專利名稱：：壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，更具體地說，本發(fā)明是關(guān)于制造以鋯鈦酸鉛為基的超薄型壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的方法。壓電陶瓷發(fā)聲器包括電送受話器、壓電蜂鳴器、壓電傳感器、壓電訊響器等，應(yīng)用范圍非常廣泛。壓電陶瓷發(fā)聲器與電容、電阻等電子元器件一樣迫切要求小型化和片式化，而實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷發(fā)聲器小型化和片式化的關(guān)鍵是能夠制得超薄(小于50微米)的陶瓷介質(zhì)。壓電陶瓷發(fā)聲器所使用的介質(zhì)通常是鋯鈦酸鉛為基的介質(zhì)材料。壓電陶瓷發(fā)聲器的傳統(tǒng)制造工藝是，按配方將原料球磨粉碎，加入粘合劑，軋膜成生坯片，在空氣中燒結(jié)，即可獲得致密瓷體。在瓷體上被電極極化后便可測(cè)試其電性能。上述制造方法的缺點(diǎn)是，軋膜法制得的陶瓷介質(zhì)無法達(dá)到足夠薄(通常大于100微米)、厚度一致性較差(造成器件電性能差異大)、生產(chǎn)效率較低、無法實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷發(fā)聲器小型化和片式化。本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種制造壓電陶瓷發(fā)聲介質(zhì)的新方法。該方法所制得的介質(zhì)不但厚度可以足夠薄(最薄可達(dá)15微米)、厚度一致性好；瓷體致密度高、電性能優(yōu)異；生產(chǎn)效率大大提高，有利于規(guī)模化生產(chǎn)；成功地實(shí)現(xiàn)了壓電陶瓷發(fā)聲器小型化和片式片。本發(fā)明的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法包括1、陶瓷介質(zhì)的配方(重量比)Pb3O4為55．0-75．0，ZrO2為11．0-23．5，TiO2為7．5-20．5，Sb2O5為0-5．0，Nb2O5為0-5．0，SrCO3為0-15．0，MgO為0-2．5，ZnO為0-2．0，Bi2O3為0-1．0，La2O3為0-2．0；2、將顆粒度0．5-2微米的上述粉料進(jìn)行濕法振磨，加入有機(jī)粘合劑，制成懸浮膠狀混合物，經(jīng)球磨后流延成膜，流延膜厚度為10-100微米；3、將上述流延成型的介質(zhì)膜疊成多層介質(zhì)體；4、將上述多層介質(zhì)體進(jìn)行軋膜，然后沖成圓片；5、將上述圓片坯體20-300片疊合整齊，平放于承燒板上，在1080-1280℃下燒結(jié)，保溫0．5-2．5小時(shí)。所述的濕法振磨使用氧化鋯球在尼龍罐中振磨1-2小時(shí)，所述的承燒板由氧化鋯制成。上述陶瓷介質(zhì)的配方采用下列三種方案1．Pb3O4為60．0-75．0，ZrO2為15．0-23．5，TiO2為7．5-18．0，Sb2O5為0．2-5．0，Nb2O5為0．2-5．0，SrCO3為0-8．0，MgO為0．2-2．5；2．Pb3O4為55．0-68．0，ZrO2為11．0-23．5，TiO2為10．0-20．5，Sb2O5為0．2-5．0，Nb2O5為0．2-5．0，SrCO3為3．0-12．0；3．Pb3O4為60．0-70．0，ZrO2為11．0-22．5，TiO2為10．0-20．5，SrCO3為0．5-8．0，Nb2O5為0．5-5．0，MgO為0．5-2．5；ZnO為0．5-2．0，Bi2O3為0-1．0，La2O3為0．2-2．0。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，有如下優(yōu)點(diǎn)1、陶瓷介質(zhì)可以制得足夠薄(最薄可達(dá)15微米)，有利于壓電陶瓷發(fā)聲器的小型化和片式化。2、陶瓷介質(zhì)厚度的一致性很好，并且可通過改變流延膜的疊層數(shù)任意選擇。3、制膜效率大大提高，有利于規(guī)?；a(chǎn)。4、陶瓷介質(zhì)致密度高，電性能優(yōu)異且一致性好。5、成本較低，主要原材料采用電容級(jí)純度即可制造出本發(fā)明的陶瓷介質(zhì)?，F(xiàn)在結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步的描述表1-3給出本發(fā)明的三組實(shí)施例共9個(gè)試樣的配方。第一組實(shí)施例(試樣1-3)具有低介電常數(shù)特性；第二組實(shí)施例(試樣4-6)具有中等介電常數(shù)特性；第三組實(shí)施例(試樣7-9)具有高介電常數(shù)特性。表1<tablesid="table1"num="001"><table>試樣編號(hào)主要成分(重量)Pb3O4ZrO2TiO2MgONb2O5Sb2O5SrCO3168．220．77．90．50．30．32．1268．218．89．50．30．60．52．1368．219．78．30．80．