技術編號：7188971
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，其中，工件經(jīng)過多個工藝步驟加工后制成產(chǎn)品，本發(fā)明特別涉及諸如其中有多個元件構成的多個元件組的電子設備的。 背景技術 用諸如公知的甚大規(guī)模(VLSI)集成電路的半導體集成電路構成的產(chǎn)品是用多個工藝步驟加工的結果。作為制造這種產(chǎn)品的系統(tǒng)是叫做作業(yè)系統(tǒng)的制造系統(tǒng)，一種制造設備安置在工廠中的一個地方，按相同方式設置其它設備，以形成多個機組，加工中的工件從一個機組到另一機組而制成產(chǎn)品。這種制造系統(tǒng)的特征是能制造多種不同類型的產(chǎn)品，為提高合格率，穩(wěn)定質量，...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。