專(zhuān)利名稱(chēng)：磁記錄介質(zhì)、磁記錄再生裝置和磁記錄制造用壓模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及伺服信號(hào)單位部以凹凸形狀形成的磁記錄介質(zhì)、具有該磁記錄介質(zhì)的磁記錄再生裝置和用于制造該磁記錄介質(zhì)的壓模。
背景技術(shù)：
以前，例如硬盤(pán)等磁記錄介質(zhì)將記錄層分成多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域使用，將用于磁頭的定位等的控制用的伺服信號(hào)以規(guī)定的伺服圖形磁記錄在伺服區(qū)域上。
伺服區(qū)域由用于時(shí)鐘同步的前同步信號(hào)區(qū)域、表示伺服數(shù)據(jù)開(kāi)始的SAM區(qū)域、表示磁道號(hào)碼的磁道地址信號(hào)區(qū)域、表示扇段號(hào)碼的扇段地址信號(hào)區(qū)域、和用于磁頭的跟蹤的脈沖串信號(hào)區(qū)域等構(gòu)成。
在脈沖串信號(hào)區(qū)域中，將多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部劃分成多種脈沖串信號(hào)組進(jìn)行磁記錄。各脈沖串信號(hào)組是將多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部在磁道的長(zhǎng)邊方向(磁頭的相對(duì)的運(yùn)行方向)以適當(dāng)?shù)拈g隔記錄成列狀的結(jié)構(gòu)。在此為了本發(fā)明的理解，就設(shè)定4種脈沖串信號(hào)組時(shí)的一例，說(shuō)明脈沖串信號(hào)單位部的具體結(jié)構(gòu)及其作用。
第1和第2脈沖串信號(hào)組以將構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的中心在該磁道的寬度方向上互相只離開(kāi)1個(gè)磁道間距的方式被磁記錄。雖然第3和第4脈沖串組也以將構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的磁道的寬度方向的中心在磁道寬度方向相互只離開(kāi)1個(gè)磁道間距的方式記錄，但以相對(duì)構(gòu)成第1和第2脈沖串信號(hào)組的脈沖串信號(hào)部的磁道的寬度方向的中心在磁道的寬度方向只離開(kāi)半個(gè)磁道間距的方式被磁記錄。另外，各脈沖串信號(hào)組在各磁道的寬度方向以2個(gè)磁道間距的間隔被記錄多個(gè)。上述4種脈沖串信號(hào)組彼此的位置關(guān)系是鄰接的4種脈沖串信號(hào)組彼此間的位置關(guān)系。
磁頭一邊沿著作為數(shù)據(jù)的記錄/再生對(duì)象的磁道(相對(duì)地)運(yùn)行，一邊檢測(cè)相對(duì)第1和第2脈沖串的信號(hào)組的脈沖串信號(hào)單位部的輸出。因?yàn)檫@些第1和第2脈沖串信號(hào)組的脈沖串信號(hào)單位部的輸出的差分值隨著磁頭相對(duì)該磁道的磁道的寬度方向的移動(dòng)量而變化，所以可以根據(jù)該差分值把握磁頭相對(duì)作為數(shù)據(jù)的記錄/再生對(duì)象的磁道的磁道寬度方向的移動(dòng)量，并可以修正磁頭的磁道的寬度方向的位置。另外，在只用第1和第2脈沖信號(hào)組不能獲得磁頭的充分的定位精度的場(chǎng)合，通過(guò)利用第3和第4脈沖串信號(hào)組可以使磁頭的定位精度進(jìn)一步提高。
另外，在此示出的脈沖串信號(hào)單位部的結(jié)構(gòu)只不過(guò)是設(shè)定4種脈沖串信號(hào)組的場(chǎng)合的一個(gè)例子，例如也往往設(shè)第1和第2脈沖串信號(hào)組的磁道寬度方向的相互移動(dòng)量為2/3磁道間距，設(shè)第3和第4脈沖串信號(hào)組的磁道寬度方向的相互移動(dòng)量也為2/3磁道間距，且以相對(duì)第1和第2脈沖串信號(hào)組在磁道的寬度方向只偏移1/3磁道間距的方式記錄脈沖串信號(hào)單位部。另外，也可以省略第3和第4脈沖串信號(hào)組，而只磁記錄第1和第2脈沖串信號(hào)組。另外，也可以磁記錄6種或8種脈沖串信號(hào)組。
伺服信號(hào)單位部以通常為矩形的方式，用伺服、跟蹤、寫(xiě)方式被記錄在磁記錄介質(zhì)上。這時(shí)由于磁頭向磁記錄介質(zhì)的徑向(磁道的寬度方向)在圓弧軌道上移動(dòng)，所以伺服信號(hào)單位部就會(huì)隨著徑向的位置的不同而具有最大20°左右的角度差地被磁記錄。在磁記錄再生裝置中磁頭也同樣向磁記錄介質(zhì)的徑向在圓弧軌道上移動(dòng)，所以可以根據(jù)徑向的位置正確地讀出以有角度差方式被磁記錄的伺服信號(hào)單位部的輸出。
然而，這樣的伺服信號(hào)的記錄工序是使伺服信號(hào)單位部及其周?chē)宽槾纬喾吹臉O性磁化的工序，存在生產(chǎn)率低的問(wèn)題。特別是近年來(lái)由于面記錄密度的提高和伴隨其的磁頭浮起高度的降低，所以即使就伺服信息能要求高密度高精度的記錄，對(duì)伺服信息的記錄的效率增加的要求也在提高。
對(duì)此有人建議，在伺服區(qū)域只在伺服信號(hào)單位部或其周?chē)糠种簧闲纬捎涗泴?，并按一定形狀形成伺服圖形的磁記錄介質(zhì)。如果這樣做，由于通過(guò)在磁記錄介質(zhì)上一樣施加直流磁場(chǎng)，使記錄層按伺服圖形原樣磁化，所以可以大幅度地提高伺服信息的記錄效率。
另外，雖然硬盤(pán)等磁記錄介質(zhì)通過(guò)構(gòu)成記錄層的磁性粒子的微細(xì)化、材料的變更、磁頭加工的微細(xì)化等改進(jìn)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了面記錄密度顯著的提高，今后也還期望進(jìn)一步的提高面記錄密度，但是因磁頭的加工極限，磁頭的記錄磁場(chǎng)展寬引起的鄰接的磁道上的記錄、再生時(shí)的交調(diào)干擾等問(wèn)題變得突出，通過(guò)這些從來(lái)的方法提高面記錄密度已經(jīng)達(dá)到極限，作為能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)面記錄密度提高的磁記錄介質(zhì)的后補(bǔ)方法，有人建議，在數(shù)據(jù)區(qū)域以凹圖形形成記錄層并將記錄要素作為凹凸圖形的凸部形成的分立式磁道介質(zhì)和形成圖形的介質(zhì)。在制造這樣的分立式磁道的介質(zhì)，形成圖形的介質(zhì)的場(chǎng)合為了在數(shù)據(jù)區(qū)域形成記錄要素作為凸部，而要有加工記錄層的工序，由于在該工序中可以同時(shí)在伺服區(qū)域形成伺服信號(hào)單位部作為凸部或凹部，所以生產(chǎn)性這點(diǎn)特別好(參照例如特開(kāi)平6-195907號(hào)公報(bào))。
