專利名稱：靜電驅動式微機械可變電感器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種可變電感器的微機械結構，尤其涉及一種靜電驅動式微機械可變電感器。
背景技術：
現(xiàn)有的微機械可變電感器有矩形螺旋電感，矩形螺旋電感的下面是連接導線，這些連接導線把線圈分為數段，每段對應的電感值為L1、L2、…。每段電感線都有一個熱驅動繼電器。通過控制熱驅動繼電器的閉/合，來短接或斷開電感段，以實現(xiàn)輸出電感可調。由于該結構中，采用多個熱驅動繼電器，所以這種結構復雜，此外，其制作工藝繁瑣和響應速度慢等]缺點。
三、技術內容技術問題本發(fā)明提供一種輸出電感可調，響應速度快、結構簡單、簡化制作工藝的靜電驅動式微機械可變電感器。
技術方案本發(fā)明是一種靜電驅動式微機械可變電感器，由平面螺旋電感和驅動器組成，平面螺旋電感和驅動器設在襯底上，驅動器為靜電驅動器，該靜電驅動器由控制電極和兼電極的懸臂梁組成，在控制電極上且處于控制電極和懸臂梁之間的位置設有絕緣介質層，在懸臂梁上至少設有2個觸點，該觸點位于平面螺旋電感的上方。
技術效果①當有外加直流驅動電壓施加于靜電驅動器時，懸臂梁在靜電力的作用下發(fā)生彎曲。當直流電壓增大到某一值時，懸臂梁自由端最外面的觸點首先和平面螺旋電感相接觸，此時輸出一電感值；隨著驅動電壓的逐漸增大，懸臂梁自由端的觸點依次和平面螺旋電感相接觸，輸出的電感值逐漸變小，實現(xiàn)輸出電感可調。②本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，克服了現(xiàn)有技術必須采用多個熱執(zhí)行器的缺陷，利用帶多個觸點懸臂梁的靜電驅動器即可實現(xiàn)電感輸出值的調整，具有結構簡單的優(yōu)點。③本發(fā)明采用靜電驅動器的技術措施，使其具有響應速度快的優(yōu)點。④本發(fā)明在平面螺旋電感的上方，運用表面微加工技術制作帶觸點的懸臂梁。懸臂梁觸點的正下方是對應的平面螺旋電感線。通過施加不同的直流驅動電壓，使得懸臂梁的觸點依次和平面螺旋電感線相接觸，以得到不同的電感值，因此，本發(fā)明具有制作工藝簡單的優(yōu)點。
四

圖1是本發(fā)明的結構示意圖。
圖2是本發(fā)明的A-A剖視圖。
五、具體實施方案本發(fā)明是一種靜電驅動式微機械可變電感器，由平面螺旋電感1和驅動器組成，平面螺旋電感1和驅動器設在襯底5上，驅動器為靜電驅動器，該靜電驅動器由控制電極2和兼電極的懸臂梁4組成，在控制電極2上且處于控制電極2和懸臂梁4之間的位置設有絕緣介質層3，在懸臂梁4上至少設有2個觸點6，該觸點6位于平面螺旋電感1的上方，上述平面螺旋電感1即可以采用平面螺旋方電感，也可以采用平面螺旋圓電感。
權利要求
1.一種靜電驅動式微機械可變電感器，由平面螺旋電感(1)和驅動器組成，平面螺旋電感(1)和驅動器設在襯底(5)上，其特征在于驅動器為靜電驅動器，該靜電驅動器由控制電極(2)和兼電極的懸臂梁(4)組成，在控制電極(2)上且處于控制電極(2)和懸臂梁(4)之間的位置設有絕緣介質層(3)，在懸臂梁(4)上至少設有2個觸點(6)，該觸點(6)位于平面螺旋電感(1)的上方。
2.根據權利要求1所述的靜電驅動式微機械可變電感器，其特征在于平面螺旋電感(1)采用平面螺旋方電感。
3.根據權利要求1所述的靜電驅動式微機械可變電感器，其特征在于平面螺旋電感(1)采用平面螺旋圓電感。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種靜電驅動式微機械可變電感器，由平面螺旋電感和驅動器組成，平面螺旋電感和驅動器設在襯底上，驅動器為靜電驅動器，該靜電驅動器由控制電極和兼電極的懸臂梁組成，在控制電極上且處于控制電極和懸臂梁之間的位置設有絕緣介質層，在懸臂梁上至少設有2個觸點，該觸點位于平面螺旋電感的上方。當有外加直流驅動電壓施加于靜電驅動器時，懸臂梁在靜電力的作用下發(fā)生彎曲。當直流電壓增大到某一值時，懸臂梁自由端最外面的觸點首先和平面螺旋電感相接觸，此時輸出一電感值；隨著驅動電壓的逐漸增大，懸臂梁自由端的觸點依次和平面螺旋電感相接觸，輸出的電感值逐漸變小，實現(xiàn)輸出電感可調。
文檔編號H01F21/12GK1461018SQ03131650
公開日2003年12月10日 申請日期2003年5月30日 優(yōu)先權日2003年5月30日
發(fā)明者黃慶安, 鄭惟彬, 廖小平, 孫瑩 申請人:東南大學