專利名稱：半導(dǎo)體裝置及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置，更具體地涉及半導(dǎo)體裝置中的泵浦電壓(pumping voltage)的產(chǎn)生。
背景技術(shù)：
通常，半導(dǎo)體裝置對(duì)用作電源的外部電壓進(jìn)行升壓，產(chǎn)生高電壓，并在內(nèi)部電路 中使用所產(chǎn)生的高電壓。為此目的，半導(dǎo)體裝置具有電壓泵浦電路(voltage pumping circuit)，用于由外部電壓來(lái)產(chǎn)生高電壓。由泵浦電路產(chǎn)生的高電壓被稱為泵浦電壓。圖1是現(xiàn)有的泵浦電路的結(jié)構(gòu)的示意圖。參見(jiàn)圖1，現(xiàn)有的泵浦電路包括電壓檢測(cè) 單元10、振蕩器20、分割單元30(split unit)、和電壓泵(vol tag印ump) 40。電壓檢測(cè)單元 10將泵浦電壓VPP的電平與基準(zhǔn)電壓Vref的電平進(jìn)行比較，并產(chǎn)生使能信號(hào)0SCEN。當(dāng)使 能信號(hào)OSCEN被使能時(shí)，振蕩器20產(chǎn)生周期信號(hào)0SCPRE。分割單元30將周期信號(hào)OSCPRE 分割為多個(gè)泵控制信號(hào)(pump control signal) OSCXl :n>。電壓泵40包括多個(gè)泵，并響應(yīng) 于分割單元30所產(chǎn)生的多個(gè)泵控制信號(hào)0SCX1 :n>執(zhí)行泵浦操作(pumping operation)。 在上述結(jié)構(gòu)的泵浦電路中，當(dāng)泵浦電壓VPP的電平低于基準(zhǔn)電壓Vref的電平時(shí)，通過(guò)泵浦 操作來(lái)提高泵浦電壓VPP的電平，直至泵浦電壓VPP達(dá)到目標(biāo)電壓電平為止。圖2示意性地示出了應(yīng)用于多芯片半導(dǎo)體裝置的圖1所示的泵浦電路。參見(jiàn)圖2， 多芯片半導(dǎo)體裝置包括第一至第八芯片cl至c8，所述第一至第八芯片cl至c8被堆疊為構(gòu) 成單個(gè)半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置。如圖2所示，第一至第八芯片cl至c8中的每個(gè)都具有它自己的 如圖1所示的泵浦電路。如果泵浦電壓VPP的電平變得低于目標(biāo)電壓電平，則第一至第八 芯片cl至c8中的每一個(gè)都利用包含在它自身芯片中的泵浦電路來(lái)提高它的泵浦電壓VPP 的電平。各個(gè)芯片通過(guò)導(dǎo)線或貫穿硅通孔(TSV)來(lái)共享泵浦電壓VPP。圖3是圖2所示的半導(dǎo)體裝置的操作的時(shí)序圖。如圖3所示，如果泵浦電壓VPP 的電平變得低于基準(zhǔn)電壓Vref的電平，并且使能信號(hào)OSCEN被使能，則第一至第八芯片cl 至c8的泵響應(yīng)于多個(gè)泵控制信號(hào)0SCX1 :n>_cl至0SCX1 :n>_c8而同時(shí)工作。在圖3中，當(dāng)
使能信號(hào)OSCEN被使能時(shí)，在分別構(gòu)成第一至第八芯片cl至c8的電壓泵14J4.....84的
那些泵之中的一個(gè)泵可以響應(yīng)于泵控制信號(hào)0SC<l>_cl至0SC<l>_c8而同時(shí)工作，而在分
別構(gòu)成第一至第八芯片cl至c8的電壓泵14J4.....84的那些泵中的兩個(gè)泵可以響應(yīng)于
泵控制信號(hào)0SC<l>_cl至0SC<l>_c8以及0SC<2>_cl至0SC<2>_c8而同時(shí)工作。就這點(diǎn)而 言，如果第一至第八芯片cl至c8中的泵同時(shí)工作，則產(chǎn)生的泵浦電壓VPP的電平可能顯著 超過(guò)目標(biāo)電壓電平。此外，即使通過(guò)導(dǎo)線來(lái)共享泵浦電壓，所有的芯片也都應(yīng)當(dāng)配備有檢測(cè) 泵浦電壓VPP的電平的電路

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，提供一種半導(dǎo)體裝置，包括多個(gè)泵控制單元，所述多 個(gè)泵控制單元分別位于多個(gè)芯片中并通過(guò)第一 TSV串聯(lián)連接，并被配置為將周期信號(hào)順序 地延遲、傳送延遲周期信號(hào)、并基于所述周期信號(hào)或所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵控制信號(hào)； 以及多個(gè)電壓泵單元，所述多個(gè)電壓泵單元分別位于所述多個(gè)芯片中，并被配置為響應(yīng)于 從所述多個(gè)泵控制單元產(chǎn)生的所述泵控制信號(hào)，產(chǎn)生泵浦電壓。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，提供一種用于控制半導(dǎo)體裝置的方法，包括以下步 驟通過(guò)TSV將延遲周期信號(hào)傳送到多個(gè)芯片，所述延遲周期信號(hào)是通過(guò)將周期信號(hào)順序 地延遲預(yù)定的時(shí)間而獲得的；在所述多個(gè)芯片中，根據(jù)通過(guò)TSV傳送的所述延遲周期信號(hào)， 來(lái)產(chǎn)生泵控制信號(hào)；響應(yīng)于所述泵控制信號(hào)，產(chǎn)生泵浦電壓。