專利名稱：爐管產能監(jiān)視系統及其運作方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種爐管(furnace)產能監(jiān)視系統及其運作方法，且特別是有關于一種通過比較標準產能資料與實際產能資料而能做為改善制作工藝的依據的爐管產能監(jiān)視系統及其運作方法。
背景技術：
在半導體工業(yè)中，通常數批芯片(LOT)會在爐管中進行一連串的制作工藝。而公知的爐管產能監(jiān)視系統的示意圖，請參照圖1所繪示。由圖1可知，爐管102會經過連接端口104(例如是RS232的串行端口)而連接至制造執(zhí)行系統(Manufacturing Execution System，簡稱MES)106。因為經過制造執(zhí)行系統106，只能知道爐管102中的某批芯片是否位于某種機臺上，所以經由制造執(zhí)行系統106而知道的制作工藝信息是相當有限的。因此，如何能得知爐管102內部更深入的制作工藝信息，以作為制作工藝改善的依據，便成為極欲解決的問題。

發(fā)明內容
有鑒于此，本發(fā)明提出一種爐管產能監(jiān)視系統及其運作方法。本發(fā)明是通過將由爐管中所擷取到的實際產能資料與標準產能資料做比較，因此由實際產能資料與標準產能資料的差異，即可做為將來制作工藝改善的依據，而使制作工藝更臻于完美。
為達成上述及其它目的，本發(fā)明提出一種爐管產能監(jiān)視系統。此爐管產能監(jiān)視系統包括擷取模塊、數據庫、計算模塊、選擇模塊、比較模塊、以及輸出模塊。其中，擷取模塊系用以擷取爐管中的實際參數資料。數據庫系用以儲存數個固定標準參數資料、數個實時標準參數資料、以及實際參數資料。計算模塊系根據這些固定標準參數資料及這些實時標準參數資料而計算出標準產能資料，并且根據實際參數資料而計算出實際產能資料。選擇模塊通過使用者而選擇分析參數。比較模塊根據分析參數，而將標準產能資料及實際產能資料做比較，并且產生比較報告。而輸出模塊用以輸出標準產能資料、實際產能資料、以及比較報告至使用者。
在本發(fā)明的較佳實施例中，此爐管產能監(jiān)視系統還包括更新模塊，此更新模塊會結合這些實時標準參數資料及實際參數資料，并且會更新該些實時標準參數資料。
在本發(fā)明的較佳實施例中，此爐管產能監(jiān)視系統更包括圖形產生模塊，此圖形產生模塊系根據標準產能資料及實際產能資料而產生產能圖。而輸出模塊會輸出產能圖至使用者。
在本發(fā)明的較佳實施例中，實際參數資料包括爐管溫度資料及晶圓加載/卸載數據。而輸出模塊會輸出爐管溫度數據及晶圓加載/卸載數據至使用者。
在本發(fā)明的較佳實施例中，此爐管產能監(jiān)視系統儲存于儲存組件之中，并且經由計算機裝置來執(zhí)行。
本發(fā)明還提出一種爐管產能監(jiān)視系統的運作方法。在此運作方法中，首先會擷取爐管中的實際參數資料。接著，會根據數個固定標準參數資料及數個實時標準參數資料而計算出標準產能資料，并且會根據實際參數資料而計算出實際產能資料。接下來，會通過使用者而選擇分析參數。之后，會根據分析參數，而將標準產能資料及實際產能資料做比較，并且產生比較報告。最后，會輸出標準產能資料、實際產能資料、以及比較報告至使用者。
在本發(fā)明的較佳實施例中，此運作方法更包括結合這些實時標準參數資料及實際參數資料，并且會更新這些實時標準參數資料的步驟。
在本發(fā)明的較佳實施例中，此運作方法更包括根據標準產能資料及實際產能資料而產生產能圖的步驟。而產能圖會輸出至使用者。
綜上所述，本發(fā)明是通過將由爐管中所擷取到的實際產能資料與標準產能資料做比較，因此由實際產能資料與標準產能資料的差異，即可做為將來制作工藝改善的依據，而使制作工藝更臻于完美。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點，能更加明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖標，做詳細說明。


圖1繪示的是公知的爐管產能監(jiān)視系統的示意圖；圖2繪示的是根據本發(fā)明一較佳實施例的爐管產能監(jiān)視系統的示意圖；以及圖3繪示的是根據本發(fā)明一較佳實施例的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法的流程圖。
標號說明102爐管 104連接端口
106制造執(zhí)行系統 20爐管產能監(jiān)視系統202擷取模塊 204數據庫206計算模塊 208選擇模塊210比較模塊 212輸出模塊214更新模塊 216圖形產生模塊218計算機裝置 220儲存組件222接口 224中央處理單元226輸入裝置 228輸出裝置S302～S312本發(fā)明一較佳實施例的施行步驟具體實施方式