作為將記錄層加工成伺服圖形和跟蹤圖形形成的方法，可以在連續(xù)的記錄層上形成掩模層和抗蝕劑層，并用光刻或納米刻印法在抗蝕劑層上形成伺服圖形和磁道圖形后，利用通過(guò)干蝕刻的方法順次加工掩模層、記錄層的方法。

發(fā)明內(nèi)容
然而在抗蝕劑層上正確地形成所希望的伺服圖形并非容易。例如通過(guò)光刻在抗蝕劑層上形成對(duì)應(yīng)上述那樣的復(fù)雜的伺服圖形的凹凸形狀并非容易，以充分的精度形成凹凸形狀是困難的。另外，在用壓模的場(chǎng)合，為了制作具有與記錄層的凹凸圖形的凹凸形狀相當(dāng)?shù)陌纪剐螤畹膹?fù)制面的壓模而用光刻的方法，所以也存在不能以足夠高的精度在壓模上形成凹凸形狀的問(wèn)題。另外，在于蝕刻中按圖形形成的抗蝕劑層的形狀的原樣正確地加工掩模層和記錄層往往是困難的。即，按所希望的形狀的原樣正確地形成矩形的伺服信號(hào)單位部作為凸部或凹部并非容易，實(shí)際上，伺服信號(hào)單位部的形成往往以輪廓形狀、設(shè)置位置、和設(shè)置角度等帶有偏差。
特別是，按照原樣與磁記錄再生裝置的圓弧軌道對(duì)應(yīng)的隨著徑向的位置不同而具有角度差的復(fù)雜的伺服圖形的原樣正確地形成矩形的伺服信號(hào)單位部的圖形是困難的，伺服信號(hào)單位部的設(shè)置角度容易形成偏差。這樣，因伺服信號(hào)單位部的設(shè)置角度偏差而在伺服信號(hào)單位部與磁頭之間產(chǎn)生不能允許的角度差，從而往往使伺服信息的讀出精度下降，并發(fā)生錯(cuò)誤。
具體地說(shuō)，如分立式磁道的介質(zhì)或形成圖形的介質(zhì)那樣，面密度高的磁記錄介質(zhì)存在因脈沖串信號(hào)的讀出精度的降低而容易發(fā)生跟蹤錯(cuò)誤的問(wèn)題。
本發(fā)明是鑒于以上的問(wèn)題構(gòu)思的，其目的是提供伺服信號(hào)單位部以凹凸形狀形成且生產(chǎn)容易和不容易發(fā)生跟蹤錯(cuò)誤而可靠性高的磁記錄介質(zhì)，裝備該磁記錄介質(zhì)的磁記錄再生裝置和用于制造該記錄介質(zhì)的壓模。
本發(fā)明通過(guò)以使從厚度方向看伺服信號(hào)單位部中至少用于跟蹤的脈沖串信號(hào)單位部看的形狀為大致橢圓形的方式形成來(lái)達(dá)到上述目的。
當(dāng)磁頭與脈沖串信號(hào)單位部的相對(duì)的角度變化時(shí)，磁頭檢測(cè)的信號(hào)就變化，可以認(rèn)為這是因?yàn)樵诖蓬^的信號(hào)檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的脈沖串信號(hào)單位部的面積變化的結(jié)果，由于大致橢圓形的脈沖串信號(hào)單位部在磁頭與脈沖串信號(hào)單位部的相對(duì)的角度變化的場(chǎng)合，磁頭的信號(hào)檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的脈沖串信號(hào)單位部的面積變化比矩形的脈沖串信號(hào)單位部小，所以可以比較小地阻止脈沖串信號(hào)變化。換句話說(shuō)，可以使脈沖串信號(hào)單位部與磁頭的角度差的允許范圍寬，就可以相應(yīng)地使磁頭正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)。
例如，即使因脈沖串信號(hào)單位部的設(shè)置角度偏離形成，并且在脈沖串信號(hào)單位部與磁頭之間脈沖串信號(hào)單位部是矩形即使發(fā)生不能允許程度的角度差，磁頭也能正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)，換句話說(shuō)，可以獲得脈沖串信號(hào)單位部的加工精度的允許周?chē)儗?，壓模的制造、抗蝕劑層的加工、掩模層的加工和記錄層的加工相應(yīng)變?nèi)菀滓约疤岣呱a(chǎn)效率的效果。
另外，例如在所有的脈沖串信號(hào)單位部配置或一樣的方向，變成沒(méi)有角度差的脈沖串信號(hào)圖形的場(chǎng)合，雖然會(huì)隨著磁記錄介質(zhì)的徑向的位置不同而在脈沖串信號(hào)單位部與磁頭之間產(chǎn)生與磁頭的扭斜角對(duì)應(yīng)的角度差，但是，在這時(shí)，如果脈沖串信號(hào)單位部是矩形、則即使在脈沖串信號(hào)單位與磁頭之間產(chǎn)生不能允許的程度的角度差，磁頭也能正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)，由于變成這樣的比較簡(jiǎn)單的脈沖串信號(hào)圖形，而使脈沖串信號(hào)圖形的設(shè)計(jì)變得容易。
即通過(guò)下述這樣的本發(fā)明，可以達(dá)到上述目的。
(1)一種磁記錄介質(zhì)，其特征在于具有劃分為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域而記錄信息的記錄層構(gòu)成，該記錄層在上述各伺服區(qū)域以規(guī)定的伺服圖形的凹凸形狀形成并形成伺服信號(hào)單位部作為該凹凸形狀的凸部和凹部的任何一個(gè)，該伺服信號(hào)單位部中至少用于檢測(cè)上述數(shù)據(jù)區(qū)域的磁道位置的脈沖串信號(hào)單位部從厚度方向看的形狀是大致橢圓形。
(2)如(1)所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于在上述脈沖串信號(hào)單位部中，設(shè)上述磁道的寬度方向的寬度為Rt，上述磁道的長(zhǎng)邊方向的寬度為Rs，則滿(mǎn)足0.5≤Rt/Rs≤2。
