專利名稱：測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告和分析方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及測(cè)試諸如存儲(chǔ)器陣列之類的陣列結(jié)構(gòu)，更具體地說，涉及使用數(shù)據(jù)陣列從陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工業(yè)中，將在使用器件之前對(duì)其進(jìn)行測(cè)試。在許多情況下，測(cè)試的部件具有陣列結(jié)構(gòu)。例如，所測(cè)試的器件的一個(gè)部件為存儲(chǔ)器陣列。存儲(chǔ)器測(cè)試器為存儲(chǔ)器陣列的每個(gè)單元(或位)運(yùn)行多個(gè)測(cè)試并記錄失效。由于存儲(chǔ)器陣列可以包括大量單元(例如，對(duì)于1024×2048的陣列，包括2,097,152個(gè)單元)，所以收集的數(shù)據(jù)量是巨大的。一種收集和組織數(shù)據(jù)的方法是將每個(gè)單元失效都記錄到美國(guó)信息互換標(biāo)準(zhǔn)代碼(ASCII)文件中，例如，ASCII逗號(hào)分隔文本文件或逗號(hào)分隔值(csv)文件。所收集的數(shù)據(jù)包含每個(gè)失效的詳細(xì)信息，例如，失效位置、測(cè)試類型、失效類型等。使用該方法所收集的大量數(shù)據(jù)通常要求在生成ASCII文件過程中定時(shí)暫停測(cè)試執(zhí)行并詢問測(cè)試器硬件。也就是說，存儲(chǔ)器測(cè)試數(shù)據(jù)是在一次收集的。其結(jié)果就是花費(fèi)過多時(shí)間來生成的非常大的ASCII文件。
解決這種情況的一種方法是將確定的失效數(shù)限制在預(yù)定最大值內(nèi)。不幸的是，這種方法要求不捕獲所有失效數(shù)據(jù)。此外，這種方法在失效數(shù)達(dá)到預(yù)定最大值的情況下會(huì)增加復(fù)雜性。另一種方法包括執(zhí)行將數(shù)據(jù)二進(jìn)制轉(zhuǎn)儲(chǔ)到位失效圖，即，包括失效點(diǎn)的存儲(chǔ)器陣列的物理可查看再現(xiàn)(圖像)。圖1示出了簡(jiǎn)化的位失效圖10，其是包括失效點(diǎn)(單元)F的5×5存儲(chǔ)器陣列的圖形表示。每個(gè)位失效圖表示在整個(gè)存儲(chǔ)器陣列上施加的不同測(cè)試。因此，每個(gè)測(cè)試都需要其他位失效圖。此方法是有利的，因?yàn)榕c記錄失效相比，該方法可以在相對(duì)較短的時(shí)間內(nèi)完成。盡管使用該方法可捕獲所有單元失效點(diǎn)，但是不能得到諸如測(cè)試類型、失效類型之類的其他詳細(xì)信息。
上述存儲(chǔ)器測(cè)試數(shù)據(jù)的格式對(duì)數(shù)據(jù)分析也有負(fù)面影響。
鑒于上述內(nèi)容，本領(lǐng)域中需要一種報(bào)告和/或分析來自陣列結(jié)構(gòu)的測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)的改進(jìn)的解決方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了使用數(shù)據(jù)陣列從陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。一種方法包括獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)并在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分。根據(jù)轉(zhuǎn)換表來組織存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)陣列中的數(shù)據(jù)，所述轉(zhuǎn)換表描述了所述數(shù)據(jù)陣列中要測(cè)試的數(shù)據(jù)的位置和要分析的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)則。還可以生成大量其他數(shù)據(jù)布置，例如，列出預(yù)定最大數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件或芯片做出的包括失效點(diǎn)的芯片報(bào)告。所述數(shù)據(jù)陣列以更易于生成和存儲(chǔ)的形式報(bào)告所有測(cè)試數(shù)據(jù)，并且其可以被轉(zhuǎn)換成圖像。本發(fā)明還公開了用于使用所述數(shù)據(jù)陣列來分析數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)分析方法。
本發(fā)明的第一個(gè)方面提供了一種根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的方法，該方法包括以下步驟獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)；以及在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分。
