專利名稱：連接器裝卸用工卡模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將基板的同一面上具有的多個(gè)連接器裝卸到對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的多個(gè)連接器的工卡模具。尤其涉及包括與具有連接器的基板接觸、結(jié)合的接合器，通過(guò)沿連接器的嵌合方向進(jìn)退該接合器，而沿連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)基板，從而可與相對(duì)側(cè)連接器進(jìn)行裝卸，即使在具有多個(gè)連接器的情況下，也可同時(shí)、容易且可靠地插拔全部連接器的、適用于可裝卸地安裝在半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)裝置的主板上的插座板(socket board)和自診斷用板等的連接器的裝卸的連接器裝卸用工卡模具。
背景技術(shù)：
通常，進(jìn)行半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，通過(guò)將為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體零件裝載在被稱為插座板的基板上，將該插座板連接到試驗(yàn)裝置主體側(cè)的被稱為主板的基板上，而經(jīng)主板向插座板輸入輸出試驗(yàn)所需的預(yù)定電信號(hào)來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)。
這里，現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，為了優(yōu)先考慮電性能，通過(guò)電線或焊錫等來(lái)電連接裝載了半導(dǎo)體零件的插座板與試驗(yàn)裝置主體側(cè)的主板，插座板和主板為不能裝卸的不可分的一體結(jié)構(gòu)。這種不可分地一體連接插座板與主板的現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，不能單獨(dú)裝卸、更換插座板，而存在難于對(duì)應(yīng)于種類繁多的各種半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)的問(wèn)題。
近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體零件的復(fù)雜化、高密度化的發(fā)展，開發(fā)并提供了多種插件結(jié)構(gòu)和管腳(pin)結(jié)構(gòu)不同的半導(dǎo)體零件，為了試驗(yàn)各種不同結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體零件，需要將為半導(dǎo)體零件的接口的插座板變更為對(duì)應(yīng)于各半導(dǎo)體零件的管腳結(jié)構(gòu)、插件結(jié)構(gòu)的插座板。但是，現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，如上所述，插座板通過(guò)錫焊等一體不可分地連接到裝置主體側(cè)的主體上，所以不能僅裝卸、更換插座板，若進(jìn)行不同種類的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)，必須更換包含主板的試驗(yàn)裝置整體。
這樣，在需要更換裝置整體的現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，新的主板的制作、導(dǎo)入需要花費(fèi)時(shí)間，不僅使試驗(yàn)期間長(zhǎng)，還必須對(duì)每個(gè)半導(dǎo)體零件導(dǎo)入、更換價(jià)格昂貴的主板，所以造成了試驗(yàn)成本的增高和資源的浪費(fèi)等結(jié)果。
因此，本申請(qǐng)人在鉆研后，在特愿2002-047186號(hào)公報(bào)中，提出了作為半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中的插座板和主板等的連接結(jié)構(gòu)，通過(guò)采用可彼此自由裝卸地連接的連接器，而在主板上自由裝卸、更換插座板的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置。
圖9是在該特愿2002-047186號(hào)中，示意表示本申請(qǐng)人提出的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的說(shuō)明圖，(a)是從主板側(cè)拆下插座板的狀態(tài)的正視圖，(b)是(a)所示的插座板的仰視圖。
如這些圖所示，該半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，可自由裝卸地構(gòu)成主板120和插座板110，插座板110在作為基底的平板上排列了多個(gè)插座板，同時(shí)，如圖9(b)所示，在插座板110的底面?zhèn)?，具有嵌合到?duì)應(yīng)的主板120側(cè)的連接器(省略圖示)的連接器114a、114b、114c、114d...114n。
根據(jù)這種半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置，由于可經(jīng)主板120和連接器114a～114n自由裝卸地連接插座板110，所以例如，在試驗(yàn)插件結(jié)構(gòu)和管腳結(jié)構(gòu)不同的半導(dǎo)體零件的情況下，可從主板120中拆下插座板110(參照?qǐng)D9(a))，僅將插座板變更為對(duì)應(yīng)于各半導(dǎo)體零件的插座板。
因此，該半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，通過(guò)僅單獨(dú)更換插座板，可對(duì)應(yīng)于不同種類的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)，不需要如現(xiàn)有裝置那樣，更換包含主板的裝置整體等，而實(shí)現(xiàn)了成本低、且通用性好的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置。
但是，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中具有的插座板通常將多個(gè)插座板排列在主板上，使其可同時(shí)試驗(yàn)多個(gè)半導(dǎo)體零件。因此，上述的本申請(qǐng)人提出的插座板裝卸型的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，將在框體上排列了恒定數(shù)目的多個(gè)插座板和連接器單元化(參照?qǐng)D9(b))，可以以該單元化了的基板為單位而使插座板可裝卸到主板側(cè)(參照?qǐng)D9(a))。因此，該單元化了的多個(gè)插座板側(cè)的連接器可在對(duì)應(yīng)的主板側(cè)的連接器上同時(shí)裝卸、嵌合全部連接器。
這里，通常，連接器若彼此連接一個(gè)連接器，即使手工作業(yè)也可容易裝卸，但是為了在同一個(gè)平面上配置多個(gè)連接器，使其同時(shí)連接到與其對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的多個(gè)連接器，需要向相對(duì)側(cè)沿嵌合方向移動(dòng)所連接的全部連接器，且同時(shí)嵌合或脫開多個(gè)連接器，若所連接的連接器的數(shù)目多，則數(shù)目越多，僅通過(guò)手工作業(yè)來(lái)進(jìn)行插拔作業(yè)越困難。
