專(zhuān)利名稱(chēng)：保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，更確切地說(shuō)，涉及掩膜編程只讀存儲(chǔ)器及其在海量信息傳播中的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
“海量信息傳播”是指海量信息的海量發(fā)行?！昂Ａ啃畔ⅰ焙星д鬃止?jié)(GB)、甚至兆兆字節(jié)(TB)信息。海量信息的例子包括活動(dòng)影像(如電影、電視節(jié)目、錄像、視頻游戲等)和靜止影像(如照片、地圖等)、音頻資料(如音樂(lè)、有聲書(shū))、文字資料(如書(shū))、軟件及它們的數(shù)據(jù)庫(kù)(如電影庫(kù)、游戲庫(kù)、地圖庫(kù)、音樂(lè)庫(kù)、軟件庫(kù)等)?！昂Ａ堪l(fā)行”將海量信息發(fā)行到數(shù)十萬(wàn)、甚至數(shù)百萬(wàn)用戶(hù)(包括固定用戶(hù)及移動(dòng)用戶(hù))手中。在發(fā)行之前，海量信息需要被錄入并存儲(chǔ)在海量存儲(chǔ)器中。海量存儲(chǔ)器需要具有較小的物理尺寸、較低的錄入成本、較低的存儲(chǔ)成本和較強(qiáng)的版權(quán)保護(hù)。三維只讀存儲(chǔ)器(3-dimensional read-only memory,簡(jiǎn)稱(chēng)為3D-R0M)被認(rèn)為是海量信息傳播的理想載體。授予本發(fā)明人的中國(guó)專(zhuān)利ZL98119572. 5描述了一種3D-R0M，它是一個(gè)單片半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。如圖I所示，3D-R0M含有一個(gè)半導(dǎo)體襯底00和一個(gè)3D-R0M堆10。襯底00含有多個(gè)晶體管及其互連線(xiàn)，它們構(gòu)成周邊電路和其它功能。3D-R0M堆10含有多個(gè)相互疊置、并疊置在襯底00上的存儲(chǔ)層(如100、200)，每個(gè)三維存儲(chǔ)層(如100)含有多條地址選擇線(xiàn)(如la、…；2a、…)和存儲(chǔ)元(如5aa、…)。每個(gè)存儲(chǔ)元(如5aa)位于兩條地址選擇線(xiàn)(如Ia和2a)的交叉處。接觸通道口(如lav、3av···)為存儲(chǔ)層(如100,200)和襯底電路00之間提供電連接?；跀?shù)據(jù)錄入的方法3D-R0M可以分為兩類(lèi)電編程3D-R0M (簡(jiǎn)稱(chēng)為3D-EPR0M)和掩膜編程3D-R0M (簡(jiǎn)稱(chēng)為3Dm_R0M，在以前專(zhuān)利和專(zhuān)利申請(qǐng)中簡(jiǎn)稱(chēng)為3D-MPR0M)。3D-EPR0M是指通過(guò)電方式錄入數(shù)據(jù)的3D-R0M。3D-EPR0M的例子包括三維一次編程存儲(chǔ)器(3D-0TP)和三維多次編程存儲(chǔ)器(3D-RW)等。圖2描述了一種3D-EPR0M存儲(chǔ)元5e。它含有一二極管膜7d和一反熔絲膜7a。二極管膜7d在一個(gè)電流方向上的電阻大于相反電流方向上的電阻。反熔絲膜7a在編程前是一層絕緣膜，編程時(shí)被擊穿并變導(dǎo)通。反熔絲膜7a的完整性代表存儲(chǔ)元的狀態(tài)。3Dm-R0M是指在生產(chǎn)過(guò)程中通過(guò)掩膜版定義數(shù)據(jù)的3D-R0M。圖3A和圖3B描述了兩種3Dm-R0M存儲(chǔ)元5m0、5ml。圖3A中的存儲(chǔ)元5m0代表數(shù)碼“O”。它含有一阻攔介質(zhì)膜7b，該阻攔介質(zhì)膜7b將地址選擇線(xiàn)Ia和2a分離。圖3B中的存儲(chǔ)元5ml代表數(shù)碼“ I”。其阻攔介質(zhì)膜7b中含有一通道孔7c，該通道孔7c將地址選擇線(xiàn)Ia和2a耦合。在本發(fā)明中，術(shù)語(yǔ)“批次”是指由采用同一組掩膜版錄入數(shù)據(jù)的所有存儲(chǔ)器。例如說(shuō)，在同一 3Dm-R0M批次中，每個(gè)3Dm-R0M均采用同一組掩膜版錄入數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)相同數(shù)據(jù)。 在3D-R0M的研發(fā)過(guò)程中，3D-EPR0M—直被認(rèn)為是最有希望的發(fā)展方向；而3Dm-R0M僅被認(rèn)為是常規(guī)掩膜編程存儲(chǔ)器一個(gè)變種，屬于即將淘汰的技術(shù)。但是，由于3D-EPR0M是一種基于二極管的矩陣型存儲(chǔ)器，其寫(xiě)速度很慢( 1.5MB/S，參見(jiàn)“Sandisk3D_0TP Memory Specifications”),因而需要長(zhǎng)時(shí)間錄入海量信息，如需要 3小時(shí)才能錄入一部高清電影( 20GB)。長(zhǎng)錄入時(shí)間及其導(dǎo)致的高錄入成本使3D-EPR0M不適