本發(fā)明的第二個(gè)方面提供了一種根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括用于獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)的裝置；以及用于在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)的裝置，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分。
本發(fā)明的第三個(gè)方面提供了一種存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上的程序產(chǎn)品，當(dāng)被執(zhí)行時(shí)，所述程序產(chǎn)品根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)，該程序產(chǎn)品包括用于獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)的程序代碼；以及用于在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)的程序代碼，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分。
本發(fā)明的第四個(gè)方面提供了一種分析陣列結(jié)構(gòu)的測(cè)試數(shù)據(jù)的方法，該方法包括以下步驟在數(shù)據(jù)陣列中接收所述測(cè)試數(shù)據(jù)的報(bào)告，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分；根據(jù)轉(zhuǎn)換表來掃描所述數(shù)據(jù)陣列以獲取所述陣列結(jié)構(gòu)的所述測(cè)試數(shù)據(jù)；以及分析所述數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的第五個(gè)方面提供了一種包括計(jì)算機(jī)程序代碼的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)程序代碼使得計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施能夠根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括用于執(zhí)行本發(fā)明的方法步驟的計(jì)算機(jī)程序代碼。
本發(fā)明的第六個(gè)方面提供了一種用于根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)的商業(yè)方法，該商業(yè)方法包括管理執(zhí)行本發(fā)明的每個(gè)步驟的計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施；以及根據(jù)所述管理步驟接收付款。
本發(fā)明的第七個(gè)方面提供了一種提供根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的服務(wù)的方法，該方法包括獲取計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施；以及對(duì)于本發(fā)明的方法的每個(gè)步驟，將用于執(zhí)行所述步驟的單元部署到所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施。
本發(fā)明的示例性方面旨在解決文中描述的問題和其他可由本領(lǐng)域的技術(shù)人員發(fā)現(xiàn)的尚未討論的問題。


從以下結(jié)合示出本發(fā)明的各種實(shí)施例的附圖的對(duì)本發(fā)明的各個(gè)方面的詳細(xì)描述，可以更容易地理解本發(fā)明的這些和其他特點(diǎn)，這些附圖是圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的位失效圖；圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告和分析系統(tǒng)的方塊圖；圖3是示出圖2的系統(tǒng)的運(yùn)行方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的示例性數(shù)據(jù)陣列；圖5示出了與圖4的數(shù)據(jù)陣列一起使用的示例性轉(zhuǎn)換表；
圖6示出了與圖4的數(shù)據(jù)陣列一起使用的示例性坐標(biāo)文件；圖7示出了與圖4的數(shù)據(jù)陣列一起使用的示例性芯片報(bào)告；圖8是示出了圖2的系統(tǒng)的分析方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖；要指出的是，本發(fā)明的附圖并不成比例。所述附圖旨在只是示出本發(fā)明的典型方面，因此不應(yīng)被看作限制本發(fā)明的范圍。在附圖中，相同的標(biāo)號(hào)表示附圖中相同的元素。
具體實(shí)施例方式
如上所述，本發(fā)明提供了使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。出于說明的目的，將用于描述本發(fā)明的一種類型的陣列結(jié)構(gòu)是存儲(chǔ)器陣列。但是，應(yīng)認(rèn)識(shí)到本發(fā)明的教導(dǎo)可應(yīng)用于多種陣列結(jié)構(gòu)，例如，熔絲陣列、缺陷檢測(cè)器形陣列(defect detector shapes array)等。