因此，圖9所示的半導(dǎo)體裝置中，對(duì)應(yīng)于多個(gè)插座板而在同一平面上排列多個(gè)連接器，所以連接器的裝卸作業(yè)僅通過(guò)手工作業(yè)是困難的，希望開發(fā)出一種連接器插拔手段。因此，本申請(qǐng)人在之后的進(jìn)一步的鉆研后，想出了通過(guò)開發(fā)一種在同一基板上排列多個(gè)連接器的情況下，可沿連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)該基板的工卡模具，而可減輕、消除因手工作業(yè)造成的連接器的插拔作業(yè)的負(fù)擔(dān)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述問(wèn)題而提出的，其目的是提供一種包括與具有連接器的基板接觸、結(jié)合的接合器，通過(guò)沿連接器的嵌合方向進(jìn)退該接合器，而可沿連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)基板，從而與相對(duì)側(cè)連接器進(jìn)行裝卸，即使在具有多個(gè)連接器的情況下，也可同時(shí)容易且可靠地插拔全部連接器的、尤其適用于可裝卸地安裝在半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)裝置的主板上的插座板(socket board)和自診斷用板等的連接器的裝卸的連接器裝卸用工卡模具。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具如本發(fā)明之1所述，使基板的同一面上具有的多個(gè)連接器裝卸到對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的多個(gè)連接器上，包括接合器，和與所述基板的連接器配置面不同的面?zhèn)葘?duì)向配置，沿所述連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)；牽引單元，突出設(shè)置在所述接合器(或基板)上，與所述基板(或接合器)所具有的結(jié)合孔部結(jié)合，通過(guò)所述接合器的后退移動(dòng)，而將所述基板向離開所述相對(duì)側(cè)的方向牽引。
另外，如本發(fā)明之2所述，本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，包括按壓?jiǎn)卧怀鲈O(shè)置在所述接合器(或基板)上，和與所述基板或接合器的連接器配置面不同的面?zhèn)冉佑|，通過(guò)所述接合器的前進(jìn)移動(dòng)而向所述相對(duì)側(cè)按壓該基板。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，通過(guò)使用升降單元等使包括與具有多個(gè)連接器的基板的基板面接觸的按壓?jiǎn)卧徒Y(jié)合到該基板上形成的孔部的牽引單元的接合器相對(duì)于基板沿連接器的嵌合方向進(jìn)退，從而可使基板向相對(duì)側(cè)進(jìn)退。由此，基板中具有的連接器隨著接合器的進(jìn)退動(dòng)作，裝卸、嵌合到相對(duì)側(cè)的連接器，即使在具有多個(gè)連接器的情況下，也可一起裝卸所有連接器。
因此，根據(jù)本發(fā)明，可僅通過(guò)簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)形成的接合器，容易且可靠地插拔基板和其相對(duì)側(cè)的所有連接器，例如，如包括經(jīng)連接器連接到主板的多個(gè)插座板的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置那樣，對(duì)于裝卸多個(gè)連接器的基板及其相對(duì)側(cè)而言，可使用本發(fā)明的工卡模具自動(dòng)化地進(jìn)行連接器的裝載作業(yè)，而不需要復(fù)雜的裝置等，可以低成本地消除因手工作業(yè)造成的連接器裝載作業(yè)的負(fù)擔(dān)。
另外，在本發(fā)明之3所述的連接器裝卸用工卡模具中，所述按壓?jiǎn)卧c所述基板彈性接觸。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器用工卡模具，將基板按壓到相對(duì)側(cè)的按壓?jiǎn)卧c基板側(cè)彈性接觸，從而，可以平滑地將基板推動(dòng)、按壓到相對(duì)側(cè)，可以更順利地嵌合連接器。即，根據(jù)與基板彈性接觸的按壓?jiǎn)卧?，可以通過(guò)彈性吸收施加到基板和相對(duì)側(cè)的基板、裝置等的沖擊，可以可靠地嵌合連接器，通過(guò)將連接器的裝卸自動(dòng)化，可以實(shí)現(xiàn)不對(duì)基板和連接器造成破壞的可靠性高的連接器的裝卸作業(yè)。
并且，如本發(fā)明之4所述，本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，所述牽引單元具有軸部，相對(duì)于所述接合器可自由滑動(dòng)地突出設(shè)置；膨大部，在該軸部的前端設(shè)置，比該軸部直徑大；所述基板的結(jié)合孔部具有通孔，可通過(guò)所述牽引單元的膨大部；滑動(dòng)孔，與該通孔連接，可通過(guò)所述牽引單元的軸部，且不能通過(guò)所述膨大部；通過(guò)了所述結(jié)合孔部的通孔的所述接合器的膨大部通過(guò)所述軸部的滑動(dòng)移動(dòng)到所述滑動(dòng)孔側(cè)，不能脫落地結(jié)合于所述滑動(dòng)孔。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器用工卡模具，可通過(guò)由軸部和軸部前端的膨大部構(gòu)成的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了分離嵌合的連接器的牽引單元，僅通過(guò)將該牽引單元插入到基板側(cè)的結(jié)合孔部來(lái)滑動(dòng)，而可不能脫落地結(jié)合牽引單元和結(jié)合孔部，從相對(duì)側(cè)牽引基板。由此，僅通過(guò)牽引單元和結(jié)合孔部這種極其簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，就可以分離嵌合的連接器，不設(shè)置復(fù)雜、大型的裝置等，就可提供能夠?qū)崿F(xiàn)連接器的裝卸作業(yè)的自動(dòng)化、容易化的低成本且可靠性高的連接器裝卸用工卡模具。
尤其，在本發(fā)明之5所述的連接器裝卸用工卡模具中，所述接合器包括基底部，固定在所述基板上，滑動(dòng)部，相對(duì)所述基底部自由滑動(dòng)地設(shè)置；所述牽引單元的軸部突出設(shè)置于所述接合器的滑動(dòng)部。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，通過(guò)在接合器的滑動(dòng)部安裝結(jié)合到基板側(cè)的結(jié)合孔部的牽引單元，而在基板側(cè)定位并固定了接合器的基底部后，通過(guò)滑動(dòng)滑動(dòng)部，而在結(jié)合孔部?jī)?nèi)滑動(dòng)牽引單元，從而可以可靠且容易地將膨大部結(jié)合到結(jié)合孔部。由此，可以容易、可靠地進(jìn)行牽引單元的滑動(dòng)動(dòng)作，尤其，在包括多個(gè)牽引單元的情況下，也可僅通過(guò)滑動(dòng)部的滑動(dòng)操作，一齊滑動(dòng)所有牽引單元后結(jié)合到結(jié)合孔部，可以更有效地進(jìn)行使用了本發(fā)明的工卡模具的連接器的裝卸作業(yè)。
