專利名稱：組合產(chǎn)品的制造系統(tǒng)和制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及組合產(chǎn)品的制造系統(tǒng)和制造方法，其中，工件經(jīng)過(guò)多個(gè)工藝步驟加工后制成產(chǎn)品，本發(fā)明特別涉及諸如其中有多個(gè)元件構(gòu)成的多個(gè)元件組的電子設(shè)備的組合產(chǎn)品的制造系統(tǒng)和制造方法。
背景技術(shù)：
用諸如公知的甚大規(guī)模(VLSI)集成電路的半導(dǎo)體集成電路構(gòu)成的產(chǎn)品是用多個(gè)工藝步驟加工的結(jié)果。作為制造這種產(chǎn)品的系統(tǒng)是叫做作業(yè)系統(tǒng)的制造系統(tǒng)，一種制造設(shè)備安置在工廠中的一個(gè)地方，按相同方式設(shè)置其它設(shè)備，以形成多個(gè)機(jī)組，加工中的工件從一個(gè)機(jī)組到另一機(jī)組而制成產(chǎn)品。這種制造系統(tǒng)的特征是能制造多種不同類(lèi)型的產(chǎn)品，為提高合格率，穩(wěn)定質(zhì)量，和提高功能而頻繁改變制造工藝。
執(zhí)行光刻工藝，結(jié)合形成氧化膜或氮化膜，離子注入，熱處理，淀積金屬膜或半導(dǎo)體膜，形成層間絕緣膜等工藝，制成半導(dǎo)體集成電路。要制成VLIS使用的這種工藝需要幾百個(gè)工藝步驟。術(shù)語(yǔ)“設(shè)計(jì)尺度”是關(guān)于最小工藝尺寸的制造工藝技術(shù)的通用名，通常設(shè)計(jì)尺度確定晶體管的柵極長(zhǎng)度和溝道長(zhǎng)度。更小的設(shè)計(jì)尺度表示更精細(xì)的工藝。例如，64M位的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM)，用0.25至0.18μm的工藝。
膜形成設(shè)備構(gòu)成的生產(chǎn)線形成涂膜，刻蝕設(shè)備刻蝕膜，曝光設(shè)備用光掩模形成掩模圖形，退火設(shè)備進(jìn)行熱處理，工業(yè)機(jī)器人輸送襯底。任何生產(chǎn)線中，必須極仔細(xì)地處理半導(dǎo)體，使其不會(huì)因灰塵造成物理污染，因磷，硼，有機(jī)材料氣體等造成化學(xué)污染?；蛴山饘?，或諸如鐵，鎳，或鈉等堿金屬造成化學(xué)污染，以保證精細(xì)的工藝精度，高重復(fù)性和高質(zhì)量穩(wěn)定性。因此，生產(chǎn)線建在工廠中提供的特別環(huán)境中和所謂的清潔房間內(nèi)。
按預(yù)定的上述預(yù)定順序執(zhí)行多個(gè)工藝步驟制成產(chǎn)品。每一個(gè)工藝步驟進(jìn)行成批處理，或把多個(gè)襯底作為一個(gè)單元進(jìn)行單晶片處理。該單元叫做一批，并在制造系統(tǒng)中按實(shí)際分布作為一批處理。
作為半導(dǎo)體器件構(gòu)成的產(chǎn)品，包括已知的在諸如玻璃的襯底上直接形成半導(dǎo)體集成電路構(gòu)成的液晶顯示器，電致發(fā)光板(EL)，EL模塊等，以及存儲(chǔ)器，和半導(dǎo)體襯底上形成金屬-氧化物-半導(dǎo)體(MOS)晶體管構(gòu)成的微處理器。用半導(dǎo)體薄膜形成液晶顯示器中的集成電路元件，因此，叫做“薄膜晶體管(TFT)”。液晶顯示器是組合型產(chǎn)品，其中，TFT構(gòu)成的元件組(叫做TFT陣列)和一對(duì)電極之間夾有液晶的結(jié)構(gòu)中形成的液晶元件組合，它利用TFT的開(kāi)關(guān)特性和液晶的光電效應(yīng)。EL板是組合型產(chǎn)品，其中，TFT構(gòu)成的元件組和EL元件組合，EL元件中用夾在一對(duì)電極之間的有機(jī)化合物作為發(fā)光元件，并組合利用TFT的開(kāi)關(guān)特性和EL材料的電致發(fā)光效應(yīng)。EL模塊是組合型產(chǎn)品，其中，諸如控制器的外部電路被附加到EL板上。這些產(chǎn)品中的每一種產(chǎn)品均有有源元件，即，按矩陣形式，按水平方向和垂直方向設(shè)置TFT，這樣設(shè)置的元件用于顯示圖像，因此，叫做有源矩陣形類(lèi)型。
用與制造VLSI方法類(lèi)似的半導(dǎo)體集成電路制造方法制造TFT。它們之間只有小的差別，即在絕緣表面上形成半導(dǎo)體膜的步驟。而其它工藝步驟以幾乎相同的方式進(jìn)行，即柵形成步驟，雜質(zhì)元素注入步驟，導(dǎo)體絲形成步驟等相同?？砂葱枰赥FT工藝中包括檢驗(yàn)步驟。根據(jù)檢驗(yàn)步驟中獲得的檢驗(yàn)信息控制產(chǎn)品合格率。上述顯示器的設(shè)計(jì)尺度用幾微米的大的最小尺寸。但是，制造上述顯示器的工藝中能允許的污染量與制造64M位的DRAM的工藝中的污染量相同。
生產(chǎn)線上應(yīng)嚴(yán)格控制具有半導(dǎo)體器件、液晶元件或物理性能不同的元素構(gòu)成的發(fā)光元件的每一個(gè)組合產(chǎn)品，但是，問(wèn)題是，有可能由于兩種不同類(lèi)型的元件中的一種元件被另一種元件污染而引起缺陷。作為具體實(shí)施例，用堿金屬或堿土金屬作發(fā)光元件中的陰極。如果該元素污染半導(dǎo)體，則會(huì)引起產(chǎn)品故障。該污染不僅發(fā)生在整體形成的組合產(chǎn)品封裝中，也可能出現(xiàn)在生產(chǎn)線周?chē)沫h(huán)境中，作為二次污染而影響產(chǎn)品的制造工藝。
作為提高生產(chǎn)效率的生產(chǎn)方式所用的方法中，增大在其中形成元件組的襯底尺寸，以便能從一個(gè)襯底獲得大量元件。如果增大襯底尺寸，就必須增大制造設(shè)備和這些制造設(shè)備構(gòu)成的生產(chǎn)線。但是，如果每個(gè)襯底的加工時(shí)間沒(méi)有大的變化，就增大了制造能力。但是，不能簡(jiǎn)單地使用增大襯底尺寸的方法，其原因是，這關(guān)系到涂膜的形成設(shè)備和蝕刻設(shè)備。
隨著市場(chǎng)上所需產(chǎn)品的變化增大，也需要構(gòu)成具有靈活性的制造系統(tǒng)，以滿足制造品種多和批量小的產(chǎn)品的需求。但是，常規(guī)的一批接一批的造制系統(tǒng)不具有能滿足這種需求的靈活性，用常規(guī)的一批接一批的造制系統(tǒng)存在這樣的問(wèn)題如果用增大襯底尺寸來(lái)增加從襯底獲得的元件數(shù)量，就會(huì)制造出過(guò)多的產(chǎn)品，或者，減少了一批中的襯底數(shù)量。因而不能有效地制造。
趕在所有競(jìng)爭(zhēng)者之前預(yù)先開(kāi)發(fā)組合半導(dǎo)體器件和液晶元件，或者組合半導(dǎo)體器體和發(fā)光元件制造信息裝置的組合產(chǎn)品的前沿制造技術(shù)，制造和銷(xiāo)售有知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)的產(chǎn)品，對(duì)于占領(lǐng)更大的市場(chǎng)份額并在市場(chǎng)上保持優(yōu)勢(shì)是很重要的。但是制造和銷(xiāo)售成套的產(chǎn)品需要設(shè)計(jì)組合產(chǎn)品，設(shè)計(jì)工藝，設(shè)計(jì)制造設(shè)備和使設(shè)備達(dá)到最佳狀態(tài)，使制造條件達(dá)到最佳狀態(tài)，要累積技術(shù)密秘，這些都需要巨額資金和付出巨額工資，另一方面，還有，在技術(shù)開(kāi)發(fā)方面有落后于其它公司的危險(xiǎn)。這種危險(xiǎn)對(duì)商品變化周期短的電子裝置市場(chǎng)而言更是加倍存在。其上可以形成半導(dǎo)體器件的元件襯底和液晶元件組合，或者，半導(dǎo)體器件和發(fā)光元件組合看起來(lái)似乎很簡(jiǎn)單，但是，電路結(jié)構(gòu)，運(yùn)轉(zhuǎn)方法，運(yùn)轉(zhuǎn)條件各不相同，而且半導(dǎo)體器件中的最佳器件結(jié)構(gòu)也不同。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是，提供一種制造系統(tǒng)，它由多個(gè)形成生產(chǎn)線的機(jī)組構(gòu)成，其中，組合產(chǎn)品加工中的工件經(jīng)過(guò)多個(gè)工藝步驟制成產(chǎn)品，它們配置成能防止組合產(chǎn)品制造階段的污染而引起產(chǎn)品缺陷或失效。使組合前的每個(gè)元件的生產(chǎn)率達(dá)到最大。從而有效地避免組合產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中出危險(xiǎn)。