轉(zhuǎn)到附圖，圖2示出了用于使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)144的示例性環(huán)境100。在此方面，環(huán)境100包括可以執(zhí)行文中所述的各種過程步驟以便使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102。具體地說，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102示為包括包含測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告/分析系統(tǒng)106(下文簡(jiǎn)稱“系統(tǒng)106”)的計(jì)算設(shè)備104，系統(tǒng)106使得計(jì)算設(shè)備104能夠通過執(zhí)行本發(fā)明的過程步驟來使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。
計(jì)算設(shè)備104示為包括存儲(chǔ)器112、處理器114、輸入/輸出(I/O)接口116和總線118。另外，計(jì)算設(shè)備104示為與外部I/O設(shè)備/資源102及存儲(chǔ)系統(tǒng)122通信。如本領(lǐng)域中公知的，處理器114通常執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器112和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)122中的計(jì)算機(jī)程序代碼，例如，系統(tǒng)106。在執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序代碼時(shí)，處理器114可以從存儲(chǔ)器112、存儲(chǔ)系統(tǒng)122和/或I/O接口116讀取和/或向它們寫入數(shù)據(jù)130，例如，測(cè)試數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)陣列等?？偩€118提供了計(jì)算設(shè)備104中的每個(gè)組件間的通信鏈路。I/O設(shè)備118可以包括任何可使用戶與計(jì)算設(shè)備104交互或可使計(jì)算設(shè)備104與一個(gè)或多個(gè)其他計(jì)算設(shè)備通信的設(shè)備。
在任何情況下，計(jì)算設(shè)備104可以包括任何能夠執(zhí)行用戶安裝的計(jì)算機(jī)程序代碼的通用計(jì)算制品(例如，個(gè)人電腦、服務(wù)器、手持設(shè)備等)。但是，應(yīng)當(dāng)理解，計(jì)算設(shè)備104和系統(tǒng)106只是代表可以執(zhí)行本發(fā)明的各種過程步驟的各種可能的等價(jià)計(jì)算設(shè)備。在這個(gè)意義上，在其他實(shí)施例中，計(jì)算設(shè)備104可以包括任何包含用于執(zhí)行特定功能的硬件和/或計(jì)算機(jī)程序代碼的專用計(jì)算制品，任何包含專用和通用硬件/軟件的組合的計(jì)算制品，或此類計(jì)算制品。在每種情況下，可以分別使用標(biāo)準(zhǔn)的編程和工程技術(shù)來創(chuàng)建所述程序代碼和硬件。
同樣，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102只是說明各種類型的用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102包括兩個(gè)或兩個(gè)以上在任何類型的有線和/或無(wú)線通信鏈路(例如，網(wǎng)絡(luò)、共享存儲(chǔ)器等)上通信以執(zhí)行本發(fā)明的各種過程步驟的計(jì)算設(shè)備(例如，服務(wù)器集群)。當(dāng)通信鏈路包括網(wǎng)絡(luò)時(shí)，該網(wǎng)絡(luò)可以包括一種或多種類型的網(wǎng)絡(luò)(例如，因特網(wǎng)、廣域網(wǎng)、局域網(wǎng)、虛擬專用網(wǎng)絡(luò)等)的任意組合。無(wú)論如何，計(jì)算設(shè)備間的通信可以使用各種類型的傳輸技術(shù)的任何組合。
盡管不是必須的，基礎(chǔ)設(shè)施102還可以包括陣列結(jié)構(gòu)測(cè)試器140。陣列結(jié)構(gòu)測(cè)試器140示為在通信鏈路142上與計(jì)算設(shè)備104通信。如上所述，通信鏈路142可以包括本領(lǐng)域公知的各種類型的通信鏈路的任何組合。測(cè)試器140可以包括任何現(xiàn)在已知或?qū)黹_發(fā)的適合要測(cè)試的陣列結(jié)構(gòu)類型的測(cè)試設(shè)備(即，硬件和/或軟件)，例如，用于存儲(chǔ)器陣列的存儲(chǔ)器測(cè)試器。應(yīng)當(dāng)理解，陣列結(jié)構(gòu)測(cè)試器140可以包括與為計(jì)算設(shè)備104示出的組件相同的組件(處理器、存儲(chǔ)器、I/O接口等)。為了簡(jiǎn)潔，并未單獨(dú)示出和討論這些組件。