進(jìn)一步，在本發(fā)明之6所述的連接器裝卸用工卡模具中，所述接合器包括固定單元，不能相對(duì)于所述基底部滑動(dòng)地固定所述滑動(dòng)部。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，可使用例如銷等的固定單元將相對(duì)于基底部自由滑動(dòng)地安裝的滑動(dòng)部不能滑動(dòng)地固定。由此，在將牽引單元的膨大部結(jié)合到基板側(cè)后，通過(guò)將滑動(dòng)部固定到基底部，不能滑動(dòng)地固定牽引單元，從而不會(huì)使膨大部不經(jīng)意地從基板側(cè)脫落、位置偏移等，可以進(jìn)行可靠性更高的連接器的裝卸動(dòng)作。
在本發(fā)明之7所述的連接器裝卸用工卡模具之，所述牽引單元的膨大部為大致球形。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，通過(guò)使自由插拔地結(jié)合到基板側(cè)的結(jié)合孔部的牽引單元的膨大部大致構(gòu)成為球形，而可更順利地進(jìn)行膨大部的插拔動(dòng)作。即，根據(jù)球形的膨大部，即使怎么樣將牽引單元的軸安裝在接合器上，膨出為球形的膨大部也可必然結(jié)合到結(jié)合孔部的邊緣部，另外，還可吸收結(jié)合孔部?jī)?nèi)的位置偏差。由此，可以容易進(jìn)行接合器的組裝作業(yè)，同時(shí)，還可可靠地進(jìn)行基板的牽引動(dòng)作，可以提供低成本且可靠性高的工卡模具。
并且，如本發(fā)明之8所述，本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，所述基板由裝載、連接作為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體零件的插座板構(gòu)成；所述相對(duì)側(cè)由對(duì)所述插座板輸入輸出預(yù)定的電信號(hào)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的主板構(gòu)成。
根據(jù)由這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，由于使用接合器進(jìn)行連接器的裝卸的基板及其相對(duì)側(cè)為半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中的插座板和主板，所以可對(duì)插座板裝卸型的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置適用本發(fā)明的工卡模具。由此，在僅通過(guò)單獨(dú)更換插座板，而可對(duì)應(yīng)于各種不同的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，可以使用本發(fā)明的工卡模具自動(dòng)化地進(jìn)行插座板和主板的裝卸作業(yè)，可以減輕因手工作業(yè)引起的連接器裝卸作業(yè)的負(fù)擔(dān)，可以實(shí)現(xiàn)高效的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)。


圖1是表示適用本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體的概要正視圖；圖2是表示適用本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中包括的插座板和主板的分解斜視圖；圖3表示適用本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中包括的插座板，(a)是局部俯視圖，(b)是(a)的A-A線剖視圖；圖4是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的接合器的圖，(a)是俯視圖，(b)是(a)的B-B線剖視圖，(c)是相同的C-C線剖視圖；圖5是表示使用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的插座板和主板的裝卸動(dòng)作的概要正視圖，表示沒(méi)有將接合器安裝在插座板上的狀態(tài)；圖6表示使用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的插座板和主板的裝卸動(dòng)作，(a)是表示將接合器安裝在插座板上的狀態(tài)的概要正視圖，(b)是相同的局部截面放大側(cè)視圖；圖7是使用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的插座板和主板的裝卸動(dòng)作的變遷，是牽引單元和結(jié)合孔部的主要部分的放大剖視圖；
圖8是表示使用了本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的插座板和主板的裝卸動(dòng)作的概要正視圖，表示解除了插座板和主板的嵌合的狀態(tài)；圖9是特愿2002-047186號(hào)中示意表示本申請(qǐng)人提出的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的說(shuō)明圖，(a)是從主板側(cè)拆下插座板的狀態(tài)的正視圖，(b)是(a)所示的插座板的仰視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照?qǐng)D1～圖8，說(shuō)明本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具的最佳圖1是表示適用本發(fā)明的一實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體的概要正視圖。如該圖所示，本實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具是將基板的同一面上具有的多個(gè)連接器裝卸到對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的多個(gè)連接器的工卡模具，具體的，包括半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中的插座板10和連接該插座板10的主板20。并且，作為進(jìn)行電連接該插座板10和主板20之間的多個(gè)連接器14、21(參照?qǐng)D2)的裝卸的工卡夾具，包括接合器30和接合器升降裝置100。
首先，參照?qǐng)D2和圖3，說(shuō)明本實(shí)施方式的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中具有的插座板10和主板20。圖2是表示本實(shí)施方式的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中具有的插座板10和主板20的分解斜視圖。圖3表示同一實(shí)施方式的插座板10，(a)是局部俯視圖，(b)是(a)的A-A線剖視圖。
如這些圖所示，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置與圖9所示的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置相同，搭載作為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體零件(省略圖示)的插座板10在主板20上自由裝卸地構(gòu)成，是通過(guò)僅單獨(dú)更換插座板10，即可對(duì)應(yīng)于不同種類的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)的試驗(yàn)裝置。
插座板10如圖2所示，一體地單元化多個(gè)插座板11a、11b、11c、11d...11n。具體的，單元化了的插座板10將多個(gè)插座板11a～11n排列在為基底板的插座板架(SB框架)12上，同時(shí)，在SB框架12的空間13(13a、13b...13n)內(nèi)配置了連接到插座板11a～11n的連接器14a、14b、14c、14d...14n。