為達(dá)到上述目的，按本發(fā)明的一個(gè)方案，提供一種制造系統(tǒng)，它由多個(gè)形成生產(chǎn)線的機(jī)組構(gòu)成，其中，組合產(chǎn)品是經(jīng)過(guò)多個(gè)工藝步驟制成的產(chǎn)品，該制造系統(tǒng)至少有多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第一生產(chǎn)線，和多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第二生產(chǎn)線，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)。該制造系統(tǒng)中用多條生產(chǎn)線制造組合產(chǎn)品，這些生產(chǎn)線之間共享有關(guān)信息。更具體地說(shuō)，第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第一制造設(shè)備組，和執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制用的第一產(chǎn)品控制裝置。第一產(chǎn)品控制裝置有第一存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第一制造設(shè)備組中第一襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息。第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第二制造設(shè)備組，和執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制的第二產(chǎn)品控制裝置。第一襯底分成多個(gè)第二襯底。第二產(chǎn)品控制裝置有第二存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第二制造設(shè)備組中每個(gè)第二襯底上形成的第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或存儲(chǔ)關(guān)于第一元件組和第二元件組組合狀態(tài)下的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。第一和第二產(chǎn)品控制裝置或第一和第二存儲(chǔ)裝置均能相互通信。把第一質(zhì)量信息或產(chǎn)品特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息和第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息相互對(duì)比，以確定第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址。本發(fā)明的上述配置中，在第一專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上形成第一生產(chǎn)線，和在第二專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上形成第二生產(chǎn)線。
按本發(fā)明的另一方案，提供一種制造方法，其中設(shè)有用多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第一和第二生產(chǎn)線，其中，產(chǎn)品是經(jīng)多次加工后制成的產(chǎn)品。第一和第二生產(chǎn)線在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域相互隔開(kāi)。第一生產(chǎn)線中，加工中的工件或半成品的加工方式是，第一襯底組作為第一批處理，用第一工藝加工后形成第一元件組，它們?cè)诿總€(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)。而且，收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息。第二生產(chǎn)線中，每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，一些第二襯底組成的第二襯底組作為第二批處理，經(jīng)第二工藝處理后形成第二元件組，它們?cè)诿康诙r底被分成的多個(gè)區(qū)域中的各個(gè)區(qū)域中對(duì)應(yīng)。收集在第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或關(guān)于在第一和第二元件組相互組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。把第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息和第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息。與第二襯底隔開(kāi)的每個(gè)部分形成單元功能件。從指示地址的信息中只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件。每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件組成模塊。制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
按本發(fā)明的另一方案，提供一種制造方法，其中設(shè)有用多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第一和第二生產(chǎn)線，其中，產(chǎn)品是經(jīng)多次加工后制成的產(chǎn)品。第一生產(chǎn)線中，加工工件或半成品的加工方式是，將第一標(biāo)識(shí)符附加到每個(gè)第一襯底上；一些第一襯底組成的襯底組裝入載體中；將指示第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符附加到載體上；每個(gè)第一襯底被分成多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域內(nèi)，在按第一和第二標(biāo)識(shí)符編程的一些確定的工藝條件下進(jìn)行加工，以形成第一元件組。而且，收集與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)的第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組有關(guān)的第一質(zhì)量信息和特征信息。第二生產(chǎn)線中，每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，由一些第二襯底組成的第二襯底組作為第二批處理，并且經(jīng)第二工藝處理后在每個(gè)第二襯底被分成的多個(gè)區(qū)域中的各個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組。收集在第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。把第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息和第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息相互對(duì)比。形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的一些部分的地址的指示信息。與第二襯底隔開(kāi)的每個(gè)部分形成單元功能件。從指示地址的信息中只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件。每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件組成模塊。制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
按本發(fā)明的另一方案，提供一種制造方法，其中設(shè)有用多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第一和第二生產(chǎn)線，其中，產(chǎn)品是經(jīng)多個(gè)工藝加工后制成的產(chǎn)品。第一和第二生產(chǎn)線在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)。第一生產(chǎn)線中，加工工件或半成品的加工方式是，把第一標(biāo)識(shí)符附加到每個(gè)第一襯底上；通過(guò)與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)，分配與每個(gè)第一襯底相關(guān)的工藝處理?xiàng)l件；把處理?xiàng)l件的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；把第一襯底組成的襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符附加到載體上；作為按第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理?xiàng)l件組的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中。來(lái)自第二標(biāo)識(shí)符的工藝程序信息和來(lái)自第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理信息由信息處理器管理；在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中形成第一元件組；由此制成加工件或半成品。而且，通過(guò)與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)，收集在第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息。第二生產(chǎn)線中，每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，由一些第二襯底組成的第二襯底組作為第二批處理，經(jīng)第二工藝處理后在每個(gè)第二襯底被分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組。在第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間第一元件組和第二元件組組合的狀態(tài)下，收集有關(guān)第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或與第一元件組和第二元件組組合的狀態(tài)相關(guān)的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。把第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息和第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息相對(duì)比，把指示第二襯底中無(wú)缺陷的某些部分地址的信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中。從指示地址的信息中只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件。把每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的構(gòu)成件組合成模塊。制成其中包括該模塊的組合產(chǎn)品。
