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存儲(chǔ)陣列的制作方法

文檔序號(hào):11621677閱讀:317來源:國(guó)知局
存儲(chǔ)陣列的制造方法與工藝

本發(fā)明是有關(guān)于一種存儲(chǔ)陣列,尤其是一種存儲(chǔ)單元能夠共享深參雜區(qū)的存儲(chǔ)陣列。



背景技術(shù):

電子可重復(fù)寫入的非揮發(fā)性存儲(chǔ)器是一種在沒有電源供應(yīng)時(shí)仍然能夠保存儲(chǔ)存的信息,并且能夠允許在電路板上被重復(fù)寫入的存儲(chǔ)器。由于這種非揮發(fā)性存儲(chǔ)器所能應(yīng)用的范圍相當(dāng)廣泛,因此將非揮發(fā)性存儲(chǔ)器與其他主要電路嵌入在同一芯片的需求也日益成長(zhǎng),尤其是在對(duì)電路面積要求相當(dāng)嚴(yán)苛的個(gè)人電子裝置,隔外需要將非揮發(fā)性存儲(chǔ)器與其他電路嵌入在同一芯片中。

現(xiàn)有技術(shù)的非揮發(fā)性存儲(chǔ)器包括用來儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的浮接?xùn)艠O晶體管,以及一個(gè)或兩個(gè)用來致能浮接?xùn)艠O晶體管以執(zhí)行對(duì)應(yīng)操作的選擇晶體管。浮接?xùn)艠O的寫入操作及清除操作可由耦合組件來控制。由于在不同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元需能夠獨(dú)立控制,在不同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元通常會(huì)被設(shè)置在不同的隔離區(qū)域。然而因?yàn)榘雽?dǎo)體制程的隔離空間規(guī)則(spacingrule),不同隔離區(qū)之間的隔離空間會(huì)顯著地增加電路面積。此外,由于在隔離空間上不能設(shè)置任何組件,因此增加出來的電路面積也無法利用而造成浪費(fèi)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明之一實(shí)施例提供一種存儲(chǔ)陣列,存儲(chǔ)陣列包括多個(gè)存儲(chǔ)分頁(yè),每一存儲(chǔ)分頁(yè)包括多個(gè)存儲(chǔ)單元,每一存儲(chǔ)單元包括浮接?xùn)艠O模塊,控制組件,及清除組件。

浮接?xùn)艠O模塊包括浮接?xùn)艠O晶體管,浮接?xùn)艠O模塊根據(jù)源極線、位線及字符線控制浮接?xùn)艠O晶體管,浮接?xùn)艠O晶體管具有第一端、第二端,及浮接?xùn)艠O。

控制組件具有基極端耦接于控制線、第一端耦接于基極端、第二端耦接于基極端,及控制端耦接于浮接?xùn)艠O。

清除組件具有基極端、第一端耦接于清除線、第二端耦接于清除組件的第一端或浮接,及控制端耦接于浮接?xùn)艠O。清除組件的基極端在所述存儲(chǔ)單元的寫入操作或?qū)懭虢共僮髌陂g接收第一電壓,并在存儲(chǔ)單元的清除操作期間接收第二電壓。

浮接?xùn)艠O模塊是設(shè)置于第一井區(qū),清除組件是設(shè)置于第二井區(qū),而控制組件是設(shè)置于第三井區(qū)。第一井區(qū)、第二井區(qū)及第三井區(qū)是設(shè)置于深參雜區(qū)。多個(gè)存儲(chǔ)分頁(yè)的多個(gè)存儲(chǔ)單元是設(shè)置于相同的深參雜區(qū)。在寫入操作期間,控制線是處在第一電壓,而在清除操作期間,清除線是處在第二電壓。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列的示意圖。

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列的布局圖。

圖3為圖2中清除組件的剖面圖。

圖4為圖1的存儲(chǔ)單元在其寫入操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

圖5為圖1的存儲(chǔ)單元在其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

圖6為本發(fā)明另一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列的示意圖。

圖7為圖6的存儲(chǔ)單元在其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

圖8為本發(fā)明另一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列的示意圖。

圖9為圖8的存儲(chǔ)單元在其寫入操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

圖10為圖8的存儲(chǔ)單元在其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

圖11為本發(fā)明另一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列的示意圖。

圖12為圖11的存儲(chǔ)單元在其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

其中,附圖標(biāo)記說明如下:

10、20、30、40存儲(chǔ)陣列

mp1至mpm存儲(chǔ)分頁(yè)