各插座板11a～11n分別由具有裝載并電連接作為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體零件的零件裝載連接部(插座部)的基板構(gòu)成，在各插座板11a～11n上均裝載了一個(gè)半導(dǎo)體零件。并且，該多個(gè)插座板11a～11n分別裝載、固定在SB框架12的框體部分上。
SB框架12是由金屬等構(gòu)成的框部件，包括多個(gè)空間13a～13n，本實(shí)施方式中，如圖2所示，包括1列8個(gè)、總共16個(gè)的空間13。在該各個(gè)空間13a～13n內(nèi)分別容納了連接到插座板11a～11n的連接器14a～14n。
這樣，通過(guò)在SB框架12內(nèi)容納連接器14a～14n，而在各插座板11a～11n的底面?zhèn)扰渲眠B接器14a～14n，將各個(gè)連接器14a～14n連接到SB框架12上的對(duì)應(yīng)的插座板11a～11n。
并且，多個(gè)連接器14a～14n通過(guò)配置在SB框架12內(nèi)，而在插座板底面?zhèn)戎泄潭ㄔ谕黄矫嫔希谥靼?0側(cè)的對(duì)應(yīng)的連接器21a、21b、21c、21d...21n上同時(shí)裝卸全部連接器(參照?qǐng)D2)。
這里，如上這樣，通過(guò)SB框架12一體地單元化了多個(gè)插座板11a～11n和連接器14a～14n的插座板10通常稱為“DSA(Device SpecificAdapter)”，將該DSA作為一個(gè)單位來(lái)進(jìn)行制造、裝卸、更換等。通常，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，在一個(gè)主板上將DSA設(shè)為2個(gè)一組或4個(gè)一組等來(lái)裝載后使用。這樣，通過(guò)以單元化了插座板10的DSA為單位來(lái)處理，在試驗(yàn)例如插件結(jié)構(gòu)和管腳結(jié)構(gòu)不同的半導(dǎo)體零件的情況下，以單元化后的DSA為單位準(zhǔn)備對(duì)應(yīng)于各半導(dǎo)體零件的插座板10，而在主板20上裝卸、更換對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體零件的插座板10。
另外，圖2所示的例子中，插座板10在SB框架12中包括2列一列8個(gè)的框架，在總共16個(gè)的各個(gè)框架上，分別各包括2個(gè)、總共32個(gè)的插座板1.1和對(duì)應(yīng)的連接器14，但是并不特別限定插座板11(和連接器14)的數(shù)目，SB框架12的空間數(shù)目等。
另外，裝載在SB框架12上的各插座板11a～11n如圖2和圖3所示，各插座板的基板四角為缺口形狀，使得從該缺口部分露出SB框架12的框體部分。并且，首先，如圖2所示，在該SB框架12的露出部分形成插入突出設(shè)置于主板20側(cè)的定位管腳22的定位孔15，插座板10相對(duì)于主板20在預(yù)定的位置上定位并固定。
這里，定位管腳22(和定位孔15)在本實(shí)施方式中，形成為位于SB框架12的縱向的左右兩個(gè)部位(參照?qǐng)D2)，但是并不限于將插座板10定位在預(yù)定的位置，也可在任何位置上設(shè)置定位管腳22和定位孔15，另外，也不特別限定其數(shù)目。
另外，本實(shí)施方式中，在該SB框架12的框體露出部分形成自由插拔地結(jié)合后述接合器30的牽引單元50的膨大部52的結(jié)合孔部16。如圖2所示，該結(jié)合孔部16是在SB框架12的框體露出的部分，即插座板11的缺口部分上形成的孔部，如圖3所示，是由大直徑的通孔16a和與該通孔16a連續(xù)形成的小直徑的滑動(dòng)孔16b構(gòu)成的大致葫蘆形狀的孔部。結(jié)合孔部16的大直徑通孔16a具有可通過(guò)接合器30的牽引單元50的膨大部52的孔徑的大致正圓形。另一方面，小直徑的滑動(dòng)孔16b是與通孔16a連續(xù)形成的孔部，是可通過(guò)接合器30的牽引單元50的軸部，且不能通過(guò)膨大部52的孔徑的大致橢圓形狀。
并且，該結(jié)合孔部16在SB框架12的框體的露出部分，即，從插座孔11的缺口部分露出的框體部分上形成，本實(shí)施方式中，如圖2所示，在SB框架12的縱向上等間隔的四個(gè)位置形成。
這樣，通過(guò)在多個(gè)位置上等間隔形成結(jié)合孔部16，如后所述，通過(guò)向SB框架12均勻施加由接合器升降裝置100升降的接合器30的牽引單元50形成的牽引力，而可同時(shí)一體地解除多個(gè)插座板11a～11n的連接器14a～14n和主板20側(cè)的連接器21a～21n的嵌合。另外，本實(shí)施方式中，雖然在四個(gè)部位形成了結(jié)合孔部16，但是其當(dāng)然可根據(jù)接合器30的牽引單元的數(shù)目和形成位置，適當(dāng)增減變更。
進(jìn)一步，該SB框架12的露出部分被作為由接合器30的按壓?jiǎn)卧?0按壓的被按壓部。如上所述，在插座板11a～11n的各四個(gè)角上形成缺口部，從該缺口部分別露出SB框架的框部分。因此，本實(shí)施方式中，接合器30的按壓?jiǎn)卧?0與該SB框架12的露出部分接觸，通過(guò)按壓SB框架12，而將插座板10向主板20側(cè)推動(dòng)、按壓。
這里，由接合器30的按壓?jiǎn)卧?0按壓的被按壓部為SB框架12的露出部分中，沒(méi)有形成上述定位孔15和結(jié)合孔部16的部分(參照?qǐng)D2和圖3)。具體的，首先，對(duì)應(yīng)于后述的固定按壓部41，將沿形成了定位孔15和結(jié)合孔部16的SB框架12的中央縱向的其余露出區(qū)域的4個(gè)位置作為被按壓部。另外，對(duì)應(yīng)于后述的彈性按壓部42，還將沿SB框架12的縱向的兩個(gè)外緣的露出區(qū)域的單側(cè)各4個(gè)位置、總共8個(gè)位置也作為被按壓部。
這樣，通過(guò)在SB框架12上以預(yù)定間隔在多個(gè)位置上形成由接合器30的按壓?jiǎn)卧?0按壓的被按壓部，如后所述，可以向SB框架12均勻施加由接合器升降裝置100升降的接合器30的按壓?jiǎn)卧?0形成的按壓力，可將多個(gè)插座板11a～11n的連接器14a～14n同時(shí)一體嵌合到主板20側(cè)的連接器21a～21n上。另外，對(duì)于由該按壓?jiǎn)卧?0按壓的被按壓部，與上述的結(jié)合孔部16的情況相同，當(dāng)然可根據(jù)接合器30的按壓?jiǎn)卧臄?shù)目和形成位置，來(lái)適當(dāng)增減變化。
如圖1所示，主板20是半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的主體側(cè)具有的基板，如上所述，包括對(duì)應(yīng)于單元化了的插座板10側(cè)的多個(gè)連接器21a～21n(參照?qǐng)D2)。通過(guò)經(jīng)連接器連接到該主板20，而經(jīng)主板20向插座板10側(cè)輸入輸出試驗(yàn)所需的預(yù)定電信號(hào)，來(lái)進(jìn)行各插座板11a～11n上的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)。
另外，本實(shí)施方式中表示為主板20的部分通常除了半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的測(cè)試頭上具有的主板之外，還包括SPCF或金屬平板、執(zhí)行板等。因此，本實(shí)施方式中所說(shuō)的“主板”是指自由裝卸地連接到單元化了的插座板(DSA)10的相對(duì)側(cè)基板、相對(duì)側(cè)裝置。