于海量信息傳播。另一方面，3Dm-R0M對(duì)其所存信息提供的版權(quán)保護(hù)弱于3D-EPR0M。由于在同一3Dm-R0M批次中所有3Dm_R0M均存儲(chǔ)相同數(shù)據(jù)，因此即使這些數(shù)據(jù)是加密的，它們的密鑰也 是相同的。一旦一個(gè)3Dm-R0M的密鑰被破解，那么在該3Dm_R0M批次中其它所有3Dm_R0M的保密性都會(huì)受到威脅。該情況已在光學(xué)存儲(chǔ)中發(fā)生過(guò)，即DeCSS程序?qū)VD加密的破解。與3Dm-R0M不同，3D-EPR0M的數(shù)據(jù)可以單獨(dú)寫(xiě)入，這樣可以用不同密鑰對(duì)它所存的信息加密。因此即使一個(gè)3D-EPR0M的密鑰被破解，其它存儲(chǔ)同樣信息的3D-EPR0M的保密性也不會(huì)受到威脅。綜上所述，以往技術(shù)未能指出適于海量信息傳播的3D-R0M，更未能為其提供相應(yīng)的強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。為了克服這些缺陷，本發(fā)明提出一保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(secure3Dm-R0M,簡(jiǎn)稱(chēng)為 3Dm_R0Ms)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種適合海量信息傳播的三維只讀存儲(chǔ)器。本發(fā)明的另一目的是為該種三維只讀存儲(chǔ)器提供相應(yīng)的強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。根據(jù)這些以及別的目的，本發(fā)明提供了一種保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(3Dm-R0Ms)。3D-ERP0M以電方式“寫(xiě)”數(shù)據(jù)。由于其寫(xiě)速度很慢( I. 5MB/s)，它需要長(zhǎng)時(shí)間錄入海量信息，如需要 3小時(shí)才能錄入一部高清電影( 20GB)。這個(gè)根本性的缺陷導(dǎo)致3D-EPR0M不適于海量信息傳播。與3D-EPR0M不同，3Dm-R0M以光方式“印”數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)圖像在光刻過(guò)程中通過(guò)掩膜版轉(zhuǎn)移到3Dm-R0M中。光刻可以在大量芯片中迅速、經(jīng)濟(jì)地復(fù)制數(shù)據(jù)圖像。例如， 20GB的數(shù)據(jù)(一部高清電影的數(shù)據(jù)量)可以在一個(gè)光刻步驟中印到數(shù)百個(gè)芯片中。光刻一這種大規(guī)模工業(yè)化的印刷技術(shù)一使3Dm-R0M更適于海量信息傳播。本行業(yè)的專(zhuān)業(yè)人士可能會(huì)對(duì)上述結(jié)論-3Dm-R0M比3D-EPR0M更適于海量信息傳播一感到驚訝。其實(shí)，通過(guò)回顧光學(xué)存儲(chǔ)，該結(jié)論并不難以理解。現(xiàn)今，電影一般以藍(lán)光只讀碟(BD)的方式發(fā)行，而不是以藍(lán)光可錄入碟(BD-R或BD-RE)的方式發(fā)行。這是因?yàn)锽D是通過(guò)母碟壓印錄入數(shù)據(jù)，因此可以大量、經(jīng)濟(jì)地復(fù)制電影數(shù)據(jù)；而B(niǎo)D-R和BD-RE是以寫(xiě)方式錄入數(shù)據(jù)，需要較長(zhǎng)時(shí)間( 20分鐘)才能錄入一部高清電影，這使它不適合海量發(fā)行?？偠灾?，與傳統(tǒng)的出版發(fā)行(如紙質(zhì)出版)類(lèi)似，在半導(dǎo)體存儲(chǔ)和光學(xué)存儲(chǔ)中，“印”比“寫(xiě)”更適于海量信息傳播。