專利名稱：基板的處理裝置及運送裝置調(diào)整系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及基板的處理裝置及運送裝置調(diào)整系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導體器件的制造是用設置在工廠內(nèi)的涂敷顯影處理裝置、曝光裝置、刻蝕裝置等進行的。例如，用涂敷顯影處理裝置進行半導體器件制造中的光刻工序，在該涂敷顯影處理裝置中通常安裝了在晶片表面形成抗蝕劑膜的抗蝕劑涂敷單元；對曝光后的晶片進行顯影的顯影處理單元；以及在抗蝕劑涂敷后、顯影處理前后等進行熱處理的熱處理單元等多個處理單元。另外，在該涂敷顯影處理裝置中設置了多種運送臂，借助于這些運送臂在各處理單元之間進行基板運送和規(guī)定的處理單元內(nèi)的處理液供給噴嘴等的運送。
但是，當在這種涂敷顯影處理裝置中出現(xiàn)不良情況時，若該不良情況不能迅速消除，則晶片處理恢復遲緩，致使涂敷顯影處理裝置的工作效率降低，這是不希望的。
例如，在構(gòu)成上述涂敷顯影處理裝置的部件損壞等情況下，為了更換該部件，晶片制造廠方的裝置管理人員必須從部件出售者等處訂購部件。這時，為了訂購該部件，裝置管理人員需要確定損壞部件的名稱、部件代號等。
但是，如上所述，涂敷顯影處理裝置有多種處理單元，由許多部件構(gòu)成。另外，進行訂購的晶片制造廠方的裝置管理人員通常對涂敷顯影處理裝置的部件并不精通。因此，在訂購部件時，晶片制造廠方的裝置管理人員多半不能確定所訂購部件的名稱等，多半逐次詢問涂敷顯影處理裝置的賣方負責人等。
這樣，若每次損壞部件都詢問賣方的負責人，則至確定部件、進行訂購要花費時間，至新的部件到手需要很長的時間，因此，不能迅速進行部件更換。其結(jié)果是損壞等的修復花費了時間，晶片處理的恢復遲緩，因而涂敷顯影處理裝置的工作效率降低。
另外，當用上述涂敷顯影處理裝置處理后的晶片出現(xiàn)不良情況時，作為其原因，可以考慮上述運送臂的不良。即，可以考慮是上述運送臂的運送目的地的停止位置偏離，晶片等運送對象物未被運送至恰當?shù)奈恢?。這時，為消除處理晶片的不良情況，需要調(diào)整運送臂的停止位置。但是，作為運送臂停止位置的調(diào)整的所謂位置調(diào)整是細微的，并且是需要小心的調(diào)整，進行該工作的操作人員需要有豐富的知識和經(jīng)驗。另外，還存在由于其操作的危險性而由產(chǎn)業(yè)用機器人對運送臂定位并進行操作，對此等操作需要規(guī)定的資格的情形。因此，進行運送臂的位置調(diào)整時，涂敷顯影處理裝置的廠方管理人員要依靠有豐富的知識和經(jīng)驗的賣方的負責人，由該負責人赴工廠進行調(diào)整。
但是，在處理晶片發(fā)生不良情況后，至賣方的負責人到達工廠，需要相當?shù)臅r間。特別是當工廠在外國等遠方時，這一點是很顯著的。這樣，當運送臂的位置調(diào)整需要長的時間時，其間就不能進行晶片處理，因此，涂敷顯影處理裝置的工作效率降低，這是不希望的。
另外，即使是賣方的負責人，各個人的知識和經(jīng)驗是不相同的，其調(diào)整作業(yè)的熟練程度也有差別。因此，當對多個工廠派遣多個負責人時，各負責人的調(diào)整精度出現(xiàn)差別。由于該精度的差別直接影響晶片的處理精度，所以例如在各個工廠制造了不同品質(zhì)的晶片，這是不希望的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這一點而進行的，其目的在于提供為了防止由不良情況引起的涂敷顯影處理裝置等處理裝置的工作效率降低，而迅速進行處理裝置的部件更換的晶片等基板的處理裝置。另外，其目的還在于提供能夠迅速而均一地對運送臂等運送裝置的運送目的地的停止位置進行調(diào)整的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)和基板處理裝置。
本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，并對上述各構(gòu)成部件分別附以識別標記，該處理裝置具有與上述識別標記對應地對在訂購構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于輸入要訂購的構(gòu)成部件的識別標記的輸入部；以及顯示與上述輸入的識別標記對應的、上述存儲部中的部件信息的顯示部。
按照本發(fā)明，通過向輸入部輸入損壞了的構(gòu)成部件的識別標記，可以在顯示部顯示損壞了的構(gòu)成部件的部件信息。因此，基板制造廠的裝置管理人員能夠立即知道損壞部件的名稱、部件代號等，可以迅速地訂購更換部件。因此，無需用電話等詢問賣方的負責人等，部件更換可以迅速地進行。其結(jié)果是可以較早地消除處理裝置的不良情況，能夠防止處理裝置的工作效率降低。
另外，識別標記不一定需要直接附在各構(gòu)成部件上，例如也可以附在各構(gòu)成部件的袋子上或構(gòu)成部件的一覽表內(nèi)等。另外，部件信息可以包含構(gòu)成部件的部件名稱、部件代號、部件銷售商名稱、部件銷售商的電話號碼和庫存信息等。構(gòu)成部件是銷售單位的部件，在構(gòu)成部件中例如包括各種噴嘴、各種過濾器、熱板、處理容器、加熱器、管道、電動機、控制器、螺絲、螺栓等。
在本發(fā)明的基板處理裝置中，也可以具有經(jīng)因特網(wǎng)從上述處理裝置的賣方的主存儲部取得上述存儲部的部件信息的通信部。這時，存儲部的部件信息可以逐次更新，處理裝置側(cè)能夠取得更詳細、更新的部件信息。
按照本發(fā)明的另一觀點，本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，并對上述各構(gòu)成部件分別附以識別標記，該處理裝置具有用于在訂購構(gòu)成部件時，輸入該構(gòu)成部件的上述識別標記的輸入部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送上述輸入的識別標記的發(fā)送部；對根據(jù)上述發(fā)送的識別標記經(jīng)因特網(wǎng)從上述賣方發(fā)送的上述構(gòu)成部件的部件信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收的部件信息的顯示部。
按照本發(fā)明，基板制造廠的裝置管理人員能夠得到經(jīng)因特網(wǎng)從賣方發(fā)送來的損壞部件的部件信息。據(jù)此，基板制造廠的裝置管理人員能夠迅速地進行部件訂購，迅速地進行部件更換。另外，由于基板制造廠能夠取得在賣方存儲的部件信息，所以能夠知道更詳細、更新的部件信息。
另外，按照本發(fā)明的又一觀點，本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，該處理裝置具有對在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息和用于確定上述各構(gòu)成部件的確定信息進行存儲的存儲部；用于輸入要訂購的構(gòu)成部件的確定信息的輸入部；從上述存儲部中檢索與上述輸入的確定信息一致的構(gòu)成部件的檢索部；以及顯示上述檢索出的構(gòu)成部件的構(gòu)成部件候選信息，顯示從該構(gòu)成部件候選信息中選擇的構(gòu)成部件的上述存儲部中的部件信息的顯示部。
按照本發(fā)明，基板制造廠的裝置管理人員能夠從構(gòu)成部件候選信息中選擇與損壞了的構(gòu)成部件種類相同的構(gòu)成部件，得到損壞部件的部件信息。據(jù)此，基板制造廠的裝置管理人員能夠確定訂購部件，迅速地訂購該部件。另外，在上述構(gòu)成部件候選信息中也可以包含部件信息，除此之外，也可以包含例如構(gòu)成部件的圖像信息等。另外，上述的確定信息例如包含構(gòu)成部件的確定部分的尺寸、構(gòu)成部件的一般總稱、被使用的單元名稱等。
另外，按照本發(fā)明的又一觀點，本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，該處理裝置具有對在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)送部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息推得的構(gòu)成部件候選信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收到的構(gòu)成部件候選信息，并顯示從該構(gòu)成部件候選信息中選擇出的構(gòu)成部件的上述存儲部中的部件信息的顯示部。