上述第一元件組是有源元件組，諸如晶體管和二極管的有源器件的、在襯底上形成的有源元件。這種器件組的典型實(shí)例是襯底上的薄膜晶體管(TFT)陣列和襯底上的金屬-絕緣體-金屬元件(MIM)陣列。第二元件組是以液晶元件為代表的光電元件，以電致發(fā)光元件為代表的發(fā)光元件、或電子源。
上述的本發(fā)明的配置中，在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上形成和運(yùn)行第一生產(chǎn)線，第一生產(chǎn)線由多個(gè)機(jī)組構(gòu)成?？稍诘谝簧a(chǎn)線中設(shè)定多個(gè)工藝條件，第二生產(chǎn)線作為其中使用專利持有人允許的產(chǎn)品的生產(chǎn)線而存在，它由多個(gè)機(jī)組構(gòu)成，其中可設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件。
加工工件從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線，這兩條生產(chǎn)線在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)，以形成保護(hù)膜的方式輸送，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿，加工工件或半成品被封裝后被輸送。第二生產(chǎn)線中除去保護(hù)膜，以用第二工藝加工工件和半成品。
設(shè)置為用多個(gè)工藝制造組合產(chǎn)品的第一和第二生產(chǎn)線是在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域是相互遠(yuǎn)離的隔開(kāi)的，以防止兩個(gè)元件組中的一個(gè)被另一個(gè)污染，而在構(gòu)成組合件的元件中引起諸如操作不正常，不可逆轉(zhuǎn)地?fù)舸?，短路，絕緣，不正常發(fā)熱，難聞的氣味的缺陷。這種配置在每條生產(chǎn)線中容易控制環(huán)境污染，能放寬對(duì)空調(diào)設(shè)備和與空調(diào)設(shè)備相關(guān)的過(guò)濾器的規(guī)范的要求，能延長(zhǎng)消耗品的更換周期，減少安裝有制造機(jī)組的工廠中的能耗，從而易于管理機(jī)組。
如果第一生產(chǎn)線中用的襯底有特定的尺寸，如果第二生產(chǎn)線中用的襯底的特定尺寸與第一襯底的特定尺寸不同，而且，如果通過(guò)分割第一襯底的尺寸來(lái)確定第二襯底的尺寸，則能按第一和第二生產(chǎn)線中用的方法使襯底的尺寸達(dá)到最佳。根據(jù)對(duì)有關(guān)制造設(shè)備，生產(chǎn)合格率，每單位時(shí)間的生產(chǎn)能力的理論系數(shù)要求來(lái)確定襯底最佳尺寸。
每條生產(chǎn)線中，通常自動(dòng)輸送要加工的工件。加工工件按載體分組，并在一個(gè)載體接一個(gè)載體的基礎(chǔ)上提前加工。通常，準(zhǔn)備多個(gè)工件，使等待時(shí)間達(dá)到最短是重要的。由于通過(guò)按單元識(shí)別每個(gè)載體來(lái)進(jìn)行每個(gè)工藝步驟，如果按每個(gè)載體分組的工件數(shù)量很少，那么，等待的時(shí)間明顯加長(zhǎng)，結(jié)果，使每單位時(shí)間的生產(chǎn)率下降。為了能生產(chǎn)種類(lèi)多而批量少的產(chǎn)品，在使用的方法中可以把諸如數(shù)字，符號(hào)，字符，條碼，塊碼，色碼，或磁條等標(biāo)識(shí)符分配每個(gè)第一襯底，把與標(biāo)識(shí)符相關(guān)的處理?xiàng)l件輸入存儲(chǔ)器中。多個(gè)襯底組成的一組襯底中的每個(gè)襯底被設(shè)定為一個(gè)載體中的一組。將襯底組的信息存入存儲(chǔ)器中，同時(shí)與其他標(biāo)識(shí)符相關(guān)聯(lián)。即使在一個(gè)存放架中有多批產(chǎn)品，也能通過(guò)標(biāo)識(shí)符識(shí)別出多批產(chǎn)品的存在，能從附加到每個(gè)工件上的標(biāo)識(shí)符標(biāo)識(shí)出處理?xiàng)l件，因此，能進(jìn)行種類(lèi)多而批量少的產(chǎn)品的生產(chǎn)。因此能防止積存增加，同時(shí)提高生產(chǎn)率。
上述的本發(fā)明的配置中，在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成和運(yùn)行第一生產(chǎn)線，第一生產(chǎn)線由多個(gè)機(jī)組構(gòu)成。可在第一生產(chǎn)線中設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件，第二生產(chǎn)線作為其中使用專利持有人允許的產(chǎn)品的生產(chǎn)線而存在，它由多個(gè)機(jī)組構(gòu)成，其中可設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件。對(duì)于第二生產(chǎn)線，可以附加第三專利持有人允許的產(chǎn)品作為組合產(chǎn)品的其它元件，以便按第三專利持有人允許的方法制成組合產(chǎn)品。因此，有知識(shí)產(chǎn)權(quán)支持的元件可組合起以構(gòu)成組合產(chǎn)品的每個(gè)基本要素和構(gòu)件從而消除風(fēng)險(xiǎn)。


圖1是按本發(fā)明的制造系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是按本發(fā)明的多品種小批量生產(chǎn)用的標(biāo)識(shí)符和批量機(jī)構(gòu)的示意圖；圖3是按本發(fā)明的多品種小批量生產(chǎn)用的標(biāo)識(shí)符和批量機(jī)構(gòu)之間的相互關(guān)系示意圖；圖4是按本發(fā)明的制造設(shè)備和產(chǎn)品控制裝置之間的相互信息傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是組合產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下參見(jiàn)附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。圖1示出按本發(fā)明的制造系統(tǒng)的原理。本發(fā)明的制造系統(tǒng)適合制造由多個(gè)有不同構(gòu)成的功能元件或功能材料，構(gòu)件或結(jié)構(gòu)組合成的組合件，該制造系統(tǒng)包括適合制造功能件和功能材料的多個(gè)生產(chǎn)線。圖1中表示出了實(shí)施例中的第一生產(chǎn)線101和第二生產(chǎn)線102之間的相互關(guān)系。按本發(fā)明，不限制相關(guān)生產(chǎn)線的數(shù)量。
第一和第二生產(chǎn)線是在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域是相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)的。
第一生產(chǎn)線101由形成制造設(shè)備組106的多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成。第一生產(chǎn)線101中，能彼此并行地連續(xù)執(zhí)行多個(gè)工藝。如果設(shè)備對(duì)于制造要求的產(chǎn)品是必須的，則對(duì)制造設(shè)備的構(gòu)成和規(guī)范沒(méi)有特別的限制。
工件108在第一生產(chǎn)線101上加工。如果要制造的組合產(chǎn)品是電子裝置，則半導(dǎo)體襯底，玻璃或石英襯底，印刷電路板等被用作加工工件108。多個(gè)半導(dǎo)體元件整體形成在這種襯底上，以形成元件組。例如，TFT按矩陣形配置，以形成TFT屏。
一個(gè)或多個(gè)加工工件108被投放在生產(chǎn)線上作為叫做一批的工件組進(jìn)行處理。給每個(gè)加工工件108(每個(gè)襯底)分配標(biāo)識(shí)符以便區(qū)別加工工件108。還給在生產(chǎn)線上固定和移動(dòng)一個(gè)或一組加工工件108的載體分配標(biāo)識(shí)符，以區(qū)分工件組。數(shù)字，符號(hào)，字母，標(biāo)記，條碼，塊碼，色碼或磁條均能用作有上述標(biāo)識(shí)功能的標(biāo)識(shí)符。可以用光，磁，光電，光磁，或機(jī)械裝置讀出記載在標(biāo)識(shí)符上的信息。
第一生產(chǎn)線101中，用于產(chǎn)品控制和程序控制的第一產(chǎn)品控制裝置112的一個(gè)實(shí)例由具有服務(wù)器(分離的和組合的控制系統(tǒng))114和客戶機(jī)(信息收集輸入/輸出終端)116的客戶機(jī)服務(wù)器系統(tǒng)構(gòu)成。服務(wù)器114包括微處理器(MPU)115和存儲(chǔ)裝置124。在存儲(chǔ)裝置124中記錄了程序控制表118、工藝條件119、批量編制120、批量結(jié)構(gòu)121、質(zhì)量特征信息123等。在生產(chǎn)線運(yùn)行中，在生產(chǎn)時(shí)間周期內(nèi)可隨時(shí)更新工藝和改變這些記錄的內(nèi)容?？蛻魴C(jī)116由諸如鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、圖像掃描器、讀碼器等輸入裝置，和諸如監(jiān)視器和打印機(jī)的輸出裝置和諸如硬盤(pán)的存儲(chǔ)裝置構(gòu)成。不用說(shuō)，產(chǎn)品控制裝置不限于這種客戶機(jī)服務(wù)器系統(tǒng)。產(chǎn)品控制裝置按要處理的信息量而可以由大型計(jì)算機(jī)構(gòu)成。如果加工的規(guī)模小，可用個(gè)人計(jì)算機(jī)構(gòu)成產(chǎn)品控制裝置。
