專利名稱：微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種磁盤驅(qū)動器及其制造方法，尤指一種微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法。
背景技術(shù)：
磁盤驅(qū)動器為一種使用薄膜磁介質(zhì)儲存數(shù)據(jù)的信息存儲裝置。參考圖1a及1b，現(xiàn)有典型的磁盤驅(qū)動器(Disk Drive)包括一個裝有磁頭203的驅(qū)動臂(Drive Arm)104及一個磁盤101。其中，磁盤101裝在一個主軸馬達(dá)102上用以驅(qū)動磁盤101旋轉(zhuǎn)，一個音圈馬達(dá)(Voice-Coil Motor，VCM，未圖示)用于控制裝有磁頭203的驅(qū)動臂104的運動，從而控制磁頭203在磁盤101表面上從一個磁軌移動到下一個磁軌，進(jìn)而從磁盤101中讀取或?qū)懭霐?shù)據(jù)。
然而，由于音圈馬達(dá)(VCM)所固有的容差(Tolerance)，磁頭203在定位時不能進(jìn)行位置微調(diào)(Position Fine Adjustment)。
為了解決上述問題，壓電微驅(qū)動器(piezoelectric(PZT)micro-actuator)被用于調(diào)整磁頭的定位。亦即，壓電微驅(qū)動器以一個較小的幅度調(diào)整磁頭203的定位從而補償音圈馬達(dá)(VCM)及驅(qū)動臂(Drive Arm)104的容差。這樣，不僅可使磁軌寬度變得更小，而且可增加磁盤驅(qū)動器的TPI值(‘tracks per inch’value)及其表面記錄密度。
參考圖1c及1d，傳統(tǒng)的壓電微驅(qū)動器205設(shè)有一個U形的陶瓷框架297。該U形陶瓷框架297包括兩個陶瓷臂207，其中每個陶瓷臂207在其一側(cè)設(shè)有一個壓電片(未圖示)。在本發(fā)明中，壓電微驅(qū)動器205與懸臂件213物理相連，其中，在每個陶瓷臂207一側(cè)，有三個電連接球209(金球焊接或錫球焊接，gold ball bonding or solder bump bonding，GBB or SBB)將微驅(qū)動器205連接到磁頭折片組合的電纜210上。此外，還有四個電連接球208(GBBor SBB)用于實現(xiàn)磁頭203與懸臂件213之間的電連接。圖2則展示了將磁頭203插入微驅(qū)動器205的詳細(xì)過程。其中，磁頭203通過環(huán)氧樹脂膠212與兩個陶瓷臂207上的兩點206相連，從而使磁頭203的運動獨立于驅(qū)動臂104(參圖1a)。
當(dāng)電流通過懸臂件電纜210施加于壓電微驅(qū)動器205上時，壓電微驅(qū)動器205膨脹或者收縮從而導(dǎo)致U形陶瓷框架297變形而使磁頭203沿著磁盤101的徑向旋轉(zhuǎn)。這樣，就可以實現(xiàn)對磁頭203的位置微調(diào)(Position FineAdjustment)。
然而，一個具有微驅(qū)動器205的磁頭折片組合(Head Gimbal Assembly，HGA)277(參圖1c)制造起來相當(dāng)困難。首先，將磁頭203插入微驅(qū)動器205并與之連接相當(dāng)困難。其次，環(huán)氧樹脂膠212的長度難于控制，如果其長度過長，將影響微驅(qū)動器205的工作性能，例如，位移(displacement)不足；如果其長度過短，則磁頭203與微驅(qū)動器205間的結(jié)合力不足，從而導(dǎo)致磁頭折片組合的防震性能變差。此外，環(huán)氧樹脂膠212在高度方向上亦難于控制，如果環(huán)氧樹脂膠212太高，則會留在磁頭203的正邊或背邊，若留在磁頭203的正邊則影響磁頭203在磁盤101上運動，甚至?xí)p毀磁頭203或磁盤101；若留在磁頭203的背邊則會影響磁頭203的焊接過程(GBB process)。
此外，由于微驅(qū)動器205增加了一個附加塊(U形陶瓷框架297)，所以不僅影響了懸臂件213的靜態(tài)性能，而且影響了其動態(tài)性能，例如共振性能(resonance performance)，從而降低了懸臂件213的共振頻率及增加了其增益(gain)。