另外，按照本發(fā)明的另一觀點，本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，該處理裝置具有對在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)送部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息確定的構(gòu)成部件的確定結(jié)果進行接收的接收部；以及顯示上述確定的構(gòu)成部件的、上述存儲部中的部件信息的顯示部。
另外，按照本發(fā)明的又一觀點，本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成，對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，該處理裝置具有用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)送部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息確定的構(gòu)成部件的部件信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收到的部件信息的顯示部，上述部件信息是在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的該構(gòu)成部件的信息。
這樣，由于本發(fā)明的基板處理裝置具有攝像部，所以基板制造廠的裝置管理人員能夠根據(jù)損壞了的構(gòu)成部件的攝像信息確定損壞部件。因此，在沒有識別標記那樣的關于構(gòu)成部件的線索的情況下，處理裝置側(cè)的裝置管理人員也能依靠攝像信息確定損壞部件，較迅速地進行部件更換。
在本發(fā)明的基板處理裝置中，也可以具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。另外，在庫存信息中包含庫存數(shù)量、有庫存的部件商的名稱等。
另外，按照本發(fā)明的又一觀點，本發(fā)明的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)是對用于運送基板或處理液供給構(gòu)件等運送對象物的運送裝置的運送目的地的停止位置進行調(diào)整的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，上述運送裝置安裝在基板處理裝置中，在設置上述處理裝置的工廠設置有控制上述運送裝置的停止位置的控制裝置；以及檢測上述運送裝置的運送目的地的實際停止位置的檢測裝置，在上述處理裝置的賣方設置有經(jīng)因特網(wǎng)取得由上述檢測裝置檢測出的檢測信息的取得裝置；以及經(jīng)因特網(wǎng)對上述處理裝置提供根據(jù)上述已取得的檢測信息推得的、用于對上述運送裝置的停止位置進行修正的修正信息的提供裝置。
按照本發(fā)明，根據(jù)經(jīng)因特網(wǎng)由賣方提供的修正信息來調(diào)整運送裝置的停止位置。因此，賣方的負責人無需逐一奔赴工廠，就能迅速地進行運送裝置的位置調(diào)整。另外，一名熟練人員可以應對多個工廠或多個處理裝置的運送裝置的調(diào)整，因而可以進行均一的、高質(zhì)量的調(diào)整。
上述提供裝置也可以經(jīng)上述因特網(wǎng)直接對上述控制裝置輸出上述修正信息，直接對上述運送裝置的運送目的地的停止位置進行修正。
也可以是上述運送裝置運送基板，上述攝像裝置設置在與基板形狀相同的檢測用基板上。
另外，上述運送裝置是運送基板的裝置，上述攝像裝置固定地設置在上述處理裝置內(nèi)，以便能夠拍攝運送至上述運送裝置的停止位置的檢測用基板，在上述檢測用基板上附以用于在上述攝像裝置拍攝到的圖像上識別該檢測用基板的運送后的位置的標記，在顯示上述攝像裝置拍攝到的圖像的畫面上顯示調(diào)整上述運送裝置的停止位置時的基準標記。還有，上述檢測用基板上的標記和畫面上的基準標記的數(shù)目可以任意選擇。另外，檢測用基板上的標記可以在上述檢測用基板上的半徑相同的位置上設置多個。
在本發(fā)明的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)中，也可以對上述處理裝置設置等待上述檢測用基板的待機部，上述運送裝置能夠?qū)⒋玫纳鲜鰴z測用基板運送至上述待機部。另外，進行位置調(diào)整的運送裝置可以使之能夠直接對待機部進行存取，運送上述待用的檢測用基板，也可以例如使之能夠經(jīng)其他運送裝置間接運送上述檢測用基板。另外，也可以使之能夠用賣方的主計算機等對運送裝置進行操作，借助于來自賣方的遠程操作將待機部中的檢測用基板運送至運送裝置。
另外，按照本發(fā)明的另一觀點，本發(fā)明的基板處理裝置是具有用于運送基板或處理液供給構(gòu)件等運送對象物的運送裝置的基板處理裝置，該基板處理裝置具有控制上述運送裝置的運送目的地的停止位置的控制裝置；檢測上述運送裝置的運送目的地的實際停止位置的檢測裝置；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述檢測裝置檢測出的檢測信息的發(fā)送裝置；以及經(jīng)因特網(wǎng)接收根據(jù)上述發(fā)送的檢測信息推得的、用于對上述運送裝置的運送目的地的停止位置進行修正的修正信息的接收裝置。
按照本發(fā)明，賣方的負責人不到工廠去，就能進行運送裝置的位置調(diào)整。


圖1是示出本實施形態(tài)的涂敷顯影處理裝置的概略的斜視圖。
圖2是示出涂敷顯影處理裝置的結(jié)構(gòu)的概略的平面圖。
圖3是圖2的涂敷顯影處理裝置的正視圖。
圖4是圖2的涂敷顯影處理裝置的后視圖。
圖5是示出對抗蝕劑液噴出噴嘴附著條形碼的例子的斜視圖。
圖6是示出訂購部件確定部的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖7是示出部件信息畫面的格式的說明圖。
圖8是示出圖7的部件信息畫面的顯示例的說明圖。
圖9是示出通信系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概略的說明圖。
圖10是示出訂購部件確定部的結(jié)構(gòu)例的說明圖。
圖11是示出主計算機的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖12是示出訂購部件確定部的結(jié)構(gòu)例的說明圖。
圖13是示出構(gòu)成部件表格畫面的顯示例的說明圖。
圖14是示出圖像顯示畫面的顯示例的說明圖。
圖15是示出安裝了CCD攝像機的情況下的涂敷顯影處理裝置的結(jié)構(gòu)的概略的斜視圖。
圖16是示出用于發(fā)送圖像信息的發(fā)信系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的說明圖。
圖17是示出安裝了移動自如的CCD攝像機的情況下的涂敷顯影處理裝置的結(jié)構(gòu)的概略的斜視圖。
圖18是另一實施形態(tài)的臂位置調(diào)整系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖19是示出構(gòu)成臂位置調(diào)整系統(tǒng)的涂敷顯影處理裝置的概略的斜視圖。
圖20是示出主運送單元的結(jié)構(gòu)的概略的斜視圖。
圖21是示出抗蝕劑涂敷單元的結(jié)構(gòu)的概略的縱剖面的說明圖。
圖22是示出抗蝕劑涂敷單元的結(jié)構(gòu)的概略的橫剖面的說明圖。
圖23是示出旋轉(zhuǎn)吸盤的結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖24是示出控制部的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖25是示出AGC的結(jié)構(gòu)的說明圖。
圖26是示出位置檢測晶片的結(jié)構(gòu)的斜視圖。
圖27是從背面觀看位置檢測晶片時的斜視圖。
圖28是臂位置調(diào)整系統(tǒng)的協(xié)議流程。
圖29是示出抗蝕劑涂敷單元中的運送臂的運送目的地的位置的說明圖。
圖30是安裝了CCD攝像機的情況下的抗蝕劑涂敷單元的縱剖面的說明圖。
圖31是在規(guī)定位置附著標記的位置檢測用晶片的平面圖。