請參照圖2，其繪示的是根據本發(fā)明一較佳實施例的爐管產能監(jiān)視系統的示意圖。由圖2可知，爐管產能監(jiān)視系統20包括擷取模塊202、數據庫204、計算模塊206、選擇模塊208、比較模塊210、輸出模塊212、更新模塊214、以及圖形產生模塊216。
在此較佳實施例中，爐管產能監(jiān)視系統20以軟件程序所寫成，并且經過計算機裝置218來執(zhí)行。由圖2可知，計算機裝置218包括儲存組件、接口222、中央處理單元224、輸入裝置226、以及輸出裝置228。其中，儲存組件可以例如是動態(tài)隨機存儲器(DRAM)、電子式可抹除程序化只讀存儲器(EEPROM)、硬盤、或光盤。接口222用來與爐管102建立訊號的傳輸。舉例而言，接口222可以例如是SEMIE5，并且會通過SEMI設備傳輸標準II(SEMI Equipment Communication Standard，簡稱SECSII)而與爐管102進行傳輸。SECSII具體定義了有關于半導體制造設備控制的一群訊息，以及那些訊息的各自的語法及語意。中央處理單元224用來執(zhí)行各種不同的數據處理及運作，并且會控制計算機裝置218中的各個組件的動作程序。輸入裝置226可以例如是鼠標或鍵盤，使用者可通過輸入裝置226輸入訊息，以控制爐管產能監(jiān)視系統20中的各個模塊。輸出裝置228可以例如是陰極射線管(CRT)顯示器、或液晶顯示器(LCD)。
在此較佳實施例中，爐管產能監(jiān)視系統20中的各個模塊均為軟件模塊，并且儲存于儲存組件中。在加載爐管產能監(jiān)視系統20中的各個模塊之后，中央處理單元224會經過計算機裝置218中的組件而達成各個模塊的功能。然而，對于熟悉此項技術者而言，應該注意的是，在不脫離本發(fā)明的精神及范圍之下，軟件模塊可以硬件來實施，例如是特定應用集成電路(ASIC)。
接下來將說明爐管產能監(jiān)視系統20中的各個模塊的功能。擷取模塊202會經由接口222，而擷取爐管102中的實際參數資料。數據庫204會儲存數個固定標準參數資料、數個實時標準參數資料、以及實際參數資料。其中，這些固定標準參數資料包括了爐管102中的時間設定資料及溫度設定資料。這些實時標準參數資料是根據從爐管102中所擷取到的眾多參數資料所估測而得，而這些實時標準參數資料可以更新或改變。而實際參數資料包括爐管溫度資料及晶圓加載/卸載數據，并且會通過輸出模塊212，而將爐管溫度數據及晶圓加載/卸載數據輸出至使用者。計算模塊206會根據這些固定標準參數資料及這些實時標準參數資料而計算出標準產能資料，并且會根據實際參數資料而計算出實際產能資料。選擇模塊208會通過使用者使用輸入裝置226來選擇分析參數。比較模塊210會根據分析參數，而將標準產能資料及實際產能資料做比較，并且產生比較報告。輸出模塊212會輸出標準產能資料、實際產能資料、以及比較報告至使用者。更新模塊214會結合這些實時標準參數資料及實際參數資料，并且會更新該些實時標準參數資料。而圖形產生模塊216會根據標準產能資料及實際產能資料而產生產能圖，并且會通過輸出模塊212，而將產能圖輸出至使用者。
為了更清楚起見，接下來將說明爐管產能監(jiān)視系統20的運作方法。請參照圖3，其繪示的是根據本發(fā)明一較佳實施例的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法的流程圖。接下來將配合圖2做說明。在此運作方法中，首先擷取模塊202會擷取爐管102中的實際參數資料，例如是爐管溫度資料及晶圓加載/卸載數據(如步驟S302)。接著，更新模塊214會將來自于數據庫204的實時標準參數資料及實際參數資料做結合，并且會更新實時標準參數資料(如步驟S304)。接著，計算模塊206會根據固定標準參數資料及實時標準參數資料而計算出標準產能資料，并且會根據實際參數資料而計算出實際產能資料(如步驟S306)。接下來，選擇模塊208會通過使用者使用輸入裝置226來選擇分析參數(如步驟S308)。之后，比較模塊210會根據分析參數，而將標準產能資料及實際產能資料做比較，并且產生比較報告；而圖形產生模塊216會根據標準產能資料及實際產能資料而產生產能圖(如步驟S310)。最后，輸出模塊212會輸出標準產能資料、實際產能資料、比較報告、產能圖、爐管溫度資料、以及晶圓加載/卸載數據至使用者(如步驟S312)。
由上述可知，本發(fā)明與公知的差異在于增加了爐管產能監(jiān)視系統20，所以可以得知爐管102中更多的制作工藝信息，并且通過爐管102中所擷取實際產能資料與數據庫204中的標準產能資料的差異，即可輕易得知如何改善制作工藝的各項生產因素，以達到所需求的產能。
綜上所述，本發(fā)明是通過將由爐管中所擷取到的實際產能資料與標準產能資料做比較，因此由實際產能資料與標準產能資料的差異，即可做為將來制作工藝改善的依據，而使制作工藝更臻于完美。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開于上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技術者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求
