專(zhuān)利名稱(chēng)：曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用紫外線(xiàn)在帶式基板上形成圖形的曝光設(shè)備，特別涉及傳送作為曝光作業(yè)對(duì)象物的帶式基板、在曝光作業(yè)前要使各種大小的對(duì)象物配置到正確的位置的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)。
圖1是表示一般曝光設(shè)備的正視圖。
一般地說(shuō)，如圖1所示，曝光設(shè)備由光學(xué)系統(tǒng)10和傳送式基板臺(tái)構(gòu)成，光學(xué)系統(tǒng)10包括放射紫外線(xiàn)的水銀燈12和使水銀燈12放射的紫外線(xiàn)單向行進(jìn)的聚光鏡14，利用上述水銀燈12放射的紫外線(xiàn)通過(guò)光掩模照射到帶式基板40上形成圖形；而傳送式基板臺(tái)用來(lái)傳送帶式基板，使上述帶式基板40曝露于上述光學(xué)系統(tǒng)10所照射的紫外線(xiàn)下，將該帶式基板40配置在正確位置的狀態(tài)下在紫外線(xiàn)下曝光形成高精度的圖形。
這里，上述傳送式基板臺(tái)包括底座1；傳送裝置20，設(shè)置在所述底座1上，使上述帶式基板40沿上述底座的上面移動(dòng)；以及定位裝置30，借助于上述傳送裝置20移動(dòng)的帶式基板40，把帶式基板40配置到正確的位置，使其在上述光學(xué)系統(tǒng)10放射的紫外線(xiàn)下曝光形成高精度圖形。
上述傳送裝置20的構(gòu)成包括一對(duì)導(dǎo)輥24，設(shè)于上述底座的入口側(cè)和出口側(cè)，以便在水平方向往上述底座1的上面供給由卷起上述帶式基板40的第1卷筒22供給的帶式基板；兩對(duì)支持輥26，設(shè)于帶式基板40的上面和下面，以便設(shè)于一對(duì)上述導(dǎo)輥24之間，在曝露于紫外線(xiàn)的部位，平行配置所述帶式基板40；以及所驅(qū)動(dòng)的第2卷筒28，使其卷起通過(guò)上述導(dǎo)輥24和上述支持輥26的帶式基板40。
上述定位裝置30的構(gòu)成包括定位針部分32，設(shè)于兩對(duì)支持輥26之間，并設(shè)置成能夠上升或下降，使之與上述帶式基板40的下面接觸，從而在曝光作業(yè)前把上述帶式基板40配置到正確位置而形成高精度圖形；和空壓汽缸36，使設(shè)于汽缸臂34上端的上述定位針部分32能夠在垂直方向移動(dòng)。
這里，上述空壓汽缸36把壓縮空氣供給汽缸頭的上側(cè)和下側(cè)，由此連結(jié)使上述汽缸臂34上升或下降的油壓發(fā)生器36a。
圖2是表示在常規(guī)曝光設(shè)備中形成圖形的帶式基板的平面圖，圖3a是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的定位裝置側(cè)視圖，圖3b是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的定位裝置動(dòng)作圖，圖4a是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的固定針平面圖，圖4b是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的固定針正視圖。
如圖2到圖4b所示，上述帶式基板40的兩側(cè)端部形成多個(gè)連續(xù)的孔42，借助于傳送裝置20使帶式基板40位于上述支持輥26之間，上述定位針部分32上升并插入上述孔42，由此將帶式基板40配置在正確的位置。
這里，上述定位針部分32的構(gòu)成包括固定在上述空壓汽缸36的汽缸臂34上端的本體32a，從上述本體32a上面向上側(cè)突出的多個(gè)針32b，為了上述帶式基板40的配置一旦完成就吸附其帶式基板40，在上述本體32a的一側(cè)形成與真空發(fā)生器38連結(jié)的多個(gè)真空孔32c。
按照這樣的構(gòu)成，上述定位針部分32借助于汽缸36上升，插入帶式基板的孔42進(jìn)行定位動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)上述真空發(fā)生器38，吸附上述帶式基板40。
并且，上述定位針部分32借助于汽缸36下降時(shí)，解除帶式基板40由上述針32b來(lái)的約束，成為可用上述傳送裝置20進(jìn)行傳送。
可是，對(duì)現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)來(lái)說(shuō)，因?yàn)橥ㄟ^(guò)其形狀不可變的上述定位針部分32進(jìn)行帶式基板40的定位，換成新產(chǎn)品模塊的時(shí)候，必須更換上述定位針部分32、上述導(dǎo)輥24、和支持輥26等，對(duì)新產(chǎn)品模塊的更換作業(yè)要花很長(zhǎng)時(shí)間，結(jié)果存在生產(chǎn)能力低下的問(wèn)題。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)包括底座；傳送裝置，與所述底座上面所投入的帶式基板大小相對(duì)應(yīng)，可沿所述帶式基板寬度方向移動(dòng)，一邊在上下方向約束所述帶式基板的兩側(cè)端部一邊使其移動(dòng)；定位裝置，與所述傳送裝置連動(dòng)，在寬度方向約束所述帶式基板的兩側(cè)面，使帶式基板移動(dòng)到正確的位置；以及真空板，設(shè)置在所述底座的上面，吸附所述帶式基板，以便固定借助于所述傳送裝置和定位裝置傳送到作業(yè)位置的帶式基板。