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，提供一種具有第一芯片和第二芯片的半導(dǎo)體裝置， 包括第一泵控制單元，所述第一泵控制單元位于所述第一芯片中，并被配置為接收周期信 號(hào)、通過(guò)將所述周期信號(hào)延遲預(yù)定的時(shí)間來(lái)產(chǎn)生延遲周期信號(hào)、并基于所述周期信號(hào)產(chǎn)生 第一芯片泵控制信號(hào)；第一電壓泵單元，所述第一電壓泵單元被配置為響應(yīng)于所述第一芯 片泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵浦電壓；第二泵控制單元，所述第二泵控制單元位于所述第二芯片 中，并被配置為基于所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生第二芯片泵控制信號(hào)；以及第二電壓泵單元， 所述第二電壓泵單元被配置為響應(yīng)于所述第二芯片泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵浦電壓。


下面結(jié)合附圖描述本發(fā)明的特征、方面、和實(shí)施例，在附圖中圖1是現(xiàn)有的泵浦電路的結(jié)構(gòu)的電路示意圖；圖2示意性示出了應(yīng)用于多芯片半導(dǎo)體裝置的圖1所示的泵浦電路；圖3是圖2所示的半導(dǎo)體裝置的操作的時(shí)序圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)的電路示意圖；圖5是圖4所示的第一泵控制單元的結(jié)構(gòu)的示意性框圖；以及圖6是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的操作的時(shí)序圖。
具體實(shí)施例方式在下文，將參考附圖并結(jié)合優(yōu)選的實(shí)施例來(lái)描述根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置及其控 制方法。圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)的電路示意圖。參見(jiàn)圖4， 多個(gè)芯片被堆疊為構(gòu)成單個(gè)半導(dǎo)體裝置1。多個(gè)芯片可以通過(guò)貫穿硅通孔(TSV)彼此電連接。盡管圖4所示的是第一至第三芯片Cl至c3被堆疊為構(gòu)成半導(dǎo)體裝置1，但是堆 疊的芯片的數(shù)量不受限制。第一至第三芯片cl至c3可以分別具有泵控制單元110、210和 310以及電壓泵單元120、220和320。在圖4中，第一芯片cl包括第一泵控制單元110和 第一電壓泵單元120，第二芯片c2包括第二泵控制單元210和第二電壓泵單元220，以及第 三芯片c3包括第三泵控制單元310和第三電壓泵單元320。
第一至第三泵控制單元110、210和310通過(guò)第一 TSV TSVl彼此串聯(lián)連接。第一 至第三泵控制單元110、210和310將周期信號(hào)0SCPRE0順序地延遲預(yù)定的時(shí)間。因此，第 一泵控制單元Iio將周期信號(hào)0SCPRE0延遲，產(chǎn)生第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1，并將第一 延遲周期信號(hào)0SCPRE1傳送到第一 TSV TSVl0第二泵控制單元210將第一延遲周期信號(hào) OSCPRE1延遲，產(chǎn)生第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2，并將第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2傳送到第 一 TSV TSVl0第三泵控制單元310從第一 TSV TSVl接收第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2。第一泵控制單元110基于周期信號(hào)0SCPRE0產(chǎn)生第一芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_ cl。第一電壓泵單元120響應(yīng)于第一芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_cl執(zhí)行泵浦操作，并產(chǎn)生泵 浦電壓VPP。第二泵控制單元210基于第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1產(chǎn)生第二芯片泵控制信 號(hào)OSCXl :n>_c2。第二電壓泵單元220響應(yīng)于第二芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c2執(zhí)行泵浦 操作，并產(chǎn)生泵浦電壓VPP。