作為海量信息傳播的載體，3Dm-R0M需要對(duì)其所存信息提供強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。相應(yīng)地，本發(fā)明提出一保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(3Dm-R0Ms)。它含有一 3Dm_R0M、一非掩膜編程存儲(chǔ)器(NMP)和一加密邏輯。3Dm-R0M存儲(chǔ)海量信息。NMP存儲(chǔ)密鑰，它是一非易失性存儲(chǔ)器(NVM)，且不通過(guò)掩膜編程方式錄入數(shù)據(jù)，而采用光、電、磁等方式寫(xiě)數(shù)據(jù)。加密邏輯將海量信息的數(shù)據(jù)通過(guò)密鑰加密。通過(guò)在不同的NMP中寫(xiě)入不同的密鑰，并用不同的密鑰對(duì)3Dm-R0M中所存的信息加密，以實(shí)現(xiàn)強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。這樣，即使一個(gè)3Dm_R0Ms的密鑰被破解，其它存儲(chǔ)同樣信息的3Dm-R0Ms的保密性也不會(huì)受到成脅?？偟恼f(shuō)來(lái)，3Dm-R0Ms提供的版權(quán)保護(hù)強(qiáng)于3Dm-R0M，與3D-EPR0M相當(dāng)。注意到，雖然它們都采用印錄入方式，3Dm-R0Ms對(duì)海量信息的版權(quán)保護(hù)強(qiáng)于光學(xué)存儲(chǔ)(如DVD、BD)。


圖I是一種三維只讀存儲(chǔ)器(3D-R0M)的截面圖(以往技術(shù))。圖2是一種電編程3D-R0M(3D_EPR0M)存儲(chǔ)元的截面圖(以往技術(shù))。圖3A和圖3B是兩種分別代表“O”和“I”的掩膜編程3D-R0M(3Dm_R0M)存儲(chǔ)元的截面圖(以往技術(shù))。圖4是一種保密型3Dm-R0M (3Dm_R0Ms)的框圖。圖5是另一種3Dm_R0Ms的框圖。圖6是一種3Dm_R0Ms芯片的截面圖。圖7是該3Dm-R0Ms芯片的頂視圖，它僅顯示3Dm_R0M陣列及其周邊電路。圖8A-圖8C描述圖7中3Dm_R0Ms芯片在除去3Dm_R0M陣列后的多種襯底布局框
圖。
圖9是一種3Dm_R0Ms模塊的截面圖。圖10AA-圖IOBB描述兩種圖9中3Dm_R0Ms模塊的3Dm_R0M芯片和支持芯片。
具體實(shí)施例方式圖4描述一種保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(3Dm_R0Ms)50。它含有一3Dm-R0M20、一非掩膜編程存儲(chǔ)器(NMP) 30和一加密邏輯40。3Dm_R0M 20存儲(chǔ)海量信息。NMP30存儲(chǔ)密鑰。加密邏輯40將海量信息的數(shù)據(jù)22通過(guò)密鑰32加密，其讀出數(shù)據(jù)42是3Dm-R0Ms的輸出。NMP 30是一非易失性存儲(chǔ)器(NVM)，且不通過(guò)掩膜編程方式錄入數(shù)據(jù)，而采用光、電、磁等方式寫(xiě)數(shù)據(jù)。密鑰可以在生產(chǎn)過(guò)程中或生產(chǎn)過(guò)程后寫(xiě)入NMP中。NMP的例子包括激光編程只讀存儲(chǔ)器(laser-programmable ROM，簡(jiǎn)稱(chēng)為L(zhǎng)P-R0M)和電寫(xiě)入存儲(chǔ)器。這里，電寫(xiě)入存儲(chǔ)器包括可編程只讀存儲(chǔ)器(PR0M，如基于反熔絲的PR0M、基于熔絲的PR0M)、電編程只讀存儲(chǔ)器(EPR0M，包括3D-EPR0M)、電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器(E2PROM,包括快閃)。加密邏輯40以某種特殊的算法改變信息數(shù)據(jù)22，使得未授權(quán)的用戶(hù)即使獲得了已加密的信息，但因不知解密的方法(如密鑰)，仍然無(wú)法了解信息的內(nèi)容。加密算法可以采用PGP、AES、DES、Blowfish等。加密邏輯40也可以是一種數(shù)據(jù)加擾器，它根據(jù)密鑰32定義的模式對(duì)信息數(shù)據(jù)22進(jìn)行排序。為了提高加密邏輯40的效率，可以只對(duì)部分信息數(shù)據(jù)22加密。在同一 3Dm-R0Ms批次中，其3Dm_R0M存儲(chǔ)相同的數(shù)據(jù)。