70．22．1</table></tables>表2<tablesid="table2"num="002"><table>試樣編號(hào)主要成分(重量)Pb3O4ZrO2TiO2Nb2O5Sb2O5SrCO3461．322．410．50．30．45．1561．322．810．10．50．25．1661．321．811．30．30．25．1</table></tables>表3<tablesid="table3"num="003"><table>試樣編號(hào)主要成分(重量)Pb3O4ZrO2TiO2MgOSrCO3ZnOBi2O3La2O3763．713．512．61．83．41．20．50．5863．712．015．11．53．41．60．30．4963．711．015．22．02．52．00．50．8</table></tables>上述配方的主要原料采用電容級(jí)純度。按上述配方將顆粒度約1微米的粉料在尼龍罐中用蒸餾水混合，用氧化鋯球振磨2小時(shí)，加入粘合劑，然后球磨8小時(shí)，制成懸浮膠狀混合物，流延成膜，流延膜的厚度為10-50微米；將上述流延膜疊成多層介質(zhì)體，再進(jìn)行軋膜，沖成圓片；將上述圓片坯體20-300片疊合整齊，平放于承燒板上，試樣1-3在1180℃下燒結(jié)，保溫1小時(shí)；試樣4-6在1220℃下燒結(jié)，保溫1小時(shí)．試樣7-9在1250℃下燒結(jié)，保溫1小時(shí)。上述各試樣的電性能在表4中示出。表4<tablesid="table4"num="004"><table>試樣編號(hào)機(jī)電耦合系數(shù)(Kp％)絕緣電阻(R109Ω)介電常數(shù)(ε33T／ε0)介電損耗(tgδ10-4)壓電常數(shù)(d13PC／N)166．55．81480120380267．46．21350140380368．25．51400120400470．55．63000160480569．86．43100150450672．76．63400120520765．55．85100180560866．06．04800200520965．86．74800160550</table></tables>權(quán)利要求1.一種壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，該方法包括(1)所述的陶瓷介質(zhì)的配方(重量比)Pb3O4為55．0-75．0，ZrO2為11．0-23．5，TiO2為7．5-20．5，Sb2O5為0-5．0，Nb2O5為0-5．0，SrCO3為0-15．0，MgO為0-2．5，ZnO為0-2．0，Bi2O3為0-1．0，La2O3為0-2．0；(2)、將顆粒度0．5-2微米的上述粉料進(jìn)行濕法振磨，加入有機(jī)粘合劑，制成懸浮膠狀混合物，經(jīng)球磨后流延成膜，流延膜厚度為10-100微米；(3)、將上述流延成型的介質(zhì)膜疊成多層介質(zhì)體；(4)、將上述多層介質(zhì)體進(jìn)行軋膜，然后沖成圓片；(5)、將上述圓片坯體20-300片疊合整齊，平放于承燒板上，在1080-1280℃下燒結(jié)，保溫0．5-2．5小時(shí)。2.如權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述的濕法振磨使用氧化鋯球在尼龍罐中振磨1-2小時(shí)。3.如權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述的承燒板由氧化鋯制成。4.如權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述介質(zhì)的配方Pb3O4為60．0-75．0，ZrO2為15．0-23．5，TiO2為7．5-18．0，Sb2O5為0．2-5．0，Nb2O5為0．2-5．0，SrCO3為0-8．0，MgO為0．2-2．5。5.如權(quán)利要求1或2或3所述的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述介質(zhì)的配方Pb3O4為55．0-68．0，ZrO2為11．0-23．5，TiO2為10．0-7．5-20．5，Sb2O5為0．2-5．0，Nb2O5為0．2-5．0，SrCO3為3．0-12．0。6.如權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法，其特征在于，所述介質(zhì)的配方Pb3O4為60．0-70．0，ZrO2為11．0-23．5，TiO2為10．0-20．5，SrCO3為0．5-8．0，Nb2O5為0．5-5．0，MgO為0．5-2．5；ZnO為0．5-2．0，Bi2O3為0-1．0，La2O3為0．2-2．0。全文摘要一種壓電陶瓷發(fā)聲器介質(zhì)的制造方法,介質(zhì)配方(重量比):Pb文檔編號(hào)H01L41/24GK1281212SQ0012384公開日2001年1月24日申請(qǐng)日期2000年8月22日優(yōu)先權(quán)日2000年8月22日發(fā)明者姜知水,李世松,田維,陳捷申請(qǐng)人:姜知水,李世松,田維,陳捷