(3)如(1)所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于在上述脈沖串信號(hào)串單位部中，設(shè)上述磁道的寬度方向的寬度為Rt，上述磁道的長(zhǎng)邊方向的寬度為Rs，則滿(mǎn)足0.7≤Rt/Rs≤1.5。
(4)如(2)或(3)所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于上述脈沖串信號(hào)單位部從厚度方向看的形狀是大致圓形。
(5)如(2)或(3)所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足1＜Rt/Rs。
(6)如(2)至(3)所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足Rt/Rs＜1。
(7)一種磁記錄再生裝置，其特征在于具有(1)至(6)任何1項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)、和接近該磁記錄介質(zhì)的表面并用于進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄/再生的磁頭。
(8)一種磁記錄介質(zhì)制造用壓模，其特征在于具有與(1)至(6)任何1項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)的記錄層的凹凸形狀相當(dāng)?shù)陌纪剐螤畹膹?fù)制面。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂“記錄層在各伺服區(qū)域中以規(guī)定的伺服圖形的凹凸?fàn)钚纬伞钡暮馐怯盟欧D形將記錄層分割成多個(gè)伺服信號(hào)單位部，除了把伺服信號(hào)單位部作為凸部形成的場(chǎng)合外，也包含將記錄層只形成在伺服信號(hào)單位部的周?chē)鷧^(qū)域而把伺服信號(hào)單位部作為凹部形成的場(chǎng)合，也包含在形成有凸部和凹部?jī)烧叩倪B續(xù)的記錄層上把伺服信號(hào)單位部作為凸部或凹部形成的場(chǎng)合。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂“大致橢圓形”的含意是除了圖13中用附加符號(hào)A所表示那樣的長(zhǎng)軸和短軸的長(zhǎng)度不同的橢圓外，也包括該圖中用附加符號(hào)B所表示那樣的真正圓形、該圖中用附加符號(hào)C所表示那樣的相對(duì)長(zhǎng)軸或短軸之一或兩者非對(duì)稱(chēng)的卵形那樣的橢圓形、和該圖中用附加符號(hào)D所表示那樣的在周緣上一部分是直線狀的細(xì)長(zhǎng)圓形。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂“大致圓形”的含意是除了包括真正的圓形外，也包括長(zhǎng)軸與短軸的長(zhǎng)度差為5％以?xún)?nèi)的橢圓形。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂磁記錄介質(zhì)的用語(yǔ)的含意是不限于在信息的記錄，讀取中的只用磁的硬盤(pán)、軟盤(pán)(注冊(cè)商標(biāo))磁盤(pán)等，也包含并用磁和光的MO(Magneto Optical)等，光磁記錄介質(zhì)，開(kāi)用磁和熱的熱輔助型的記錄介質(zhì)。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂“與記錄層的凹凸形狀相當(dāng)?shù)陌纪剐螤睢钡暮馐前c記錄層的凹凸形狀凹凸位置關(guān)系一致的凹凸形狀與記錄層的凹凸形狀位置關(guān)系相反的凹凸形狀兩者。
另外，在本申請(qǐng)中，所謂磁頭的讀出寬度Wr根據(jù)如下述的方法測(cè)定的值的含意使用。即，首先與凹凸圖形的記錄層相對(duì)應(yīng)，準(zhǔn)備具有材料和厚度相等的一樣的膜狀的連續(xù)層，并且記錄層以外的結(jié)構(gòu)與本來(lái)的磁記錄介質(zhì)相等的測(cè)定用的磁記錄介質(zhì)，如圖14所示，由記錄磁頭將記錄磁場(chǎng)加在測(cè)定用的磁記錄介質(zhì)的連續(xù)記錄層100上，在沿磁道的長(zhǎng)邊方向通過(guò)磁形成寬度為磁道寬度Tw的被記錄部位，并且將被記錄部位的周?chē)兂山涣飨顟B(tài)。另外，在將被記錄部位的寬度方向的兩端只交流消去磁道寬度Tw的1/4左右，通過(guò)磁形成如圖14所示那樣的寬度為T(mén)w/2的微磁道108。接著使再生磁頭106從離開(kāi)該微磁道108充分的距離的位置沿著磁道寬度Tw方向接近微磁道108。使再生磁頭106進(jìn)一步通過(guò)微磁道108的上方，使再生磁頭106移動(dòng)到離開(kāi)微磁道108充分的距離的相反側(cè)的位置。這時(shí)，再生磁頭106相對(duì)微磁道108的磁道寬度W方向的位置與再生磁頭106的再生輸出的關(guān)系變成如圖15所示那樣。把再生輸出的值變?yōu)樵偕敵龅淖畲笾档囊话肭以谖⒋诺?08的兩側(cè)的再生磁頭106的微磁道108的寬度方向的2點(diǎn)的位置的間隔(半值寬)定義為“再生磁頭106的讀出寬度Wr”。
按照本發(fā)明，可以實(shí)現(xiàn)伺服信號(hào)單位部以凹凸形狀形成且生產(chǎn)容易并不容易發(fā)生磁頭撞壞而可靠性高的磁記錄介質(zhì)，裝備該磁記錄介質(zhì)的磁記錄再生裝置和能高效率制造該磁記錄介質(zhì)的壓模。


圖1是模式地表示本發(fā)明第1實(shí)施方式的磁記錄再生裝置的主要部分的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是模式地表示該磁記錄再生裝置的磁記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖3是通過(guò)放大后模式地表示該磁記錄介質(zhì)的伺服區(qū)域的平面圖。
圖4是通過(guò)放大后模式地表示該磁記錄介質(zhì)的伺服區(qū)域和數(shù)據(jù)區(qū)域的邊界附近的側(cè)剖面圖。
圖5是通過(guò)放大后模式地表示該磁記錄介質(zhì)的脈沖串信號(hào)區(qū)域的平面圖。
圖6是通過(guò)進(jìn)一步放大后模式地表示該磁記錄介質(zhì)的脈沖串信號(hào)單位部的形狀的平面圖。