1.一種爐管產能監(jiān)視系統，包括一擷取模塊，用以擷取一爐管中的一實際參數資料；一數據庫，用以儲存復數個固定標準參數資料、復數個實時標準參數資料、以及該實際參數資料；一計算模塊，該計算模塊根據該些固定標準參數資料及該些實時標準參數資料而計算出一標準產能資料，并且根據該實際參數資料而計算出一實際產能資料；一選擇模塊，該選擇模塊通過一使用者而選擇一分析參數；一比較模塊，該比較模塊根據該分析參數，而將該標準產能資料及該實際產能資料做比較，并且產生一比較報告；以及一輸出模塊，用以輸出該標準產能資料、該實際產能資料、以及該比較報告至該使用者。
2.如權利要求1所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，還包括一更新模塊，該更新模塊會結合該些實時標準參數資料及該實際參數資料，并且會更新該些實時標準參數資料。
3.如權利要求2所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，還包括一圖形產生模塊，該圖形產生模塊根據該標準產能資料及該實際產能資料而產生一產能圖。
4.如權利要求3所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該輸出模塊會輸出該產能圖至該使用者。
5.如權利要求1所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該實際參數資料為一爐管溫度資料。
6.如權利要求5所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該輸出模塊會輸出該爐管溫度數據至該使用者。
7.如權利要求1所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該實際參數資料為一晶圓加載/卸載資料。
8.如權利要求7所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該輸出模塊會輸出該晶圓加載/卸載數據至該使用者。
9.如權利要求1所述的爐管產能監(jiān)視系統，其特征在于，該爐管產能監(jiān)視系統儲存于一儲存組件之中，并且經過一計算機裝置來執(zhí)行。
10.一種爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，包括下列步驟擷取一爐管中的一實際參數資料；根據復數個固定標準參數資料及復數個實時標準參數資料而計算出一標準產能資料，并且根據該實際參數資料而計算出一實際產能資料；通過一使用者而選擇一分析參數；根據該分析參數，而將該標準產能資料及該實際產能資料做比較，并且產生一比較報告；以及輸出該標準產能資料、該實際產能資料、以及該比較報告至該使用者。
11.如權利要求10所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，還包括下列步驟結合該些實時標準參數資料及該實際參數資料，并且會更新該些實時標準參數資料。
12.如權利要求11所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，還包括下列步驟根據該標準產能資料及該實際產能資料而產生一產能圖。
13.如權利要求12所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，該產能圖會輸出至該使用者。
14.如權利要求10所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，該實際參數資料為一爐管溫度資料。
15.如權利要求14所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，該爐管溫度資料會輸出至該使用者。
16.如權利要求10所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，該實際參數資料為一晶圓加載/卸載資料。
17.如權利要求16所述的爐管產能監(jiān)視系統的運作方法，其特征在于，該晶圓加載/卸載資料會輸出至該使用者。
全文摘要
一種爐管產能監(jiān)視系統及其運作方法。此爐管產能監(jiān)視系統通過將由爐管中所擷取到的實際產能資料與標準產能資料做比較，因此由實際產能資料與標準產能資料的差異，即可做為將來制作工藝改善的依據，而使制作工藝更臻于完美。
文檔編號H01L21/00GK1567526SQ03142470
公開日2005年1月19日 申請日期2003年6月10日 優(yōu)先權日2003年6月10日
發(fā)明者謝瓊芳, 林隆藩, 陳靜儀, 葉景豐, 劉其勇, 林書頌 申請人:旺宏電子股份有限公司