通過(guò)在不同的NMP中寫(xiě)入不同的密鑰，并用不同的密鑰對(duì)3Dm-R0M中所存的信息加密，以實(shí)現(xiàn)強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。例如說(shuō)，兩個(gè)3Dm-R0Ms (A和B)的3Dm_R0M中均存儲(chǔ)相同信息，但它們的NMP存儲(chǔ)不同密鑰。這樣，即使一個(gè)3Dm-R0Ms的密鑰(如A)被破解，其它存儲(chǔ)同樣信息的3Dm_R0Ms (如B)的保密性也不會(huì)受到威脅。總的說(shuō)來(lái)，3Dm-R0Ms提供的版權(quán)保護(hù)強(qiáng)于3Dm_R0M，與3D-EPR0M相當(dāng)。注意到，雖然它們都采用印錄入方式3Dm-R0Ms對(duì)海量信息的版權(quán)保護(hù)強(qiáng)于光學(xué)存儲(chǔ)(如DVD、BD)。
圖5描述了另一種3Dm_R0Ms 50。它通過(guò)文件相關(guān)加密和時(shí)間相關(guān)加密來(lái)進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)海量信息的版權(quán)保護(hù)。圖5中的實(shí)施例含有一 3Dm-R0M 20、一 NMP 30、一密鑰選擇邏輯34和一加密邏輯40。3Dm-R0M 20存儲(chǔ)至少一個(gè)數(shù)據(jù)文件22a... ；NMP 30存儲(chǔ)多個(gè)密鑰32a、32b···。密鑰選擇邏輯34基于輸入36(如文件地址、時(shí)間或別的信息)來(lái)選擇密鑰。當(dāng)基于文件地址選擇密鑰時(shí)，不同的數(shù)據(jù)文件可以通過(guò)不同密鑰加密。例如說(shuō)，數(shù)據(jù)文件22a通過(guò)密鑰32a加密，數(shù)據(jù)文件22b通過(guò)密鑰32b加密等。當(dāng)基于時(shí)間選擇密鑰時(shí)，數(shù)據(jù)文件可以在不同時(shí)間段通過(guò)不同密鑰加密。例如說(shuō)，在時(shí)間段A數(shù)據(jù)文件22a通過(guò)密鑰32a加密，在時(shí)間段B數(shù)據(jù)文件22a通過(guò)密鑰32c加密等。這些新的功能使破解3Dm-R0Ms變得更加困難，因而進(jìn)一步加強(qiáng)了其版權(quán)保護(hù)。圖6是一種3Dm-R0Ms芯片50C的截面圖。在該實(shí)施例中，3Dm_R0M 20、NMP 30和加密邏輯40集成在一個(gè)芯片里面。由于所有的數(shù)據(jù)連接都位于芯片50C內(nèi)，數(shù)據(jù)流不易被監(jiān)聽(tīng)，因此該實(shí)施例能提供強(qiáng)大的版權(quán)保護(hù)。這里，3Dm-R0M陣列20位于襯底00之上并通過(guò)多個(gè)接觸通道孔(lav、3av…)與襯底00耦合，它含有多個(gè)存儲(chǔ)層(100、20(>")。30111-1 0皿可采用多位元來(lái)提高存儲(chǔ)密度(參見(jiàn)發(fā)明名稱(chēng)為“多位元三維掩膜編程存儲(chǔ)器”、申請(qǐng)?zhí)枮?01010194950. 4的中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng))，即通過(guò)增加電阻膜7x或注入電阻元素7y以實(shí)現(xiàn)每個(gè)存儲(chǔ)元(如8aa-8da···)存儲(chǔ)多個(gè)數(shù)據(jù)位的目的。3Dm_R0M還可以采用混合層結(jié)構(gòu)來(lái)提高存儲(chǔ)密度(參見(jiàn)發(fā)明名稱(chēng)為“混合層三維存儲(chǔ)器”、申請(qǐng)?zhí)枮?00610162698. 2的中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng))，即地址選擇線(xiàn)(如2a-2d···)被相鄰存儲(chǔ)層(如100和200)共享。在F = 20nm的技術(shù)節(jié)點(diǎn)，一個(gè)含有8個(gè)存儲(chǔ)層、每個(gè)存儲(chǔ)元存儲(chǔ)2個(gè)數(shù)據(jù)位的3Dm-R0M，其存儲(chǔ)密度可以達(dá)到存儲(chǔ)層的數(shù)目*每個(gè)存儲(chǔ)元存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)位/4F2 = 8*2/(4*20nm2) = lTb/cm2。