圖7是表示該磁記錄再生裝置的作用的平面圖。
圖8是模式地表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的脈沖串信號(hào)單位部的形狀的平面圖。
圖9是模式地表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的脈沖串信號(hào)單位部的形狀的平面圖。
圖10是通過(guò)放大后模式地表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的脈沖串信號(hào)區(qū)域的平面圖。
圖11是表示用于制造本發(fā)明的第1實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的壓模的制造工序的概略的側(cè)剖面圖。
圖12是表示通過(guò)該壓模在被加工體的抗蝕劑層上復(fù)制凹凸圖形的工序概略的側(cè)面圖。
圖13是表示本申請(qǐng)的大致橢圓形的例子的平面圖。
圖14是說(shuō)明本申請(qǐng)中的磁頭的讀出寬度的測(cè)定方法的平面圖。
圖15是說(shuō)明該磁頭的讀出寬度的測(cè)定方法的曲線。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
如圖1所示那樣，本發(fā)明的第1實(shí)施方式的磁記錄再生裝置10包括磁記錄介質(zhì)12、為了對(duì)磁記錄介質(zhì)12進(jìn)行記錄數(shù)據(jù)的記錄/再生而能以接近磁記錄介質(zhì)12的表面浮起的方式設(shè)置的磁頭14，在磁記錄介質(zhì)12的結(jié)構(gòu)上具有特征，就其它的結(jié)構(gòu)，因?yàn)檎J(rèn)為對(duì)本實(shí)施方式的理解沒(méi)有特別必要，所以決定適當(dāng)省略說(shuō)明。
另外，磁記錄介質(zhì)12固定在卡盤(pán)16上，并能與該卡盤(pán)16一起自由地旋轉(zhuǎn)。另外，磁頭14安裝在臂18的前端附近，臂18可自由旋轉(zhuǎn)地安裝在座20上。因此磁頭14可沿著磁記錄介質(zhì)12的徑向在圓弧形軌道上浮起在磁記錄介質(zhì)12的表面上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
磁記錄介質(zhì)12是垂直記錄型的分立式的磁盤(pán)，如圖2所示那樣，分割成多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域DA，多個(gè)伺服區(qū)域SA并具有記錄信息的記錄層21，記錄層21在各伺服區(qū)域SA中是圖3所示那樣的伺服圖形，并以圖4所示那樣的凹凸形狀形成，作為該凹凸形狀的凸部形成伺服信號(hào)單位部22，該伺服信號(hào)單位部22中如圖5所示那樣，用于跟蹤的脈沖串信號(hào)單位部24從厚度方向(與磁記錄介質(zhì)12的表面垂直的方向)看的形狀為大致圓形。
在各數(shù)據(jù)區(qū)域DA中，記錄層21分割成同心圓的圓弧狀，構(gòu)成磁道的多個(gè)記錄要素26如圖3所示那樣，在徑向以磁道間距Tp作為凸部形成。
各伺服區(qū)域SA如圖13所示那樣劃分為用于時(shí)鐘同步的前同步信息區(qū)域28、表示伺服數(shù)據(jù)開(kāi)始的SAM(Servo Address Mark)區(qū)域30、表示磁道號(hào)碼的磁道地址信號(hào)區(qū)域32、表示扇段號(hào)碼的扇段地址信號(hào)區(qū)域34、和用于檢測(cè)在數(shù)據(jù)區(qū)域DA的各記錄要素26(磁道)上的磁頭的位置的脈沖串信號(hào)區(qū)域36。另外，圖3是為了方便用在記錄要素26的寬度方向的平行的線形狀表示的在各伺服區(qū)域的各部中的伺服信號(hào)單位部22的形狀的圖，實(shí)際上，各伺服信號(hào)單位部22如在圖5中所示的脈沖串信號(hào)單位部24那樣，在記錄要素26(磁道)的長(zhǎng)邊方向也作為具有寬度的凸部形成。
如圖5所示，在脈沖串信號(hào)區(qū)域36中，多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部24分成4種脈沖串信號(hào)組配置。各脈沖串信號(hào)組將多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部24以在記錄要素26(磁道)的長(zhǎng)邊方向(磁頭14相對(duì)的運(yùn)行方向)適當(dāng)?shù)拈g隔并排設(shè)置成一列的結(jié)構(gòu)。另外各脈沖串信號(hào)組以在磁道的長(zhǎng)邊方向和磁道寬度Tw方向以離開(kāi)適當(dāng)?shù)拈g隔的方式形成。具體地說(shuō)，第1脈沖串信號(hào)組38，第2脈沖串信號(hào)組40，第3脈沖串信號(hào)組42和第4脈沖串信號(hào)組44以在磁道的長(zhǎng)邊方向順次且在磁道長(zhǎng)邊方向的位置離開(kāi)的方式形成。另外，第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部24的磁道寬度Tw方向的中心在磁道寬度W方向相互只離開(kāi)1個(gè)磁道間距Tp的方式，且與記錄要素26的磁道寬度Tw方向的中心一致的方式形成，第3脈沖串信號(hào)組42和第4脈沖串信號(hào)組44也以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部24的磁道寬度Tw方向的中心在磁道寬度Tw方向相互只離開(kāi)1個(gè)磁道間距Tp的方式，且以相對(duì)構(gòu)成第1脈沖串信號(hào)組38、和第2脈沖串信號(hào)組40的脈沖串信號(hào)單位部24的磁道寬度Tw方向的中心在磁道寬度Tw方向只離開(kāi)半個(gè)磁道間距的方式形成(參照?qǐng)D5)。另外，各脈沖串信號(hào)組各自在磁道的寬度方向以2個(gè)磁道間距2Tp的間隔形成多個(gè)，以上的4種脈沖串信號(hào)組彼此的位置關(guān)系是鄰接接的4種脈沖串信號(hào)組彼此的位置關(guān)系。