同時，由于微驅(qū)動器205的U形陶瓷框架297十分易碎所以導(dǎo)致其抗震性能較差。此外，沒有有效的方法來識別U形陶瓷框架297的微裂(micro crack)也是一個大問題。再者，當(dāng)施加電壓于壓電微驅(qū)動器或正常工作時，易碎的微驅(qū)動器205前后彎曲將會產(chǎn)生微粒進(jìn)而影響微驅(qū)動器205的工作性能。
在磁頭折片組合277的制造過程中，由于磁頭折片組合277結(jié)構(gòu)復(fù)雜，當(dāng)連接磁頭203與U形陶瓷框架297時，磁頭203可能傾斜；而且當(dāng)連接具有磁頭203的U形陶瓷框架297與懸臂213時，U形陶瓷框架297也可能傾斜。上述情況均會影響磁頭折片組合277的靜態(tài)姿態(tài)(static attitude)，進(jìn)而增加了磁頭折片組合277的制造難度。
眾所周知，打磨是一個相當(dāng)有效且被廣泛使用的用于清潔磁頭氣墊面(airbearing surface，ABS)微塵污染的方式。然而，這種清潔方式不能用于上述磁頭折片組合277上，因為這種方式容易損毀微驅(qū)動器205的U形陶瓷框架297。
最后，因為磁頭203由U形陶瓷框架297支撐，所以將磁頭203和懸臂213接地以獲得靜電放電(Electro Static Discharge，ESD)保護(hù)將相當(dāng)困難。此外，使用大的驅(qū)動電壓(40V，AC p-p)運行壓電微驅(qū)動器205亦浪費能源。
因此，提供一種微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點十分必要。

發(fā)明內(nèi)容
基于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種改進(jìn)的微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明闡述了一種磁頭折片組合(head gimbalassembly)包括具有讀/寫感應(yīng)器(sensor)的磁頭、用于支撐磁頭的懸臂件(suspension)及微驅(qū)動器(micro-actuator)。
所述微驅(qū)動器包括一個具有兩個壓電元件的壓電單元及一個支撐底，其中所述支撐底包括一個和懸臂件物理連接的底部，一個活動片連接著兩個壓電元件及一個連接底部及活動片的引柱。
在本發(fā)明中，所述底部、活動片及引柱由一片無縫材料制得。所述無縫材料優(yōu)選為金屬。此外，所述引柱設(shè)有一輔助活動片水平移動的結(jié)構(gòu)并且所述引柱的寬度小于活動片的寬度。所述兩個壓電元件為兩個薄膜壓電片或陶瓷壓電片。所述每個壓電元件上設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點。在本發(fā)明一個實施例中，所述兩個壓電元件設(shè)有三個電極觸點，其中包括兩個輸入觸點及一個由兩個壓電元件共用的接地觸點。另外，所述懸臂件包括一個設(shè)有懸臂舌片(suspension tongue)的撓性件(flexure)，所述懸臂舌片設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點，它們對應(yīng)于壓電單元上的電極觸點。微驅(qū)動器的底部(base)通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)與所述壓電單元上的電極觸點電性連接和物理連接。所述支撐底的活動片通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)或粘接劑和磁頭物理及電性相連。
本發(fā)明一種微驅(qū)動器(micro-actuator)，包括具有兩個壓電元件的壓電單元；及一個支撐底，其中所述支撐底包括底部，和所述兩個壓電元件連接的活動片及一個連接底部及活動片的引柱。