1001,1至100m,n、2001,1至200m,n、存儲(chǔ)單元

3001,1至300m,n、4001,1至400m,n

110、310浮接?xùn)艠O模塊

112、312浮接?xùn)艠O晶體管

114、314源極晶體管

116位晶體管

120控制組件

130清除組件

132清除組件的基極端

134清除組件的第一端

136清除組件的第二端

138清除組件的控制端

sl1至sln源極線

bl1至bln位線

cl1至clm控制線

el0、el1至elm清除線

wl1至wlm字符線

wbl井偏壓線

dr深參雜區(qū)

pw1、pw2、pw3p型井區(qū)

aaf1、aaf2、aae1、aae2、主動(dòng)區(qū)

aac1

nw1、nw2、nwn型井區(qū)

p+p型參雜區(qū)

dnwn型深井區(qū)

vpp第一電壓

vee第二電壓

vee’第三電壓

vinh1第四電壓

vss第五電壓

vpp’第六電壓

vinh2第七電壓

具體實(shí)施方式

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列10的示意圖。存儲(chǔ)陣列10包括m個(gè)存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm。每一存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm包括n個(gè)存儲(chǔ)單元。舉例來說,存儲(chǔ)分頁(yè)mp1包括存儲(chǔ)單元1001,1及1001,n,而存儲(chǔ)分頁(yè)mpm包括存儲(chǔ)單元100m,1及100m,n。m及n為正整數(shù)。

在本發(fā)明的部分實(shí)施例中,同一存儲(chǔ)分頁(yè)中的存儲(chǔ)單元可耦接至相同的控制線、相同的清除線及相同的字符線,并耦接至相異的源極線及相異的位線。舉例來說,存儲(chǔ)分頁(yè)mp1中的存儲(chǔ)單元1001,1及1001,n會(huì)耦接至相同的控制線cl1、相同的清除線el1及相同的字符線wl1。然而存儲(chǔ)單元1001,1會(huì)耦接至源極線sl1及位線bl1,而存儲(chǔ)單元1001,n則會(huì)耦接至源極線sln及位線bln。

此外,在相異存儲(chǔ)分頁(yè)中但位于相同一行的存儲(chǔ)單元?jiǎng)t可耦接至相異的控制線、相異的清除線及相異的字符線,并可耦接至相同的源極線及相同的位線。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1及100m,1是位于相同一行但相異存儲(chǔ)分頁(yè)中的兩個(gè)存儲(chǔ)單元,而存儲(chǔ)單元1001,1及100m,1會(huì)耦接至相同的源極線sl1及相同的位線bl1。然而,存儲(chǔ)單元1001,1會(huì)耦接至控制線cl1、清除線el1及字符線wl1且存儲(chǔ)單元100m,1會(huì)耦接至控制線clm、清除線elm及字符線wlm。

在圖1中,存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n、…、及100m,1至100m,n可具有相同的結(jié)構(gòu)。每一個(gè)存儲(chǔ)單元可包括浮接?xùn)艠O模塊110、控制組件120及清除組件130。浮接?xùn)艠O模塊110可包括浮接?xùn)艠O112、源極晶體管114及位晶體管116。浮接?xùn)艠O模塊110可以根據(jù)源極線、位線及字符線來控制浮接?xùn)艠O晶體管112。

浮接?xùn)艠O晶體管112具有第一端、第二端及浮接?xùn)艠O。源極晶體管114具有第一端、第二端及控制端。源極晶體管114的第一端耦接于對(duì)應(yīng)的源極線。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1的源極晶體管114的第一端可耦接于源極線sl1,而存儲(chǔ)單元1001,n的源極晶體管114的第一端可耦接于源極線sln。源極晶體管114的第二端耦接于浮接?xùn)艠O晶體管112的第一端,而源極晶體管114的控制端可耦接至對(duì)應(yīng)的字符線wl1。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1的源極晶體管114的控制端可耦接于源極線wl1,而存儲(chǔ)單元100m,1的源極晶體管114的控制端可耦接于源極線wlm。

位晶體管116具有第一端、第二端及控制端。位晶體管116的第一端耦接于浮接?xùn)艠O晶體管112的第二端,位晶體管116的第二端耦接于對(duì)應(yīng)的位線,而位晶體管116的控制端耦接于對(duì)應(yīng)的字符線。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1的位晶體管116的第二端可耦接于位線bl1,而存儲(chǔ)單元1001,n的位晶體管116的第二端可耦接于位線bln。此外,存儲(chǔ)單元1001,1的位晶體管116的控制端可耦接于字符線wl1,而存儲(chǔ)單元100m,1的位晶體管116的控制端可耦接于字符線wlm。

控制組件120具有第一端、第二端、控制端及基極端,控制組件120的第一端及第二端耦接至基極端,控制組件120的控制端耦接至浮接?xùn)艠O晶體管112的浮接?xùn)艠O,而控制組件120的基極端耦接至對(duì)應(yīng)的控制線。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1的控制組件120的基極端可耦接于控制線cl1,而存儲(chǔ)單元100m,1的控制組件120的基極端可耦接于控制線clm。