圖32是示出在主計算機的顯示部顯示的畫面的例子的說明圖。
圖33是示出使位置檢測用晶片上的標記與畫面上的基準標記一致時的畫面的顯示例的說明圖。
圖34是示出設置位置檢測用晶片的待機部的情形的涂敷顯影處理裝置的結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖35是熱板溫度測定用夾具被恰當?shù)胤胖脮r的熱板的縱剖面的說明圖。
圖36是熱板溫度測定用夾具未被恰當?shù)胤胖脮r的熱板的縱剖面的說明圖。
圖37是示出設置了CCD攝像機的情況下的抗蝕劑涂敷單元的結(jié)構(gòu)的縱剖面的說明圖。
標號說明1涂敷顯影處理裝置13訂購部件確定部21抗蝕劑涂敷單元81輸入部83顯示部101工廠102賣方103因特網(wǎng)108主計算機M1～Mn涂敷顯影處理裝置P部件信息畫面200臂位置調(diào)整系統(tǒng)211運送臂240控制裝置S位置檢測用晶片W晶片具體實施方式
以下說明本發(fā)明的最佳實施形態(tài)。圖1是示出作為本實施形態(tài)的基板處理裝置的涂敷顯影處理裝置1的結(jié)構(gòu)的概略的斜視圖，圖2是涂敷顯影處理裝置1的平面圖。
如圖1、圖2所示，涂敷顯影處理裝置1具有將如下部分連接成一體的結(jié)構(gòu)將以盒為單位的例如25片晶片W從外部移入涂敷顯影處理裝置1或從其中移出，對盒C移入、移出晶片W的盒臺2；具備多個以逐片方式進行晶片W處理的各種處理單元的處理臺3；以及與該處理臺3鄰接地設置的、與未圖示的曝光裝置之間進行晶片W的交接的界面部4。
如圖2所示，在盒臺2中，在盒承載臺10上的規(guī)定位置，多個盒C可在X方向(圖2中的上下方向)排成一列自由放置。另外，在盒臺2設置了晶片運送單元11，該運送單元11可沿運送路徑12在X方向自由移動。晶片運送單元11可以對盒C移入、移出晶片W，并且還能夠?qū)儆诤笫龅奶幚砼_3的第3處理單元組G3的延伸單元33進行存取，從而運送晶片W。另外，在盒臺2處，如圖1所示設置了涂敷顯影處理裝置1的后述的訂購部件確定部13。
在處理臺3中，如圖2所示，在其中心部設置了主運送單元20，在該主運送單元20的周圍設置了各種處理單元被配置成多級的多個處理單元組G1、G2、G3、G4。例如，第1和第2處理單元組G1、G2被配置在涂敷顯影處理裝置1的正面，如圖3所示，在第1處理單元組G1中自下而上依次設置了用于在晶片W上涂敷抗蝕劑、形成抗蝕劑膜的抗蝕劑涂敷單元21和用于對晶片W進行顯影處理的顯影處理單元22這2級。在第2處理單元組G2中，同樣地也自下而上依次設置了抗蝕劑涂敷單元23和顯影處理單元24。
如圖2所示，處理臺3的第3處理單元組G3與盒臺2鄰接地配置。在第3處理單元組G3中，例如如圖4所示，自下而上依次層疊了例如6級，這6級是對晶片W進行冷卻處理的冷卻單元30、31；用于提高抗蝕劑液與晶片W的粘合性能的粘合單元32；用于進行晶片W的交接的延伸單元33；用于使抗蝕劑液中的溶劑蒸發(fā)的預烘烤單元34、35。
第4處理單元組G4與界面部4鄰接地配置。在第4處理單元組G4中，自下而上依次層疊了例如7級，這7級例如是冷卻單元40、用于使放置的晶片W自然冷卻的延伸-冷卻單元41、延伸單元42、曝光后進行加熱處理的后曝光烘烤單元43和44，以及顯影處理后進行加熱處理的后烘烤單元45和46。
如圖2所示，在界面部4中例如設置了晶片運送單元50和周邊曝光單元51。晶片運送單元50被構(gòu)成為可以對屬于第4處理單元組G4的延伸-冷卻單元41和延伸單元42，周邊曝光單元51，以及可對未圖示的曝光裝置進行存取，對它們的每一個運送晶片W。
其次，詳細說明上述的訂購部件確定部13的結(jié)構(gòu)。上述涂敷顯影處理裝置1具有多個構(gòu)成部件。在由于涂敷顯影處理裝置1進行工作等原因，上述構(gòu)成部件損壞時，涂敷顯影處理裝置1的裝置管理人員必須確定該損壞部件的部件名稱、部件代號等，向規(guī)定的部件制造商訂購更換部件。訂購部件確定部13是針對訂購更換部件，用于確定損壞的構(gòu)成部件的部件名稱等的部。
在涂敷顯影處理裝置1的各構(gòu)成部件的表面附以作為識別標記的條形碼。圖5示出了其一例，例如對在抗蝕劑涂敷單元21中使用的抗蝕劑液噴出噴嘴70附以條形碼B。條形碼B用于與其他構(gòu)成部件相區(qū)別，具有抗蝕劑液噴出噴嘴70的固有編碼。另外，構(gòu)成部件包括上述各種單元的部件、涂敷顯影處理裝置1本身的部件、向涂敷顯影處理裝置1供給液體、氣體等的裝置的部件，對各構(gòu)成部件都附以條形碼。
例如如圖6所示，訂購部件確定部13由存儲部80、輸入部81、控制部82和顯示部83等構(gòu)成。
存儲部80例如由RAM等構(gòu)成，與各構(gòu)成部件的條形碼對應地存儲了涂敷顯影處理裝置1的各構(gòu)成部件的部件信息。部件信息例如是要訂購的部件的部件名稱、部件代號、部件銷售商名稱、部件銷售商的電話號碼。
輸入部81例如是條形碼讀出器，如圖5所示，它可以讀取附著在構(gòu)成部件上的條形碼。另外，例如如圖1所示，輸入部81設置在涂敷顯影處理裝置1的盒臺2的正面一側(cè)。
控制部82例如具有CPU等，從存儲部80對與由輸入部81輸入了的條形碼對應的部件信息進行讀出，并將其顯示在后面將敘述的顯示部83上?？刂撇?2對整個訂購部件確定部13進行控制。
顯示部83例如由點陣型彩色液晶顯示盒或CRT等構(gòu)成，例如如圖1所示，設置在盒臺2的正面一側(cè)。在顯示部83上顯示從存儲部80被讀出的部件信息的部件信息畫面P，例如如圖7所示。在部件信息畫面P上以表格形式顯示例如在訂購時所用的部件名稱、部件代號、部件銷售商及其聯(lián)絡地址。
下面以作為構(gòu)成部件的抗蝕劑液噴出噴嘴70損壞了的情形為例對涂敷顯影處理裝置1的訂購部件確定過程進行說明。首先，裝置管理人員例如從抗蝕劑涂敷單元21中拆卸損壞了的抗蝕劑液噴出噴嘴70。接著，用條形碼讀出器，即輸入部81蓋住抗蝕劑液噴出噴嘴70的條形碼，讀取條形碼B。在條形碼B被讀取后，從存儲部80讀出與該條形碼B對應地存儲的部件信息，如圖8所示，在顯示部83上顯示抗蝕劑液噴出噴嘴70的部件信息畫面P。據(jù)此，裝置管理人員可以得到在訂購時所需要的抗蝕劑液噴出噴嘴70的部件信息，立即就能與部件銷售商聯(lián)系，訂購該更換部件。
在上述實施形態(tài)中，使用了條形碼作為識別標記，也可以用其他識別標記，例如文字、數(shù)字等。這時，輸入部81可以是具有光標鍵及數(shù)字輸入鍵等的鍵盤等。
另外，在部件信息中也可以包含各構(gòu)成部件的圖像信息。借助于這樣做，裝置管理人員可以將確定的部件與損壞的構(gòu)成部件進行對比，可以再次確認訂購部件是否正確。
不過在上述實施形態(tài)的存儲部80中存儲的部件信息也可以從賣方的主存儲部發(fā)送。下面示出這種情形的一個例子。圖9是可以在工廠與賣方之間交換各種信息的通信系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的概略圖。
通信系統(tǒng)100由進行晶片處理的工廠101和涂敷顯影處理裝置的賣方102構(gòu)成。工廠101與賣方102可以用因特網(wǎng)103進行通信。例如，在工廠101設置了多臺同一規(guī)格的涂敷顯影處理裝置M1～Mn和集中管理這些涂敷顯影處理裝置M1～Mn的AGC 104(先進集群計算機)。AGC 104和涂敷顯影處理裝置M1～Mn與在工廠101內(nèi)構(gòu)建的LAN 105連接。例如，如圖10所示，在涂敷顯影處理裝置M1的訂購部件確定部106中設置作為與AGC通信的通信部、發(fā)送部、接收部和取得部的通信部107。另外，在AGC 104中也設置未圖示的通信部，該未圖示的通信部與LAN 105和因特網(wǎng)103連接。另外，訂購部件確定部106的其他部分的結(jié)構(gòu)與上述的訂購部件確定部13的相同，故省略其說明。另外，訂購部件確定部106以外的部分的涂敷顯影處理裝置M1的結(jié)構(gòu)與上述的涂敷顯影處理裝置1的結(jié)構(gòu)相同。
另一方面，如圖9所示，在賣方102設置主計算機108。如圖11所示，主計算機108例如由作為主存儲部的存儲部109、通信部110、控制部111、輸入部112和顯示部113等構(gòu)成。
存儲部109例如具有RAM等，存儲涂敷顯影處理裝置M1～Mn的各構(gòu)成部件的部件信息。在該部件信息中，除例如訂購部件時需要的部件名稱、部件代號、部件銷售商外，還包含最新的庫存信息等。
通信部110與因特網(wǎng)103連接，能夠經(jīng)因特網(wǎng)103、AGC 104向涂敷顯影處理裝置M1～Mn發(fā)送在存儲部109中存儲的部件信息。
