專(zhuān)利名稱(chēng)：具有隔離閥門(mén)的氣體激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明與氣體激光器有關(guān)，特別是一種具有隔離閥門(mén)的氣體激光器。
背景技術(shù)：
大型高功率二氧化碳激光器及準(zhǔn)分子激光器中，為了獲得穩(wěn)定的激光輸出，氣體要流動(dòng)循環(huán)，但是在放電過(guò)程中，電極與氣體相互作用會(huì)產(chǎn)生一些物質(zhì)被吸附在激光腔的窗口上，從而影響激光的穩(wěn)定輸出。為此，激光器生產(chǎn)商建議定期清潔腔片。在清潔腔片時(shí)整個(gè)放電室暴露在大氣中，要恢復(fù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，對(duì)激光器要經(jīng)過(guò)反復(fù)充氣換氣放電。這樣不僅增加了激光器的運(yùn)轉(zhuǎn)成本，而且浪費(fèi)了不少時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種具有隔離閥門(mén)的氣體激光器，達(dá)到投資少，使用方便，運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種具有隔離閥門(mén)的氣體激光器，包括激光放電室，其特征是在該放電室的兩端各設(shè)有一氣體隔離閥門(mén)，該氣體隔離閥門(mén)外為氣體隔離室，該隔離室有二個(gè)出口，出口連接真空泵，出口連接激光混合氣體瓶，隔離室另一端為激光腔片，激光放電室還設(shè)有氣口。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是明顯的。由于在諧振腔腔片及放電室之間放置了一個(gè)隔離閥門(mén)，在更換或清洗腔片時(shí)將該閥門(mén)關(guān)閉，更換或清洗以后在隔離區(qū)內(nèi)補(bǔ)充少量激光氣體，再將隔離區(qū)閥門(mén)打開(kāi)。由于整個(gè)激光放電室除隔離區(qū)外未暴露在大氣中，它可以使激光器很快進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)。具有投資少，使用方便，運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示。本發(fā)明具有隔離閥門(mén)的氣體激光器，包括激光放電室1，其特點(diǎn)是在該放電室1的兩端各設(shè)有一氣體隔離閥門(mén)2，該氣體隔離閥門(mén)2外為氣體隔離室3，該隔離室3有二個(gè)出口，出口5連接真空泵，出口6連接激光混合氣體瓶，隔離室3另一端為激光腔片4或9，激光放電室1還設(shè)有氣口7。
激光器運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，氣體隔離閥門(mén)2處于開(kāi)啟狀態(tài)，二端激光腔片4和9組成一個(gè)激光諧振腔。當(dāng)需要清潔激光腔片4時(shí)，首先將氣體隔離閥門(mén)2處于關(guān)閉。通過(guò)出口5將隔離區(qū)3內(nèi)的氣體排放出去與環(huán)境壓力相同，此時(shí)可以取下激光腔片4進(jìn)行清潔處理，清潔以后再將激光腔片4安裝到原位。出口5處用真空泵將隔離室3抽成真空，然后經(jīng)過(guò)出口6補(bǔ)充激光氣體，使隔離室3內(nèi)的壓力與激光放電室1內(nèi)氣體8的壓力一致，此時(shí)將氣體隔離閥門(mén)2打開(kāi)，激光器即可恢復(fù)正常工作。
下面舉一具體實(shí)施例以作進(jìn)一步說(shuō)明。
如圖1所示結(jié)構(gòu)，激光放電室1為一個(gè)準(zhǔn)分子激光放電室，直徑為30cm，長(zhǎng)為100cm，內(nèi)充激光氣體含有98.9％氖氣，1％氬氣和0.1％氟氣，總氣壓為0.3MPa.
激光腔片4為193nm全反射腔片，激光腔片9是石英窗口。5、6處的閥門(mén)在激光工作時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài)，插板閥門(mén)2處于開(kāi)啟狀態(tài)。當(dāng)要更換腔片4時(shí)，首先關(guān)閉插板閥門(mén)2，然后打開(kāi)連接真空泵的閥門(mén)5使隔離室3處于真空狀態(tài)，然后關(guān)閉閥門(mén)5，打開(kāi)閥門(mén)6使隔離室3內(nèi)充入與激光放電室1內(nèi)氣壓一致的空氣，然后清潔或更換腔片4，接著關(guān)閉閥門(mén)6，打開(kāi)閥門(mén)5使隔離室3抽真空，達(dá)到10-3真空度后關(guān)閉閥門(mén)5，打開(kāi)閥門(mén)6充入激光混合氣體至0.3MPa，然后關(guān)閉閥門(mén)6，打開(kāi)插板閥2即完成腔片4的清潔或更換。
按上述步驟，可以更換或清潔腔片9。
經(jīng)試用證明，本發(fā)明具有投資少，使用方便，運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種具有隔離閥門(mén)的氣體激光器，包括激光放電室(1)，其特征是在該放電室(1)的兩端各設(shè)有一氣體隔離閥門(mén)(2)，該氣體隔離閥門(mén)(2)外為氣體隔離室(3)，該隔離室(3)有二個(gè)出口，出口(5)連接真空泵，出口(6)連接激光混合氣體瓶，隔離室(3)另一端為激光腔片(4)和(9)，激光放電室(1)還設(shè)有氣口(7)。
全文摘要
一種具有隔離閥門(mén)的氣體激光器，包括激光放電室，其特點(diǎn)是在該放電室的兩端各設(shè)有一氣體隔離閥門(mén)，該氣體隔離閥門(mén)外為氣體隔離室，該隔離室有二個(gè)出口，出口連接真空泵，出口連接激光混合氣體瓶，隔離室另一端為激光腔片，激光放電室還設(shè)有氣口。本發(fā)明具有投資少，更換或清洗腔片方便，運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01S3/03GK1494185SQ03150510
公開(kāi)日2004年5月5日 申請(qǐng)日期2003年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月22日
發(fā)明者樓祺洪 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所