清除組件130具有第一端、第二端、控制端及基極端。清除組件130的第一端134耦接于對(duì)應(yīng)的清除線。舉例來說,存儲(chǔ)單元1001,1的清除組件130的第一端可耦接于清除線el1,而存儲(chǔ)單元100m,1的清除組件130的第一端可耦接于清除線elm。清除組件130的第二端136可耦接至清除組件130的第一端或者浮接,清除組件130的控制端138可耦接至浮接?xùn)艠O晶體管112的浮接?xùn)艠O,而清除組件130的基極端132可耦接至井偏壓線wbl。

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列10的布局圖。存儲(chǔ)單元1001,1的浮接?xùn)艠O模塊110可設(shè)置于第一p型井區(qū)pw1的主動(dòng)區(qū)aaf1,存儲(chǔ)單元1001,1的清除組件130可設(shè)置于第一n型井區(qū)nw1的主動(dòng)區(qū)aae1,而存儲(chǔ)單元1001,1的控制組件120則可設(shè)置于第二p型井區(qū)pw2的主動(dòng)區(qū)aac1。第一p型井區(qū)pw1、第一n型井區(qū)nw1及第二p型井區(qū)pw2可設(shè)置于相同的深參雜區(qū)dr。在部分實(shí)施例中,深參雜區(qū)dr可為n型深井區(qū)(deepn-well)或n型埋層(n-typeburiedlayer)。

圖3為圖2中清除組件130的剖面圖。在圖3中,清除組件130的結(jié)構(gòu)與p型金氧半晶體管的結(jié)構(gòu)相似。也就是說,清除組件130的基極端132可為n型井區(qū)nw,清除組件130的第一端134及第二端136可為設(shè)置于n型井區(qū)nw中的兩個(gè)p型參雜區(qū)p+。在圖3中,井偏壓線wbl可直接耦接至基極端132。然而在其他實(shí)施例中,井偏壓線wbl也可例如經(jīng)由接觸點(diǎn)(contact)或是在n型井區(qū)nw中的n型參雜區(qū)來耦接至n型井區(qū)nw。浮接?xùn)艠O晶體管112的浮接?xùn)艠O可耦接至清除組件130的控制端138以形成柵極結(jié)構(gòu)。由于清除線el會(huì)耦接至清除組件130的第一端134,因此存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n、…、及100m,1至100m,n可以在其清除組件130的基極端132都耦接至相同的井偏壓線wbl的情況下,維持正確的操作。也就是說,透過耦接至相同的井偏壓線wbl,存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n、…、及100m,1至100m,n可以設(shè)置于相同的深參雜區(qū)dr。

舉例來說,在圖2中,存儲(chǔ)單元1001,n的浮接?xùn)艠O模塊110可以設(shè)置在第三p型井區(qū)pw3的主動(dòng)區(qū)aaf2,存儲(chǔ)單元1001,n的清除組件130可設(shè)置于第二n型井區(qū)nw2的主動(dòng)區(qū)aae2,而存儲(chǔ)單元1001,n的控制組件120可設(shè)置于第二p型井區(qū)pw2的主動(dòng)區(qū)aac1。然而第三p型井區(qū)pw3及第二n型井區(qū)nw2可設(shè)置在相同的深參雜區(qū)dr。

此外,雖然存儲(chǔ)單元100m,1至100m,n的浮接?xùn)艠O模塊、控制組件及清除組件可如同圖2所示設(shè)置于相異的井區(qū)當(dāng)中,但是存儲(chǔ)單元100m,1至100m,n仍然可同樣設(shè)置在深參雜區(qū)dr中。也就是說,m個(gè)存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm中的存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n、…、及100m,1至100m,n可以設(shè)置在相同的深參雜區(qū)dr中。由于存儲(chǔ)陣列10中相異的存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm可設(shè)置在同一個(gè)深參雜區(qū)dr中,深參雜區(qū)dr之間的隔離空間規(guī)則就不會(huì)造成存儲(chǔ)陣列10的面積限制,因此存儲(chǔ)陣列10的面積能夠顯著的降低。

在圖2中,位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元的控制組件120,例如位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)mp1的存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n的控制組件120,可設(shè)置于相同的第二p型井區(qū)pw2。存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n的浮接?xùn)艠O模塊110可設(shè)置在第二p型井區(qū)pw2的相對(duì)兩側(cè)的相異p型井區(qū)pw1及pw3。存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n的清除組件130也可設(shè)置在第二p型井區(qū)pw2的相對(duì)兩側(cè)的相異n型井區(qū)nw1及nw2。因此,存儲(chǔ)陣列10的布局能夠不沿著單一方向延伸,而可增加其布局安排的彈性。然而,在部分實(shí)施例中,根據(jù)實(shí)際系統(tǒng)的需求,位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元的浮接?xùn)艠O模塊110可接設(shè)置在同一個(gè)p型井區(qū)中,而位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元的清除組件130也可接設(shè)置在同一個(gè)n型井區(qū)中。