類似地，第三泵控制單元310基于第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2 產(chǎn)生第三芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c3。第三電壓泵單元320響應(yīng)于第三芯片泵控制信號(hào) 0SC<l:n>_c3執(zhí)行泵浦操作，并產(chǎn)生泵浦電壓VPP。第一至第三電壓泵單元120、220和320 的輸出端通過(guò)第二 TSV TSV2連接。因此，第一至第三芯片cl至c3可以通過(guò)第二 TSV TSV2 共享泵浦電壓VPP。此外，第一至第三電壓泵單元120、220和320中的每一個(gè)可以由多個(gè)泵 構(gòu)成，例如，由η個(gè)泵構(gòu)成。從第一至第三泵控制單元110、210和310產(chǎn)生的第一至第三芯 片泵控制信號(hào)0SC< 1 n>_c 1、0SC< 1 n>_c2和0SC< 1 n>_c3可以分別具有η個(gè)信號(hào)。由于周期信號(hào)0SCPRE0、第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1和第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2 通過(guò)第一 TSV TSVl來(lái)傳送并通過(guò)第一至第三泵控制單元110、210和310順序地被延遲預(yù) 定的時(shí)間，因此，從第一至第三泵控制單元110、210和310產(chǎn)生的第一至第三芯片泵控制信 號(hào)0SC<l:n>_cl、0SC<l:n>_c2和0SC<l:n>_c3不被同時(shí)使能。替代地，第一至第三芯片泵 控制信號(hào)0SC< 1 n>_c 1、0SC< 1 n>_c2和0SC< 1 n>_c3可以以所述預(yù)定時(shí)間為間隔順序地被 使能。因此，半導(dǎo)體裝置1可以首先激活位于第一芯片cl中的第一電壓泵單元120，然后可 以順序地激活第二電壓泵單元220和第三電壓泵單元320。如圖4所示，第一芯片cl還可以包括控制信號(hào)發(fā)生塊400?？刂菩盘?hào)發(fā)生塊400 被配置為檢測(cè)泵浦電壓VPP的電平并產(chǎn)生使能信號(hào)OSCEN和周期信號(hào)0SCPRE0。當(dāng)泵浦電 壓VPP的電平下降到低于目標(biāo)電壓電平時(shí)，控制信號(hào)發(fā)生塊400產(chǎn)生使能信號(hào)OSCEN和周 期信號(hào)0SCPRE0，從而可以提高泵浦電壓VPP的電平。在圖4中，控制信號(hào)發(fā)生塊400包括電壓檢測(cè)單元10和振蕩器20。電壓檢測(cè)單元 10將泵浦電壓VPP的電平與基準(zhǔn)電壓Vref的電平進(jìn)行比較，并產(chǎn)生使能信號(hào)0SCEN。例如， 當(dāng)泵浦電壓VPP的電平低于基準(zhǔn)電壓Vref的電平時(shí)，電壓檢測(cè)單元10將使能信號(hào)OSCEN 使能；而當(dāng)泵浦電壓VPP的電平高于或者等于基準(zhǔn)電壓Vref的電平時(shí)，電壓檢測(cè)單元10將 使能信號(hào)OSCEN禁止。任選地，基準(zhǔn)電壓Vref的電平可以根據(jù)泵浦電壓VPP的目標(biāo)電平來(lái) 確定。使能信號(hào)OSCEN可以通過(guò)第三TSV TSV3輸入到分別位于第一至第三芯片cl至c3 中的第一至第三泵控制單元110、210和310。因此，在第一芯片cl中設(shè)置控制信號(hào)發(fā)生塊 400就夠了，而不需要在第二芯片c2和第三芯片c3中設(shè)置信號(hào)發(fā)生塊。當(dāng)使能信號(hào)OSCEN被使能時(shí)，振蕩器20產(chǎn)生周期信號(hào)0SCPRE0。周期信號(hào)0SCPRE0 輸入到位于第一芯片cl中的第一泵控制單元110。構(gòu)成控制信號(hào)發(fā)生塊400的電壓檢測(cè)單 元10和振蕩器20可以用與本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的方式相同的方式來(lái)配置。
圖5是圖4所示的第一泵控制單元的結(jié)構(gòu)的示意性框圖。第一至第三泵控制單元 110、210和310具有相同的結(jié)構(gòu)。在圖5中，第一泵控制單元110包括第一至第η延遲部 分110-1至110-η，并且延遲部分的數(shù)量可以根據(jù)芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_cl的數(shù)量而改 變。換言之，延遲部分的數(shù)量可以根據(jù)構(gòu)成第一電壓泵單元120的泵的數(shù)量而改變。第一 延遲部分110-1接收使能信號(hào)OSCEN和周期信號(hào)0SCPRE0。當(dāng)使能信號(hào)OSCEN被使能時(shí)，第 一延遲部分110-1將周期信號(hào)0SCPRE0延遲預(yù)定的時(shí)間，并輸出由此產(chǎn)生的信號(hào)。當(dāng)使能 信號(hào)OSCEN被禁止時(shí)，第一延遲部分110-1中斷信號(hào)的輸出。