在這樣構(gòu)成的通信系統(tǒng)100中，例如可以定期地從賣方102的主計算機108向涂敷顯影處理裝置M1～Mn發(fā)送部件信息。然后，用涂敷顯影處理裝置M1～Mn接收了的部件信息被送至存儲部80，更新存儲部80中的部件信息。這樣一來，工廠101的裝置管理人員就能夠不斷取得新的部件信息。即，裝置管理人員例如可以根據(jù)最新的庫存信息訂購部件。另外，在部件銷售商有變更時，裝置管理人員也能夠立即得到該信息。
在上述的實施形態(tài)中，部件信息存儲在涂敷顯影處理裝置的存儲部80中，從該存儲部80中讀出部件信息，但是也可以利用上述通信系統(tǒng)100從賣方102的主計算機108的存儲部109中讀出部件信息。這時，在存儲部109中必須與各構(gòu)成部件的條形碼對應地存儲各構(gòu)成部件的部件信息。
然后，在確定訂購部件時，例如，裝置管理人員對涂敷顯影處理裝置M1輸入損壞的構(gòu)成部件的條形碼后，作為該條形碼的識別信號的信息經(jīng)因特網(wǎng)103發(fā)送至主計算機108。主計算機108接收條形碼的信息后，從存儲部109讀出與該條形碼對應的部件信息，從通信部110向涂敷顯影處理裝置M1發(fā)送。然后，被涂敷顯影處理裝置M1接收到的部件信息與上述的例子相同，在顯示部83上作為部件信息畫面P顯示出來。據(jù)此，裝置管理人員能夠得到要訂購的部件的正確的部件信息。這時，由于能夠取得制造涂敷顯影處理裝置的賣方102的部件信息，所以能夠得到更新、更詳細的部件信息。
在以上的實施形態(tài)中，根據(jù)識別標記確定了訂購部件，但也可以根據(jù)構(gòu)成部件的特征等進行確定。
為了實施這樣的例子，例如，如圖12所示，涂敷顯影處理裝置L1的訂購部件確定部120由例如作為存儲部的第1存儲部121、輸入部122、第2存儲部123、控制部124和顯示部125等構(gòu)成。
在第1存儲部121中對應于各構(gòu)成部件存儲了涂敷顯影處理裝置L1的各構(gòu)成部件的部件信息、各構(gòu)成部件的圖像信息和用于確定各構(gòu)成部件的確定信息。確定信息例如是構(gòu)成部件的總稱、構(gòu)成部件的規(guī)格化部分的尺寸和所使用的單元的名稱等，例如在抗蝕劑液噴出噴嘴70的情形下，它們是“噴嘴”、“口徑2mm”和“抗蝕劑涂敷單元”等，輸入部122例如由具有光標鍵、數(shù)字輸入鍵等的鍵盤等構(gòu)成，裝置管理人員可以輸入損壞的構(gòu)成部件的確定信息。
在第2存儲部123中，存儲了例如從第1存儲部121的構(gòu)成部件中檢索與由輸入部122輸入了的確定信息一致的構(gòu)成部件的檢索程序等。另外，控制部124例如具有CPU等，執(zhí)行上述檢索程序等。另外，本實施形態(tài)的檢索部由第1存儲部121、第2存儲部123和控制部124構(gòu)成。
顯示部125例如由點陣型彩色液晶顯示盒或CRT等構(gòu)成。在顯示部125上例如顯示以表格形式顯示用上述檢索程序檢索出的構(gòu)成部件的、圖13所示的構(gòu)成部件表格畫面Q；顯示從構(gòu)成部件表格中選擇出的構(gòu)成部件的圖像信息的、圖14所示的圖像顯示畫面R；以及顯示由裝置管理人員最終選擇出的構(gòu)成部件的部件信息的、圖8所示的部件信息畫面P。在構(gòu)成部件表格畫面Q中，顯示構(gòu)成部件的部件名稱、部件代號。另外，本發(fā)明的構(gòu)成部件的候選信息在本實施形態(tài)中是構(gòu)成部件的部件名稱、部件代號和圖像信息。
以抗蝕劑液噴出噴嘴70損壞的情形為例說明具有這種結(jié)構(gòu)的涂敷顯影處理裝置L1的訂購部件確定過程時，首先，裝置管理人員對輸入部122輸入抗蝕劑液噴出噴嘴70的確定信息。例如將這時的確定信息取作“噴嘴”、“口徑2mm”。接著，執(zhí)行檢索程序，從存儲在第1存儲部121中的構(gòu)成部件中檢索與該確定信息一致的構(gòu)成部件，在顯示部125上顯示圖13所示的構(gòu)成部件表格畫面Q。
然后，裝置管理人員選擇例如構(gòu)成部件表格中的適當?shù)臉?gòu)成部件，對輸入部122輸入該構(gòu)成部件的代號后，在顯示部125上顯示出顯示該構(gòu)成部件的圖像的圖像顯示畫面R(示于圖14)。裝置管理人員通過如此閱覽在構(gòu)成部件表格中舉出的構(gòu)成部件的圖像，確定出與損壞的構(gòu)成部件同類型的構(gòu)成部件。確定了構(gòu)成部件后，在顯示部125上顯示出顯示該部件的部件信息的部件信息畫面P(示于圖8)。裝置管理人員根據(jù)在部件信息畫面P上顯示的部件信息訂購更換部件。
按照本實施形態(tài)，即使不預先對構(gòu)成部件附以識別標記也能夠從損壞的構(gòu)成部件的特征確定要訂購的部件，取得部件信息。
另外，上述實施形態(tài)的構(gòu)成部件的圖像也可以是示出從多個方向看到的構(gòu)成部件的圖像，也可以是能夠確認構(gòu)成部件的整體結(jié)構(gòu)的動態(tài)圖像。
在上述實施形態(tài)中，根據(jù)損壞的構(gòu)成部件的確定信息確定了訂購部件，但也可以根據(jù)損壞了的構(gòu)成部件的攝像信息進行確定。
這時，例如如圖15所示，在涂敷顯影處理裝置K1的正面一側(cè)設置作為用于對損壞了的構(gòu)成部件進行攝像的攝像部的CCD攝像機130。用CCD攝像機130拍攝的攝像信息例如可以發(fā)送至訂購部件確定部131。另外，訂購部件確定部131具有與上述的訂購部件確定部106相同的結(jié)構(gòu)。
如圖16所示，涂敷顯影處理裝置K1構(gòu)成與上述的通信系統(tǒng)100相同的通信系統(tǒng)132，可以將上述攝像信息從訂購部件確定部131發(fā)送至賣方102的主計算機108。另外，可以從主計算機108向涂敷顯影處理裝置K1發(fā)送由上述攝像信息推定的構(gòu)成部件的候選信息。
對這樣構(gòu)成的涂敷顯影處理裝置K1，在確定要訂購的部件時，首先，裝置管理人員將損壞了的構(gòu)成部件放在CCD攝像機130前面，用CCD攝像機130對該構(gòu)成部件進行攝像。將該構(gòu)成部件的攝像信息例如從通信部107經(jīng)AGC 104發(fā)送至賣方102的主計算機108。發(fā)送至主計算機108的攝像信息例如在主計算機108的顯示部113上顯示，通知賣方102的負責人。賣方102的負責人用表格列出根據(jù)在顯示部113上顯示出的攝像信息推定與損壞的構(gòu)成部件相同的構(gòu)成部件，并將該部件的信息作為構(gòu)成部件候選信息發(fā)送至涂敷顯影處理裝置K1一側(cè)。在這種構(gòu)成部件候選信息中例如包括部件名稱、部件的圖像信息等。
用涂敷顯影處理裝置K1接收到的構(gòu)成部件候選信息例如在顯示部83上以產(chǎn)品樣本的形式對每個部件進行圖解顯示，裝置管理人員從中確定要訂購的部件。然后，由確定下來的部件名稱讀出在存儲部80中存儲的詳細的部件信息，進行部件的訂購。
按照本實施形態(tài)，由于根據(jù)損壞的構(gòu)成部件的攝像信息確定要訂購的部件，所以即使沒有如上述實施形態(tài)中那樣的識別標記、特征等關于構(gòu)成部件的線索，也能確定訂購部件。另外，由于可以由作為專家的賣方負責人用表格列出構(gòu)成部件的候選品，從該構(gòu)成部件的候選品中確定訂購部件，所以能夠從比較受限制之中迅速地確定訂購部件。另外，由于在構(gòu)成部件的候選信息中包含圖像信息，所以裝置管理人員能夠容易地確定訂購部件。
另外，在上述實施形態(tài)中，在賣方102的負責人根據(jù)攝像信息能夠立即確定構(gòu)成部件時，賣方102的負責人也可以直接發(fā)送在賣方102存儲的該構(gòu)成部件的部件信息。這時，賣方102的負責人也可以發(fā)送上述的構(gòu)成部件候選信息和部件信息這兩者。另外，賣方102甚至還可以不直接發(fā)送確定的部件信息，只發(fā)送確定構(gòu)成部件的結(jié)果(確定結(jié)果)，例如是可以確定的構(gòu)成部件的識別信息。這時，例如對于涂敷顯影處理裝置M1，可以根據(jù)接收到的上述識別信息從存儲部80中調(diào)出部件信息，并在顯示部83上顯示該部件信息。
CCD攝像機130也可以自由移動。圖17示出了這種情形的一個例子，在CCD攝像機140上安裝了卷放自如的具有規(guī)定長度的軟線141。據(jù)此，即使是難以移動的構(gòu)成部件損壞時，也能夠移動CCD攝像機140對損壞部件進行攝像。另外，不一定用軟線141連接，也可以在CCD攝像機中安裝無線電發(fā)射器，用無線電向涂敷顯影處理裝置K1發(fā)送攝像信息。也可以在CCD攝像機中設置將攝像信息存儲到信息存儲介質(zhì)上的存儲部，借助于該信息存儲介質(zhì)將攝像信息提供給涂敷顯影處理裝置K1。