記錄層21以厚度5～30nm形成在基板47上。作為記錄層24的材料可以用CoCrPt合金等CoCr系合金、FePt系合金，它們的層疊體、SiO2等的氧化物系材料中使CoPt等的強(qiáng)磁性粒子包含成矩陣狀的材料等。作為基板22的材料，可以用玻璃、由Nip被覆的Al合金、Si、Al2O3等非磁性材料。
在記錄要素26與伺服信號(hào)單位部22之間的凹部充填非磁性物27，作為非磁性物27的材料，可以用SiO2、Al2O3、TiO2鐵素體等的氧化物、AlN等的氮化物、SiC等的碳化物。
在記錄要素26和伺服信號(hào)單位部22上順次形成保護(hù)層45、潤(rùn)滑層46。保護(hù)層45的厚度是1～5nm。作為保護(hù)層45的材料，可以用例如稱(chēng)為金剛石類(lèi)碳的硬質(zhì)碳膜。另外，潤(rùn)滑層46的厚度是1～2nm，作為潤(rùn)滑層46的材料可以用PFPE(全氟聚醚)和フォンブリン系潤(rùn)滑劑等。
在基板47與記錄層21之間形成反強(qiáng)磁層48、軟磁層50、用于賦予記錄層24厚度方向(垂直于表面的方向)的磁各向異性的取向?qū)?2。反強(qiáng)磁層48的厚度是5～50nm。作為反強(qiáng)磁層48的材料，可以用PtMn合金，RuMn合金等。軟磁層50的厚度是50～300nm。作為軟磁層50的材料，可以用Fe(鐵)合金、Co(鈷)無(wú)定形合金、鐵素體等。取向?qū)?2的厚度是2～40nm。作為取向?qū)?2的具體的材料可以用非磁性的CoCr合金、Ti、Ru、Ru與Ta的層疊體和MgO等。
磁頭14裝備有記錄磁頭和再生磁頭(均未示出)。
下面說(shuō)明磁記錄再生裝置10的作用。
由于磁記錄再生裝置10在磁記錄介質(zhì)12的伺服區(qū)域SA上以凸形狀形成的脈沖串信號(hào)單位部24是大致圓形，所以在脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭之間不會(huì)產(chǎn)生角度差。例如即使脈沖串信號(hào)單位部24的加工精度低，在脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14之間也不會(huì)產(chǎn)生角度差，磁頭14可以正確檢測(cè)脈沖串信號(hào)。另外，如圖7所示那樣，即使磁頭14朝徑向移動(dòng)，磁頭14的扭斜角變化，在脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14之間也不會(huì)產(chǎn)生角度差，磁頭14可以正確檢測(cè)脈沖串信號(hào)。
換句話說(shuō)，磁記錄介質(zhì)12的脈沖串信號(hào)單位部24的加工精度的允許范圍寬，生產(chǎn)效率高。另外由于在設(shè)計(jì)過(guò)程中不需要考慮脈沖串信號(hào)部24的設(shè)置角度，所以脈沖串信號(hào)圖形的設(shè)計(jì)容易。
另外，由于磁記錄介質(zhì)12是記錄要素26在數(shù)據(jù)區(qū)域作為凸形狀形成的分立式磁道介質(zhì)，所以可以同時(shí)形成包含脈沖串信號(hào)單位部24的伺服信號(hào)單位部22和記錄要素26，因此生產(chǎn)效率高。
另外，由于磁記錄介質(zhì)12的記錄要素26在數(shù)據(jù)區(qū)域以磁道形狀形成，所以即使面記錄密度高，與記錄對(duì)象的磁道鄰接的磁道上的記錄再生時(shí)的交調(diào)干擾問(wèn)題不容易發(fā)生。
另外，由于磁記錄介質(zhì)12的記錄要素26彼此被分割，在記錄要素26之間的凹部不存在記錄層21，所以不會(huì)從凹部發(fā)生干擾信號(hào)，因此可以獲得良好的記錄特性。
在此，就磁記錄介質(zhì)12的制造方法進(jìn)行簡(jiǎn)單地說(shuō)明。
首先，制作如圖13所示那樣的具有相當(dāng)于用于將磁記錄介質(zhì)12的記錄層21加工成上述凹凸圖形的記錄層21的凹凸形狀的凹凸形狀的復(fù)制面60A的磁記錄介質(zhì)制造用壓模60。具體地說(shuō)，首先在Si等和基板62上涂布抗蝕劑材料64，通過(guò)用光刻等方法曝光、顯影除去該抗蝕劑材料64一部分，并通過(guò)加工成與記錄層21的凹凸形狀凹凸位置關(guān)系一致的凹凸形狀來(lái)制作原盤(pán)66。由于脈沖串信號(hào)單位部24是大致圓形而不需要考慮設(shè)置角度，所以脈沖串信號(hào)圖形的設(shè)計(jì)容易。并且脈沖串信號(hào)單位的加工精度的允許范圍寬。從而使原盤(pán)66的制作相應(yīng)地變得容易。接著在該原盤(pán)66的凹凸形狀的抗蝕劑材料64上用蒸鍍法、濺射法等成膜導(dǎo)電膜(未示出)后，通過(guò)電鍍法形成Ni(鎳)等電鍍層作為導(dǎo)電膜，通過(guò)將這些導(dǎo)電膜和電鍍層從原盤(pán)上一體地剝離就能獲得具有凹凸位置關(guān)系與記錄層21的凹凸形狀為相反的凹凸形狀的復(fù)制面60A的磁記錄介質(zhì)制造用壓模60。
接著，準(zhǔn)備在基板47上順次形成有反強(qiáng)磁層48、軟磁層50、取向?qū)?2、連續(xù)的記錄層21、第1掩模層68、第2掩模層70和抗蝕劑層72的被加工體74，如圖12所示，使磁記錄介質(zhì)制造用壓模抵接在抗蝕劑層72上，將復(fù)制面60A的凹凸形狀復(fù)制在抗蝕劑層72上。借此，將抗蝕劑層72加工成凹凸位置關(guān)系與記錄層21的凹凸形狀一致的凹凸形狀。作為第1掩模層68的材料，可以用例如C(碳)。另外作為第2掩模層70的材料可以用例如Ni。另外，通過(guò)用O2或O3氣體的反應(yīng)性離子蝕刻根據(jù)除去構(gòu)成抗蝕劑層72上的凹部的底部的部分的程度同樣地蝕刻抗蝕劑層72，使第2掩模層70在凹部底部露出。
接著通過(guò)用Ar氣體的離子束蝕刻除去凹部底部的第2掩模層70，通過(guò)用SF6氣體的反應(yīng)性離子蝕刻除去凹部底部的第1掩模層68，再通過(guò)用Ar氣體的離子束蝕刻除去凹部底部的記錄層21，將記錄層21分割成多個(gè)伺服信號(hào)單位部21和記錄要素26。
接著，通過(guò)偏置濺射法在記錄層21上成膜非磁性物27充填凹部，并且通過(guò)離子束蝕刻對(duì)被加工體74的表面從傾斜的方向照射除去剩余的非磁性物27，平坦化表面。
接著通過(guò)CVD法在伺服信號(hào)單位部22、記錄要素26和非磁性物27的上表面成膜保護(hù)層45，并且通過(guò)浸漬法在保護(hù)層45上成膜潤(rùn)滑層46。借此完成磁記錄介質(zhì)12。