第一延遲部分110-1的輸出 成為第一芯片泵控制信號(hào)0SC<l>_cl。第一延遲部分110-1的輸出還作為第一延遲的周期 信號(hào)0SCPRE1而通過(guò)第一 TSV TSVl輸入到第二泵控制單元210。第二延遲部分110-2接收第一延遲部分110-1的輸出，并產(chǎn)生第一芯片泵控制信 號(hào)0SC<2>_cl。第三至第η延遲部分110-3至110_n分別接收前一個(gè)延遲部分的輸出，并產(chǎn) 生第一芯片泵控制信號(hào)0SC<3:n>_cl。第一至第η延遲部分具有相同的結(jié)構(gòu)并且可以具有 觸發(fā)器。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，第一泵控制單元110可以產(chǎn)生第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1，并且可 以產(chǎn)生多個(gè)第一芯片泵控制信號(hào)0SC<l:n>_cl，所述第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1是通過(guò)將 周期信號(hào)0SCPRE0延遲預(yù)定的時(shí)間來(lái)獲得的，所述多個(gè)第一芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_cl 是被順序地延遲預(yù)定的時(shí)間而輸出的。由于這一事實(shí)，即第二泵控制單元210和第三泵控制單元310具有與第一泵控制 單元110相同的結(jié)構(gòu)，因此，第二泵控制單元210可以產(chǎn)生第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2和多 個(gè)第二芯片的泵控制信號(hào)0SC<l:n>_c2，所述第二延遲周期信號(hào)0SCPRE2是將第一延遲周 期信號(hào)0SCPRE1延遲預(yù)定的時(shí)間而獲得的，所述多個(gè)第二芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c2以 預(yù)定的時(shí)間為間隔而順序地輸出的；以及第三泵控制單元310可以產(chǎn)生多個(gè)第三芯片泵控 制信號(hào)OSCXl :n>_c3，所述多個(gè)第三芯片的泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c3是從第二延遲周期信 號(hào)0SCPRE2以所述預(yù)定的時(shí)間為間隔順序地延遲而輸出的。圖6是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置1的操作的時(shí)序圖。下面將參考圖4至 6描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置1的操作。如果泵浦電壓VPP的電平下降到低于 基準(zhǔn)電壓Vref的電平，則電壓檢測(cè)單元10將使能信號(hào)OSCEN使能，并且振蕩器20產(chǎn)生周 期信號(hào)0SCPRE0。第一泵控制單元110通過(guò)將周期信號(hào)0SCPRE0延遲預(yù)定的時(shí)間而產(chǎn)生第 一延遲周期信號(hào)0SCPRE1，并且產(chǎn)生第一芯片泵控制信號(hào)0SC<l:n>_cl，所述第一芯片泵控 制信號(hào)OSCXl :n>_cl通過(guò)第一至第η延遲部分110-1至110_n順序地被延遲預(yù)定的時(shí)間而 被輸出。第二泵控制單元210響應(yīng)于第一延遲周期信號(hào)0SCPRE1產(chǎn)生第二延遲周期信號(hào) 0SCPRE2，并產(chǎn)生第二芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c2，所述第二芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_ c2是被順序地延遲預(yù)定的時(shí)間而輸出的。類似地，第三泵控制單元310接收第二延遲 周期信號(hào)0SCPRE2，并產(chǎn)生第三芯片泵控制信號(hào)OSCXl :n>_c3，所述第三芯片泵控制信號(hào) 0SC< l:n>_c3是被順序地延遲預(yù)定的時(shí)間而輸出的。第一至第三電壓泵單元120、220和320響應(yīng)于第一至第三芯片泵控制信號(hào) OSCKl :n>_cU 0SC<l:n>_c2和OSCXl :n>_c3而執(zhí)行泵浦操作，并提高泵浦電壓VPP的電 平。如果泵浦電壓VPP的電平變得等于或高于基準(zhǔn)電壓Vref的電平，則電壓檢測(cè)單元10將使能信號(hào)OSCEN禁止，而第一至第三泵控制單元110、210和310將所有的芯片泵控制信 號(hào) OSCKl :n>_cl、OSCXl :n>_c2 和 OSCXl :n>_c3 禁止。