第一生產(chǎn)線上始終依次投放多批產(chǎn)品，以便能提高制造設(shè)備組106的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，以達(dá)到最大的生產(chǎn)率。由第一產(chǎn)品控制裝置112利用標(biāo)識(shí)加工的多批和多個(gè)工件的標(biāo)識(shí)符執(zhí)行有關(guān)多批產(chǎn)品的調(diào)度控制。圖2示出標(biāo)識(shí)多批加工工件的標(biāo)識(shí)符和標(biāo)識(shí)加工工件的標(biāo)識(shí)符。工件固定在叫做載體的容器或框架上，用載體在制造設(shè)備之間移動(dòng)加工工件。參見(jiàn)圖2，多個(gè)工件固定在載體301上，第一標(biāo)識(shí)符301分別加到各個(gè)加工工件202上。數(shù)字，符號(hào)，字母，標(biāo)記，條碼，塊碼，色碼或磁條均能用作標(biāo)識(shí)符304。第二標(biāo)識(shí)符303加到載體301上，第二標(biāo)識(shí)符與固定在載體301上的加工工件303上的信息相關(guān)。
叫做一批的產(chǎn)品單元可用相對(duì)于每個(gè)載體或裝在載體301中的多批產(chǎn)品構(gòu)成。由于生產(chǎn)線中的加工工件303用上述的載體在制造設(shè)備之間移動(dòng)，如果載體301的裝載容量達(dá)到最大，那么，加工等待時(shí)間就能最短。因此，載體301的裝載容量最大有助于使生產(chǎn)率最高。
圖3表示出第一工藝控制系統(tǒng)112中第一和第二標(biāo)識(shí)符與調(diào)度控制表118、工藝條件119、批量編制120、批量結(jié)構(gòu)121之間的關(guān)系的實(shí)例的詳細(xì)內(nèi)容。
圖3所示例中，其上加有第二標(biāo)識(shí)符302的載體中裝有至少兩批產(chǎn)品加有符號(hào)“A％”的第一批305和加有符號(hào)“B#”的第二批產(chǎn)品。每批的詳細(xì)內(nèi)容作為數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在叫做批量結(jié)構(gòu)307的分類(lèi)中。第一標(biāo)識(shí)符304加到每個(gè)加工工件上。根據(jù)產(chǎn)品規(guī)范，多批產(chǎn)品之間的功能、特性、標(biāo)準(zhǔn)、尺寸、種類(lèi)等相互不同，而且，為它們?cè)O(shè)置相互不同的相應(yīng)的工藝條件。為每批產(chǎn)品設(shè)置工藝條件309。在每批產(chǎn)品的工藝條件309中，可以改變有關(guān)加工工件的制造條件。生產(chǎn)線上的全部產(chǎn)品批次作為數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在叫做批量編制308的分類(lèi)中。
圖4表示出標(biāo)識(shí)符在生產(chǎn)線中的應(yīng)用實(shí)例。圖4中表示出了第一生產(chǎn)線中的制造設(shè)備組106和第一產(chǎn)品控制裝置112的主要元件。制造設(shè)備401被包括在制造設(shè)備組106中。要求該制造設(shè)備可以用分開(kāi)的單元組合而成，例如由固定在生產(chǎn)線中移動(dòng)的載體401的載體操作臺(tái)403和制造設(shè)備主單元404組合而成。載體操作臺(tái)403中設(shè)有用于讀第二標(biāo)識(shí)符302的讀出裝置405和用于讀第一標(biāo)識(shí)符304的讀出裝置406。這些讀出裝置是光，磁，光電，光磁，或機(jī)械裝置。通常，電荷耦合裝置(CCD)攝像機(jī)可用作各個(gè)讀出裝置。
讀出裝置405在一個(gè)批量上的第二標(biāo)識(shí)符302中識(shí)別出的信息被送到第一產(chǎn)品控制裝置112，并與存儲(chǔ)裝置124中存儲(chǔ)的調(diào)度控制表中的數(shù)據(jù)組、工藝條件、批量編制和批量相比較。從加在批量產(chǎn)品上的第一標(biāo)識(shí)符304中讀出的信息和對(duì)應(yīng)于第一標(biāo)識(shí)符304的工藝處理程序的名字上的信息被傳輸?shù)街圃煸O(shè)備401。在制造設(shè)備401中由讀出裝置406從加到一個(gè)加工工件的第一標(biāo)識(shí)符讀出的信息被傳輸?shù)組PU407，并與上述的從第一產(chǎn)品控制裝置傳送來(lái)的信息對(duì)比。之后，讀出存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置408中的由預(yù)定工藝條件規(guī)定的處理程序409(例如，任務(wù)1)并加以執(zhí)行。制造設(shè)備402也有相同的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)中設(shè)置有多個(gè)制造裝置，以形成制造設(shè)備組106。這些制造設(shè)備的功能相同，并形成設(shè)置在一個(gè)區(qū)域內(nèi)的每個(gè)設(shè)備組。這些制造設(shè)備要使用諸如電，壓縮空氣，冷卻水，排氣通道，原材料和輔助材料的供應(yīng)管道等。為了滿足這些需要，必須有效地安裝這些設(shè)施、通道和管道，以便滿足上述制造設(shè)備的設(shè)置需要。
如圖1至4所示，通過(guò)利用第一和第二標(biāo)識(shí)符、工藝條件的管理信息、批量編制和批量構(gòu)成和利用局域網(wǎng)(LAN)連接工藝控制系統(tǒng)和制造設(shè)備，能集中控制生產(chǎn)線。在減少每個(gè)制造設(shè)備上的信息處理負(fù)荷的同時(shí)，能處理以復(fù)雜方式編制的多批產(chǎn)品或多個(gè)產(chǎn)品單元而不會(huì)出現(xiàn)混亂。
圖1所示的第二生產(chǎn)線102中的制造設(shè)備組107，存儲(chǔ)裝置126和客戶機(jī)117與第一生產(chǎn)線中的系統(tǒng)和設(shè)備有相同的結(jié)構(gòu)，因此不再詳細(xì)描述。
在第一生產(chǎn)線和第二生產(chǎn)線中，為了控制質(zhì)量和保證質(zhì)量，要在特定工藝過(guò)程之間進(jìn)行檢驗(yàn)。建立在特定工藝之間的檢驗(yàn)基礎(chǔ)上的質(zhì)量信息或特征信息，是按需要對(duì)每批中的全部產(chǎn)品進(jìn)行百分之百的檢驗(yàn)或按一定的間隔選擇的抽樣檢驗(yàn)而得到的。第一生產(chǎn)線101中收集到的第一質(zhì)量信息或特征信息存儲(chǔ)在第一產(chǎn)品控制裝置112中的存儲(chǔ)裝置124中或存儲(chǔ)在第二產(chǎn)品控制裝置113中的存儲(chǔ)裝置126中并與第一和第二標(biāo)識(shí)符一致。第二生產(chǎn)線102中收集到的第二質(zhì)量信息或特征信息存儲(chǔ)在第一產(chǎn)品控制裝置112中的存儲(chǔ)裝置124中或存儲(chǔ)在第二產(chǎn)品控制裝置113中的存儲(chǔ)裝置126中并與第一和第二標(biāo)識(shí)符一致。在工藝過(guò)程之間，通過(guò)該檢驗(yàn)得到的信息可以是附加在第一生產(chǎn)線101中的產(chǎn)品的元件的第一質(zhì)量信息或特征信息、附加在第二生產(chǎn)線102中的產(chǎn)品的元件的第二質(zhì)量信息或特征信息、或是附加在第一生產(chǎn)線101和第二生產(chǎn)線102中的元件的組合狀態(tài)下(在該狀態(tài)下，第一元件組和第二元件組相組合)的第三質(zhì)量信息或第三產(chǎn)品信息。在第一產(chǎn)品控制裝置112和第二產(chǎn)品控制裝置113利用通信線路相互連接的狀態(tài)下，第一產(chǎn)品控制裝置112和第二產(chǎn)品控制裝置113可共享該質(zhì)量信息或特征信息。
從第一生產(chǎn)線101輸出的加工工件108通過(guò)分割每個(gè)加工工件的尺寸按設(shè)在第二生產(chǎn)線102中的制造設(shè)備組107的規(guī)范重新編入第二批。因此，第一生產(chǎn)線中使用的標(biāo)識(shí)符可以用在第二生產(chǎn)線中而不必更換。如果分割了每個(gè)工件的尺寸，也可以重新加標(biāo)識(shí)符。
為了防止由于環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿，通過(guò)形成保護(hù)膜的方式在第一生產(chǎn)線101與第二生產(chǎn)線102之間輸送加工工件或半成品，之后包封和運(yùn)輸加工工件或半成品。加工工件或半產(chǎn)品在第二生產(chǎn)線102中進(jìn)行處理之前除去保護(hù)膜。工件從第一生產(chǎn)線101輸出時(shí)進(jìn)行運(yùn)輸檢驗(yàn)，在第二生產(chǎn)線102中進(jìn)行到貨檢驗(yàn)?？梢杂媒Y(jié)構(gòu)相同的檢驗(yàn)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸檢驗(yàn)和到貨檢驗(yàn)。對(duì)比兩個(gè)檢驗(yàn)結(jié)果，以檢查輸送過(guò)程中的變化。這些結(jié)果也可以用作獲得確定運(yùn)輸量和接收量中無(wú)缺陷的數(shù)量的合理的檢驗(yàn)規(guī)范的信息。