另外，雖然省略了詳細(xì)說(shuō)明，但是除上述的插座板10和主板20之外，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中具有的結(jié)構(gòu)、功能與現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置相同。
接著，參照?qǐng)D4，說(shuō)明本實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的接合器30。圖4是表示本實(shí)施方式的接合器30的圖，(a)是俯視圖，(b)是(a)的B-B線剖視圖，(c)是相同的C-C線剖視圖。
這些圖中所示的接合器30是和與插座板10的接合器配置面不同的面，即半導(dǎo)體零件的裝載面(圖1的插座板上面)對(duì)向配置的板狀部件，以構(gòu)成插座板10的DSA為單位進(jìn)行設(shè)置。并且，該接合器30可由圖1所示的接合器升降裝置100沿插座板10和主板20的連接器插拔方向進(jìn)退移動(dòng)(升降)，由此，裝卸、嵌合插座板10和主板20的連接器。
接合器30如圖4所示，包括基底部31和滑動(dòng)部32?；撞?1由與插座板10具有大致相同形狀的板狀部件構(gòu)成(參照?qǐng)D5、圖6)，與插座板10的半導(dǎo)體零件裝載面保持預(yù)定間隔配置、固定。并且，該基底部31上包括按壓插座板10的按壓?jiǎn)卧?固定按壓部41和彈性按壓部42)(參照?qǐng)D4～圖6)。
滑動(dòng)部32是相對(duì)于基底部31可自由滑動(dòng)地設(shè)置的板狀部件，本實(shí)施方式中，如圖4所示，配置在基底部31的上面?zhèn)?，形成為覆蓋插座板10的薄板狀，沿基底部31的縱向自由滑動(dòng)地安裝。并且，該滑動(dòng)部32包括牽引單元50(參照?qǐng)D4～圖6)。
按壓?jiǎn)卧?0是在該接合器30的基底部31上突出設(shè)置的軸狀部件，向插座板10側(cè)突出，該按壓?jiǎn)卧?0，通過(guò)接合器30的前進(jìn)移動(dòng)(下降)，和與插座板10的SB框架12的連接器配置面不同的面、即半導(dǎo)體零件的裝載面?zhèn)冉佑|，而向主板20側(cè)按壓插座板10。
并且，本實(shí)施方式的按壓?jiǎn)卧?0包括固定按壓部41和彈性按壓部42兩種按壓?jiǎn)卧?br> 如圖4(c)所示，固定按壓部41是從接合器30的基底部31的底面向插座板10的基板面突出的柱狀部件，通過(guò)接合器30的升降移動(dòng)，與SB框架12的框體露出部分接觸。
該固定按壓部41在本實(shí)施方式中，如圖4(c)所示，包括柱狀部41a和筒上部41b。柱狀部41a是為了與SB框架12的中央縱向的露出部分接觸，而沿基底部31的中央縱向突出的4個(gè)柱狀部件(參照?qǐng)D5、圖6)。另一方面，筒上部41b是與從SB框架12的定位孔15突出的主板20的定位管腳22(參照?qǐng)D2)的周圍接觸的中空的筒狀部件，對(duì)應(yīng)于兩個(gè)定位管腳22而設(shè)置在2個(gè)位置上。通過(guò)具有這種筒狀部41b，即使在SB框架12的定位孔15的周圍附近也可通過(guò)固定按壓部41來(lái)按壓，而不與突出的定位管腳22產(chǎn)生干擾，而可以更均勻地推動(dòng)、按壓SB框架12。
這里，按壓?jiǎn)卧?0(固定按壓部41、彈性按壓部42)的長(zhǎng)度(突出高度)可根據(jù)使用接合器30進(jìn)行裝卸的插座板10的大小和連接器的嵌合力等設(shè)定為最佳的長(zhǎng)度，但是固定按壓部41(柱狀部41a和筒狀部41b)與后述的彈性按壓部42的柱狀部42b相比較，稍短地形成。由此，在接合器30向SB框架12前進(jìn)移動(dòng)(下降)的情況下，彈性按壓部42的柱狀部42b比固定按壓部41的柱狀部件先與SB框架12接觸。
彈性按壓部42如圖4(a)、(b)所示，包括從接合器30的基底部31與插座板10的基板面平行延伸的板狀部42a和從該板部42a的前端部向插座板10的基板面?zhèn)韧怀鲈O(shè)置的柱狀部42b。
板狀部42a由具有彈性的金屬板等構(gòu)成，固定在接合器30的基底部31上，并向接合器30的短向方向按翼狀延伸，將柱狀部42b固定在該板狀部42a的各前端部。根據(jù)由這種板狀部42a和柱狀部42b構(gòu)成的彈性按壓部42，在柱狀部42b與插座板10的SB框架12接觸時(shí)，板狀部42a彈性撓曲，柱狀部42b彈性按壓SB框架12。
并且，這樣，彈性按壓部42彈性按壓、推動(dòng)SB框架12，從而插座板10可以平滑地向主板20側(cè)推動(dòng)、按壓，可以更順利地嵌合連接器，可以通過(guò)彈性吸收對(duì)插座板10和主板20等施加的沖擊，可以可靠地嵌合連接器。
這里，突出設(shè)置在板狀部42a的前端的柱狀部42b形成為比上述固定按壓部41的柱狀部件稍長(zhǎng)。由此，在接合器30向SB框架12降低時(shí)，彈性按壓部42的柱狀部42b比固定按壓部41的柱狀部件先與SB框架12接觸，由此，板狀部42a撓曲，柱狀部42b通過(guò)按壓SB框架12。
另外，本實(shí)施方式的彈性按壓部42如圖4(a)所示，沿接合器30的縱向等間隔地具有4個(gè)在基底部31的兩端按翼狀突出的板狀部42a，在各板狀部42a的兩個(gè)前端部分別具有柱狀部42b，通過(guò)總共8個(gè)的柱狀部42b，而按壓沿SB框架12的縱向的兩個(gè)外緣的露出部分。
如上所述，本實(shí)施方式中，在接合器30上以預(yù)定間隔在多個(gè)位置上形成由固定按壓部41和彈性按壓部42構(gòu)成的按壓?jiǎn)卧?0，所以通過(guò)由接合器升降裝置100升降接合器30，可不偏離地將多個(gè)按壓部41、42與SB框架12接觸，而將按壓力施加于該插座板10的整體。另外，當(dāng)然，由固定按壓部41和彈性按壓部42構(gòu)成的按壓?jiǎn)卧?0可以根據(jù)使用接合器30嵌合的連接器的大小和管腳數(shù)、嵌合難易等適當(dāng)增減變化。
牽引單元50是突出設(shè)置在接合器30的滑動(dòng)部32上的軸狀單元，與插座板10的SB框架12上形成的結(jié)合孔部16結(jié)合，通過(guò)接合器30的后退移動(dòng)，而向離開主板側(cè)的方向牽引插座板10。該牽引單元50具有相對(duì)于接合器30自由滑動(dòng)地突出設(shè)置的軸部51和設(shè)置在該軸部51的前端的比該軸部51直徑大的膨大部52。
軸部51由比SB框架12的結(jié)合孔部16的通孔16a和滑動(dòng)孔16b直徑小的軸狀單元形成，前端形成膨大部52。這里，軸部51如圖4(b)所示，突出、固定在接合器30的滑動(dòng)部32，貫通基底部31而向插座板10突出。并且，該軸部51貫通的基底部31形成為沿滑動(dòng)部32的滑動(dòng)方向的長(zhǎng)孔狀。由此，軸部51可在貫通的基底部31的長(zhǎng)孔的范圍內(nèi)，與滑動(dòng)部32一起沿接合器30的縱向滑動(dòng)。這樣，通過(guò)將牽引單元50的軸部51安裝在滑動(dòng)部32上，本實(shí)施方式中，通過(guò)設(shè)置多個(gè)牽引單元50，而可通過(guò)滑動(dòng)部32的滑動(dòng)操作，一起滑動(dòng)所有的牽引單元50，而可以容易、可靠地將膨大部52結(jié)合到SB框架12側(cè)的結(jié)合孔部16。