參見(jiàn)圖6，可以看到，當(dāng)泵浦電壓VPP的電平低于基準(zhǔn)電壓Vref的電平并且使能 信號(hào)OSCEN處于使能狀態(tài)時(shí)，第一芯片泵控制信號(hào)OSCXl 3>_cl產(chǎn)生，并且在構(gòu)成第一電 壓泵單元120的η個(gè)泵中，有三個(gè)泵工作；第二芯片泵控制信號(hào)OSCXl :2>_c2產(chǎn)生，并且在 構(gòu)成第二電壓泵單元220的η個(gè)泵中，有兩個(gè)泵工作；以及第三芯片泵控制信號(hào)0SC<l>_c3 產(chǎn)生，并且在構(gòu)成第三電壓泵單元320的η個(gè)泵中，有一個(gè)泵工作。也就是說(shuō)，當(dāng)使能信號(hào) OSCEN使能時(shí)，在構(gòu)成第一電壓泵單元120的η個(gè)泵中，有一個(gè)泵執(zhí)行泵浦操作，經(jīng)過(guò)預(yù)定的 時(shí)間之后，第一電壓泵單元120中有兩個(gè)泵而第二電壓泵單元220中有一個(gè)泵執(zhí)行泵浦操 作；而當(dāng)再次經(jīng)過(guò)預(yù)定的時(shí)間之后，第一電壓泵單元120中有三個(gè)泵、第二電壓泵單元220 中有兩個(gè)泵且第三電壓泵單元320中有一個(gè)泵執(zhí)行泵浦操作。此后，當(dāng)使能信號(hào)OSCEN被禁止時(shí)，所有的芯片泵控制信號(hào)OSCKl n>_cU 0SC<l:n>_c2和OSCXl :n>_c3均被禁止。因此，可以理解，并非所有的泵都執(zhí)行用于提高泵 浦電壓VPP的電平的泵浦操作，而只有特定數(shù)量的泵執(zhí)行泵浦操作，只要這些特定數(shù)量的 泵足夠用于提高泵浦電壓VPP的電平即可。在現(xiàn)有技術(shù)中，如果泵浦電壓VPP的電平下降到低于目標(biāo)電平，則所有的泵控制 信號(hào)被同時(shí)使能，并且所有芯片都執(zhí)行泵浦操作。然而，在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體裝 置1中，由于只有適當(dāng)數(shù)量的泵被操作用來(lái)提高泵浦電壓VPP的電平，因此，防止了泵浦電 壓的電平的過(guò)度升高，并可以減少電流消耗。另外，由于使用TSV可以簡(jiǎn)化用于產(chǎn)生泵浦電壓的電路結(jié)構(gòu)，因此，可以在構(gòu)成半 導(dǎo)體裝置的芯片中保證布圖面積。盡管上面已經(jīng)描述了一些實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解的是，本文描述的 實(shí)施例僅僅是作為示例。因此，不應(yīng)當(dāng)基于本文所描述的實(shí)施例來(lái)限制本發(fā)明的半導(dǎo)體裝 置和方法。更確切地說(shuō)，應(yīng)當(dāng)結(jié)合上述說(shuō)明書(shū)和附圖，根據(jù)所附的權(quán)利要求書(shū)來(lái)限定本發(fā)明 的半導(dǎo)體裝置和方法。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體裝置，包括多個(gè)泵控制單元，所述多個(gè)泵控制單元分別位于多個(gè)芯片中并通過(guò)第一貫穿硅通孔、 即第一 TSV串聯(lián)連接，并被配置為將周期信號(hào)順序地延遲、傳送延遲周期信號(hào)、并基于所述 周期信號(hào)或所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵控制信號(hào)；以及多個(gè)電壓泵單元，所述多個(gè)電壓泵單元分別位于所述多個(gè)芯片中，并被配置為響應(yīng)于 從所述多個(gè)泵控制單元產(chǎn)生的所述泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵浦電壓。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，還包括控制信號(hào)發(fā)生塊，所述控制信號(hào)發(fā)生塊被配置為檢測(cè)所述泵浦電壓的電平，并產(chǎn)生使 能信號(hào)和所述周期信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述使能信號(hào)通過(guò)第二TSV輸入到所述多個(gè) 泵控制單元。
4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制信號(hào)發(fā)生塊被設(shè)置在在所述多個(gè) 芯片中的一個(gè)芯片中。
5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述多個(gè)泵控制單元中的每個(gè)都被配置為 當(dāng)所述使能信號(hào)被使能時(shí)，產(chǎn)生所述泵控制信號(hào)。
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述多個(gè)芯片通過(guò)第三TSV共享所述泵浦電壓。