系統(tǒng)106示為包括以下組件測(cè)試數(shù)據(jù)獲取器150；轉(zhuǎn)換表生成器151；包括數(shù)據(jù)陣列生成器154、坐標(biāo)文件生成器158和芯片報(bào)告生成器160的報(bào)告器152；成像器162和數(shù)據(jù)分析器164。其他系統(tǒng)組件166可以包括任何其他操作所需但未在此處明確說明的外圍功能。這些組件中的每個(gè)組件的操作會(huì)在下文進(jìn)一步討論。但是應(yīng)當(dāng)理解，圖2示出的各種系統(tǒng)中的某些系統(tǒng)可以被獨(dú)立實(shí)現(xiàn)、組合和/或存儲(chǔ)于包括在計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102中的一個(gè)或多個(gè)單獨(dú)的計(jì)算設(shè)備的存儲(chǔ)器內(nèi)。此外應(yīng)當(dāng)理解，某些系統(tǒng)和/或功能可能沒有實(shí)現(xiàn)，或其他系統(tǒng)和/或功能可被包括為環(huán)境100的一部分。
轉(zhuǎn)到圖3，結(jié)合圖2和4-7，現(xiàn)在將說明系統(tǒng)106的操作方法的一個(gè)實(shí)施例。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例獲取測(cè)試數(shù)據(jù)144(圖2)并在數(shù)據(jù)陣列170(圖4)中報(bào)告所述數(shù)據(jù)，而不是將每個(gè)測(cè)試的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)儲(chǔ)至無(wú)詳細(xì)信息的位失效圖中或生成具有所有數(shù)據(jù)的龐大的ASCII文件。將生成轉(zhuǎn)換表180(圖5)來說明所述數(shù)據(jù)陣列的組織。
在第一步驟S1中，數(shù)據(jù)獲取器150導(dǎo)致獲取測(cè)試數(shù)據(jù)144。該步驟可以包括任何當(dāng)前已知或?qū)黹_發(fā)的從測(cè)試器140接收測(cè)試數(shù)據(jù)144的方法。例如，通過通信鏈路142、無(wú)線傳輸?shù)??？梢砸灾T如位失效圖、數(shù)據(jù)流等的多種方式中的任何方式來提供測(cè)試數(shù)據(jù)144。
接下來在步驟S2，轉(zhuǎn)換表生成器151導(dǎo)致生成轉(zhuǎn)換表180。轉(zhuǎn)換表指示了數(shù)據(jù)陣列170(圖4)中特定測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)的位置，即，它說明了數(shù)據(jù)陣列170(圖4)的組織，以及在數(shù)據(jù)陣列中分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)則。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，如果用戶(雖然不大可能)可以跟蹤數(shù)據(jù)在數(shù)據(jù)陣列170中的位置，則使用數(shù)據(jù)陣列170不一定需要轉(zhuǎn)換表180。轉(zhuǎn)換表180可以包括以下信息為數(shù)據(jù)陣列170(圖4)中的各種測(cè)試的數(shù)據(jù)提供標(biāo)識(shí)符的測(cè)試名稱(例如，Map_FScan、Map_SSCAN1等)和數(shù)據(jù)陣列170中測(cè)試的數(shù)據(jù)位置，即，與數(shù)據(jù)陣列170中的測(cè)試對(duì)應(yīng)的部分172的位置。對(duì)于數(shù)據(jù)位置，轉(zhuǎn)換表180可以包括數(shù)據(jù)陣列中測(cè)試數(shù)據(jù)的起始列、數(shù)據(jù)陣列中測(cè)試數(shù)據(jù)的結(jié)束列、數(shù)據(jù)陣列中測(cè)試數(shù)據(jù)的起始行以及數(shù)據(jù)陣列中測(cè)試數(shù)據(jù)的結(jié)束行。例如，測(cè)試Map_FScan具有在行0到224(未全部示出)和列0到0包括其數(shù)據(jù)的部分174(圖4)。因此，可以在部分182(圖5中的轉(zhuǎn)換表180的第一行)中提供Map_FScan的數(shù)據(jù)，假設(shè)轉(zhuǎn)換表180被擴(kuò)展到完整大小。但是，并不總是置于數(shù)據(jù)陣列170的一行中這種情況。例如，測(cè)試SM4_WLNS1具有在行448到895和列515到626中包括其數(shù)據(jù)的部分(未在數(shù)據(jù)陣列中示出)。
轉(zhuǎn)換表180還可以包括每個(gè)測(cè)試的其他信息，例如指示測(cè)試所屬的組的集標(biāo)識(shí)符(如，集1、2或3)；測(cè)試所屬的集中的測(cè)試數(shù)；集中的相對(duì)測(cè)試位置(如，2/4、4/8等)。此外，如以下將說明的，轉(zhuǎn)換表180還可以包括要在坐標(biāo)文件(圖6)中報(bào)告的特定測(cè)試的失效點(diǎn)的預(yù)定數(shù)(坐標(biāo)文件最大值)。