在圖6的3Dm-R0Ms芯片50C中，NMP 30和加密邏輯40最好比3Dm_R0M陣列20更接近襯底00，即在生產(chǎn)過(guò)程中，它們先于3Dm-R0M陣列20形成。由于其基本組成單元是晶體管33，因此至少部分NMP 30和加密邏輯40位于襯底00里。這里，“襯底里”可以理解為“襯底里”或“襯底上”。在該實(shí)施例中，NMP 30是一激光編程只讀存儲(chǔ)器(LP-ROM)。它含有一個(gè)激光編程熔絲35，該熔絲35可以在生產(chǎn)過(guò)程中被編程(如在形成3Dm-R0M陣列之前)。通過(guò)向其照射激光，熔絲35中會(huì)形成一個(gè)間隙37。該間隙37的存在與否決定了LP-ROM存儲(chǔ)元的狀態(tài)。由于LP-ROM不需要高電壓編程晶體管，其引入對(duì)工藝影響極小，因此它是NMP的首選之一。圖7是該3Dm-R0Ms芯片50C的頂視圖，它顯示了一個(gè)3Dm_R0M陣列20A(斜線(xiàn)部分)及其周邊電路28。圖8A-圖8C描述該3Dm-R0Ms芯片50C在除去3Dm_R0M陣列20A后的多種襯底布局框圖。在圖8A中，NMP 30A和加密邏輯40位于襯底00上，但位于3Dm_R0M陣列20A之外。在圖8B中，NMP 30A位于3Dm_R0M陣列20A下方，加密邏輯40位于3Dm_R0M陣列20A之外，它可以被多個(gè)3Dm-R0M陣列共享。在圖8C中，NMP30A和加密邏輯40A均位于3Dm-R0M陣列20A下方。在圖8B和圖8C中，至少NMP 30A位于3Dm_R0M陣列20A下方。 為了探知NMP 30A中存儲(chǔ)的密鑰，需要將3Dm-R0M陣列20A剝離，這使盜版失去了意義。這里，圖7-圖8C和圖10AA-圖IOBB僅是示意圖，它們不代表任何實(shí)際的版圖。實(shí)際的版圖需要根據(jù)設(shè)計(jì)來(lái)決定，并有很多可能。圖9是一種3Dm-R0Ms模塊50M的截面圖。在該實(shí)施例中，3Dm_R0M 20、NMP 30和加密邏輯40集成到一個(gè)保護(hù)性封裝50M中。它含有至少一個(gè)3Dm-ROM芯片52A...和一個(gè)支持芯片54。每個(gè)3Dm-ROM芯片(如52A)含有多個(gè)存儲(chǔ)層。支持芯片54可以是控制芯片。所有這些芯片(52A…、54)最好堆疊在一起，通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)56相互耦合，然后被放置在一個(gè)保護(hù)性外殼58中。該保護(hù)性外殼58內(nèi)充填了如模壓樹(shù)脂等的保護(hù)性材料59。圖10AA-圖IOBB描述兩種3Dm_R0Ms模塊50M中的3Dm_R0M芯片52A和支持芯片54。在圖IOAA和圖IOAB中，3Dm_R0M芯片52A含有至少一 3Dm_R0M陣列20x(斜線(xiàn)部分)和至少一 NMP陣列30x。NMP陣列30x位于3Dm_R0M陣列20x下方(圖10AA)。同時(shí)，支持芯片54含有加密邏輯40 (圖10AB)。在圖IOBA和圖IOBB中，3Dm_R0M芯片52A含有至少一 3Dm-R0M陣列20y (圖10BA)，支持芯片54含有至少一 NMP陣列30y和加密邏輯40 (圖10BB)。在上述實(shí)施例中，由于3Dm-R0M、NMP和加密邏輯位于一個(gè)保護(hù)性封裝50M中，該實(shí)施例能提供較強(qiáng)的版權(quán)保護(hù)。 雖然以上說(shuō)明書(shū)具體描述了本發(fā)明的一些實(shí)例，熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，在不遠(yuǎn)離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可以對(duì)本發(fā)明的形式和細(xì)節(jié)進(jìn)行改動(dòng)。例如說(shuō)，3D-R0M不僅可以基于二極管，也可以基于晶體管。這并不妨礙它們應(yīng)用本發(fā)明的精神。因此，除了根據(jù)附加的權(quán)利要求書(shū)的精神，本發(fā)明不應(yīng)受到任何限制。
權(quán)利要求