另外，該軸部51在上述的按壓?jiǎn)卧?0(固定按壓部41、彈性按壓部42)與SB框架12接觸的狀態(tài)下，設(shè)定長(zhǎng)度(突出高度)，使得前端的膨大部52處于通過(guò)結(jié)合孔部16的通孔16a的位置(參照?qǐng)D6)。膨大部52是在軸部51的前端形成的膨出部分，具有可通過(guò)SB框架12的結(jié)合孔部16的通孔16a，且不能通過(guò)滑動(dòng)孔16b的外徑。這里，膨大部52設(shè)定為在按壓?jiǎn)卧?0與SB框架12接觸時(shí)，通過(guò)結(jié)合孔部16的通孔16a而位于孔內(nèi)(參照?qǐng)D6)。由此，若接合器30向插座板10降低，膨大部52通過(guò)SB框架12的結(jié)合孔部16的通孔16a，位于通孔16a內(nèi)的膨大部52通過(guò)軸部51的滑動(dòng)而移動(dòng)到滑動(dòng)孔16b側(cè)。由此，膨大部52不能脫落地結(jié)合在滑動(dòng)孔16b內(nèi)，牽引單元50不能脫落地鎖定在SB框架12上。因此，該狀態(tài)下，若接合器30通過(guò)接合器升降裝置100進(jìn)行后退移動(dòng)(上升)，則插座板10通過(guò)牽引單元50向離開主板20的方向牽引。
這里，本實(shí)施方式的膨大部52如圖4(b)、(c)所示，外形形成為大致球狀。這樣，通過(guò)使膨大部52為球形，即使在接合器側(cè)以何種角度等來(lái)安裝牽引單元50的軸，膨出為球形的膨大部52也必然會(huì)結(jié)合到結(jié)合孔部16的滑動(dòng)孔16b的邊緣部，不需要在接合器30上的安裝的方向性，使安裝變得容易，同時(shí)，向插座板10側(cè)的裝卸也變得容易，且可以可靠進(jìn)行插座板10的牽引動(dòng)作。
并且，包括如上這樣的軸部51和膨大部52的牽引單元50在滑動(dòng)部31的接合器縱向上等間隔地在4個(gè)位置上形成。這樣，通過(guò)在多個(gè)位置上等間隔形成牽引單元50，當(dāng)接合器30通過(guò)接合器升降裝置100進(jìn)行升降時(shí)，可以對(duì)SB框架12均勻施加由牽引單元50形成的牽引力，可同時(shí)一體地解除、分離所嵌合的插座板11側(cè)的連接器14和主板20側(cè)的連接器21。另外，本實(shí)施方式中，雖然在沿接合器30的縱向的四個(gè)位置上形成了牽引單元50，但是當(dāng)然也可根據(jù)插拔、分離的連接器的大小和管腳數(shù)目、嵌合力等，來(lái)適當(dāng)增減變化牽引單元50的數(shù)目和形成位置。
并且，這樣在接合器30的滑動(dòng)部32側(cè)設(shè)置牽引單元50的本實(shí)施方式中，接合器30中包括不能相對(duì)于基底部31滑動(dòng)地固定滑動(dòng)部32的固定單元60。這樣，通過(guò)設(shè)置不能相對(duì)于基底部31移動(dòng)地固定滑動(dòng)部32的固定單元60，而在使?fàn)恳龁卧?0的膨大部52在插座板10的SB框架12上滑動(dòng)結(jié)合后，通過(guò)將滑動(dòng)部32固定在基底部31上而可不能滑動(dòng)地固定牽引單元50。由此，可以可靠防止膨大部52從SB框架12的結(jié)合孔部16不慎脫落、位置偏離等。
這里，本實(shí)施方式的接合器30中，作為固定單元60，采用了將滑動(dòng)部32固定在基底部31上的銷。如圖4(c)所示，該銷是包括配置在接合器30的上面?zhèn)炔⒐潭ㄔ诨瑒?dòng)部32側(cè)的彈簧圈的銷，通過(guò)銷的一端側(cè)鉤住在基底部31側(cè)固定的鉤子(hook)31a，而成為固定的帶扣(buckle)結(jié)構(gòu)。這樣，通過(guò)固定銷，利用銷的彈簧圈的彈簧牽引力，滑動(dòng)部32牽引、固定在基底部31的鉤子側(cè)。并且，滑動(dòng)部32具有的牽引單元50如后所述，在膨大部52向SB框架12的結(jié)合孔部16的滑動(dòng)孔16b側(cè)推動(dòng)的狀態(tài)下，進(jìn)行結(jié)合、固定(參照?qǐng)D7)。另外，作為這樣不能相對(duì)于基底部31滑動(dòng)地固定滑動(dòng)部32的固定單元60，并不限于本實(shí)施方式的銷，當(dāng)然還可采用限制滑動(dòng)部32的移動(dòng)的止動(dòng)器或固定用的螺絲、螺栓等其他固定單元、固定結(jié)構(gòu)。
另外，在如上所述的接合器30中，在上面?zhèn)染哂袣飧?cylinder)插入部70。該氣缸插入部70如圖1所示，設(shè)置于接合器上面?zhèn)鹊膶?duì)應(yīng)于筒狀部41b的兩個(gè)位置上，本實(shí)施方式中，形成為可自由進(jìn)退地插入后述的接合器升降裝置100的水平氣缸101的突起101a的環(huán)狀(ring狀)。并且，通過(guò)將水平氣缸101的突起101a插入、固定在該氣缸插入部70，將接合器30不能脫落地把持、固定在接合器升降裝置100側(cè)，隨著后述地垂直氣缸102的驅(qū)動(dòng)而沿上下方向升降。
另外，本實(shí)施方式的接合器30中除了上述各構(gòu)成部分之外，如圖1所示，包括從固定單元60的下側(cè)向插座板10側(cè)突出的柱狀部件。該柱狀部件由于不是本實(shí)施方式的接合器30的主要部分，故省略詳細(xì)說(shuō)明，但通過(guò)將該柱狀部件插入到設(shè)置在插座板10的SB框架12的中央部分的孔部，而按下主板20側(cè)的金屬框架的銷結(jié)構(gòu)，來(lái)固定金屬框架和SB框架12。
下面，參照?qǐng)D1，說(shuō)明本實(shí)施方式的接合器升降裝置100的概要結(jié)構(gòu)。接合器升降裝置100如圖1所示，是在接合器30的上方配置的驅(qū)動(dòng)裝置，包括水平氣缸101、垂直氣缸102和減震器103等。
水平氣缸101是沿水平方向(圖面左右方向)驅(qū)動(dòng)突起101a的氣缸，由該水平氣缸101驅(qū)動(dòng)的突起101a可進(jìn)退自由地插入到接合器30的上面?zhèn)染哂械臍飧撞迦氩?0中。通過(guò)將該突起101a插入、固定到氣缸插入部70，而可將接合器30把持、固定在接合器升降裝置100上。
垂直氣缸102是沿垂直方向(圖面上下方向)驅(qū)動(dòng)水平氣缸101的氣缸，通過(guò)該垂直氣缸102驅(qū)動(dòng)，通過(guò)水平氣缸101的突起101a把持、固定的接合器30沿垂直方向升降。由此，接合器30可相對(duì)插座板10和主板20進(jìn)退自由地移動(dòng)，來(lái)裝卸、嵌合插座板10側(cè)的連接器14和主板20側(cè)的連接器21。
減震器103是向由水平氣缸101把持的接合器30突出的氣缸，前端部具有與接合器30的上面?zhèn)葟椥越佑|的橡膠等的彈性部件。通過(guò)該減震器103與接合器30彈性接觸，而可吸收解除插座板10和主板20的嵌合的瞬間所產(chǎn)生的沖擊等。
另外，由上述這樣構(gòu)成的接合器升降裝置100是本實(shí)施方式的向插座板10側(cè)進(jìn)退移動(dòng)接合器30的驅(qū)動(dòng)單元的一例，但是并不特別限定為本實(shí)施方式所示的接合器升降裝置100。
接著，參照?qǐng)D5～圖8所示的動(dòng)作說(shuō)明圖說(shuō)明使用了由上述這樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具的插座板10和主板20間的連接器的裝卸動(dòng)作。
首先，如圖5所示，在插座板10與主板20的連接器嵌合的狀態(tài)下，解除該嵌合時(shí)，從插座板10的上方配置接合器30(圖5所示的狀態(tài))，使接合器30原樣下降，而裝載在插座板10的上面。這時(shí)，接合器30可通過(guò)手工作業(yè)裝載在插座板10上，但是還可使用接合器升降裝置100自動(dòng)化。另外，該狀態(tài)下，接合器30的固定單元60為解除了固定的狀態(tài)。
若將接合器30裝載在插座板10上，則如圖6和圖7(a)、(b)所示，牽引單元50的膨大部52通過(guò)SB框架12的結(jié)合孔部16的通孔16a而位于孔內(nèi)，同時(shí)，按壓?jiǎn)卧?0與SB框架12接觸。該狀態(tài)下，接合器30的基底部31被定位且固定在SB框架12的預(yù)定位置上(參照?qǐng)D6)。
另外，當(dāng)按壓?jiǎn)卧?0與SB框架12接觸時(shí)，由于彈性按壓部42比固定按壓部稍長(zhǎng)，所以首先彈性按壓部42與SB框架12接觸，固定按壓部不與SB框架12接觸。