下面說明另一實施形態(tài)。圖18是另一實施形態(tài)的作為運送裝置調(diào)整系統(tǒng)的臂位置調(diào)整系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。該臂位置調(diào)整系統(tǒng)200是用于對后述的在涂敷顯影處理裝置內(nèi)設置的運送臂的運送目的地的停止位置進行調(diào)整的系統(tǒng)。
臂位置調(diào)整系統(tǒng)200例如在晶片制造商的工廠101具有多臺涂敷顯影處理裝置M1～Mn、AGC104和管理用計算機201，而在裝置制造商的賣方102具有主計算機108。涂敷顯影處理裝置M1～Mn和AGC104設置在工廠101內(nèi)的超凈室R內(nèi)，管理用計算機201設置在工廠101內(nèi)的超凈室R外。
如在上述實施形態(tài)中所述，工廠101的AGC 104與賣方102的主計算機108通過因特網(wǎng)連接，可以互相交換信息。另外，在因特網(wǎng)103的工廠101處和賣方102處，分別設置了未圖示的防火墻，以保護各自的終端。工廠101的多臺涂敷顯影處理裝置M1～Mn、AGC 104和管理用計算機201與在工廠101內(nèi)構(gòu)建的例如LAN 105連接，可以相互交換信息。
涂敷顯影處理裝置M1～Mn的結(jié)構(gòu)與上述實施形態(tài)的相同。不過，如圖19所示，對盒臺2設置了涂敷顯影處理裝置1的后述的控制部203。
在處理臺3上設置的主運送單元20例如如圖20所示，具有大致為筒狀的外殼210，在該外殼210內(nèi)具有作為運送裝置的運送臂211。外殼210在側(cè)面具有開口部210a，運送臂211可以從該開口部210a出入。運送臂211的端部例如形成約為3/4圓環(huán)狀的大致C形，用該C形部分支撐晶片W。
運送臂211設置在運送底座212上，借助于具有電動機等的第1驅(qū)動部213可以在運送底座212上沿開口部210a的方向移動。運送底座212借助于例如具有氣缸、驅(qū)動帶等的第2驅(qū)動部214可以在上下方向移動。據(jù)此，運送臂211可以在上下方向移動。另外，在外殼210的下部設置了具有使外殼210整體旋轉(zhuǎn)的伺服電動機等的第3驅(qū)動部215，外殼210可以旋轉(zhuǎn)到規(guī)定的角度。據(jù)此，運送臂211可以在規(guī)定的水平方向改變方向。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，運送臂211可以進行三維移動。
上述第1驅(qū)動部213、第2驅(qū)動部214和第3驅(qū)動部215由控制部203的后述的控制裝置240控制，運送臂211按照控制裝置240的控制，運送作為運送對象物的晶片W。即，運送臂211按照控制裝置240的指令信號移動至各處理單元內(nèi)的規(guī)定的停止位置，將晶片W交接給各處理單元另一方面，如圖21、22所示，第1處理單元組G1的抗蝕劑涂敷單元2 1例如具有外殼21a，在該外殼21a內(nèi)具有抽吸并保持晶片W、使之旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)吸盤220；包圍被旋轉(zhuǎn)吸盤220保持的晶片W的外圍、大致為筒狀的罩子221；以及作為對晶片W噴射抗蝕劑液的處理液供給構(gòu)件的抗蝕劑液噴出噴嘴222等。
如圖23所示，旋轉(zhuǎn)吸盤220的上表面223形成水平面，在該上表面223的中心設置了用于抽吸晶片W的吸口224。該吸口224構(gòu)成對運送臂211的運送目的地的停止位置進行調(diào)整時的基準。另外，如圖21所示，在旋轉(zhuǎn)吸盤220上設置了用于使旋轉(zhuǎn)吸盤220旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部230。
抗蝕劑液噴出噴嘴222被噴嘴臂231保持。如圖22所示，噴嘴臂231設置在沿Y方向形成的導軌232上，在導軌232上自由移動。另外，噴嘴臂231以在X方向伸縮自如的方式構(gòu)成。在噴嘴臂231上設置了具備電動機、氣缸等的臂驅(qū)動部233，它能夠?qū)嵤┰趯к?32上的移動和在X方向上的伸縮。臂驅(qū)動部233例如被后述的控制裝置240控制，噴嘴臂231將抗蝕劑液噴出噴嘴222運送至晶片W上的規(guī)定位置。
在這樣構(gòu)成的抗蝕劑涂敷單元21中，將抗蝕劑液從抗蝕劑液噴出噴嘴222噴射至用旋轉(zhuǎn)吸盤220使之旋轉(zhuǎn)的晶片W的中心部，借助于該抗蝕劑液在晶片W的表面上進行擴展，在晶片W上形成抗蝕劑膜。
下面對上述的控制部203的結(jié)構(gòu)進行詳細說明。如圖24所示，控制部203例如由控制裝置240、作為發(fā)送裝置、接收裝置的通信裝置241、無線電接收裝置242和數(shù)據(jù)存儲箱243等構(gòu)成。
控制裝置240對整個涂敷顯影處理裝置M1、涂敷顯影處理裝置M1內(nèi)的各處理單元和運送單元等進行控制。上述的主運送單元20也被控制裝置240控制。因此，主運送單元20的運送臂211借助于控制裝置240的控制，移動至各處理單元內(nèi)的規(guī)定位置，向各處理單元運送晶片W。控制裝置240以3維坐標例如對運送臂211在各處理單元中的晶片W的運送目的地的停止位置進行識別，控制裝置240按照晶片處理的往復式發(fā)動機將運送臂211移動至各處理單元的上述停止位置的設定坐標。另外，控制裝置240還能夠根據(jù)從通信裝置241輸出的信息改變上述運送臂211的停止位置的設定坐標。即，通過從外部向通信裝置241發(fā)送對上述設定坐標進行修正的修正信息，可以改變運送臂211的設定坐標，對其進行調(diào)整。
無線電接收裝置242能夠接收從后述的位置檢測用晶片S用無線電發(fā)送的、作為檢測信息的攝像信息。無線電接收裝置242經(jīng)通信線與控制裝置240連接，可以將攝像信息輸出至控制裝置240一次。
通信裝置241例如與LAN 105連接，在它與AGC 104等之間可以交換信息。通信裝置241經(jīng)通信線與控制裝置240連接。據(jù)此，通信裝置241可以將用無線電接收裝置242接收到的攝像信息發(fā)送至AGC104。通信裝置241能夠經(jīng)AGC 104接收來自賣方102的各種信息。
數(shù)據(jù)存儲箱243用于存儲控制裝置240的各種信息，例如，上述攝像信息可以在規(guī)定期間之內(nèi)存儲在數(shù)據(jù)存儲箱243中。
下面說明AGC 104的結(jié)構(gòu)。AGC 104對工廠101內(nèi)的涂敷顯影處理裝置M1～Mn進行集中管理，并且經(jīng)因特網(wǎng)103與賣方102通信。如圖25所示，AGC 104例如由通信部250、存儲部251、控制部252和輸入部253等構(gòu)成。通信部250例如由調(diào)制解調(diào)器構(gòu)成，存儲部251例如由RAM構(gòu)成，控制部252例如由CPU構(gòu)成，輸入部253例如由觸摸屏等構(gòu)成。
通信部250與LAN 105和因特網(wǎng)103連接，可以與涂敷顯影處理裝置M1～Mn、管理用計算機201和賣方102的主計算機108等進行通信。據(jù)此，可以將從涂敷顯影處理裝置M1接收到的上述攝像信息等發(fā)送至主計算機108，另一方面，可以將來自主計算機108的修正信息發(fā)送至涂敷顯影處理裝置M1等之中。
存儲部251例如可以存儲進行通信的信息?？刂撇?52對AGC 104的整體進行控制，另外，可以執(zhí)行通信用的程序等。對輸入部253例如可以輸入用于集中管理涂敷顯影處理裝置M1～Mn的設定值等。
工廠101的管理用計算機201是為了工廠101的工藝負責人等在超凈室R外對涂敷顯影處理裝置M1～Mn進行管理的計算機，例如，它具有與一般的通用PC(個人計算機)相同的結(jié)構(gòu)。
如上所述，作為賣方102的收取裝置、提供裝置的主計算機108具有通信部110。該通信部110可以與AGC 104交換規(guī)定的信息，AGC104可以向各涂敷顯影處理裝置M1～Mn的通信裝置241發(fā)送規(guī)定的信息。另外，由通信裝置241接收到的信息可以輸出至控制裝置240，控制裝置240可以根據(jù)該信息例如改變運送臂211的運送目的地的停止位置的設定坐標。因此，借助于從主計算機108的通信部110發(fā)送上述運送臂211的設定坐標的修正信息，可以改變并調(diào)整運送臂211的設定坐標。