在本發(fā)明中，所述底部、活動片及引柱由一片無縫材料制得。所述無縫材料優(yōu)選為金屬。此外，所述引柱設(shè)有一輔助活動片水平移動的結(jié)構(gòu)并且所述引柱的寬度小于活動片的寬度。所述兩個壓電元件為兩個薄膜壓電片或陶瓷壓電片。所述每個壓電元件上設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點。在本發(fā)明一個實施例中，所述兩個壓電元件設(shè)有三個電極觸點，其中包括兩個輸入觸點及一個由兩個壓電元件共用的接地觸點。
本發(fā)明中制造磁頭折片組合的方法包括如下步驟(A)制造一個磁頭，一個懸臂件及一個微驅(qū)動器，其中所述微驅(qū)動器包括兩個壓電元件的壓電單元；一個支撐底含有一個底部，一個活動片及連接著支撐底底部與活動片的引柱；(B)通過各向異性導(dǎo)電膜(anisotropic conductive film，ACF)或粘接劑將微驅(qū)動器與磁頭電性及物理相連；(C)通過GBB或SBB將磁頭與懸臂件電性相連。
在本發(fā)明中，一種制造微驅(qū)動器的方法包括如下步驟(1)制造一個具有兩個壓電元件的壓電單元；(2)制造一個支撐底包含一個底部，一個活動片及一個連接著支撐底底部與活動片的引柱；(3)將壓電單元連接到支撐底的一面。
其中，所述步驟(2)包括如下步驟(a)成型一組支撐底；(b)將該組支撐底分離成單一支撐底。所述步驟(a)可通過沖壓一原料片材而形成一組支撐底，或者通過如下步驟實現(xiàn)成型一由原料片材和間隔片材交替疊合而成的復(fù)合層片材；將所述復(fù)合層片材切割為一組支撐底。所述步驟(a)還可通過成型一批由一組支撐底構(gòu)成的支撐底條而實現(xiàn)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提出了一種微驅(qū)動器包括一種由金屬制成的設(shè)計新穎的支撐底，使用金屬支撐底將大大提高微驅(qū)動器的抗震性能(shockperformance)，并且解決了傳統(tǒng)U形陶瓷框架產(chǎn)生塵埃的問題。
此外，在現(xiàn)有技術(shù)中，由于其磁頭折片組合的復(fù)雜制造過程，因而很難控制其靜態(tài)姿態(tài)(static attitude)，而本發(fā)明通過相似的制造過程卻可使磁頭折片組合的靜態(tài)姿態(tài)更好控制或者能用傳統(tǒng)的方法對其進(jìn)行控制。
再者，本發(fā)明在制造過程中對微粒污染的控制也得到顯著改善。另外，傳統(tǒng)的打磨清潔方式也得以在本發(fā)明清潔過程中使用。同時，由于本發(fā)明在磁頭安裝過程中使用ACF焊接，從而使得磁頭折片組合的接地過程更容易，并且ACF焊接易于返修及回收再利用其他材料。最后，本發(fā)明降低了薄膜壓電微驅(qū)動器的工作電壓而同樣可得到與現(xiàn)有微驅(qū)動器相同的位移(displacement)。
為使本發(fā)明更加容易理解，下面將結(jié)合附圖進(jìn)一步闡述本發(fā)明微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法的具體實施例。


圖1a為傳統(tǒng)磁盤驅(qū)動器的立體圖；圖1b為圖1a的放大局部視圖；圖1c為現(xiàn)有磁頭折片組合(HGA)的立體圖；圖1d為圖2a的放大局部視圖；圖2展示了將磁頭插入圖1c中磁頭折片組合(HGA)的微驅(qū)動器中的詳細(xì)過程；圖3a是本發(fā)明磁頭折片組合(HGA)的立體圖；圖3b是圖3a中磁頭折片組合(HGA)的立體分解圖；圖3c是圖3a中磁頭折片組合(HGA)上suspension的立體圖；圖4a是本發(fā)明微驅(qū)動器壓電單元一個實施例的立體圖；圖4b展示了具有圖4a所示壓電單元的微驅(qū)動器的一個實施例；圖4c是圖3a的局部放大視圖；
圖4d是圖3a中磁頭折片組合(HGA)在微驅(qū)動器區(qū)域的剖視圖；圖5-8展示了本發(fā)明制造支撐底方法的四個不同的實施例的示意圖；圖9-12展示了根據(jù)本發(fā)明四個不同的實施例而形成的另外四種不同形狀的支撐底及微驅(qū)動器的示意圖。
具體實施例方式
參考圖3a，本發(fā)明一種磁頭折片組合(head gimbal assembly，HGA)3包括磁頭203’，微驅(qū)動器(micro-actuator)30及懸臂件(suspension)213’。