接下來，在步驟S3，報(bào)告器152導(dǎo)致在數(shù)據(jù)陣列170中報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)144(圖2)，如圖4所示。具體地說，在子步驟S3A，使用數(shù)據(jù)陣列生成器154生成數(shù)據(jù)陣列170。參考圖4，數(shù)據(jù)陣列170包括至少兩個(gè)代表不同測(cè)試的部分172。也就是說，不同的部分172代表測(cè)試器140(圖2)所完成的不同測(cè)試的結(jié)果。盡管它們看起來相似，但是數(shù)據(jù)陣列170與位失效圖不同。數(shù)據(jù)陣列170像位失效圖一樣指示存儲(chǔ)器單元的失效點(diǎn)，但是數(shù)據(jù)陣列中的失效點(diǎn)的位置與陣列結(jié)構(gòu)中的位置之間沒有關(guān)系。由于數(shù)據(jù)陣列170可以包括用于陣列結(jié)構(gòu)的大量測(cè)試的單元，所以它還可以具有是陣列結(jié)構(gòu)中的單元數(shù)的倍數(shù)的大小。注意，出于說明目的簡(jiǎn)化了示例性數(shù)據(jù)陣列170；它通常是一個(gè)非常大的陣列，例如，1024×2048的陣列。
優(yōu)選地根據(jù)轉(zhuǎn)換表180來組織存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)陣列170中的數(shù)據(jù)，圖5中示出了轉(zhuǎn)換表180的一個(gè)示例性實(shí)施例。再次地，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，如果用戶(雖然不大可能)可以跟蹤數(shù)據(jù)在數(shù)據(jù)陣列170中的位置，則使用數(shù)據(jù)陣列170不一定需要轉(zhuǎn)換表180。
在可選的子步驟S3B中，坐標(biāo)文件生成器158導(dǎo)致生成如圖6所示的坐標(biāo)文件190，其中包括特定測(cè)試的失效點(diǎn)的預(yù)定數(shù)，例如20。所述預(yù)定數(shù)在轉(zhuǎn)換表180中提供并可以是用戶定義的。如圖6所示，坐標(biāo)文件190包括6個(gè)失效點(diǎn)。每個(gè)失效點(diǎn)可以包括例如晶片批次ID、晶片ID、指示晶片上測(cè)試的芯片的位置的芯片部位X、Y(測(cè)試部位)、測(cè)試名稱(例如，PLD3B)，以及包括具有相應(yīng)陣列結(jié)構(gòu)單元位置的失效點(diǎn)位置的數(shù)據(jù)陣列170中的坐標(biāo)。也就是說，坐標(biāo)表190包括數(shù)據(jù)陣列坐標(biāo)和定義的最大數(shù)目的失效點(diǎn)的陣列結(jié)構(gòu)坐標(biāo)。坐標(biāo)文件190對(duì)確定失效點(diǎn)的類型和確切位置非常有用。
在另一個(gè)可選的子步驟S3C中，芯片報(bào)告生成器160可以生成包括芯片上的每個(gè)測(cè)試的結(jié)果的芯片報(bào)告。圖7示出了示例性的芯片報(bào)告196。在一個(gè)實(shí)施例中，芯片報(bào)告196可以包括晶片上芯片(小片)的X和Y位置、測(cè)試名稱及每個(gè)測(cè)試的失效數(shù)(失效計(jì)數(shù))。如本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到的，芯片報(bào)告190還可以包括每個(gè)芯片的各種其他信息。
在步驟S3期間，可以為批次內(nèi)的其他晶片繼續(xù)測(cè)試，因此無(wú)需暫停以便進(jìn)行數(shù)據(jù)再現(xiàn)。
繼續(xù)參考圖4，一旦完成測(cè)試，可選的下一步驟S4可以包括成像器162(圖2)導(dǎo)致數(shù)據(jù)陣列170被再現(xiàn)為圖像。在一個(gè)實(shí)施例中，所述圖像為壓縮文件，例如，標(biāo)記圖像文件格式(TIFF)圖像，其中包含每個(gè)芯片的數(shù)據(jù)陣列170的位圖，即測(cè)試部位。成像器162可以將數(shù)據(jù)從數(shù)據(jù)陣列170提取到二進(jìn)制數(shù)據(jù)流中(數(shù)據(jù)陣列170中的每個(gè)位可以是TIFF文件中的1個(gè)像素，其可以被轉(zhuǎn)換為二進(jìn)制)，即位數(shù)據(jù)光柵。
在步驟S5中，數(shù)據(jù)分析器166導(dǎo)致使用數(shù)據(jù)陣列170(例如，以TIFF文件的形式)來分析數(shù)據(jù)。轉(zhuǎn)到圖8，現(xiàn)在將說明分析方法的流程圖。在一個(gè)實(shí)施例中，在第一步驟S101中，數(shù)據(jù)分析器166接收數(shù)據(jù)陣列170中測(cè)試數(shù)據(jù)的報(bào)告，該數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)代表不同測(cè)試的部分。然后，在步驟S102，數(shù)據(jù)分析器166根據(jù)轉(zhuǎn)換表180掃描數(shù)據(jù)陣列170以獲取陣列結(jié)構(gòu)的測(cè)試數(shù)據(jù)。如上所述，數(shù)據(jù)陣列170可以是圖像，例如為TIFF格式。在這此方面，數(shù)據(jù)分析器166可以包括任何當(dāng)前已知或?qū)黹_發(fā)的圖像掃描器及用于識(shí)別測(cè)試數(shù)據(jù)的相關(guān)硬件/軟件，例如，光學(xué)字符識(shí)別等。轉(zhuǎn)換表180用于轉(zhuǎn)換掃描的數(shù)據(jù)陣列。