圖4為存儲(chǔ)陣列10的存儲(chǔ)單元1001,1于其寫入操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。在圖4中,第一電壓vpp可實(shí)質(zhì)上與第二電壓vee相等。第一電壓vpp可大于第三電壓vee’,第三電壓vee’可大于第四電壓vinh1,而第四電壓vinh1可大于第五電壓vss。此外,第一電壓vpp可大于第六電壓vpp’,且第六電壓vpp’可大于第五電壓vss。

在部分實(shí)施例中,第三電壓vee’與第五電壓vss之間的差值可大于第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半。第四電壓vinh1與第五電壓vss之間的差值可小于第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半,而第六電壓vpp’與第五電壓vss之間的差值可小于第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半。舉例來說,若第一電壓vpp為18v,第二電壓vee介于17v至18v,且第五電壓vss為0v,則第三電壓vee’可為13v,第四電壓vinh1可為6v,而第六電壓vpp’可為6v。

在圖4中,在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,控制線cl1可處在第一電壓vpp,清除線el1可處在第三電壓vee’,字符線wl1可處在第四電壓vinh1,源極線sl1可處在第五電壓vss,而位線bl1可處在第五電壓vss。

在此情況下,存儲(chǔ)單元1001,1的控制組件120會(huì)透過控制線cl1耦接至高電壓。源極晶體管114及位晶體管116都會(huì)被導(dǎo)通,使得存儲(chǔ)單元1001,1的浮接?xùn)艠O晶體管112的第一端及第二端會(huì)被拉至低電壓。因此施加在浮接?xùn)艠O晶體管112上的巨大電壓差將會(huì)引致福諾(fowlernordheim)電子穿隧使得電子注入浮接?xùn)艠O,使得存儲(chǔ)單元1001,1被寫入。此外。為避免存儲(chǔ)陣列10中的p型井區(qū)及n型井區(qū)之間產(chǎn)生漏電流,井偏壓線wbl可設(shè)定為不小于所有信號(hào)線中的最高電壓。在此情況下,井偏壓線wbl可處在第一電壓vpp。

再者,在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,為避免與存儲(chǔ)單元1001,1位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)mp1的存儲(chǔ)單元1001,n被寫入,存儲(chǔ)單元1001,n可在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間執(zhí)行禁止寫入操作。在存儲(chǔ)單元1001,n的禁止寫入操作期間,控制線cl1可處在第一電壓vpp,清除線el1可處在第三電壓vee',字符線wl1可處在第四電壓vinh1,源極線sln可處在第四電壓vinh1,而位線bln可處在第四電壓vinh1。

在此情況下,雖然存儲(chǔ)單元1001,n會(huì)與存儲(chǔ)單元1001,1耦接至相同的控制線cl1、清除線el1及字符線wl1,但由于存儲(chǔ)單元1001,n的源極晶體管114及位晶體管116所造成的通道抬升效應(yīng)(channelboosteffect),存儲(chǔ)單元1001,n仍不會(huì)被寫入。也就是說,浮接?xùn)艠O晶體管112的第一端及第二端的電壓會(huì)被抬升至高于第四電壓vinh1的電壓,使得存儲(chǔ)單元1001,n的浮接?xùn)艠O無法捕捉足夠的電子,因此存儲(chǔ)單元1001,n不會(huì)被寫入。此外,由于控制線cl1為第一電壓vpp,因此井偏壓線wbl在存儲(chǔ)單元1001,n的禁止寫入期間仍會(huì)維持在第一電壓vpp。

此外,在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)中的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元也不應(yīng)被寫入。因此在圖4中,耦接至未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)mpm的存儲(chǔ)單元100m,1的控制線clm可處在第六電壓vpp’,耦接至未被選定的存儲(chǔ)單元100m,1的清除線elm可處在第三電壓vee’,而耦接至未被選定的存儲(chǔ)單元100m,1的字符線wlm可處在第四電壓vinh1。

由于存儲(chǔ)單元100m,1的清除組件130的基極端會(huì)耦接至井偏壓線wbl,且此時(shí)井偏壓線wbl可處在第一電壓vpp,因此清除線elm電壓不可過低,否則清除組件130將會(huì)崩潰。同時(shí),清除線elm的電壓亦不得過高,否則存儲(chǔ)單元100m,1的浮接?xùn)艠O將會(huì)不預(yù)期地被寫入。因此在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,清除線elm可設(shè)定在第三電壓vee’。第三電壓vee’與第五電壓vss之間的差值可略大于第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半。在此情況下,清除組件130將不會(huì)崩潰,而存儲(chǔ)單元100m,1也不會(huì)被誤寫入。