這樣，由于磁記錄介質(zhì)12的脈沖串信號(hào)單位部24是大致圓形，所以在制造工序中用的磁記錄介質(zhì)制造用壓模60的制作容易。另外，由于用磁記錄介質(zhì)制造用壓模60，所以可以高效率地將抗蝕劑層72加工成凹凸位置關(guān)系與記錄層21的凹凸形狀一致的凹凸形狀。并且由于脈沖串信號(hào)單位部24是大致圓形，所以第2掩模層70、第1掩模層68，記錄層21的加工精度允許范圍寬。因此，可以提高包含磁記錄介質(zhì)制造用壓模60的制造的磁記錄介質(zhì)12的制造工序的整個(gè)生產(chǎn)效率。
另外，雖然在第1實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)制造用壓模60的復(fù)制面60A的凹凸形狀是凹凸位置關(guān)系與記錄層21的凹凸形狀相反的，但是也可以用凹凸位置關(guān)系與記錄層21的凹凸形狀一致的磁記錄介質(zhì)制造用壓模。這時(shí)，雖然在抗蝕劑層72上復(fù)制凹凸位置關(guān)系與記錄層21凹凸形狀相反的凹凸形狀，但是也可以例如在復(fù)制有凹凸形狀的抗蝕劑層72上以使該抗蝕劑層72的凹部上的厚度比凸部上的厚度厚的方式成膜材料與抗蝕劑層72不同的第2抗蝕劑層，通過(guò)相對(duì)抗蝕劑層72的蝕刻速率比相對(duì)第2抗蝕劑層的蝕刻速率高的蝕刻法蝕刻兩個(gè)抗蝕劑層，借此將第2抗蝕劑層加工成與記錄層21的凹凸形狀凹凸位置關(guān)系一致的凹凸形狀。另外，也可以在記錄層21上直接形成抗蝕劑層72，在用蝕刻除去構(gòu)成復(fù)制有凹凸形狀的抗蝕劑層72的凹部底部的部分后，避開(kāi)殘存的抗蝕劑層72的凹部的側(cè)面，在抗蝕劑層72的突部上及其之間的凹部的底部上以一樣的厚度成膜。用不溶解第1掩模層68且選擇地只溶解抗蝕劑層72的溶劑將其上面的第1掩模層68與構(gòu)成凸部的抗蝕劑層72一起除去，借此將第1掩模層68形成為凹凸位置關(guān)系與上述記錄層21的凹凸形狀一致的凹凸形狀。另外，這時(shí)不需要第2掩模層70。
另外，雖然在本第1實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)12的脈沖串信號(hào)單位部24是大致圓形，但是也可以如圖8所示的本發(fā)明的第2實(shí)施方式那樣，使脈沖串信號(hào)單位部24在圓周方向(磁道的長(zhǎng)邊方向)的寬度Rs變?yōu)楸葟较?磁道寬度Tw方向)的寬度Rt小，且滿(mǎn)足1＜Rt/Rs的大致橢圓形。這時(shí)，為了獲得良好的跟蹤特性而優(yōu)選的是滿(mǎn)足Rt/Rs≤2，更優(yōu)選的是滿(mǎn)足Rt/Rs≤1.5。
這樣一來(lái)，由于脈沖串信號(hào)單位部24為(不是大致圓形的)大致橢圓形的場(chǎng)合也比脈沖串信號(hào)單位部為矩形的場(chǎng)合的脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14的角度差的允許范圍寬，所以磁頭可以相應(yīng)地正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)。
例如，即使脈沖串信號(hào)單位部24的形成有設(shè)置角度偏差，在脈沖信號(hào)單位部24與磁頭14之間如果脈沖串信號(hào)單位部是矩形產(chǎn)生不能允許的程度的角度差，磁頭14也能正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)。即，可以獲得脈沖信號(hào)單位部24的加工精度的允許范圍寬，生產(chǎn)效率高的效果。
另外，雖然例如在所有的脈沖串信號(hào)單位部24配置在相同的方向上，作為沒(méi)有角度差的脈沖串信號(hào)圖形的場(chǎng)合，即使也會(huì)隨磁記錄介質(zhì)12上的徑向位置的不同而會(huì)在脈沖串信號(hào)部24與磁頭14之間發(fā)生相應(yīng)于磁頭14的扭斜角的角度差，但是在這時(shí)，脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14之間，即使如果脈沖串信號(hào)單位部是矩形而產(chǎn)生不能允許程度的角度差，磁頭14也能正確地檢測(cè)脈沖串信號(hào)，同時(shí)可以獲得以這樣的比較簡(jiǎn)單的脈沖串信號(hào)圖形使脈沖串信號(hào)圖形的設(shè)計(jì)變?nèi)菀椎男Ч?br> 另外，由于脈沖串信號(hào)單位部24在圓周方向比徑向短，所以可以在圓周方向(磁道的長(zhǎng)邊方向)相應(yīng)地配設(shè)多一些的脈沖串信號(hào)單位部24，這樣做可以獲得多一些的脈沖串信號(hào)，并可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)跟蹤精度的提高。
另外，也可以如圖9中所示的本發(fā)明第3實(shí)施方式那樣，作為脈沖串信號(hào)單位部24在徑向比圓周方向短且滿(mǎn)足Rt/Rs＜1的結(jié)構(gòu)。
這樣做可以在徑向相應(yīng)地配置多一些的脈沖串信號(hào)單位部24，即使面記錄密度高，磁道間距小的場(chǎng)合也能在所希望的位置上配置脈沖串信號(hào)單位部24。這時(shí)，為了獲得良好的跟蹤特性而優(yōu)選的是滿(mǎn)足0.5≤Rt/Rs，更優(yōu)選的是滿(mǎn)足0.7≤Rt/Rs。
另外，雖然在上述第1實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)12在脈沖串信號(hào)區(qū)域36中將多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部24分成4種脈沖串信號(hào)組配置的，但在例如面記錄密度比較低，所要求的跟蹤精度也比較低的那樣的場(chǎng)合，也可以如圖10所示的本發(fā)明第4實(shí)施方式那樣，省略第3和第4脈沖串信號(hào)組，在脈沖串信號(hào)區(qū)域36將多個(gè)脈沖串信號(hào)單位部24分成第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40兩種脈沖串信號(hào)組配置。另外，在該場(chǎng)合下，也可以如上述第2實(shí)施方式，第3實(shí)施方式那樣，脈沖串信號(hào)單位部24為大致橢圓形。