并且，該狀態(tài)下，若向縱向(圖6(b)和圖7(c)所示的圖面右方向)滑動(dòng)接合器30的滑動(dòng)部32，則突出滑動(dòng)部32的牽引單元50同時(shí)滑動(dòng)(參照?qǐng)D7(c))，結(jié)合孔部16內(nèi)的膨大部52從通孔16a側(cè)向滑動(dòng)孔16b側(cè)移動(dòng)。由此，膨大部52不能脫落地結(jié)合在滑動(dòng)孔16b內(nèi)，牽引單元50不能脫落地鎖定在SB框架上。另外，雖然可通過(guò)手工作業(yè)進(jìn)行該接合器30的滑動(dòng)部32的滑動(dòng)，但是也可使用接合器升降裝置100等的驅(qū)動(dòng)單元使其自動(dòng)化。
并且，該狀態(tài)下，將由銷構(gòu)成的固定單元60為固定狀態(tài)，將滑動(dòng)部32不能移動(dòng)地固定在基底部31。由此，通過(guò)將滑動(dòng)部32固定在基底部31，而在不能移動(dòng)狀態(tài)下固定牽引單元50，膨大部52不會(huì)從結(jié)合孔部16中脫落或位置偏移等(參照?qǐng)D7(c))。該狀態(tài)下，使接合器30向上方、即插座板10離開主板20的方向后退移動(dòng)(上升)。
使用圖1所示的接合器升降裝置100進(jìn)行該接合器30的上升移動(dòng)。具體的，首先，驅(qū)動(dòng)垂直氣缸102并降低水平氣缸101，而定位到接合器30上面的氣缸插入部70。并且，驅(qū)動(dòng)水平氣缸101而使突起101a沿水平方向(圖面左右方向)移動(dòng)，而插入、固定在接合器30的上面?zhèn)鹊臍飧撞迦氩?0。該狀態(tài)下，由接合器升降裝置100把持、固定接合器30。
之后，驅(qū)動(dòng)垂直氣缸102并沿垂直方向(圖面上下方向)移動(dòng)、上升水平氣缸101。通過(guò)升高垂直氣缸102，由水平氣缸101的突起101a把持、固定的接合器30也沿垂直方向升高。由此，如圖8所示，接合器30結(jié)合的插座板10向上方牽引，而解除了插座板10側(cè)的連接器14和主板20側(cè)的連接器21的嵌合。
接著，在嵌合沒(méi)有連接的插座板10和主板20的連接器的情況下，為與解除上述的嵌合的情況相反的順序。
首先，如圖8所示，在將接合器30結(jié)合、固定到插座板10的狀態(tài)下，使用接合器升降裝置100將其定位且裝載在主板20上。該狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)接合器升降裝置100的垂直氣缸102，而將插座板10按壓到主板20側(cè)。
這時(shí)，比固定按壓部41稍長(zhǎng)的彈性按壓部42與插座板10的SB框架12接觸，所以若驅(qū)動(dòng)垂直氣缸102，則首先，在彈性按壓部42的板狀部42a撓曲的狀態(tài)下按壓SB框架12，進(jìn)一步，下降的固定按壓部41與SB框架12接觸，而按壓框架12。由此，SB框架12通過(guò)彈性按壓部42和固定按壓部41兩者來(lái)按壓、推動(dòng)。
通過(guò)該按壓力，嵌合插座板10側(cè)的連接器14和主板20側(cè)的連接器21(參照?qǐng)D6)。
之后，首先，解除固定接合器30的基底部31和滑動(dòng)部32的固定單元60的固定，而返回到滑動(dòng)部32相對(duì)于基底部31自由滑動(dòng)的狀態(tài)。由此，由于滑動(dòng)部32具有的牽引單元50也自由滑動(dòng)，所以以圖7(c)、(b)、(a)所示的順序，在結(jié)合孔部16中移動(dòng)牽引單元50的膨大部52，而解除牽引單元50的結(jié)合。
解除了牽引單元50的結(jié)合的接合器30由于可從插座板10上拆下，所以使用手工作業(yè)或接合器升降裝置100等，使接合器30從插座板10上移動(dòng)。由此，完成了插座板10和主板20的連接器的1次嵌合動(dòng)作。
如上面所說(shuō)明的，根據(jù)本實(shí)施方式的連接器裝卸用工卡模具，通過(guò)使用接合器升降裝置100等的單元將包括與具有多個(gè)連接器14a～14n的插座板10的基板(SB框架12)接觸的按壓?jiǎn)卧?0、和與插座板10的基板(SB框架12)上形成的結(jié)合孔部16結(jié)合的牽引單元50的接合器30沿連接器嵌合方向進(jìn)退，而可向相對(duì)側(cè)的主板20進(jìn)退插座板10。由此，插座板10中具有的多個(gè)連接器14a～14n隨接合器30的進(jìn)退動(dòng)作，而裝卸、嵌合到主板側(cè)20的連接器21a～21n上，在包括多個(gè)連接器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，可一起裝卸全部連接器。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，僅通過(guò)升降由簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)構(gòu)成的接合器30，就可容易且可靠地插拔作為基板的插座板10和作為其相對(duì)側(cè)的主板20側(cè)的所有連接器。
特別，本實(shí)施方式中，作為使用接合器30進(jìn)行連接器的裝卸的基板和其相對(duì)側(cè)，為半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中單元化了的插座板10和主板20，所以在可通過(guò)僅單獨(dú)更換插座板10，來(lái)對(duì)應(yīng)于各種不同的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，可使用接合器30和接合器升降裝置100來(lái)使插座板10和主板20的裝卸作業(yè)自動(dòng)化。
且，本實(shí)施方式的接合器30安裝在插座板10側(cè)，所以不需要在主板20側(cè)設(shè)置插座板10的裝卸機(jī)構(gòu)等，不會(huì)使主板20復(fù)雜化。
進(jìn)一步，接合器30由于可以以插座板10的DSA為單位進(jìn)行裝卸，所以可以使用一個(gè)接合器30來(lái)進(jìn)行多個(gè)插座板10的裝卸作業(yè)，可提高插座板10向主板20側(cè)的安裝性、作業(yè)效率。
這樣，根據(jù)本發(fā)明，不需要復(fù)雜的裝置和機(jī)構(gòu)等，可以低成本消除半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的連接器裝卸作業(yè)的負(fù)擔(dān)，實(shí)施高效的半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)。
上面，雖然表示了最佳實(shí)施方式來(lái)說(shuō)明了本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，但是本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具并不僅限于上述實(shí)施方式，可在本發(fā)明的范圍內(nèi)實(shí)施各種變更。
例如，上述實(shí)施方式中，以半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的插座板和主板的連接器的裝卸為例說(shuō)明了本發(fā)明的工卡模具，但是使用本發(fā)明的工卡模具的對(duì)象并不限于插座板和主板，另外，對(duì)于由本發(fā)明的工卡模具進(jìn)行裝卸的連接器，并不特別限定其數(shù)目和嵌合結(jié)構(gòu)等。
即，本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具若將基板和裝置等中具有的一個(gè)或兩個(gè)以上的連接器裝卸、嵌合到對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的基板和裝置等中具有的連接器，則即使在何種基板和裝置中具有何種連接器都不妨礙其適用。