此外,控制線clm的電壓不應(yīng)過低,否則存儲(chǔ)單元100m,1可能會(huì)不穩(wěn)定。因此在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,控制線clm可為第六電壓vpp’,且第六電壓vpp’與第五電壓vss之間的差值可略小第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半。在此情況下,存儲(chǔ)單元100m,1就能夠保持穩(wěn)定。

此外,由于位于同一行但不同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元會(huì)耦接至相同的源極線及位線,因此字符線wlm可處在第四電壓vinh1以減少柵極引致漏極漏電流(gate-induceddrainleakage,gidl)。舉例來說,在存儲(chǔ)單元1001,1的寫入操作期間,亦即存儲(chǔ)單元1001,n的禁止寫入操作期間,耦接至存儲(chǔ)單元100m,n的源極線sln及位線bln可都為第四電壓vinh1。此時(shí)若字符線wlm處在第五電壓vss,則第四電壓vinh1與第五電壓vss之間的大電壓差將可能導(dǎo)致存儲(chǔ)單元100m,n的源極晶體管114及位晶體管116產(chǎn)生柵極引致漏極漏電流。然而,倘若字符線wlm同樣是處在第四電壓vinh1,就可以在不影響其他存儲(chǔ)單元的操作的情況下,避免柵極引致漏極漏電流的產(chǎn)生。

圖5為存儲(chǔ)陣列10的存儲(chǔ)單元1001,1于其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。在存儲(chǔ)單元1001,1的清除操作期間,清除線el1可處在第二電壓vee,字符線wl1可處在第四電壓vinh1或第五電壓vss,源極線sl1可處在第四電壓vinh1,位線bl1可處在第四電壓vinh1,而控制線cl1可處在第五電壓vss。

在此情況下,清除線el1的高電壓可能會(huì)引致福諾穿隧,使得存儲(chǔ)單元1001,1能夠被清除。此外,在存儲(chǔ)單元1001,1的清除操作期間,由于清除線el1處在第二電壓vee,并為所有信號(hào)線中具有最高電壓者,因此井偏壓線wbl也可處在第二電壓vee。

在部分實(shí)施例中,存儲(chǔ)陣列10可整頁(yè)清除。也就是說,相同存儲(chǔ)分頁(yè)中的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mp1中的存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n,會(huì)同時(shí)被清除。在此情況下,耦接至存儲(chǔ)單元1001,1至1001,n的源極線sl1至sln及位線bl1至bln可都處在較低的電壓。舉例來說,源極線sl1至sln及位線bl1至bln可都處在第四電壓vinh1或第五電壓vss。第四電壓vinh1與第五電壓vss之間的差值可小于第二電壓vee與第五電壓vss之間的差值的一半。

此外,在存儲(chǔ)單元1001,1的清除操作期間,未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元,則不應(yīng)被清除。舉例來說,為避免未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元100m,1被清除,清除線elm的電壓不應(yīng)過高。然而,由于井偏壓線wbl會(huì)處在第二電壓vee,因此清除線elm的電壓亦不宜過低,否則存儲(chǔ)單元100m,1的清除組件130可能會(huì)崩潰。因此,在圖5中,清除線elm可處在第三電壓vee'。第三電壓vee’與第五電壓vss之間的差值可略大于第二電壓vee與第五電壓vss之間的差值的一半。

在此情況下,清除線elm的電壓就不會(huì)高到足以清除存儲(chǔ)單元100m,1,也不至于低到使清除組件130崩潰??刂凭€clm可處在第六電壓vpp’,使得存儲(chǔ)單元100m,1不會(huì)因?yàn)榍宄€elm的電壓而不預(yù)期地被寫入或清除。在圖5中,第六電壓vpp’與第五電壓vss之間的差值可小于第二電壓vee與第五電壓vss之間的差值的一半。相似地,字符線wlm、源極線sl1和位線bl1可處在相近的電壓,因此可以避免存儲(chǔ)單元100m,1因?yàn)榍宄€elm的電壓而不預(yù)期地被寫入或清除,同時(shí)也可以避免柵極引致漏極漏電流。在部分實(shí)施例中,字符線wlm、源極線sl1及位線bl1可都處在第四電壓vinh1。

在部分實(shí)施例中,存儲(chǔ)陣列也可以整個(gè)區(qū)段(sector)一起清除。也就是說,存儲(chǔ)陣列中的所有存儲(chǔ)單元都可以同時(shí)清除。圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列20的示意圖。存儲(chǔ)陣列10與存儲(chǔ)陣列20具有相似的結(jié)構(gòu)。兩者的差異主要在于存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n都會(huì)耦接至相同的清除線el0,因此存儲(chǔ)陣列20中的存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n會(huì)同時(shí)被清除。

圖7為存儲(chǔ)陣列20的存儲(chǔ)單元2001,1于其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