圖1是表示通常曝光設(shè)備的主要部分的正視圖。
圖2是表示用通常曝光設(shè)備制作的基板的平面圖。
圖3a是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的定位裝置的側(cè)視圖。
圖3b是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的定位裝置的動(dòng)作圖。
圖4a是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的固定針部分的平面圖。
圖4b是表示現(xiàn)有技術(shù)曝光設(shè)備的固定針部分的正視圖。
圖5a是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)的正視圖。
圖5b是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)的平面圖。
圖6是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送裝置的正視圖。
圖7是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的定位裝置的平面圖。
圖5a是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)的正視圖，圖5b是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)的平面圖。
本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，如圖5a和圖5b所示，由以下部分構(gòu)成底座50；傳送裝置60，使得投入的帶式基板90沿上述底座50的上面移動(dòng)，特別是，在大小不同的帶式基板90移動(dòng)的場(chǎng)合，對(duì)其傳感并可在帶式基板90的寬度方向移動(dòng)，如此使各種大小的帶式基板90移動(dòng)；以及定位裝置70，設(shè)置成使其與所述傳送裝置60連動(dòng)，約束所述帶式基板90的兩側(cè)面，使其帶式基板90移動(dòng)到正確的位置。
進(jìn)而，在所述底座50的上面，設(shè)置真空板80，通過(guò)其表面上形成的吸附孔81吸入空氣，以便用所述傳送裝置60和定位裝置70將帶式基板90送到正確的位置時(shí)固定該帶式基板90。
圖6是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送裝置的側(cè)視圖。
如圖6所示，傳送裝置60包括驅(qū)動(dòng)部61，相對(duì)于上述底座50的后方側(cè)配置，一邊約束沿上面移動(dòng)的帶式基板90兩側(cè)端、一邊傳送；以及被動(dòng)部67，相對(duì)于上述底座50的前方側(cè)配置，并與上述帶式基板90的兩側(cè)端嚙合，隨著由上述驅(qū)動(dòng)部61傳送的帶式基板90而轉(zhuǎn)動(dòng)。
上述驅(qū)動(dòng)部61設(shè)有與上述帶式基板90的上、下面分別嚙合上、下驅(qū)動(dòng)輥62a、62b，這些驅(qū)動(dòng)輥可沿上述帶式基板90移動(dòng)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，上述驅(qū)動(dòng)部61的構(gòu)成包括從動(dòng)皮帶輪63，設(shè)置在上述驅(qū)動(dòng)輥62b的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；驅(qū)動(dòng)皮帶輪65，通過(guò)同步皮帶64將其與上述從動(dòng)皮帶輪63連動(dòng)連結(jié)；以及電機(jī)66，在上述驅(qū)動(dòng)皮帶輪65的中心部插設(shè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸66a，產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力。
這里，在上述上驅(qū)動(dòng)輥62a和下驅(qū)動(dòng)輥62b的外周面形成相互對(duì)應(yīng)的齒輪齒，因此驅(qū)動(dòng)上述下驅(qū)動(dòng)輥62b時(shí)，邊嚙合邊轉(zhuǎn)動(dòng)上述上驅(qū)動(dòng)輥62a。