之后，產(chǎn)品的制造過(guò)程如下核對(duì)第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息或第三質(zhì)量信息或特征信息，以形成被識(shí)別為第二襯底上無(wú)缺陷的多個(gè)部分的地址的指示信息；分開(kāi)從第二襯底分出的每個(gè)部分以形成多個(gè)單元功能元件；從指示地址的信息中只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能元件；把每個(gè)選擇的功能元件和至少一個(gè)不是功能元件的構(gòu)件組合成功能塊；和制成其中裝有該功能塊的產(chǎn)品。
圖5示出TFT平板和顯示單元組合而成的EL屏的一個(gè)實(shí)例，其中，所述的TFT屏具有其上形成有由TFT構(gòu)成的第一元件組702和703的玻璃或塑料襯底701，所述顯示單元中具有由形成象素部分的EL元件形成的第二元件組704。在第一生產(chǎn)線中制造由TFT構(gòu)成的第一元件組702和703，在第二生產(chǎn)線中制造由EL構(gòu)成的第二元件組704。表1和表2示出在第一和第二生產(chǎn)線中執(zhí)行的工藝的實(shí)例。表1是第一生產(chǎn)線的制造工藝的一個(gè)實(shí)例的目錄表；表2是第二生產(chǎn)線的制造工藝的一個(gè)實(shí)例的目錄表。
表1第一生產(chǎn)線


表2第二生產(chǎn)線

第二生產(chǎn)線中，組裝密封材料705和密封板706以把EL屏構(gòu)成模塊，并且把要連接到輸入端703的軟印刷電路板(FPC)707附加到TFT屏上和連接到外部電路，由此制成模塊。該模塊裝進(jìn)諸如移動(dòng)電話，固定電話，個(gè)人計(jì)算機(jī)，個(gè)人數(shù)字助理(PDA)的電子設(shè)備或信息裝置中，以制成組合產(chǎn)品。
在這種組合件中的TFT制造過(guò)程中，必須使環(huán)境清潔，以防止灰塵引起的物理污染，磷、硼、有機(jī)材料等引起的化學(xué)污染，諸如鐵、鎳或鈉的金屬以及堿金屬引起的化學(xué)污染。另一方面，EL元件需要有堿金屬或堿土金屬作為它的組分。因此，制造這種組合產(chǎn)品的整個(gè)生產(chǎn)線的設(shè)備與這些要求之間必然有矛盾，要制造產(chǎn)品必須做出很大努力。相反，為避免出現(xiàn)這種問(wèn)題，第一和第二生產(chǎn)線是在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)。
本發(fā)明不限于本實(shí)施例中由TFT構(gòu)成的第一元件組和由EL元件構(gòu)成的第二元件組的上述組合例。也可以是其他任何元件組合，例如，由TFT構(gòu)成的第一元件組和由液晶元件構(gòu)成的第二元件組的組合，由金屬-絕緣體-金屬(MIM)元件構(gòu)成的第一元件組和由電子源元件構(gòu)成的第二元件組的組合。
已經(jīng)描述了構(gòu)成第一生產(chǎn)線的主要構(gòu)件，為了能以短的時(shí)間周期開(kāi)發(fā)、制造和銷(xiāo)售組合產(chǎn)品，研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)以及設(shè)計(jì)和試制部門(mén)起了重要作用。本發(fā)明的制造系統(tǒng)包括了這些部門(mén)。圖3所示的研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)103開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品和制造方法及運(yùn)行方法中的新技術(shù)。新產(chǎn)品獲得并持有工業(yè)產(chǎn)權(quán)，包括專利權(quán)、商標(biāo)權(quán)和設(shè)計(jì)權(quán)。設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)部門(mén)104用新開(kāi)發(fā)的技術(shù)進(jìn)行批量試制，在試制中進(jìn)行可靠性試驗(yàn)，在試驗(yàn)所獲得的技術(shù)信息的基礎(chǔ)上改進(jìn)第一生產(chǎn)線101中的制造設(shè)備和工藝條件。
研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)103、設(shè)計(jì)和試制部門(mén)104、第一生產(chǎn)線101和第二生產(chǎn)線102可分屬不同的團(tuán)體，這種情況下，按下述方式實(shí)現(xiàn)對(duì)研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)所持有的專利權(quán)的利用和保護(hù)。研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)103允許具有第一生產(chǎn)線的團(tuán)體正常使用或禁止使用該研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)持有的專利中包括的制造方法。具有第二生產(chǎn)線的團(tuán)體被允許正常使用或被禁止使用用第一生產(chǎn)線制成的產(chǎn)品。研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)用收到的許可費(fèi)進(jìn)一步開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，因此，快速研究和開(kāi)發(fā)組合產(chǎn)品和投放市場(chǎng)。
另一方面，要保證關(guān)于產(chǎn)量和性能均提高了的組合產(chǎn)品的全部工業(yè)產(chǎn)權(quán)通常是不可能的。例如，可從外部的研究和開(kāi)發(fā)研究所105引入允許正常使用或禁止使用的有關(guān)有專利權(quán)的技術(shù)。如果使用該工藝，那么，擁有研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)103和設(shè)計(jì)和試制部門(mén)104的團(tuán)體可將投資集中在最佳的工業(yè)區(qū)中，同時(shí)，擁有生產(chǎn)線的各個(gè)團(tuán)體能分擔(dān)風(fēng)險(xiǎn)。
已經(jīng)用相關(guān)實(shí)施例描述了本發(fā)明，本發(fā)明也可用其他多種方式實(shí)施。本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易理解，所述的實(shí)施例，包括它的細(xì)節(jié)在不脫離本發(fā)明范圍和發(fā)明精神的情況下均可以有各種變化。實(shí)施例描述的內(nèi)容不構(gòu)成對(duì)發(fā)明的限制。
按本發(fā)明，第一和第二生產(chǎn)線是在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且設(shè)置的地方或區(qū)域相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)，以防止相關(guān)生產(chǎn)線中的污染而產(chǎn)生產(chǎn)品缺陷。
第一生產(chǎn)線中，按以下方式制造加工工件和半成品第一襯底組作為第一批用第一工藝加工，以在第一襯底分割成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域內(nèi)形成第一元件組。在第二生產(chǎn)線中，每個(gè)第一襯底分割成多個(gè)第二襯底，多個(gè)第二襯底組成的第二襯底組作為第二批用第二工藝加工，以在由分割每個(gè)第二襯底而構(gòu)成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)區(qū)域中形成第二元件組。按該方式配置的制造系統(tǒng)能靈活地用于制造各種小批量產(chǎn)品，以滿足市場(chǎng)上產(chǎn)品變化增加的要求。而且，研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)和生產(chǎn)部門(mén)可以構(gòu)成不同的團(tuán)體，以縮短從研究開(kāi)發(fā)到投放市場(chǎng)的周期，分散有關(guān)工業(yè)產(chǎn)權(quán)的風(fēng)險(xiǎn)。
按本發(fā)明能制造利用元件的各種組合而構(gòu)成的組合產(chǎn)品，例如，可以提供利用由TFT構(gòu)成的第一元件組和由EL元件構(gòu)成的第二元件組的組合的組合產(chǎn)品，利用由TFT構(gòu)成的第一元件組和由液晶元件構(gòu)成的第二元件組的組合的組合產(chǎn)品，和利用由MIM構(gòu)成的第一元件組和由電子源元件構(gòu)成的第二元件組的組合的組合產(chǎn)品。這些組合產(chǎn)品的典型例子是液晶顯示器裝置和EL顯示器裝置。
權(quán)利要求