7.一種用于控制半導(dǎo)體裝置的方法，包括以下步驟通過(guò)TSV將延遲周期信號(hào)傳送到多個(gè)芯片，所述延遲周期信號(hào)是通過(guò)將周期信號(hào)順序 地延遲預(yù)定的時(shí)間而獲得的；在所述多個(gè)芯片中，根據(jù)通過(guò)所述TSV傳送的所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵控制信號(hào)；以及響應(yīng)于所述泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵浦電壓。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，在將所述延遲周期信號(hào)傳送到所述多個(gè)芯片的步 驟之前，所述方法還包括以下步驟通過(guò)其他的TSV將使能信號(hào)傳送到所述多個(gè)芯片。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，產(chǎn)生所述泵控制信號(hào)的步驟包括當(dāng)所述使能信號(hào)被使能時(shí)，基于所述周期信號(hào)或所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生所述泵控制 信號(hào)。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，還包括以下步驟檢測(cè)所述泵浦電壓的電平，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果將所述使能信號(hào)使能。
11.一種具有第一和第二芯片的半導(dǎo)體裝置，包括第一泵控制單元，所述第一泵控制單元位于所述第一芯片中，并被配置為接收周期信 號(hào)、通過(guò)將所述周期信號(hào)延遲預(yù)定的時(shí)間來(lái)產(chǎn)生延遲周期信號(hào)、并基于所述周期信號(hào)來(lái)產(chǎn) 生第一芯片泵控制信號(hào)；第一電壓泵單元，所述第一電壓泵單元被配置為響應(yīng)于所述第一芯片泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn) 生泵浦電壓；第二泵控制單元，所述第二泵控制單元位于所述第二芯片中，并被配置為基于所述延 遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生第二芯片泵控制信號(hào)；以及第二電壓泵單元，所述第二電壓泵單元被配置為響應(yīng)于所述第二芯片泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn) 生所述泵浦電壓。
12.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述延遲周期信號(hào)通過(guò)第一TSV被傳送到 所述第二泵控制單元。
13.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，還包括控制信號(hào)發(fā)生塊，所述控制信號(hào)發(fā)生塊被配置為檢測(cè)所述泵浦電壓的電平，并產(chǎn)生使 能信號(hào)和所述周期信號(hào)。
14.如權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制信號(hào)發(fā)生塊位于所述第一芯片中。
15.如權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述使能信號(hào)通過(guò)第二TSV被傳送到所述 第一和第二泵控制單元。
16.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第一泵控制單元和所述第二泵控制 單元被配置為當(dāng)所述使能信號(hào)被使能時(shí)，產(chǎn)生所述第一芯片泵控制信號(hào)和所述第二芯片泵 控制信號(hào)。
17.如權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述第一芯片和所述第二芯片通過(guò)第三 TSV共享所述泵浦電壓。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體裝置，包括多個(gè)泵控制單元，所述多個(gè)泵控制單元分別位于多個(gè)芯片中并通過(guò)第一TSV串聯(lián)連接，并被配置為將周期信號(hào)順序地延遲、傳送延遲周期信號(hào)、并基于所述周期信號(hào)或所述延遲周期信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵控制信號(hào)；以及多個(gè)電壓泵單元，所述多個(gè)電壓泵單元分別位于所述多個(gè)芯片中，并被配置為響應(yīng)于從所述多個(gè)泵控制單元產(chǎn)生的所述泵控制信號(hào)來(lái)產(chǎn)生泵浦電壓。
文檔編號(hào)G11C11/4193GK102142276SQ201010215020
公開(kāi)日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2010年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者陳伸顯 申請(qǐng)人:海力士半導(dǎo)體有限公司