參考圖3b，磁頭203’包括一個制造過程中植入其中的讀/寫感應(yīng)器(未圖示)參考圖4a及4b，微驅(qū)動器30包括一個金屬支撐底302及一個壓電(piezoelectric，PZT)單元304。壓電單元304包括兩個薄膜壓電片303和設(shè)于其一側(cè)的復(fù)數(shù)電極觸點308，398。參考圖4b-4c，支撐底302包括一個底部301，一個引柱307及一個在其兩邊設(shè)有兩個邊臂306的活動片305。在本發(fā)明一個實施例中，引柱307的寬度窄于活動片305的寬度。壓電單元304通過傳統(tǒng)方式，如粘結(jié)，與支撐底302物理連接，連接時兩者的頂端被對齊。
參考圖3b及3c，懸臂件213’包括負(fù)載桿(load beam)326，撓性件(flexure)325，樞接件(hinge)324及基板(base plate)321.負(fù)載桿326上有三個用于層疊定位的開口408及復(fù)數(shù)小突起329(參圖4d)。在樞接件324及底盤321上分別有兩個孔322 and 323。其中，孔322用于鉚合(swaging)磁頭折片組合3及驅(qū)動臂(未圖示)，而孔323則用于減輕懸臂件213’的重量。在撓性件325上設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點318，復(fù)數(shù)電極觸點318一端和控制系統(tǒng)相連(未圖示)，另一端和復(fù)數(shù)電纜309，311相連。參考圖3c和4d，撓性件325亦包括懸臂舌片(suspension tongue)328用于支撐微驅(qū)動器30并使得承載力總是通過負(fù)載桿326上的小突起329施加于磁頭203’的中心區(qū)域。懸臂舌片328在對應(yīng)于壓電單元304上的電極觸點308、398的設(shè)定位置設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點(未圖示)。通過上述懸臂舌片328上的電極觸點，懸臂舌片328與壓電單元304電性相連。
參考圖4d，在本發(fā)明中，微驅(qū)動器30通過各向異性導(dǎo)電膜(anisotropicconductive film，ACF)與撓性件325上的懸臂舌片328電性及物理連接。一個平行間隙313因此形成于微驅(qū)動器30與懸臂舌片328之間，從而保證了微驅(qū)動器30的流暢運動。同時，支撐底302的活動片305通過ACF或粘接劑與磁頭203’電性及物理連接。物理連接可保持磁頭203’與微驅(qū)動器30同時移動，而電性連接則可幫助阻止磁頭203’被靜電放電所損毀。在本發(fā)明中，平行間隙313的長度優(yōu)選為35-50μm。
參考圖3a及4c，在本發(fā)明中，四個金屬球310(GBB or SBB)被用于電性連接磁頭讀/寫感應(yīng)器(未圖示)與位于懸臂件213’上的活動部312上的兩個電纜(electric multi-trace)309。在懸臂舌片328上的壓電單元304被ACF或?qū)щ娔z(conductive adhesive)通過電極觸點398與電纜311相連，其中電極觸點308為兩個薄膜壓電片303所共用的接地觸點。通過電纜309、311，電極觸點318將磁頭203’及微驅(qū)動器30與控制系統(tǒng)電性相連(未圖示)。
根據(jù)本發(fā)明，一種制造磁頭折片組合3的方法包括如下步驟(A)制造一個磁頭203’，一個懸臂件213’及一個包括兩個壓電元件303和一個由底部301，引柱307及活動片305構(gòu)成的支撐底302的微驅(qū)動器30；(B)通過各向異性導(dǎo)電膜(ani sotropic conductive film，ACF)或粘接劑將微驅(qū)動器30與磁頭電性及物理相連；(C)通過GBB或SBB將磁頭203’與懸臂件213’電性相連。
根據(jù)本發(fā)明，一種制造微驅(qū)動器的方法包括如下步驟(1)制造一個具有兩個壓電元件303的壓電單元304；(2)制造一個具有底部301，引柱307及活動片305的支撐底302；(3)將壓電單元304連接到支撐底302的一面。
下面以如下幾個實施例具體闡述支撐底302的制造過程。