賣方102的負責人可以利用主計算機108的輸入部112輸入上述修正信息等。
主計算機108的顯示部113可以顯示主計算機108所取得的攝像信息等，從而通知賣方102的負責人。
為了調(diào)整運送臂211的運送目的地的停止位置，必須檢測運送臂211的實際停止位置。為了檢測這種停止位置，使用了如圖26所示的作為檢測用基板的位置檢測用晶片S。位置檢測用晶片S例如形成為與晶片W相同的形狀，可以被運送臂211支撐。在位置檢測用晶片S上設置作為檢測裝置和攝像裝置的CCD攝像機260。例如如圖27所示，在位置檢測用晶片S的中心部設置攝影用孔261。CCD攝像機260朝向下方設置，以使透鏡的位置與孔261一致。據(jù)此，CCD攝像機260可以從位置檢測用晶片S的中心部拍攝下方的圖像。因此，被運送臂211指示的位置檢測用晶片S例如被運送到抗蝕劑涂敷單元21內(nèi)，運送臂211停止在作為運送目的地的旋轉(zhuǎn)吸盤220的上方時，可以拍攝該旋轉(zhuǎn)吸盤220的圖像，據(jù)此，可以得知運送臂211停止的位置。
對CCD攝像機260例如如圖26所示，設置用無線電發(fā)送拍攝到的攝像信息的無線電發(fā)射機262。據(jù)此，可以向控制部203的無線電接收裝置242發(fā)送攝像信息。
以運送臂211在抗蝕劑涂敷單元21內(nèi)的停止位置的調(diào)整為例來說明如上構(gòu)成的臂位置調(diào)整系統(tǒng)200的工作。圖28是示出這種停止位置調(diào)整過程的協(xié)議流程。
首先，工廠101的操作員使位置檢測用晶片S被運送臂211支撐。接著使主運送單元20工作，利用控制裝置240將運送臂211移動至抗蝕劑涂敷單元21內(nèi)的作為停止位置的設定坐標，例如設定坐標P1(X1、Y1、Z1)。設定坐標P1(X1、Y1、Z1)例如如圖29所示，是旋轉(zhuǎn)吸盤220的上方，按本來的意思，就是以從平面上來看，運送臂211的位置檢測用晶片S的中心與旋轉(zhuǎn)吸盤220的上表面223的中心一致的方式設定的位置。運送臂211在設定坐標P1(X1、Y1、Z1)處停止后，用位于位置檢測用晶片S的中心部的CCD攝像機260拍攝下方的旋轉(zhuǎn)吸盤220的上表面223。
該攝像信息從無線電發(fā)射機262發(fā)送至無線電接收裝置242。其后，該攝像信息從通信裝置241發(fā)送至AGC 104，從AGC 104經(jīng)因特網(wǎng)103發(fā)送至賣方102的主計算機108。
由主計算機108的通信部110接收到的攝像信息顯示在顯示部113上，通知賣方102的負責人。賣方102的負責人根據(jù)該攝像信息算出運送臂211停止在設定坐標P1(X1、Y1、Z1)時的位置檢測用晶片S的中心位置與旋轉(zhuǎn)吸盤220的吸口224的位置的偏離值。例如，對用CCD攝像機260拍攝到的圖像的中心點與映照在圖像上的吸口224的位置的偏離進行測定。將如此算出的測定值，例如H(+x，+y，0)作為設定坐標P1(X1、Y1、Z1)的修正值。
例如由賣方102的負責人將算出的修正值輸入至輸入部112，該修正值被作為修正信息從通信部110發(fā)送至AGC 104。所發(fā)送的修正信息經(jīng)因特網(wǎng)103被AGC 104接收，再從AGC 104發(fā)送至涂敷顯影處理裝置M1的通信裝置241。用通信裝置241接收到的修正信息被輸出至控制裝置240，用控制裝置240設定的設定坐標P1(X1、Y1、Z1)被變更為設定坐標P2(X1+x、Y1+y、Z1)(P2＝P1+H)。據(jù)此，可以調(diào)整運送臂211的運送目的地的停止位置。其后，再次利用位置檢測用晶片S對運送臂211的停止位置進行攝像，確認調(diào)整后的位置。在運送臂211的停止位置被修正到恰當位置時結(jié)束操作，在未修正到恰當位置時重復上述的操作。
按照以上的實施形態(tài)，可以經(jīng)因特網(wǎng)103由賣方102的負責人進行運送臂211的位置調(diào)整。因此，在進行運送臂211的位置調(diào)整時，賣方102的負責人無需逐次奔赴工廠101，能夠迅速地進行位置調(diào)整。另外，由于賣方102的負責人直接向運送臂211的控制裝置240內(nèi)進行存取，所以在對運送臂211的操作需要資格，而且工廠101又沒有這樣的有資格者的場合，也能夠?qū)嵤┪恢谜{(diào)整。
另外，由于利用CCD攝像機260對運送臂211的運送目的地的實際停止位置進行攝像，所以賣方102的負責人借助于由視覺捕捉的影像能夠容易地算出修正值。
在以上的實施形態(tài)中，用無線電發(fā)送了位置檢測用晶片S的圖像信息，但也可以進行有線運送。
另外，也可以將用于檢測運送臂211的運送目的地的實際停止位置的CCD攝像機固定設置在涂敷顯影處理裝置M1的例如處理單元內(nèi)。圖30示出了這種情形的一個例子，拍攝運送來的位置檢測用晶片U的CCD攝像機270例如被設置在抗蝕劑涂敷單元21的上部。可以將用CCD攝像機270拍攝到的圖像例如發(fā)送至上述通信裝置241，從那里向賣方102的主計算機108發(fā)送，在例如顯示部113的畫面T中顯示。另外，如圖31所示，可以在位置檢測用晶片U上的半徑相同的位置上標以多個標記V。另一方面，如圖32所示，在主計算機108所顯示的畫面T中顯示與上述標記V對應的基準標記X。該基準標記X表示位置檢測用晶片U的正確的運送目的地的位置。
然后，在調(diào)整運送臂211的停止位置時，用運送臂211將位置檢測用晶片U運送至抗蝕劑涂敷單元21內(nèi)，在此，用CCD攝像機270進行攝像。利用通信裝置241將該拍攝到的圖像發(fā)送至賣方102的主計算機108，在顯示部113的畫面T上顯示出來。然后，從賣方102操作運送臂211，移動運送臂211，使標記V與基準標記X一致，如圖33所示。這樣一來，可以對運送臂211識別正確的運送目的地的停止位置，進行運送臂211的停止位置調(diào)整。另外，也可以利用旋轉(zhuǎn)吸盤220將位置檢測用晶片U每次旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度，在每個角度下用CCD攝像機270進行攝像。然后，也可以確認在半徑相同的位置上設置的標記V以各自的角度與基準標記X一致。據(jù)此，由于可以檢測位置檢測用晶片U的微妙的位置偏離，所以可以提高停止位置的調(diào)節(jié)精度。
另外，在上述實施形態(tài)中，用手動方式使位置檢測用晶片S被運送臂211支撐，但也可以自動進行。圖34示出了這種情形的一個例子，在涂敷顯影處理裝置M1的盒臺2的背面一側(cè)設置了使位置檢測用晶片S待機的待機部280。晶片運送單元11可以對該待機部280進行存取。于是，在進行運送臂211的位置調(diào)整時，可以利用晶片運送單元11從待機部280中移出位置檢測用晶片S，經(jīng)延伸單元33被交接到主運送單元20中。這樣一來，可以使位置檢測用晶片S放置到運送臂211上的操作自動化。另外，并非必須對涂敷顯影處理裝置M1配備操作員，可以通過遠程操作進行該位置檢測用晶片S的放置操作。另外，也可以從賣方102對晶片運送單元11和運送臂211進行遠程操作，這時可以使運送臂211的位置調(diào)整完全自動化。
上述實施形態(tài)是進行調(diào)整的運送臂211的運送目的地為抗蝕劑涂敷單元21的情形，但在運送目的地為其他處理單元，例如是抗蝕劑涂敷單元23，顯影處理單元22、24，冷卻單元30、31、40，粘附單元32，延伸單元33、42，預烘烤單元34、35，延伸-冷卻單元41，后曝光烘烤單元43、44，后烘烤單元45、46，周邊曝光單元51等時也可以應用本發(fā)明。
特別是在運送目的地是預烘烤單元35、36，后曝光烘烤單元43、44，后烘烤單元45、46，冷卻單元30、31、40等有關熱處理的單元時，也可以用熱板溫度測定用夾具作為位置檢測用晶片。熱板溫度測定用夾具例如是其形狀與晶片W相同、可以測定所放置的熱板的面內(nèi)溫度的夾具。