半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，除了裝載作為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體裝置的插座板之外，例如，有以半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的自身檢查為目的的經(jīng)連接器可裝卸地安裝在主板側(cè)的自診斷用板，對(duì)于這種自診斷用板和主板的裝卸作業(yè)，也可使用本發(fā)明的工卡模具，另外，并不受各板中具有的連接器的結(jié)構(gòu)和數(shù)目等影響。
另外，上述實(shí)施方式中，雖然裝卸連接器的工卡模具(接合器)相對(duì)基板(插座板)沿垂直方向升降移動(dòng)，但是工卡模具相對(duì)基板的移動(dòng)方向并不限于垂直方向。例如，在垂直設(shè)置所連接的基板的情況下，由于連接器的插拔方向?yàn)樗椒较颍员景l(fā)明的工卡模具也沿水平方向進(jìn)退移動(dòng)。
即，本發(fā)明的工卡模具若沿作為裝卸對(duì)象的連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)，則并不限定其移動(dòng)方向，不僅可沿垂直方向，還可沿水平方向或傾斜方向等對(duì)應(yīng)于連接器的嵌合方向的任意方向進(jìn)退移動(dòng)，根據(jù)工卡模具的進(jìn)退移動(dòng)，本發(fā)明所實(shí)現(xiàn)的效果不會(huì)受到影響。
另外，對(duì)于這種進(jìn)退移動(dòng)接合器的單元，在上述實(shí)施方式中，使用了升降裝置中具有的氣缸，但是并不限于此，例如，也可使用杠桿等，只要能沿所希望的方向進(jìn)退移動(dòng)接合器，可以使用任意的裝置和器具等。
上述實(shí)施方式中，雖然將按壓插座板的按壓?jiǎn)卧蜖恳遄宓臓恳龁卧纪怀鲈O(shè)置在接合器側(cè)，但是也可將這些按壓?jiǎn)卧驙恳龁卧O(shè)置在作為基板的插座板SB框架側(cè)，由此，通過(guò)按壓?jiǎn)卧蜖恳龁卧陌磯毫蜖恳?，可裝卸基板和相對(duì)側(cè)的連接器的嵌合。即，按壓?jiǎn)卧蜖恳龁卧部砂诒景l(fā)明的基板側(cè)和接合器側(cè)的其中一方中。另外，也可實(shí)施省略按壓?jiǎn)卧?或牽引單元)，而僅具有牽引單元(或按壓?jiǎn)卧?的工卡模具。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上所述，根據(jù)本發(fā)明的連接器裝卸用工卡模具，包括與具有連接器的基板接觸、結(jié)合的連接器，可通過(guò)沿連接器的嵌合方向進(jìn)退該連接器，而向連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)基板，從而與相對(duì)側(cè)連接器進(jìn)行裝卸。由此，即使在具有多個(gè)連接器的情況下，也可同時(shí)容易且可靠地插拔所有連接器，尤其適用于相對(duì)于半導(dǎo)體零件的試驗(yàn)裝置的主板可裝卸地安裝的插座板和自診斷用板等的連接器的裝卸。
權(quán)利要求
1.一種連接器裝卸用工卡模具，使基板的同一面上具有的多個(gè)連接器裝卸到對(duì)應(yīng)的相對(duì)側(cè)的多個(gè)連接器上，其特征在于，包括接合器，和與所述基板的連接器配置面不同的面?zhèn)葘?duì)向配置，沿所述連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)；牽引單元，突出設(shè)置在所述接合器或基板上，與所述基板或接合器所具有的結(jié)合孔部結(jié)合，通過(guò)所述接合器的后退移動(dòng)，而將所述基板向離開所述相對(duì)側(cè)的方向牽引。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于包括按壓?jiǎn)卧怀鲈O(shè)置在所述接合器或基板上，和與所述基板或接合器的連接器配置面不同的面?zhèn)冉佑|，通過(guò)所述接合器的前進(jìn)移動(dòng)向所述相對(duì)側(cè)按壓該基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述按壓?jiǎn)卧c所述基板彈性接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述牽引單元具有軸部，相對(duì)于所述接合器可自由滑動(dòng)地突出設(shè)置；膨大部，在該軸部的前端設(shè)置，比該軸部直徑大；所述基板的結(jié)合孔部具有通孔，可通過(guò)所述牽引單元的膨大部；滑動(dòng)孔，與該通孔連接，可通過(guò)所述牽引單元的軸部，且不能通過(guò)所述膨大部；通過(guò)了所述結(jié)合孔部的通孔的所述膨大部通過(guò)所述軸部的滑動(dòng)而移動(dòng)到所述滑動(dòng)孔側(cè)，不能脫落地結(jié)合到所述滑動(dòng)孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述接合器包括基底部，固定在所述基板上；滑動(dòng)部，相對(duì)于所述基底部自由滑動(dòng)地設(shè)置；所述牽引單元的軸部突出設(shè)置在所述接合器的滑動(dòng)部上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述接合器包括固定單元，不能相對(duì)于所述基底部滑動(dòng)地固定所述滑動(dòng)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述牽引單元的膨大部為大致球形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、5或6的任意一項(xiàng)所述的連接器裝卸用工卡模具，其特征在于所述基板由裝載、連接作為試驗(yàn)對(duì)象的半導(dǎo)體零件的插座板構(gòu)成；所述相對(duì)側(cè)由對(duì)所述插座板輸入輸出預(yù)定的電信號(hào)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的主板構(gòu)成。
全文摘要
在具有多個(gè)連接器的情況下，也可同時(shí)容易且可靠地插拔所有連接器。作為將插座板(10)中具有的多個(gè)連接器裝卸到對(duì)應(yīng)的主板(20)側(cè)的多個(gè)連接器的工卡模具，包括接合器(30)，和與插座板(10)的連接器配置面不同的半導(dǎo)體零件裝載面?zhèn)葘?duì)向配置，沿連接器的插拔方向進(jìn)退移動(dòng)；按壓?jiǎn)卧?40)，突出設(shè)置在接合器(30)上，與插座板(10)的半導(dǎo)體零件裝載面?zhèn)冉佑|，通過(guò)接合器(30)的下降移動(dòng)，將插座板(10)按壓到主板(20)側(cè)；牽引單元(50)，突出設(shè)置在接合器(30)上，與插座板(10)上形成的結(jié)合孔部(16)結(jié)合，通過(guò)接合器(30)的上升移動(dòng)，向離開主板(20)側(cè)的方向牽引插座板(10)。
文檔編號(hào)H01R43/26GK1639928SQ03805059
公開日2005年7月13日 申請(qǐng)日期2003年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月1日
發(fā)明者金子雅則, 濱博之, 石川貴治, 松村茂 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛德萬(wàn)測(cè)試