在存儲(chǔ)單元2001,1的清除操作期間,清除線el0可處在第二電壓vee,控制線電壓cl1可處在第五電壓vss,源極線sl1及位線bl1會(huì)同樣處在第四電壓vinh1或同樣處在第五電壓vss,而字符線wl1則會(huì)處在第四電壓vinh1或第五電壓vss。

在此情況下,清除線el0上的高電壓能夠引致福諾電子穿隧,使得存儲(chǔ)單元2001,1會(huì)被清除。為了同時(shí)清除存儲(chǔ)陣列20中的存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n,存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n可以接收到相同的控制電壓。

此外,在前述的操作過程中,存儲(chǔ)單元的寫入操作期間及禁止寫入期間,清除線el0會(huì)處在第三電壓vee’,因此存儲(chǔ)陣列20在寫入操作期間及禁止寫入期間可以與存儲(chǔ)陣列10根據(jù)相同的原理操作,如圖4所示。

如此一來,存儲(chǔ)陣列20的存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n就能夠設(shè)置在相同的深參雜區(qū)。由于存儲(chǔ)陣列20中的存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm可以設(shè)置在同一個(gè)深參雜區(qū),因此深參雜區(qū)之間的隔離空間規(guī)則就不會(huì)造成存儲(chǔ)陣列20的面積限制,因此存儲(chǔ)陣列20的面積能夠顯著的降低。此外,由于存儲(chǔ)陣列20的存儲(chǔ)單元2001,1至2001,n、…、及200m,1至200m,n會(huì)耦接至相同的清除線,因此還能夠簡(jiǎn)化控制清除線電壓的驅(qū)動(dòng)電路,進(jìn)而減少存儲(chǔ)陣列20整體所需的面積。

圖8為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列30的示意圖。存儲(chǔ)陣列10與存儲(chǔ)陣列30具有相似的結(jié)構(gòu)。兩者的差異主要在于存儲(chǔ)單元3001,1至3001,n、…、及300m,1至300m,n的浮接?xùn)艠O模塊310、控制組件120及清除組件130。

浮接?xùn)艠O模塊310包括浮接?xùn)艠O312及源極晶體管314。浮接?xùn)艠O晶體管312具有第一端、第二端及浮接?xùn)艠O。浮接?xùn)艠O晶體管312的第二端耦接于對(duì)應(yīng)的位線。舉例來說,存儲(chǔ)單元3001,1的浮接?xùn)艠O晶體管312的第二端可耦接至位線bl1,而存儲(chǔ)單元3001,n的浮接?xùn)艠O晶體管312的第二端則會(huì)耦接至位線bln。浮接?xùn)艠O晶體管312的浮接?xùn)艠O會(huì)耦接至控制組件120及清除組件130。

源極晶體管314具有第一端、第二端及控制端。源極晶體管314的第一端耦接于對(duì)應(yīng)的源極線。舉例來說,存儲(chǔ)單元3001,1的源極晶體管314的第一端會(huì)耦接至源極線sl1,而存儲(chǔ)單元3001,n的源極晶體管314的第一端會(huì)耦接至源極線sln。源極晶體管314的第二端耦接于浮接?xùn)艠O晶體管312的第一端,而源極晶體管314的控制端則會(huì)耦接至對(duì)應(yīng)的字符線。舉例來說,存儲(chǔ)單元3001,1的源極晶體管314的控制端會(huì)耦接至字符線wl1,而存儲(chǔ)單元300m,1的源極晶體管314的控制端會(huì)耦接至字符線wlm。

圖9為存儲(chǔ)陣列30的存儲(chǔ)單元3001,1于其寫入操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

在圖9中,在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間,控制線cl1可處在第一電壓vpp,清除線el1可處在第三電壓vee’,字符線wl1可處在第四電壓vinh1,源極線sl1可處在第五電壓vss,而位線bl1可處在第五電壓vss。

在此情況下,存儲(chǔ)單元3001,1的控制組件120會(huì)透過控制線cl1耦接至高電壓。源極晶體管314會(huì)被導(dǎo)通,使得存儲(chǔ)單元3001,1的浮接?xùn)艠O晶體管312的第一端及第二端會(huì)被拉至低電壓。因此施加在浮接?xùn)艠O晶體管312上的巨大電壓差將會(huì)引致福諾電子穿隧使得電子注入浮接?xùn)艠O,使得存儲(chǔ)單元3001,1被寫入。此外。為避免存儲(chǔ)陣列30中的p型井區(qū)及n型井區(qū)之間產(chǎn)生漏電流,井偏壓線wbl可設(shè)定為不小于所有信號(hào)線中的最高電壓。在此情況下,井偏壓線wbl可處在第一電壓vpp。