1.一種組合產(chǎn)品的制造系統(tǒng)，設(shè)有構(gòu)成生產(chǎn)線的多個(gè)機(jī)組，其中產(chǎn)品是用多個(gè)工藝制成的，包括多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第一生產(chǎn)線，和多個(gè)機(jī)組構(gòu)成的第二生產(chǎn)線，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝，其中，第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第一制造設(shè)備組，和執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制用的第一產(chǎn)品控制裝置，第一產(chǎn)品控制裝置有第一存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第一制造設(shè)備組中第一襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息；第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第二制造設(shè)備組，和執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制的第二產(chǎn)品控制裝置，第一襯底分成多個(gè)第二襯底，第二產(chǎn)品控制裝置有第二存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第二制造設(shè)備組中每個(gè)第二襯底上形成的第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或存儲(chǔ)關(guān)于第一元件組和第二元件組組合的狀態(tài)的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息；第一和第二產(chǎn)品控制裝置或第一和第二存儲(chǔ)裝置均能相互交流信息；和提供了使具有第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息或第三質(zhì)量信息或特征信息可以互相對(duì)比、以確定第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分地址的功能。
2.一種組合產(chǎn)品的制造系統(tǒng)，設(shè)有構(gòu)成生產(chǎn)線的多個(gè)機(jī)組，其中產(chǎn)品是用多個(gè)工藝制成的，包括第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)制造機(jī)組構(gòu)成，其中，可設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件；和利用專利持有人允許的產(chǎn)品的第二生產(chǎn)線，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；其中，第一生產(chǎn)線設(shè)有由多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第一制造設(shè)備組，第一產(chǎn)品控制裝置執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制，第一產(chǎn)品控制裝置有第一存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第一制造設(shè)備組中第一襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息；第二生產(chǎn)線設(shè)有由多個(gè)制造設(shè)備構(gòu)成的第二制造設(shè)備組，和第二產(chǎn)品控制裝置，它執(zhí)行產(chǎn)品控制或程序控制，第一襯底分成多個(gè)第二襯底，第二產(chǎn)品控制裝置有第二存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)第二制造設(shè)備組中每個(gè)第二襯底上形成的第二元件組的第二質(zhì)量信息或特征信息，或存儲(chǔ)關(guān)于第一元件組和第二元件組組合的狀態(tài)的第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息；第一和第二產(chǎn)品控制裝置或第一和第二存儲(chǔ)裝置均能相互交流信息；和提供了使具有第一質(zhì)量信息或特征信息和第二質(zhì)量信息或特征信息或第三質(zhì)量信息或特征信息可以互對(duì)比、以確定第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷部分的地址的功能。
3.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，第一襯底組作為第一批按第一工藝進(jìn)行處理，以便在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每一個(gè)區(qū)域內(nèi)形成第一元件組，其中，所述第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的至少一個(gè)第一信息；在第二生產(chǎn)線中，將每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，其中，所述第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底被分成的多個(gè)區(qū)域中的各個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷部分的地址的指示信息；將每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)，以形成多個(gè)單元功能件；在指示地址的信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件，以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
4.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，第一襯底組作為第一批按第一工藝進(jìn)行處理，以在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)形成第一元件組，其中，所述第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的至少一個(gè)第一信息；在第一襯底上形成保護(hù)膜，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿；把第一襯底從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線，其中，所述的第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；把第二生產(chǎn)線中每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每個(gè)第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)單元功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制造其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
5.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上，其中，所述的第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中，按第一和第二標(biāo)識(shí)符編程的處理?xiàng)l件加工形成第一元件組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組與第一標(biāo)識(shí)符對(duì)應(yīng)的第一信息；把第二生產(chǎn)線中每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，其中，所述的第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)，以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制造其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
6.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；把第一襯底組裝入載體中，其中，所述的第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；在第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中按第一和第二標(biāo)識(shí)符編程的工藝條件加工形成第一元件組；通過(guò)與第一標(biāo)識(shí)符相聯(lián)系，收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的第一質(zhì)量信息或特征信息；在第一襯底上形成保護(hù)膜，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿；把第一襯底從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線，其中，所述的第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；把第二生產(chǎn)線中每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；在去除保護(hù)膜后，把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或關(guān)于第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息和第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)的部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