在用該熱板溫度測定用夾具進行運送臂211的位置調(diào)整時，例如利用運送臂211將熱板溫度測定用夾具運送到有關熱處理的單元的熱板上，并將熱板溫度測定用夾具放置在熱板上。然后，利用該熱板溫度測定用夾具測定熱板表面上的溫度分布。這時，例如若如圖35所示，熱板溫度測定用夾具L被放置到熱板290的恰當?shù)奈恢蒙?，則熱板面內(nèi)的測定溫度的溫度分布變得均勻。另一方面，如果熱板溫度測定用夾具L未被運送至恰當?shù)奈恢茫缛鐖D36所示，熱板溫度測定用夾具L被放置在晶片導架291上，則與熱板290隔離的部分的測定溫度下降，熱板290面內(nèi)的測定溫度的溫度分布就有偏差。由該溫度分布可以知道熱板溫度測定用夾具L的放置方向。因此，賣方102的負責人可以根據(jù)上述溫度分布算出運送臂211的移動目的地的修正值。與上述實施形態(tài)相同，可以將算出的修正值從賣方102發(fā)送至涂敷顯影處理裝置M1，調(diào)整運送臂211的運送目的地的停止位置。這時，由于可以利用用于測定熱板溫度的夾具來檢測運送臂211的實際的運送目的地的停止位置，所以無需使用專用的位置檢測用晶片S。因此，可以利用已有的熱板溫度測定用夾具進行運送臂211的停止位置調(diào)整。
在上述實施形態(tài)中，利用位置檢測用晶片S或CCD攝像機270等進行運送臂211的運送目的地的實際停止位置的檢測，但也可用其他方法進行。例如如日本國公開公報特開平2000-349133號公報所述，在涂敷處理單元中，在保持在旋轉(zhuǎn)吸盤上的虛設晶片上，沿X方向移動安裝了光電傳感器的噴嘴臂，用光電傳感器檢測虛設晶片的邊沿位置。然后，使虛設晶片例如各旋轉(zhuǎn)90度，在各位置上檢測虛設晶片的邊沿位置。由此檢測虛設晶片每轉(zhuǎn)90度的邊沿位置和其時的噴嘴臂位置，根據(jù)該檢測信息可以檢測出運送該虛設晶片的運送臂211的運送目的地的停止位置。然后，與上述實施形態(tài)相同，可以將該檢測信息發(fā)送至賣方，根據(jù)檢測信息從遠方調(diào)整運送臂的運送位置。
另外，在后曝光烘烤單元43等與熱有關的處理單元中，也可以利用附有能夠在X方向和θ方向進行掃描的透射型光電傳感器的對位用夾具(參照日本國公開公報特開平2000-349133號公報)檢測運送臂211的停止位置。用該檢測方法時，在利用運送臂211將對位用夾具運送到熱板上后，用光電傳感器檢測位于熱板中心的中心針的位置，根據(jù)該檢測結(jié)果，檢測出對位用夾具的運送目的地的位置。由此，能夠檢測出運送臂211的運送目的地的停止位置。然后，與上述實施形態(tài)相同，將該檢測出的檢測信息發(fā)送至賣方，根據(jù)檢測信息從遠方調(diào)整運送臂的運送位置。
另外，也可以將上述光電傳感器安裝在運送臂211上，用以檢測運送臂211的停止位置(參照日本國公開公報特開平2000-349133號公報)。另外，也可以借助于在運送臂211上安裝可在上下方向擺動的CCD攝像機，用該CCD攝像機檢測中心針的位置，來檢測運送臂211的停止位置(參照日本國公開公報特開平2000-349133號公報)。
雖然在上述實施形態(tài)中將本發(fā)明應用于具有運送臂211的主運送單元20的位置調(diào)整，但本發(fā)明也可應用于運送晶片W的其他運送單元，例如晶片運送單元11、50。
另外，在以上的實施形態(tài)中雖然示出了運送晶片W的運送裝置的調(diào)整例，但也可將本發(fā)明應用于運送其他運送對象物的運送裝置，例如運送抗蝕劑涂敷單元21的抗蝕劑液噴出噴嘴222的噴嘴臂231。
為了實施這樣的例子，例如如圖37所示，在抗蝕劑涂敷單元21的上部設置可以對旋轉(zhuǎn)吸盤220上的晶片W進行攝像的CCD攝像機300。用該CCD攝像機300拍攝到的攝像信息可以輸出至控制部203的通信裝置241。
然后，利用噴嘴臂231將抗蝕劑液噴出噴嘴222移動至作為運送目的地的晶片W的中心部上方。接著用旋轉(zhuǎn)吸盤220使晶片W旋轉(zhuǎn)，并從抗蝕劑液噴出噴嘴222向該旋轉(zhuǎn)的晶片W上噴射抗蝕劑液。這時，用CCD攝像機300拍攝抗蝕劑液對晶片W的噴射位置，與上述實施形態(tài)相同，將該攝像信息從通信裝置241經(jīng)因特網(wǎng)103發(fā)送至賣方102。賣方102的負責人根據(jù)該攝像信息確認抗蝕劑液的噴射位置，當噴射位置偏離晶片W的中心時，算出使噴射位置為晶片W的中心部的噴嘴臂231的停止位置的修正值。與上述實施形態(tài)相同，將該修正值作為修正信息發(fā)送至涂敷顯影處理裝置M1的控制裝置240，調(diào)整噴嘴臂231的停止位置。據(jù)此，可以由賣方的負責人迅速而恰當進行噴嘴臂231的位置調(diào)整。
另外，在上述實施形態(tài)中，對抗蝕劑液噴出噴嘴222的運送裝置進行了說明，但本發(fā)明也可以應用于其他噴嘴，例如用于在對晶片W噴吐抗蝕劑液之前供給溶劑的溶劑供給噴嘴、用于供給顯影液的顯影液供給噴嘴、用于清洗晶片W的清洗液供給噴嘴等的運送裝置。
以上的實施形態(tài)雖然是涉及涂敷顯影處理裝置的實施形態(tài)，但也可以對其他處理裝置，例如曝光裝置、刻蝕裝置、檢測裝置等應用本發(fā)明。例如也可以將臂位置調(diào)整系統(tǒng)200應用于涂敷顯影處理裝置以外的其他處理裝置。另外，上述的臂位置調(diào)整系統(tǒng)200也可應用于上述多個種類的處理裝置。還有，臂位置調(diào)整系統(tǒng)200也能夠應用于成為臂位置調(diào)整對象的處理裝置在多處工廠中的情形。另外，賣方102的主計算機108也可以不是設置在一處，而是設置在多處。
另外，本發(fā)明雖然被應用到了晶片處理裝置上，但也可以應用于晶片以外的基板，例如LCD基板、光掩模用的掩模原版基板等的處理裝置。
工業(yè)上的可利用性在消除制造半導體器件等的裝置中所發(fā)生的不良情況時有用。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于對上述各構(gòu)成部件分別附以識別標記，該基板處理裝置具有與上述識別標記對應地對在訂購構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于輸入要訂購的構(gòu)成部件的識別標記的輸入部；以及顯示與上述輸入的識別標記對應的、上述存儲部中的部件信息的顯示部。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)從上述處理裝置賣方的主存儲部取得上述存儲部中的部件信息的通信部。
3.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
4.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
5.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于對上述各構(gòu)成部件分別附以識別標記，該基板處理裝置具有用于在訂購構(gòu)成部件時輸入該構(gòu)成部件的上述識別標記的輸入部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送上述輸入的識別標記的發(fā)信部；對根據(jù)上述發(fā)送的識別標記經(jīng)因特網(wǎng)從上述賣方發(fā)送的涉及上述構(gòu)成部件的部件信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收到的部件信息的顯示部。
6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
7.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
8.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于具有對在訂購構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息和用于確定上述各構(gòu)成部件的確定信息進行存儲的存儲部；用于輸入要訂購的構(gòu)成部件的確定信息的輸入部；從上述存儲部中檢索與上述輸入的確定信息一致的構(gòu)成部件的檢索部；以及顯示上述檢索出的構(gòu)成部件的構(gòu)成部件候選信息，顯示從該構(gòu)成部件候選信息中選擇的構(gòu)成部件的上述存儲部中的部件信息的顯示部。
9.如權(quán)利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于在上述構(gòu)成部件候選信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
10.如權(quán)利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
11.如權(quán)利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