并且，由于以與上述電機(jī)66的轉(zhuǎn)動(dòng)軸相對(duì)向的方式形成上述驅(qū)動(dòng)皮帶輪65，所以，可在上述底座50的寬度方向分別形成很長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪65，即使在上述底座50的前后方向移動(dòng)上述從動(dòng)皮帶輪63和驅(qū)動(dòng)輥62，上述同步皮帶64也能一邊沿驅(qū)動(dòng)皮帶輪65外周面滑動(dòng)，一邊把驅(qū)動(dòng)皮帶輪65的驅(qū)動(dòng)力傳遞給從動(dòng)皮帶輪63。
而且，上述被動(dòng)部67，在上述帶式基板90的上、下面成對(duì)配置各自嚙合的上、下被動(dòng)輥68a、68b，隨著通過(guò)上述驅(qū)動(dòng)部61傳送的帶式基板90而轉(zhuǎn)動(dòng)。
即，上述帶式基板90，與位于上述底座50后方側(cè)的驅(qū)動(dòng)部61嚙合，從前方往后方移動(dòng)，位于上述驅(qū)動(dòng)部61前方側(cè)的被動(dòng)部67，同上述帶式基板90嚙合，在上述帶式基板90移動(dòng)的同時(shí)被驅(qū)動(dòng)，因而上述驅(qū)動(dòng)部61轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在上述驅(qū)動(dòng)部61與被動(dòng)部67之間常常受張力作用，可使上述帶式基板90不會(huì)下垂地前進(jìn)。
圖7是表示本發(fā)明曝光設(shè)備的定位裝置的側(cè)視圖。
上述定位裝置70由以下部分構(gòu)成一對(duì)移動(dòng)臺(tái)75，設(shè)置上述驅(qū)動(dòng)輥62和從動(dòng)皮帶輪63，使得用上述驅(qū)動(dòng)部61傳送的帶式基板90在曝露于紫外線(xiàn)以前配置在正確的位置，而且相互間的距離可變且與上述底座50的上側(cè)相對(duì)置的方式配置；驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)于上述移動(dòng)臺(tái)75的一側(cè)，根據(jù)所供給的上述帶式基板90寬度，調(diào)節(jié)上述移動(dòng)臺(tái)75之間間隔；以及控制部(圖中未示出)，將上述帶式基板90供給底座50時(shí)傳感帶式基板90的寬度，把驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸送給上述驅(qū)動(dòng)裝置。定位裝置70根據(jù)傳感的帶式基板90寬度，調(diào)整上述移動(dòng)臺(tái)75的間隔。
上述驅(qū)動(dòng)裝置的構(gòu)成包括定位用電機(jī)77，設(shè)于上述底座50一側(cè)；驅(qū)動(dòng)軸78，與上述定位用電機(jī)77連結(jié)，以中央為中心，兩側(cè)形成反方向行進(jìn)的螺旋線(xiàn)；以及一對(duì)滾珠軸承79，分別與上述驅(qū)動(dòng)軸78的兩側(cè)結(jié)合，固定在上述移動(dòng)臺(tái)75一側(cè)。如果向某一方向驅(qū)動(dòng)上述定位用電機(jī)77的話(huà)，上述移動(dòng)臺(tái)75彼此之間的間隔就縮小，向另一方向驅(qū)動(dòng)上述定位用電機(jī)77的話(huà)，上述移動(dòng)臺(tái)75彼此之間的間隔就遠(yuǎn)離。
上述定位裝置70包括多個(gè)導(dǎo)桿71，設(shè)置為可在上述底座50寬度方向移動(dòng)，在寬度方向約束上述帶式基板90兩側(cè)面；以及導(dǎo)板72，設(shè)置在上述導(dǎo)桿71頂端，并與上述帶式基板90的上面和下面離開(kāi)規(guī)定間隔91配置，遮斷約束在上述導(dǎo)桿71上的帶式基板90的上下振動(dòng)。
另一方面，上述底座50的下面，在上述底座50的寬度方向設(shè)置多列導(dǎo)軌52，并在上述移動(dòng)臺(tái)75的下端，形成與上述導(dǎo)軌52對(duì)應(yīng)的多個(gè)導(dǎo)向體76，使其沿上述導(dǎo)軌52滑移，上述定位用電機(jī)77動(dòng)作時(shí)，要使上述移動(dòng)臺(tái)75成為可在上述底座50上側(cè)容易移動(dòng)。
而且，上述定位裝置70還包括導(dǎo)輥73，設(shè)置在上述底座50的入口側(cè)和出口側(cè)，支承上述帶式基板90的下側(cè)而防止下垂，以便水平供給上述帶式基板90。
如下說(shuō)明這樣構(gòu)成的本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)動(dòng)作。
首先，一施加電源，就驅(qū)動(dòng)上述電機(jī)66，上述驅(qū)動(dòng)皮帶輪65、從動(dòng)皮帶輪63和驅(qū)動(dòng)部61連動(dòng)，將帶式基板90送到一對(duì)上述驅(qū)動(dòng)部61之間，通過(guò)上述控制部(圖中未示出)傳感所供帶式基板90的寬度，把控制信號(hào)輸送給上述定位用電機(jī)77。