另外，例如在面記錄密度比較高，所要求的跟蹤的精度也比較高的場(chǎng)合，也可以將多個(gè)脈沖串單位部分成6種或8種以上的脈沖串信號(hào)組配置。
雖然在上述第1實(shí)施方式中，第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的磁道寬度Tw方向的中心在磁道寬度Tw方向相互只離開(kāi)1個(gè)磁道間距Tp的方式形成，第3脈沖串信號(hào)組42和第4脈沖串信號(hào)組44以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的磁道寬度Tw的中心在磁道寬度Tw的方向相互只離開(kāi)1個(gè)磁道間距Tp的方式，且以相對(duì)第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40在磁道寬度Tw方向只偏移半個(gè)磁道間距Tp/2的方式形成，但是各脈沖串信號(hào)組彼此的磁道寬度Tw方向的移動(dòng)量也可以根據(jù)要求的性能適當(dāng)設(shè)定。例如第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的磁道寬度方向的中心在磁道Tw方向相互只離開(kāi)2Tp/3的方式形成。第3脈沖串信號(hào)組42和第4脈沖串信號(hào)組44，以使構(gòu)成它們的脈沖串信號(hào)單位部的磁道寬度Tw方向的中心在磁道寬度Tw方向也只離開(kāi)2Tp/3的方式，且以相對(duì)第1脈沖串信號(hào)組38和第2脈沖串信號(hào)組40在磁道寬度Tw方向只離開(kāi)TP/3的方式形成。
另外雖然在上述第1～第4實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)12是將脈沖串信號(hào)單位部24作為凸部形成的，但是在把包含大致圓形的脈沖串信號(hào)單位部凹部形成的場(chǎng)合，也可以獲得脈沖串信號(hào)的檢測(cè)精度高，生產(chǎn)效率高的效果。
另外，雖然在上述第1～第4實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)12是將記錄層在數(shù)據(jù)區(qū)域DA中以在徑向微細(xì)的間隔分割成多個(gè)記錄要素26的分立式磁道的介質(zhì)，但是即使就將記錄層在數(shù)據(jù)區(qū)域DA中以在徑向和圓周方向微細(xì)的間隔分割成多個(gè)記錄要素的形成圖形的介質(zhì)和在數(shù)據(jù)區(qū)域DA記錄層連續(xù)形成的磁記錄介質(zhì)而言，通過(guò)把包含大致圓形的大致橢圓形的脈沖串信號(hào)單位部24作為凸部或凹部形成也能獲得提高脈沖串信號(hào)的檢測(cè)精度和提高生產(chǎn)效率的效果。
另外，在記錄要素26以磁道的形狀形成的分立式磁道介質(zhì)的場(chǎng)合，雖然記錄要素26的長(zhǎng)邊方向是磁道的長(zhǎng)邊方向，但是“磁道的長(zhǎng)邊方向”的含意是指磁頭的相對(duì)的運(yùn)行方向這樣的含意，在將磁道以在其長(zhǎng)邊方向分割的形狀形成記錄要素的圖形的介質(zhì)的場(chǎng)合，記錄要素26的長(zhǎng)邊方向與磁道的長(zhǎng)邊方向不一定一致。
另外，雖然在上述第1～第4實(shí)施方式中，磁記錄介質(zhì)12是垂直記錄型的，但是就面內(nèi)記錄型的磁記錄介質(zhì)，通過(guò)把包含大致圓形的大致橢圓形的脈沖串信號(hào)單位部24作為凸部或凹部形成，也能獲得提高脈沖串信號(hào)的檢測(cè)精度和提高生產(chǎn)效率的效果。
按照上述第1～第3實(shí)施方式的原樣，準(zhǔn)備將大致橢圓形的脈沖串信號(hào)單位部24分割成4種脈沖串信號(hào)組形成，并且脈沖串信號(hào)單位部24的形狀Rt/Rs，磁頭14的讀出寬度Wr的關(guān)系相異的20種磁記錄再生裝置10。在表1中，示出了這些磁記錄再生裝置10的主要結(jié)構(gòu)。
另外，就任何一個(gè)磁記錄再生裝置10磁記錄介質(zhì)12的記錄層21的厚度都是約15nm，脈沖串信號(hào)單位部24的徑向的寬度Rt約200nm是一定的。用試樣振動(dòng)型磁力計(jì)(VSM)測(cè)定記錄層21的磁特性，其飽和磁化Ms是約350emu/cc，殘留飽和磁化Mr是約340emu/cc。
另外，就任何一個(gè)磁記錄介質(zhì)12，脈沖串信號(hào)圖形都是以使所有的脈沖串信號(hào)單位部24的短軸或長(zhǎng)軸在徑向平行的方式配置在一樣的方向的沒(méi)有角度差的脈沖串信號(hào)圖形。
在這些磁記錄再生裝置10中，通過(guò)使相對(duì)磁道的長(zhǎng)邊方向的磁頭14的扭斜角變化，使脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14之間的角度差變化，來(lái)測(cè)定通過(guò)選擇地采用第1和第2脈沖串信號(hào)組38、40的脈沖串信號(hào)單位部24的差分值，第3和第4脈沖串信號(hào)組42、44的脈沖串信號(hào)單位部24的輸出差分值獲得的PES(Position Error Signal)信號(hào)的變動(dòng)。另外，在此脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14之間的角度差等于磁頭14的扭斜角。雖然因磁頭14的位置的不同而存在差分值相對(duì)磁頭14的位置的變化為線性變化的測(cè)定精度高的區(qū)域、和差分值的變化為非線性變化的測(cè)定精度低的區(qū)域，但是相對(duì)一方的差分值測(cè)定精度低的區(qū)域變成為相對(duì)另一方差分值測(cè)定高的區(qū)域。根據(jù)磁頭14的位置在2個(gè)差分值中選擇測(cè)定精度高的那一方計(jì)算出PES信號(hào)。另外，雖然隨著條件的不同而有任何的差分值中都不存在線性變化的區(qū)域的場(chǎng)合，但是即使在這樣的場(chǎng)合，也可以在兩者中選擇測(cè)定精度高的那一方計(jì)算出PES信號(hào)。在表1中并列記錄了測(cè)定結(jié)果。
表1