在步驟S103，數(shù)據(jù)分析器166導(dǎo)致分析測(cè)試數(shù)據(jù)。所述分析可以包括任何當(dāng)前已知或?qū)黹_發(fā)的測(cè)試數(shù)據(jù)分析，例如失效分析?？梢詫y(cè)試的分析結(jié)果添加到常規(guī)的分析概要中?？梢詫?duì)晶片的每個(gè)數(shù)據(jù)陣列170進(jìn)行分析并總結(jié)所述分析。由于數(shù)據(jù)分析器166作為數(shù)據(jù)陣列生成的后期過程執(zhí)行，所以它可以在測(cè)試其他陣列結(jié)構(gòu)并生成數(shù)據(jù)陣列時(shí)(步驟S3A)用作并行過程。數(shù)據(jù)陣列170和數(shù)據(jù)分析器166的使用顯著減少了得到測(cè)試結(jié)果所需的測(cè)試時(shí)間和資源。
應(yīng)當(dāng)理解，上述步驟的順序僅為示例性的。在此意義上，可以并行、以不同的順序、相隔很長(zhǎng)時(shí)間等來執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)步驟。進(jìn)而，在本發(fā)明的各種實(shí)施例中可以不執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)這些步驟。此外，系統(tǒng)106及測(cè)試器140的結(jié)構(gòu)可以與圖中所示的結(jié)構(gòu)不同。例如，系統(tǒng)106可以被實(shí)現(xiàn)為更大的測(cè)試器系統(tǒng)的一部分。
雖然在此作為用于使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)的方法和系統(tǒng)示出并描述了本方面，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明還提供了各種備選實(shí)施例。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種包括計(jì)算機(jī)程序代碼的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述計(jì)算機(jī)程序代碼使得計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施能夠使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。在此意義上，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括程序代碼，例如系統(tǒng)106(圖2)，它可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的各種過程步驟的每個(gè)步驟。應(yīng)當(dāng)理解，術(shù)語(yǔ)“計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)”包括一個(gè)或多個(gè)任何類型的程序代碼的物理體現(xiàn)。具體地說，所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以包括在一個(gè)或多個(gè)便攜式存儲(chǔ)制品(例如，光盤、磁盤、磁帶等)上、計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部分(例如，存儲(chǔ)器112(圖2)和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)122(圖2)(如固定盤、只讀存儲(chǔ)器、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、高速緩沖存儲(chǔ)器等))上包含的和/或包含為在網(wǎng)絡(luò)上傳輸?shù)臄?shù)據(jù)信號(hào)(例如，在程序代碼的有線/無(wú)線電子分發(fā)期間)的程序代碼。
在其他實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種基于訂閱、廣告和/或收費(fèi)來執(zhí)行本發(fā)明的過程步驟的商業(yè)方法。也就是說，服務(wù)提供商(例如，因特網(wǎng)服務(wù)提供商)可以如上所述提供使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。在這種情況下，服務(wù)提供商可以管理(例如，創(chuàng)建、維護(hù)、支持等)為一個(gè)或多個(gè)客戶執(zhí)行本發(fā)明的處理步驟的計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施(例如，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102(圖2))。作為回報(bào)，服務(wù)提供商可以在訂閱和/或收費(fèi)協(xié)議下收取一個(gè)或多個(gè)客戶的付款，和/或服務(wù)提供商可以從將廣告空間出售給一個(gè)或多個(gè)第三方來收取費(fèi)用。