然后，按照輸入的信號(hào)驅(qū)動(dòng)上述定位用電機(jī)77，通過(guò)一邊轉(zhuǎn)動(dòng)形成不同方向螺旋線(xiàn)的驅(qū)動(dòng)軸78一邊移動(dòng)上述滾珠軸承79，調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)75彼此間的距離。
這樣，調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)75彼此間的距離，從而借助于上述移動(dòng)臺(tái)75上設(shè)置的導(dǎo)桿71將上述帶式基板90移動(dòng)到正確的位置，上述帶式基板90前進(jìn)到正確的曝光位置以后，通過(guò)真空板80的吸附孔81，一邊吸入空氣一邊把上述帶式基板90固定在作業(yè)位置。
以上的詳細(xì)說(shuō)明中，雖然參照

了本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，但不限定于本說(shuō)明書(shū)中公開(kāi)的實(shí)施例和附圖，不言而喻，在本技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以進(jìn)行包括材質(zhì)在內(nèi)的各種變形。
以上這樣構(gòu)成的本發(fā)明曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，采用將設(shè)置一對(duì)使傳送帶式基板的驅(qū)動(dòng)輥和把帶式基板送到正確位置的導(dǎo)桿的移動(dòng)臺(tái)，設(shè)置在底座的前方側(cè)和后方側(cè)使其能夠調(diào)節(jié)其間隔的辦法，可按照從底座一側(cè)供給的帶式基板寬度調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)的間隔，能移動(dòng)各種大小的帶式基板，同時(shí)使其配置到正確的位置，結(jié)果，即使在產(chǎn)品模塊改變的場(chǎng)合，也不用更換傳送裝置和定位裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)高生產(chǎn)率的曝光作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是包括底座；傳送裝置，與所述底座上面所投入的帶式基板大小相對(duì)應(yīng)，可沿所述帶式基板寬度方向移動(dòng)，一邊在上下方向約束所述帶式基板的兩側(cè)端部一邊使其移動(dòng)；定位裝置，與所述傳送裝置連動(dòng)，在寬度方向約束所述帶式基板的兩側(cè)面，使帶式基板移動(dòng)到正確的位置；以及真空板，設(shè)置在所述底座的上面，吸附所述帶式基板，以便固定借助于所述傳送裝置和定位裝置傳送到作業(yè)位置的帶式基板。
2.按照權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述傳送裝置如此設(shè)置，以致根據(jù)所述帶式基板的大小，可在所述帶式基板寬度方向移動(dòng)。
3.按照權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述傳送裝置的構(gòu)成包括驅(qū)動(dòng)部，在相對(duì)于所述底座的后方側(cè)配置，一邊約束所述帶式基板的兩側(cè)端一邊移動(dòng)；以及被動(dòng)部，在相對(duì)于所述底座的前方側(cè)配置并與所述帶式基板的兩側(cè)端嚙合，隨著由所述驅(qū)動(dòng)部傳送的帶式基板而轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.按照權(quán)利要求3所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述驅(qū)動(dòng)部的構(gòu)成包括上、下驅(qū)動(dòng)輥，設(shè)置為與所述帶式基板的上、下面分別嚙合，可沿所述帶式基板的移動(dòng)方向轉(zhuǎn)動(dòng)；從動(dòng)皮帶輪，設(shè)置在所述上、下驅(qū)動(dòng)輥的一個(gè)驅(qū)動(dòng)輥的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；驅(qū)動(dòng)皮帶輪，通過(guò)同步皮帶將其與所述從動(dòng)皮帶輪連動(dòng)連結(jié)；以及電機(jī)，在所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪中心部插設(shè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸，產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力。
5.按照權(quán)利要求4所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，在所述電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)置成對(duì)形成的驅(qū)動(dòng)皮帶輪，在所述底座寬度方向形成得很長(zhǎng)，以便沿所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪的外周面可滑動(dòng)地設(shè)置所述同步皮帶。
