產(chǎn)線第二側(cè)上的加工系統(tǒng)之間傳遞承載器。
全文摘要
一種緩沖裝置(20)，包括容納多個(gè)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)、以?xún)?chǔ)存承載器(27A、27B)和向/從裝載口岸(29)傳遞承載器的一垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及靠近緩沖裝置的一或多個(gè)緩沖裝載口岸，以借助于導(dǎo)引運(yùn)送器、高架運(yùn)送器或人工裝載和卸載緩沖裝置。一種緩沖系統(tǒng)包括緩沖裝置(20)和加工系統(tǒng)裝載口岸(29)，以從緩沖裝置把承載器(27A、27B)傳遞到加工系統(tǒng)裝載口岸(29)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK1646401SQ03808324
公開(kāi)日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2003年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月19日
發(fā)明者詹姆斯·G·薩基特, 戴維·E·韋爾登, 亞歷山大·H·安德森 申請(qǐng)人:弗蒂卡爾索魯申斯公司