實施例1參考圖5，制造支撐底302的方法包括如下步驟(1)沖壓不銹鋼片為單元T形支撐底；(2)固定單元T形支撐底于切割夾具上并將其切割為單獨的T形支撐底302；(3)清洗并檢查單獨的T形支撐底302。
在本實施例中，具有多單元T形支撐底刀具602的加工模具(tooling die)601用于沖壓不銹鋼片603，沖壓后，不銹鋼片603被制成具有復(fù)數(shù)一單元T形支撐底的框架，接著，所述框架被切成單獨條605并被分成單獨的T形支撐底302。
圖6展示了另一種具有多單元T形支撐底刀具702的加工模具701用于沖壓不銹鋼片703，沖壓后，不銹鋼片703制成具有復(fù)數(shù)一單元T形支撐底的框架，接著，所述框架被切成單獨條705并被分成單獨的T形支撐底302。
實施例2參考圖7，又一制造支撐底302的方法包括如下步驟(1)固定不銹鋼片901，然后將間隔塊902層壓于不銹鋼片901上；(2)將第二個不銹鋼片903層壓于間隔塊902上；(3)將第二個間隔塊層壓于第二個不銹鋼片903上；(4)重復(fù)上述步驟直至獲得一個復(fù)合層單元904；(5)固定復(fù)合層單元904到一個合適的夾具上并通過激光或?qū)⑵淝懈顬門形復(fù)合層單元906；(6)取出間隔塊，則T形復(fù)合層單元906自動分離為單獨的支撐底302；(7)清洗并檢查單獨的支撐底302。
實施例3參考圖8，另一種制造支撐底302的方法包括如下步驟(1)成型支撐底條501；(2)用機械方式或機加工方式(machining)將支撐底條501切成單獨支撐底302；(3)從支撐底條501上分離T形支撐底302。
參考圖9-12，在本發(fā)明中，支撐底302也可以為其他形狀的支撐底302’，302”，302或302””，對應(yīng)地，由其制成的微驅(qū)動器亦可有不同的形狀。
在本發(fā)明中，由于組裝微驅(qū)動器及磁頭折片組合(HGA)的過程為業(yè)界人士所熟知，在此不再贅述。另外，本發(fā)明中的薄膜PZT片也可以為陶瓷PZT片。
以上所揭露的僅為本發(fā)明微驅(qū)動器、磁頭折片組合及其制造方法的較佳實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種磁頭折片組合(head gimbal assembly)包括具有讀/寫感應(yīng)器(sensor)的磁頭；用于支撐磁頭的懸臂件(suspension)；及微驅(qū)動器(micro-actuator)；其特征在于所述微驅(qū)動器包括一個具有兩個壓電元件的壓電單元及一個支撐底，其中所述支撐底包括一個和懸臂件物理連接的底部，一個和所述兩個壓電元件連接的活動片及一個連接底部及活動片的引柱。
2.如權(quán)利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述底部、活動片及引柱由一片無縫材料制得。
3.如權(quán)利要求2所述的磁頭折片組合，其特征在于所述無縫材料是金屬。
4.如權(quán)利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述引柱設(shè)有一輔助活動片水平移動的結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的磁頭折片組合，其特征在于所述引柱的寬度小于活動片的寬度。
6.如權(quán)利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述兩個壓電元件為兩個薄膜壓電片或陶瓷壓電片。
7.如權(quán)利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個壓電元件上設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點。
8.如權(quán)利要求7所述的磁頭折片組合，其特征在于所述兩個壓電元件設(shè)有三個電極觸點，其中包括兩個輸入觸點及一個由兩個壓電元件共用的接地觸點。
9.如權(quán)利要求7所述的磁頭折片組合，其特征在于懸臂件包括一個設(shè)有懸臂舌片(suspension tongue)的撓性件(flexure)，所述懸臂舌片設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點，它們對應(yīng)于壓電單元上的電極觸點。