7.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；其中，所述的第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；按第一標(biāo)識(shí)符分配與每個(gè)第一襯底相關(guān)的工藝處理?xiàng)l件；把處理?xiàng)l件信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；按第一標(biāo)識(shí)符把作為一組工藝處理?xiàng)l件的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；利用信息處理器管理來(lái)自第二標(biāo)識(shí)符的工藝程序信息和來(lái)自第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理信息；在第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中形成第一元件組；通過(guò)與存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的第一標(biāo)識(shí)符相聯(lián)系，收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的信息；把第二生產(chǎn)線中每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，其中，所述的第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或關(guān)于第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
8.一種制造方法，包括在第一生產(chǎn)線中，把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；其中，所述的第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組；分配相應(yīng)第一標(biāo)識(shí)符的、與每個(gè)第一襯底相關(guān)的工藝處理?xiàng)l件；把處理?xiàng)l件信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；按第一標(biāo)識(shí)符把作為一組工藝處理?xiàng)l件的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；利用信息處理器管理來(lái)自第二標(biāo)識(shí)符的工藝程序信息和來(lái)自第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理信息；在第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中形成第一元件組；通過(guò)與存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中的第一標(biāo)識(shí)符相聯(lián)系，收集第一藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的信息；在第二生產(chǎn)線中，把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，其中，所述的第二生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組，第一和第二生產(chǎn)線相互遠(yuǎn)離地隔開(kāi)安裝；把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間，有關(guān)第二元件組的第二信息，或關(guān)于在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
9.一種制造方法，包括使用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，并且可對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用作為第一處理線中的處理的多個(gè)處理?xiàng)l件，其中該第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)構(gòu)；把第一襯底組作為第一批按第一工藝進(jìn)行處理，以在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)形成第一元件組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的第一信息；在第二生產(chǎn)線中使用由應(yīng)用多個(gè)工藝條件的多個(gè)工藝制造的、被專利持有人允許的產(chǎn)品；在第二生產(chǎn)線把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
10.一種制造方法，包括利用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，并且能對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用作為第一處理線中的處理的多個(gè)工藝條件，其中該第一生產(chǎn)線設(shè)有多個(gè)生產(chǎn)機(jī)構(gòu)；把第一襯底組作為第一批按第一工藝處理，以在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)形成第一元件組；，收集在第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間在每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的第一信息；在第一襯底上形成保護(hù)膜，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿；把第一襯底從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線；在第二生產(chǎn)線中使用由可應(yīng)用多個(gè)工藝條件的多個(gè)工藝制造的、被專利持有人允許的產(chǎn)品；在第二生產(chǎn)線中，把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；在去除保護(hù)膜后，把第二襯底組作為第二批按第二工藝進(jìn)行處理，以在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
11.一種制造方法，包括使用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，在所述的用多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成的第一生產(chǎn)線的第一處理中進(jìn)行處理時(shí)，能對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用多個(gè)處理?xiàng)l件；把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；利用根據(jù)一種處理?xiàng)l件的工藝，在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中制造構(gòu)成第一器件組的產(chǎn)品，其中用第一和第二標(biāo)識(shí)符編程該工藝和處理?xiàng)l件；在產(chǎn)品形成的同時(shí)，在第一工藝中收集關(guān)于被形成在各個(gè)第一襯底上的第一器件組的第一信息，該方法還利用其所使用的產(chǎn)品是被專利持有人許可的第二生產(chǎn)線，該產(chǎn)生線由多個(gè)產(chǎn)生設(shè)施構(gòu)成，并可應(yīng)用于多種工藝條件，該方法包括作為第二處理線的處理的下列步驟把每個(gè)第一襯底分為各個(gè)第二襯底；把第二襯底組作為第二批處理；按第二工藝處理第二襯底組，以便在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二器件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息和第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
12.一種制造方法，包括利用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它用多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，并且作為在第一生產(chǎn)線中的處理，對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用多個(gè)處理?xiàng)l件；把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；利用根據(jù)一種處理?xiàng)l件的工藝，在每個(gè)第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中制造構(gòu)成第一元件組的產(chǎn)品，其中用第一和第二標(biāo)識(shí)符編程該工藝和工藝條件；在制造產(chǎn)品的同時(shí)，收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間關(guān)于在每個(gè)第一襯底上形成的第一器件組的第一信息；在第一襯底上形成保護(hù)膜，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿；把第一襯底從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線；利用第二生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，給第二生產(chǎn)線設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件，作為第二處理線中包括的處理，該方法包括把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；把第二襯底組作為第二批處理；在除去保護(hù)膜后按第二工藝處理第二襯底組，以便在每個(gè)第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息和第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