6.按照權(quán)利要求3所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述被動(dòng)部由上、下被動(dòng)輥構(gòu)成，所述被動(dòng)輥設(shè)置為與所述帶式基板的上、下面分別嚙合，使其隨所述帶式基板的傳送而轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.按照權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述定位裝置的構(gòu)成包括移動(dòng)臺(tái)，相對(duì)于所述底座的前方側(cè)和后方側(cè)設(shè)置，以便使設(shè)置的所述驅(qū)動(dòng)輥與從動(dòng)皮帶輪的相互距離可變；驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在所述移動(dòng)臺(tái)的一側(cè)，按照供給的所述帶式基板寬度，調(diào)節(jié)所述移動(dòng)臺(tái)之間的間隔；以及控制部，將所述帶式基板供給底座，傳感其帶式基板的寬度，并且把驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送給所述驅(qū)動(dòng)裝置。
8.按照權(quán)利要求7所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述驅(qū)動(dòng)裝置構(gòu)成包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，設(shè)置在所述底座的一側(cè)；驅(qū)動(dòng)軸，與所述電機(jī)連結(jié)，以中央為中心，兩側(cè)形成反方向行進(jìn)的螺旋線(xiàn)；以及一對(duì)軸承，分別與所述驅(qū)動(dòng)軸的兩側(cè)結(jié)合，并且與所述移動(dòng)臺(tái)的一側(cè)固定；在一個(gè)方向驅(qū)動(dòng)所述電機(jī)，使所述移動(dòng)臺(tái)之間的間隔縮小，而在另一個(gè)方向驅(qū)動(dòng)，則使所述移動(dòng)臺(tái)之間的間隔遠(yuǎn)離。
9.按照權(quán)利要求7所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述底座的下面在所述底座寬度方向設(shè)置多個(gè)導(dǎo)軌，所述移動(dòng)臺(tái)的下端形成與所述導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)的多個(gè)導(dǎo)向體，以便沿所述導(dǎo)軌滑移。
10.按照權(quán)利要求7所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述定位裝置的構(gòu)成包括多個(gè)導(dǎo)桿，設(shè)置成使其在所述底座寬度方向能夠移動(dòng)，在寬度方向約束所述帶式基板兩側(cè)面；以及導(dǎo)板，設(shè)置在所述導(dǎo)桿頂端，在所述帶式基板的上面和下面離開(kāi)規(guī)定間隔進(jìn)行配置，遮斷被所述導(dǎo)桿約束的帶式基板的上下振動(dòng)。
11.按照權(quán)利要求7所述的曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，其特征是所述定位裝置還包括導(dǎo)輥，設(shè)置在所述底座的入口側(cè)和出口側(cè)，支撐所述帶式基板的下側(cè)，以便在所述底座的上面水平地供給所述帶式基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)，用于傳送作為曝光作業(yè)對(duì)象物的帶式基板，在曝光作業(yè)前使各式各樣大小的對(duì)象物配置到正確位置。這種曝光設(shè)備的傳送式基板臺(tái)包括底座；傳送裝置，設(shè)置為根據(jù)上述底座上面所投入的帶式基板大小可在上述帶式基板寬度方向移動(dòng)，一邊上下方向約束上述帶式基板兩側(cè)端部一邊移動(dòng)；定位裝置，設(shè)置成與上述傳送裝置連動(dòng)，在寬度方向約束上述帶式基板的兩側(cè)面，使帶式基板移到正確位置；以及真空板，設(shè)置在上述底座上面而吸附上述帶式基板，以便固定用上述傳送裝置和定位裝置傳送到作業(yè)位置的帶式基板。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1477450SQ0314747
公開(kāi)日2004年2月25日 申請(qǐng)日期2003年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月14日
發(fā)明者樸明周, 車(chē)相換 申請(qǐng)人:Lg電子株式會(huì)社