10.如權(quán)利要求9所述的磁頭折片組合，其特征在于微驅(qū)動器的底部(base)通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)與所述懸臂的撓性件的電極觸點電性連接，并通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)與撓性件物理連接。
11.如權(quán)利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述支撐底的活動片通過各向異性導(dǎo)電膜(ACF)或粘接劑和磁頭物理及電性相連。
12.一種微驅(qū)動器(micro-actuator)，其特征在于包括具有兩個壓電元件的壓電單元；及一個支撐底，其中所述支撐底包括一個底部，一個活動片連接著兩個壓電元件及一個連接底部及活動片的引柱。
13.如權(quán)利要求12所述的微驅(qū)動器，其特征在于所述底部、活動片及引柱由一片無縫材料制得。
14.如權(quán)利要求13所述的微驅(qū)動器，其特征在于所述無縫材料是金屬。
15.如權(quán)利要求12所述的微驅(qū)動器，其特征在于所述兩個壓電元件為兩個薄膜壓電片或陶瓷壓電片。
16.如權(quán)利要求12所述的微驅(qū)動器，其特征在于所述每個壓電元件上設(shè)有復(fù)數(shù)電極觸點。
17.如權(quán)利要求16所述的微驅(qū)動器，其特征在于所述兩個壓電元件設(shè)有三個電極觸點，其中包括兩個輸入觸點及一個由兩個壓電元件共用的接地觸點。
18.一種制造微驅(qū)動器的方法，其特征在于包括如下步驟(1)制造一個具有兩個壓電元件的壓電單元；(2)制造一個支撐底包含一個底部、一個活動片及一個連接著支撐底底部與活動片的引柱；(3)將壓電單元連接到支撐底的一面。
19.如權(quán)利要求18所述的制造微驅(qū)動器的方法，其特征在于所述步驟(2)包括如下步驟(a)成型一組支撐底；(b)將該組支撐底分離成單一支撐底。
20.如權(quán)利要求18所述的制造微驅(qū)動器的方法，其特征在于所述步驟(a)是通過沖壓一原料片材而形成一組支撐底的。
21.如權(quán)利要求18所述的制造微驅(qū)動器的方法，其特征在于所述步驟(a)通過如下步驟實現(xiàn)成型一由原料片材和間隔片材交替疊合而成的復(fù)合層片材；將所述復(fù)合層片材切割為一組支撐底。
22.如權(quán)利要求18所述的制造微驅(qū)動器的方法，其特征在于所述步驟(a)是通過成型一批由一組支撐底構(gòu)成的支撐底條而實現(xiàn)的。
23.一種制造磁頭折片組合的方法，其特征在于包括如下步驟(A)制造一個磁頭，一個懸臂件及一個微驅(qū)動器，其中所述微驅(qū)動器包括步驟制造包括兩個壓電元件的壓電單元；制造一個由底部，引柱及活動片構(gòu)成的支撐底；將壓電單元連接到支撐底一側(cè)；(B)通過各向異性導(dǎo)電膜(anisotropic conductive film，ACF)或粘接劑將微驅(qū)動器與磁頭電性及物理相連；(C)通過金球焊接或錫球焊接(GBB或SBB)將磁頭與懸臂件電性相連。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磁頭折片組合機構(gòu)(headgimbal assembly)，其包括具有讀/寫感應(yīng)器(sensor)的磁頭、用于支撐磁頭的懸臂件(suspension)及微驅(qū)動器(micro－actuator)。其中，微驅(qū)動器包括一個具有兩個壓電元件的壓電單元及一個支撐底，其中所述支撐底包括一個和懸臂件物理連接的底部，一個和所述兩個壓電元件連接的活動片及一個連接底部及活動片的引柱。本發(fā)明同時公開了該磁頭折片組合及微驅(qū)動器的制造方法。
文檔編號G11B5/596GK1632865SQ20031012105
公開日2005年6月29日 申請日期2003年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月24日
發(fā)明者姚明高, 白石一雅 申請人:新科實業(yè)有限公司