12.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于具有對在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)送部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息推得的、構(gòu)成部件候選信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收到的構(gòu)成部件候選信息，并顯示從該構(gòu)成部件候選信息中選擇出的構(gòu)成部件的上述存儲部中的部件信息的顯示部。
13.如權(quán)利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于上述攝像部移動自如。
14.如權(quán)利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于在上述構(gòu)成部件候選信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
15.如權(quán)利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
16.如權(quán)利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
17.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于具有對在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的上述各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)送部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息確定的構(gòu)成部件的確定結(jié)果進行接收的接收部；以及顯示上述確定的構(gòu)成部件的、上述存儲部中的部件信息的顯示部。
18.如權(quán)利要求17所述的基板處理裝置，其特征在于上述接收部對在上述賣方所確定的構(gòu)成部件的確定結(jié)果和該構(gòu)成部件的部件信息進行接收。
19.如權(quán)利要求17所述的基板處理裝置，其特征在于上述攝像部移動自如。
20.如權(quán)利要求17所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
21.如權(quán)利要求17所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
22.一種基板處理裝置，它是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的基板處理裝置，其特征在于具有用于拍攝要訂購的構(gòu)成部件的攝像部；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述攝像部拍攝到的上述構(gòu)成部件的攝像信息的發(fā)信部；經(jīng)因特網(wǎng)對在上述賣方根據(jù)上述攝像信息確定的構(gòu)成部件的部件信息進行接收的接收部；以及顯示上述接收到的部件信息的顯示部，上述部件信息是在訂購上述構(gòu)成部件時所需要的該構(gòu)成部件的信息。
23.如權(quán)利要求22所述的基板處理裝置，其特征在于上述攝像部移動自如。
24.如權(quán)利要求22所述的基板處理裝置，其特征在于在上述部件信息中包含上述構(gòu)成部件的圖像信息。
25.如權(quán)利要求22所述的基板處理裝置，其特征在于具有經(jīng)因特網(wǎng)取得上述要訂購的構(gòu)成部件的庫存信息的取得部。
26.一種運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，它是對用于運送基板等運送對象物的運送裝置的運送目的地的停止位置進行調(diào)整的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述運送裝置被安裝在基板處理裝置中，在設置上述處理裝置的工廠設置有控制上述運送裝置的停止位置的控制裝置；以及檢測上述運送裝置的運送目的地的實際停止位置的檢測裝置，在上述處理裝置的賣方設置有經(jīng)因特網(wǎng)取得由上述檢測裝置檢測出的檢測信息的取得裝置；以及經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置提供根據(jù)上述已取得的檢測信息推得的、用于對上述運送裝置的停止位置進行修正的修正信息的提供裝置。
27.如權(quán)利要求26所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述提供裝置可以經(jīng)上述因特網(wǎng)直接向上述控制裝置輸出上述修正信息，直接對上述運送裝置的運送目的地的停止位置進行修正。
28.如權(quán)利要求26所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述檢測裝置具有攝像裝置。
29.如權(quán)利要求26所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述運送裝置用于運送向基板供給處理液的處理液供給構(gòu)件。
30.如權(quán)利要求28所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述運送裝置用于運送基板，上述攝像裝置設置在與基板形狀相同的檢測用基板上。
31.如權(quán)利要求28所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于上述運送裝置用于運送基板，上述攝像裝置固定地設置在上述處理裝置內(nèi)，以便能夠拍攝運送至上述運送裝置的停止位置上的檢測用基板，在上述檢測用基板上附以用于在上述攝像裝置的圖像上識別該檢測用基板的運送后的位置的標記，在顯示上述攝像裝置的圖像的畫面上顯示調(diào)整上述運送裝置的停止位置時的基準標記。
32.如權(quán)利要求30所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于在上述處理裝置中設置使上述檢測用基板待機的待機部，上述運送裝置能夠?qū)⒋龣C的上述檢測用基板運送至上述待機部。
33.如權(quán)利要求31所述的運送裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于在上述處理裝置中設置使上述檢測用基板待機的待機部，上述運送裝置能夠?qū)⒋龣C的上述檢測用基板運送至上述待機部。
34.一種基板處理裝置，它是具有用于運送基板或處理液供給構(gòu)件等運送對象物的運送裝置的基板處理裝置，其特征在于具有控制上述運送裝置的運送目的地的停止位置的控制裝置；檢測上述運送裝置的運送目的地的實際停止位置的檢測裝置；經(jīng)因特網(wǎng)向上述處理裝置的賣方發(fā)送由上述檢測裝置檢測出的檢測信息的發(fā)送裝置；以及經(jīng)因特網(wǎng)接收根據(jù)上述發(fā)送出的檢測信息推得的、用于對上述運送裝置的運送目的地的停止位置進行修正的修正信息的接收裝置。
全文摘要
本發(fā)明的目的是比現(xiàn)有技術(shù)更迅速地進行基板處理裝置的部件更換。本發(fā)明的處理裝置是由多個構(gòu)成部件構(gòu)成、對基板進行規(guī)定處理的處理裝置，對各構(gòu)成部件分別附以識別標記，該處理裝置具有與識別標記對應地對在訂購構(gòu)成部件時所需要的各構(gòu)成部件的部件信息進行存儲的存儲部；用于輸入要訂購的構(gòu)成部件的識別標記的輸入部；以及顯示與輸入的識別標記對應的、存儲部中的部件信息的顯示部。
文檔編號H01L21/00GK1526157SQ0281394
公開日2004年9月1日 申請日期2002年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月12日
發(fā)明者愛內(nèi)隆志, 鈴木昭仁, 鐮本博繼, 米村秀一, 今府隆志, 坂本佳壽久, 一, 仁, 壽久, 志, 繼 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社