1.一種保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(50)，其特征在于含有 一三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(20)，該三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器存儲(chǔ)海量信息； 一非掩膜編程存儲(chǔ)器(30)，該非掩膜編程存儲(chǔ)器存儲(chǔ)密鑰；和 一加密邏輯(40)，該加密邏輯通過(guò)密鑰對(duì)海量信息的數(shù)據(jù)加密。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器，其特征還在于含有一密鑰選擇邏輯(34)，該密鑰選擇邏輯從非掩膜編程存儲(chǔ)器存儲(chǔ)的密鑰中選擇密鑰。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器，其特征還在于所述非掩膜編程存儲(chǔ)器是一不采用掩膜編程方式錄入數(shù)據(jù)的非易失性存儲(chǔ)器。
4.一種保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片(50C)，其特征在于含有 一含有晶體管(33)的半導(dǎo)體襯底(00)； 一堆疊在該襯底上并與之耦合的三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(20)； 一非掩膜編程存儲(chǔ)器(30)，該非掩膜編程存儲(chǔ)器存儲(chǔ)密鑰；和 一加密邏輯(40)，該加密邏輯通過(guò)密鑰對(duì)三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)加密。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片，其特征還在于所述非掩膜編程存儲(chǔ)器和所述加密邏輯比所述三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器更接近所述襯底。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片，其特征還在于所述非掩膜編程存儲(chǔ)器和/或所述加密邏輯位于所述襯底里。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片，其特征還在于所述非掩膜編程存儲(chǔ)器和/或所述加密邏輯位于所述三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器下方。
8.一種保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器模塊(50M)，其特征在于含有 至少一個(gè)三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片(52A)； 一非掩膜編程存儲(chǔ)器(30)，該非掩膜編程存儲(chǔ)器存儲(chǔ)密鑰；和一支持芯片(54)，該支持芯片含有一加密邏輯(40)，該加密邏輯通過(guò)密鑰對(duì)三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)加密。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器模塊，其特征還在于所述三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器芯片含有所述非掩膜編程存儲(chǔ)器。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器模塊，其特征還在于所述支持芯片含有所述非掩膜編程存儲(chǔ)器。
全文摘要
保密型三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器。本發(fā)明扭轉(zhuǎn)了對(duì)掩膜編程只讀存儲(chǔ)器的常規(guī)看法，提出三維掩膜編程只讀存儲(chǔ)器(3Dm-ROM)更適于海量信息傳播。保密型3Dm-ROM(3Dm-ROMS)含有一存儲(chǔ)海量信息的3Dm-ROM、一存儲(chǔ)密鑰的非掩膜編程存儲(chǔ)器(NMP)和一加密邏輯。通過(guò)在不同的NMP中寫(xiě)入不同的密鑰，并用不同的密鑰對(duì)3Dm-ROM中所存的信息加密，以實(shí)現(xiàn)強(qiáng)版權(quán)保護(hù)。
文檔編號(hào)G11C16/06GK102637457SQ20111004219
公開(kāi)日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者張國(guó)飆 申請(qǐng)人:張國(guó)飆