在再一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種提供用于使用數(shù)據(jù)陣列根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)的服務(wù)的方法。在這種情況下，可以獲取(例如，創(chuàng)建、維護(hù)、提供等)計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施(例如，計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施102(圖2))及獲取(例如，創(chuàng)建、購(gòu)買、使用、調(diào)整等)一個(gè)或多個(gè)用于執(zhí)行本發(fā)明的過程步驟的系統(tǒng)并將其部署到所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施。在此意義上，部署每個(gè)系統(tǒng)可以包括以下一個(gè)或多個(gè)步驟(1)從計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中將程序代碼安裝至計(jì)算設(shè)備，例如，計(jì)算設(shè)備104(圖2)；(2)將一個(gè)或多個(gè)計(jì)算設(shè)備添加到所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施；以及(3)結(jié)合和/或修改所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施的一個(gè)或多個(gè)現(xiàn)有系統(tǒng)，使得所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施能夠執(zhí)行本發(fā)明的過程步驟。
如本文中使用的，應(yīng)當(dāng)理解，術(shù)語(yǔ)“程序代碼”和“計(jì)算機(jī)程序代碼”為同義詞，意指一組指令的以任何語(yǔ)言、代碼或符號(hào)表示的任何表達(dá)，旨在使具有信息處理能力的計(jì)算設(shè)備直接執(zhí)行特定的功能，或者在執(zhí)行以下項(xiàng)的任意組合后執(zhí)行特定的功能a)轉(zhuǎn)換為另一種語(yǔ)言、代碼或符號(hào)；b)以不同的材料形式再現(xiàn)；和/或(c)解壓縮。在此意義上，程序代碼可以體現(xiàn)為一種或多種類型的程序產(chǎn)品，例如，應(yīng)用/軟件程序、組件軟件/功能庫(kù)、操作系統(tǒng)、特定計(jì)算和/或I/O設(shè)備的基本I/O系統(tǒng)/驅(qū)動(dòng)器，及此類產(chǎn)品。
出于示例和描述目的提供了本發(fā)明的各種方面的上述描述。其并非旨在是窮舉的或?qū)⒈景l(fā)明限于所公開的精確形式，并且很顯然，許多修改和變化都是可能的。這些對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說顯而易見的修改和變化旨在被包括在如所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的方法，所述方法包括以下步驟獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)；以及在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)代表不同測(cè)試的部分。
2.如權(quán)利要求1中所述的方法，還包括在所述報(bào)告步驟之前，生成指示所述數(shù)據(jù)陣列中特定測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)位置的轉(zhuǎn)換表的步驟。
3.如權(quán)利要求2中所述的方法，其中所述轉(zhuǎn)換表還包括要在坐標(biāo)文件中報(bào)告的特定測(cè)試的預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求3中所述的方法，其中所述報(bào)告步驟還包括生成包含特定測(cè)試的所述預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件。
5.如權(quán)利要求4中所述的方法，其中所述坐標(biāo)文件包括數(shù)據(jù)陣列坐標(biāo)和所述預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的陣列結(jié)構(gòu)坐標(biāo)。
6.如權(quán)利要求1中所述的方法，其中所述報(bào)告步驟還包括生成以下項(xiàng)中的至少一項(xiàng)包括特定測(cè)試的預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件；以及包括芯片上每個(gè)測(cè)試的結(jié)果的芯片報(bào)告。
7.如權(quán)利要求1中所述的方法，還包括將所述數(shù)據(jù)陣列再現(xiàn)為圖像的步驟。
8.一種提供用于根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的服務(wù)的方法，所述方法包括獲取計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施；以及對(duì)于權(quán)利要求1的每個(gè)步驟，將用于執(zhí)行所述步驟的單元部署到所述計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)設(shè)施。