13.一種制造方法，包括利用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用作為在第一處理線中的處理的多個(gè)處理?xiàng)l件；把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；通過(guò)使工藝處理?xiàng)l件與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)，分配與每個(gè)第一襯底相關(guān)的工藝處理?xiàng)l件；把處理?xiàng)l件信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；按第一標(biāo)識(shí)符把作為一組工藝處理?xiàng)l件的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；利用信息處理器管理來(lái)自第二標(biāo)識(shí)符的工藝程序信息和來(lái)自第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理信息；制造產(chǎn)品，在該產(chǎn)品中，第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中形成第一器件組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)在每個(gè)第一襯底上形成的第一器件組的第一信息；通過(guò)使該信息與第一識(shí)別符相關(guān)，在存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)第一信息；利用第二生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，對(duì)第二生產(chǎn)線應(yīng)用多個(gè)處理?xiàng)l件，作為第二處理線中的處理，該方法包括以下步驟在第二生產(chǎn)線中，把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；按第二工藝把第二襯底組作為第二批，以便在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二器件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)在第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
14.一種制造方法，包括利用第一生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，對(duì)第一生產(chǎn)線應(yīng)用作為第一處理線中的處理的多個(gè)處理?xiàng)l件；把第一標(biāo)識(shí)符加到每個(gè)第一襯底上；通過(guò)使工藝處理?xiàng)l件與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)，分配與每個(gè)第一襯底相關(guān)的工藝處理?xiàng)l件；把處理?xiàng)l件信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；把第一襯底組裝入載體中；把識(shí)別第一襯底組的第二標(biāo)識(shí)符加到載體上；按第一標(biāo)識(shí)符把作為一組工藝處理?xiàng)l件的控制信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中；利用信息處理器管理來(lái)自第二標(biāo)識(shí)符的工藝程序信息和來(lái)自第一標(biāo)識(shí)符的工藝處理信息；制造產(chǎn)品，在該產(chǎn)品中，在第一襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域中形成第一元件組；收集第一工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間在每個(gè)第一襯底上形成的第一元件組的質(zhì)量信息或特征信息，并通過(guò)使收集到的信息與第一標(biāo)識(shí)符相關(guān)，把收集到的信息存入存儲(chǔ)器中；把第一襯底上形成保護(hù)膜，以防止由環(huán)境污染或靜電引起第一元件組擊穿；把第一襯底從第一生產(chǎn)線輸送到第二生產(chǎn)線；利用第二生產(chǎn)線，它是在專利持有人允許的制造方法基礎(chǔ)上構(gòu)成的，它由多個(gè)生產(chǎn)機(jī)組構(gòu)成，給第二生產(chǎn)線設(shè)定多個(gè)處理?xiàng)l件，作為第二處理線中的處理，所述方法包括把每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底；把第二襯底組作為第二批處理；在除去保護(hù)膜后，按第二工藝處理第二襯底組，以便在每第二襯底分成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)相應(yīng)的區(qū)域中形成第二元件組；收集第二工藝中各個(gè)特定工藝步驟之間有關(guān)第二元件組的第二信息，或有關(guān)第一元件組和第二元件組組合的情況下的第一元件組和第二元件組的狀態(tài)的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互對(duì)比，以形成指示第二襯底中被識(shí)別為無(wú)缺陷的部分的地址的指示信息；把每個(gè)相應(yīng)的部分與第二襯底隔開(kāi)以形成多個(gè)功能件；在指示地址信息的基礎(chǔ)上只選擇被識(shí)別為無(wú)缺陷的功能件；組合每個(gè)選出的功能件和至少一個(gè)不是功能件的其它構(gòu)件以組成模塊；和制成其中包含該模塊的組合產(chǎn)品。
15.按權(quán)利要求3的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
16.按權(quán)利要求4的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
17.按權(quán)利要求5的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
18.按權(quán)利要求6的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
19.按權(quán)利要求7的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
20.按權(quán)利要求8的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
21.按權(quán)利要求9的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
22.按權(quán)利要求10的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
23.按權(quán)利要求11的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
24.按權(quán)利要求12的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
25.按權(quán)利要求13的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
26.按權(quán)利要求14的組合產(chǎn)品制造方法，其中，第一信息有第一質(zhì)量信息或特征信息，第二信息有第二質(zhì)量信息或特征信息，第三信息有第三質(zhì)量信息或產(chǎn)品信息。
全文摘要
提供一種用形成生產(chǎn)線的多個(gè)制造機(jī)組構(gòu)成的制造系統(tǒng)，其中，加工工件用多個(gè)工藝制成產(chǎn)品，通過(guò)防止在組合產(chǎn)品制造階段因污染造成產(chǎn)品缺陷或故障，以防止組合產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中出危險(xiǎn)。第一和第二生產(chǎn)線是在物理上或幾何結(jié)構(gòu)上相互不同，或者，所隸屬的團(tuán)體彼此不同，而且它們彼此遠(yuǎn)離地分開(kāi)安裝。在第一生產(chǎn)線中，用第一工藝加工第一襯底以在分割每個(gè)第一襯底形成的多個(gè)區(qū)域中的每個(gè)襯底中形成第一器件組，由此制成半成品。在第二生產(chǎn)線中每個(gè)第一襯底分成多個(gè)第二襯底，用第二工藝加工第二襯底，以形成第二元件組。每個(gè)第二襯底中的各個(gè)部分是分開(kāi)的，并與另一構(gòu)件組合以便形成組件。制成包括該組件的組合產(chǎn)品。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1409375SQ0215148
公開(kāi)日2003年4月9日 申請(qǐng)日期2002年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月1日
發(fā)明者山崎舜平 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所