再者,在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間,為避免與存儲(chǔ)單元3001,1位于相同存儲(chǔ)分頁(yè)mp1的存儲(chǔ)單元3001,n被寫入,存儲(chǔ)單元3001,n可在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間執(zhí)行禁止寫入操作。在存儲(chǔ)單元3001,n的禁止寫入操作期間,控制線cl1可處在第一電壓vpp,清除線el1可處在第三電壓vee',字符線wl1可處在第四電壓vinh1,源極線sln可處在第七電壓vinh2,而位線bln可處在第七電壓vinh2。

由于浮接?xùn)艠O晶體管312的第二端會(huì)耦接至對(duì)應(yīng)的位線,因此可透過讓位元線bln具有較高的電壓來避免存儲(chǔ)單元3001,n被寫入。在此情況下,位線bln可為第七電壓vinh2。第七電壓vinh2與第五電壓vss之間的電壓差應(yīng)小于浮接?xùn)艠O晶體管312的源極/漏極的接面崩潰電壓。舉例來說,若浮接?xùn)艠O晶體管312的源極/漏極的接面崩潰電壓為9v,則第七電壓vinh2可為8v。

在此情況下,雖然存儲(chǔ)單元3001,n會(huì)與存儲(chǔ)單元3001,1耦接至相同的控制線cl1、清除線el1及字符線wl1,但由于存儲(chǔ)單元3001,n的浮接?xùn)艠O晶體管112的第一端及第二端的電壓會(huì)被抬升至較高的電壓,因此存儲(chǔ)單元3001,n仍不會(huì)被寫入。此外,由于控制線cl1為第一電壓vpp,因此井偏壓線wbl在存儲(chǔ)單元3001,n的禁止寫入期間仍會(huì)維持在第一電壓vpp。

此外,在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間,未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)中的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元也不應(yīng)被寫入。因此在圖9中,耦接至未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)mpm的存儲(chǔ)單元300m,1的控制線clm可處在第六電壓vpp’,耦接至未被選定的存儲(chǔ)單元300m,1的清除線elm可處在第三電壓vee’,而耦接至未選定的存儲(chǔ)單元300m,1的字符線wlm可處在第四電壓vinh1。在圖9中,第六電壓vpp’與第五電壓vss之間的差值可小于第一電壓vpp與第五電壓vss之間的差值的一半。

由于在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間,清除線elm可設(shè)定在第三電壓vee’,因此清除組件130將不至于崩潰,而存儲(chǔ)單元300m,1也不會(huì)被誤寫入。此外,控制線clm則m可為第六電壓vpp’,以確保存儲(chǔ)單元300m,1不會(huì)被寫入。

此外,由于位于同一行但不同存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元會(huì)耦接至相同的源極線及位線,因此字符線wlm可處在第四電壓vinh1以減少柵極引致漏極漏電流(gate-induceddrainleakage,gidl)。舉例來說,在存儲(chǔ)單元3001,1的寫入操作期間,亦即存儲(chǔ)單元3001,n的禁止寫入操作期間,耦接至存儲(chǔ)單元300m,n的源極線sln及位線bln可都為第七電壓vinh2。此時(shí)若字符線wlm處在第五電壓vss,則逆向電壓將可能導(dǎo)致存儲(chǔ)單元300m,n的源極晶體管314產(chǎn)生柵極引致漏極漏電流。然而,倘若字符線wlm同樣是處在第七電壓vinh2,就可以在不影響其他存儲(chǔ)單元的操作的情況下,避免柵極引致漏極漏電流的產(chǎn)生。

圖10為存儲(chǔ)陣列30的存儲(chǔ)單元3001,1于其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

在存儲(chǔ)單元3001,1的清除操作期間,清除線el1可處在第二電壓vee,控制線cl1可處在第五電壓vss,源極線sl1及位線bl1可同樣處在第四電壓vinh1或同樣處在第五電壓vss,而字符線wl1可處在第四電壓vinh1或第五電壓vss。

在此情況下,清除線el1的高電壓可能會(huì)引致福諾穿隧,使得存儲(chǔ)單元3001,1能夠被清除。此外,在存儲(chǔ)單元3001,1的清除操作期間,由于清除線el1處在第二電壓vee,并為所有信號(hào)線中具有最高電壓者,因此井偏壓線wbl也可處在第二電壓vee。

此外,在存儲(chǔ)單元3001,1的清除操作期間,未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元,則不應(yīng)被清除。舉例來說,為避免未被選定的存儲(chǔ)分頁(yè)mpm中的存儲(chǔ)單元300m,1被清除,清除線elm的電壓不應(yīng)過高。然而,由于井偏壓線wbl會(huì)處在第二電壓vee,因此清除線elm的電壓亦不宜過低,否則存儲(chǔ)單元300m,1的清除組件130可能會(huì)崩潰。因此,在圖10中,清除線elm可處在第三電壓vee'。