與實(shí)驗(yàn)例對(duì)應(yīng)，準(zhǔn)備把脈沖串信號(hào)單位部的形狀作為每邊約為200nm的大致正方形的4種磁記錄再生裝置，與實(shí)驗(yàn)例同樣地測(cè)定PES信號(hào)的變動(dòng)。另外除脈沖串信號(hào)單位部的形狀以外的磁記錄再生裝置的結(jié)構(gòu)與實(shí)驗(yàn)例相同。
如表1中所示那樣，實(shí)驗(yàn)例在包含扭斜角(等于脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14間的角度差)為20°的場(chǎng)合的任何場(chǎng)合，PES信號(hào)的變動(dòng)都為-0.3dB以上(絕對(duì)值0.3以下)，將PES信號(hào)的變動(dòng)限制在實(shí)用上沒(méi)有問(wèn)題的水平上。另外，在Rt/Rs為0.7、1.0、1.5的場(chǎng)合，在包含扭斜角為20°的場(chǎng)合的任何一種場(chǎng)合PES信號(hào)的變動(dòng)都為0.0dB。
即從表1中可以看出，如果滿(mǎn)足0.5≤Rt/Rs≤2，則可以獲得將由脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭14間的角度差引起的PES信號(hào)的變動(dòng)限制在實(shí)用上不發(fā)生問(wèn)題的范圍，并且如果滿(mǎn)足0.7≤Rt/Rs≤1.5，則可以將PES信號(hào)的變動(dòng)幾乎限制為0。
而比較例雖然在扭斜角為5°的場(chǎng)合，PES信號(hào)的變動(dòng)是0，但是扭斜角為10°以上時(shí)，PES信號(hào)的變動(dòng)低于-0.3dB(絕對(duì)值高于0.3)。
即，可以確認(rèn)，通過(guò)把脈沖串信號(hào)單位部24設(shè)定為大致橢圓形，與脈沖串信號(hào)單位部為矩形的場(chǎng)合相比，可以限制由脈沖串信號(hào)單位部24與磁頭的角度差引起的PES信號(hào)的變動(dòng)。
工業(yè)上的可利用性本發(fā)明可以利用在例如分立式磁道介質(zhì)、形成圖形的介質(zhì)的伺服信號(hào)單位部以凹凸形狀形成的磁記錄體上。
權(quán)利要求
1.一種磁記錄介質(zhì)，其特征在于具有劃分為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域而記錄信息的記錄層構(gòu)成，該記錄層在上述各伺服區(qū)域以規(guī)定的伺服圖形的凹凸形狀形成并形成伺服信號(hào)單位部作為該凹凸形狀的凸部和凹部的任何一個(gè)，該伺服信號(hào)單位部中至少用于檢測(cè)上述數(shù)據(jù)區(qū)域的磁道位置的脈沖串信號(hào)單位部從厚度方向看的形狀是大致橢圓形。
2.如權(quán)利要求1所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于在上述脈沖串信號(hào)單位部中，設(shè)上述磁道的寬度方向的寬度為Rt，上述磁道的長(zhǎng)邊方向的寬度為Rs，則滿(mǎn)足0.5≤Rt/Rs≤2。
3.如權(quán)利要求1所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于在上述脈沖串信號(hào)單位部中，設(shè)上述磁道的寬度方向的寬度為Rt，上述磁道的長(zhǎng)邊方向的寬度為Rs，則滿(mǎn)足0.7≤Rt/Rs≤1.5。
4.如權(quán)利要求2所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于上述脈沖串信號(hào)單位部從厚度方向看的形狀是大致圓形。
5.如權(quán)利要求3所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于上述脈沖串信號(hào)單位部從厚度方向看的形狀是大致圓形。
6.如權(quán)利要求2所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足1＜Rt/Rs。
7.如權(quán)利要求3所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足1＜Rt/Rs。
8.如權(quán)利要求2所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足Rt/Rs＜1。
9.如權(quán)利要求3所述的磁記錄介質(zhì)，其特征在于滿(mǎn)足Rt/Rs＜1。
10.一種磁記錄再生裝置，其特征在于具有權(quán)利要求1至9任何1項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)、和接近該磁記錄介質(zhì)的表面并用于進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄/再生的磁頭。
11.一種磁記錄介質(zhì)制造用壓模，其特征在于具有與權(quán)利要求1至9任何1項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)的記錄層的凹凸形狀相當(dāng)?shù)陌纪剐螤畹膹?fù)制面。
全文摘要
提供以凹凸形狀形成伺服信號(hào)單位部且生產(chǎn)容易、不容易發(fā)生跟蹤錯(cuò)誤、和可靠性高的磁記錄介質(zhì)，具有該磁記錄介質(zhì)的磁記錄再生裝置，和能高效率地制造該磁記錄介質(zhì)的壓模。磁記錄介質(zhì)具有通過(guò)劃分為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域(DA)和多個(gè)伺服區(qū)域，而記錄信息的記錄層構(gòu)成，記錄層在各伺服區(qū)域以凹凸形狀形成，形成伺服信號(hào)單位部作為該凹凸形狀的凸部，該伺服信號(hào)單位部中用于跟蹤的脈沖串信號(hào)單位部(24)從厚度方向看的形狀是大致橢圓形。
文檔編號(hào)G11B21/10GK1758345SQ20051009964
公開(kāi)日2006年4月12日 申請(qǐng)日期2005年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月3日
發(fā)明者海津明政, 森谷誠(chéng), 添野佳一 申請(qǐng)人:Tdk股份有限公司