9.一種根據(jù)陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括導(dǎo)致獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)的獲取器；以及導(dǎo)致報(bào)告數(shù)據(jù)陣列中的所述測(cè)試數(shù)據(jù)的報(bào)告器，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)代表不同測(cè)試的部分。
10.如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，還包括導(dǎo)致生成轉(zhuǎn)換表的生成器，所述轉(zhuǎn)換表指示所述數(shù)據(jù)陣列中特定測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)的位置。
11.如權(quán)利要求10中所述的系統(tǒng)，其中所述轉(zhuǎn)換表還包括要在坐標(biāo)文件中報(bào)告的特定測(cè)試的預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)，并且所述報(bào)告裝置還生成包括特定測(cè)試的預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件。
12.如權(quán)利要求11中所述的系統(tǒng)，其中所述坐標(biāo)文件包括數(shù)據(jù)陣列坐標(biāo)和所述預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的陣列結(jié)構(gòu)坐標(biāo)。
13.如權(quán)利要求10中所述的系統(tǒng)，還包括導(dǎo)致使用所述轉(zhuǎn)換表來分析所述數(shù)據(jù)陣列的分析器。
14.如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，其中所述報(bào)告器還生成以下項(xiàng)中的至少一項(xiàng)包括特定測(cè)試的預(yù)定數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件；以及包括芯片上每個(gè)測(cè)試的結(jié)果的芯片報(bào)告。
15.如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，還包括導(dǎo)致將所述數(shù)據(jù)陣列再現(xiàn)為圖像的成像器。
16.一種分析陣列結(jié)構(gòu)的測(cè)試數(shù)據(jù)的方法，所述方法包括以下步驟在數(shù)據(jù)陣列中接收所述測(cè)試數(shù)據(jù)的報(bào)告，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)代表不同測(cè)試的部分；以及根據(jù)轉(zhuǎn)換表掃描所述數(shù)據(jù)陣列以獲取所述陣列結(jié)構(gòu)的所述測(cè)試數(shù)據(jù)；以及分析所述數(shù)據(jù)。
17.如權(quán)利要求16中所述的方法，其中所述數(shù)據(jù)陣列在圖像中。
18.如權(quán)利要求16中所述的方法，其中所述分析步驟在測(cè)試其他陣列結(jié)構(gòu)期間發(fā)生。
全文摘要
本發(fā)明公開了使用數(shù)據(jù)陣列從陣列結(jié)構(gòu)的多個(gè)測(cè)試來報(bào)告和/或分析測(cè)試數(shù)據(jù)。一種方法包括獲取所述測(cè)試數(shù)據(jù)并在數(shù)據(jù)陣列中報(bào)告所述測(cè)試數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)陣列包括至少兩個(gè)表示不同測(cè)試的部分。根據(jù)轉(zhuǎn)換表來組織存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)陣列中的數(shù)據(jù)，所述轉(zhuǎn)換表描述了所述數(shù)據(jù)陣列中要測(cè)試的數(shù)據(jù)的位置和要分析的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)則。還可以生成大量其他數(shù)據(jù)布置，例如，列出預(yù)定最大數(shù)量的失效點(diǎn)的坐標(biāo)文件或芯片做出的包括失效點(diǎn)的芯片報(bào)告。所述數(shù)據(jù)陣列以更易于生成和存儲(chǔ)的形式報(bào)告所有測(cè)試數(shù)據(jù)，并且其可以被轉(zhuǎn)換成圖像。本發(fā)明還公開了用于使用所述數(shù)據(jù)陣列來分析數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)分析方法。
文檔編號(hào)G11C29/00GK1953102SQ20061013577
公開日2007年4月25日 申請(qǐng)日期2006年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月21日
發(fā)明者W·J·弗朗特, S·吳, J·卡斯?fàn)査?申請(qǐng)人:國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司