在此情況下,清除線elm的電壓就不會(huì)高到足以清除存儲(chǔ)單元300m,1,也不至于低到使清除組件130崩潰。根據(jù)清除線elm的電壓,控制線clm則可處在第六電壓vpp。在圖5中,第六電壓vpp’與第五電壓vss之間的差值可小于第二電壓vee與第五電壓vss之間的差值的一半。此外,字符線wlm、源極線sl1和位線bl1可處在相近的電壓,因此可以避免存儲(chǔ)單元300m,1因?yàn)榍宄€elm的電壓而不預(yù)期地被寫入或清除,同時(shí)也可以避免柵極引致漏極漏電流。在部分實(shí)施例中,字符線wlm、源極線sl1及位線bl1可都處在第四第電壓vinh1。由于耦接至存儲(chǔ)單元3001,1的清除線el1會(huì)處在更高的電壓,亦即第二電壓vee,而耦接至存儲(chǔ)單元3001,1的控制線cl1會(huì)處在低電壓,亦即第五第壓vss,因此在源極線sl1及位線sbl1處在第四電壓vinh1的情況下,存儲(chǔ)單元3001,1仍然可以正常清除。

此外,在部分實(shí)施例中,存儲(chǔ)陣列30可整頁(yè)清除。也就是說,相同存儲(chǔ)分頁(yè)中的存儲(chǔ)單元,例如存儲(chǔ)分頁(yè)mp1中的存儲(chǔ)單元3001,1至3001,n,會(huì)同時(shí)被清除。在此情況下,在清除操作期間,耦接至存儲(chǔ)單元3001,1至3001,n的源極線sl1至sln及位線bl1至bln可都處在第四電壓vinh1。

在部分實(shí)施例中,存儲(chǔ)陣列也可以整個(gè)區(qū)段(sector)一起清除。也就是說,存儲(chǔ)陣列中的所有存儲(chǔ)單元都可以同時(shí)清除。圖11為本發(fā)明一實(shí)施例的存儲(chǔ)陣列40的示意圖。存儲(chǔ)陣列40與存儲(chǔ)陣列30具有相似的結(jié)構(gòu)。兩者的差異主要在于存儲(chǔ)單元4001,1至4001,n、…、及400m,1至400m,n都會(huì)耦接至相同的清除線el0,因此存儲(chǔ)陣列40中的存儲(chǔ)單元4001,1至4001,n、…、及400m,1至400m,n會(huì)同時(shí)被清除。

圖12為存儲(chǔ)陣列40的存儲(chǔ)單元4001,1于其清除操作期間所接收的信號(hào)電壓示意圖。

在存儲(chǔ)單元4001,1的清除操作期間,清除線el0可處在第二電壓vee,控制線電壓cl1可處在第五電壓vss,源極線sl1及位線bl1會(huì)同樣處在第四電壓vinh1或同樣處在第五電壓vss,而字符線wl1則會(huì)處在第四電壓vinh1或第五電壓vss。在此情況下,清除線el0的高電壓將可引致福諾電子穿隧使得存儲(chǔ)單元4001,1能被清除。

由于存儲(chǔ)陣列40中的存儲(chǔ)單元4001,1至4001,n、…、及400m,1至400m,n會(huì)同時(shí)被清除,因此存儲(chǔ)單元4001,1至4001,n、…、及400m,1至400m,n可以接收到相同的控制電壓。

此外,在前述的操作過程中,存儲(chǔ)單元的寫入操作期間及禁止寫入期間,清除線el0會(huì)處在第三電壓vee’,因此存儲(chǔ)陣列40在寫入操作期間及禁止寫入期間可以與存儲(chǔ)陣列30根據(jù)相同的原理操作,如圖9所示。

如此一來,存儲(chǔ)陣列40的存儲(chǔ)單元4001,1至4001,n、…、及400m,1至400m,n就能夠設(shè)置在相同的深參雜區(qū)。由于存儲(chǔ)陣列40中的存儲(chǔ)分頁(yè)mp1至mpm可以設(shè)置在同一個(gè)深參雜區(qū),因此深參雜區(qū)之間的隔離空間規(guī)則就不會(huì)造成存儲(chǔ)陣列40的面積限制,因此存儲(chǔ)陣列40的面積能夠顯著的降低。

綜上所述,在本發(fā)明的實(shí)施例所提供的存儲(chǔ)陣列中,位于相異存儲(chǔ)陣列的存儲(chǔ)單元可設(shè)置在相同的深參雜區(qū)。由于存儲(chǔ)陣列中不同的存儲(chǔ)分頁(yè)可以設(shè)置在同一個(gè)深參雜區(qū),因此深參雜區(qū)之間的隔離空間規(guī)則就不會(huì)造成存儲(chǔ)陣列的面積限制,因此存儲(chǔ)陣列的面積能夠顯著的降低。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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