專利名稱：帶微型致動器的磁頭及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及下述磁頭裝置及其制造方法，該磁頭裝置裝載有包括MR頭(再生用頭)的再生元件，在支承上述MR頭的支承部件上，裝載有壓電元件，本發(fā)明特別是涉及可防止上述MR頭損壞的磁頭裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
圖10為硬磁盤機(jī)的平面圖。圓盤狀的磁盤1通過主軸電動機(jī)2實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
另外，在具有剛性的滑架3的前端部3a上，連接有作為支承部件的負(fù)載梁4，在負(fù)載梁4的前端部4a，具有通過柔性件(圖中未示出)安裝的滑動塊5。
上述負(fù)載梁4由板簧形成。該負(fù)載梁4中的基端部4b為固定于滑架3上的固定基端部，負(fù)載梁4的前端部4a支承滑動塊5。
在滑動塊5上設(shè)置有通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于磁盤1上的磁信號的再生元件，以及在磁盤1上記錄磁信號的記錄元件。接受磁盤1旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的空氣流，滑動塊5在磁盤1上上浮，在上浮狀態(tài)，進(jìn)行記錄和再生。
在滑架3的基端部3b上，安裝有音圈電動機(jī)6。
通過該音圈電動機(jī)6，使滑架3和負(fù)載梁4沿磁盤1的半徑方向驅(qū)動，進(jìn)行使裝載于滑動塊5上的再生元件和記錄元件在任意的記錄磁道上運(yùn)動的尋找動作，以及使上述再生元件和記錄元件保持在記錄磁道的中心線上的跟蹤動作。
對應(yīng)于磁盤1的記錄密度的提高，跟蹤動作的精度也必須提高。在過去，僅僅通過音圈電動機(jī)6，驅(qū)動滑架3，進(jìn)行上述尋找動作和跟蹤動作。
為了使跟蹤動作的精度提高，必須增加包括音圈電動機(jī)6的伺服系統(tǒng)的伺服頻帶。另外，上述伺服頻帶受到滑架3和以可旋轉(zhuǎn)的方式支承滑架3的軸承(圖中未示出)的機(jī)械共振點(diǎn)的限制?；?的機(jī)械共振點(diǎn)由滑架3的尺寸確定，但是滑架3的尺寸取決于由規(guī)格確定的磁盤1的直徑。比如，當(dāng)磁盤1的直徑為3.5英寸時，上述滑架3與上述軸承的共振點(diǎn)約為3.5千赫茲。
當(dāng)上述滑架3與軸承的共振點(diǎn)約為3.5千赫茲時，僅僅通過借助音圈電動機(jī)6使滑架3驅(qū)動的方式，進(jìn)行跟蹤動作的伺服系統(tǒng)的伺服頻帶的上限頻率約為700赫茲。
于是，近年來人們提出了下述方法，在該方法中，將微動致動器裝載于負(fù)載梁上，僅僅使負(fù)載梁的前端部運(yùn)動，進(jìn)行跟蹤動作。
圖11為裝載有作為微動致動器的壓電元件的負(fù)載梁的透視圖。該負(fù)載梁11由不銹鋼的板簧件形成，其具有通過滑架保持的固定基端部11a，和相對該固定基端部11a可實(shí)現(xiàn)擺動的擺動部11b。在固定基端部11a的前端部兩肋，形成有沿固定基端部11a的長度方向延伸的臂部11c，11c。此外，上述擺動部11b通過彈性支承部11d，11d，與臂部11c，11c連接。
還有，在上述擺動部11b和固定基端部11a上，以跨過間隙部11e的方式設(shè)置有壓電元件12和13。該壓電元件12和13，通過薄膜方式在由壓電材料形成的壓電層12b和13b的上下層上，形成電極層12a1和12a2，以及13a1和13a2。
圖11中的負(fù)載梁11實(shí)現(xiàn)接地。壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1通過與負(fù)載梁11導(dǎo)通而實(shí)現(xiàn)接地。壓電元件12和13中的壓電層12b和13b沿膜厚方向產(chǎn)生極化作用，該極化方向在壓電元件12和13中為相反的方向。因此，當(dāng)對電極層12a2和13a2，施加相同的電位時，其中一個壓電元件沿長度方向延伸，另一個壓電元件沿長度方向收縮。
其結(jié)果是，彈性支承部件11d，11d變形，安裝于擺動部11b的前端部的滑動塊21的姿勢變化。即，使安裝于擺動部11b的前端部的滑動塊沿磁道寬度方向運(yùn)動，可進(jìn)行跟蹤動作。如果采用裝載有壓電元件的負(fù)載梁，形成伺服系統(tǒng)，則可使伺服頻帶大于2千赫茲。

發(fā)明內(nèi)容
壓電元件12和13在對電極層12a1和12a2，以及13a1和13a2施加電壓時，發(fā)生變形。另外，如果反之，在對壓電元件12和13施加應(yīng)力，壓電元件12和13變形，則在電極層12a1和12a2之間，以及13a1和13a2之間，產(chǎn)生電壓。
由于特別是，在對磁頭裝置進(jìn)行超聲波清洗的步驟或傳送時，對壓電元件12和13施加較大的振動，在壓電元件12和13中，產(chǎn)生非常高的電壓，故在與任何的導(dǎo)電體接觸時，有時流過脈沖電流。該電流的頻率在數(shù)百～數(shù)千兆赫茲的范圍內(nèi)，其數(shù)值有時達(dá)到數(shù)個安培。這樣大的高頻電流對鄰接的導(dǎo)電圖案，產(chǎn)生感應(yīng)電流。另外，高頻的電壓變化在鄰接的導(dǎo)電圖案中產(chǎn)生電容耦合，傳送電流。特別是，在進(jìn)行清洗時，還產(chǎn)生其中有介電常數(shù)為空氣的數(shù)十倍的水的電容耦合造成的電流傳送。特別是，多數(shù)情況下由于再生元件對電流的抵抗性較低，故在進(jìn)行超聲波清洗或傳送時，該電流將其破壞的情況較多。
本發(fā)明是為了解決上述已有的課題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種磁頭裝置及其制造方法，該磁頭裝置在磁頭裝置的檢測結(jié)束后，通過使壓電元件的電極發(fā)生短路，防止上述壓電元件的電荷的積累，可降低再生元件和記錄元件的損傷。
本發(fā)明涉及下述磁頭裝置，其包括滑動塊，在該滑動塊中設(shè)置有通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于記錄媒體上的磁信號的再生元件，以及在上述記錄媒體上記錄磁信號的記錄元件；導(dǎo)線部件，該導(dǎo)線部件包括與上述再生元件連接的再生用導(dǎo)電圖案和與上述記錄元件連接的記錄用導(dǎo)電圖案；彈性支承部件，該彈性支承部件支承上述滑動塊和導(dǎo)線部件，其特征在于在上述彈性支承部件上，裝載有壓電元件，該壓電元件使該彈性支承部件產(chǎn)生變形，使上述滑動塊的姿勢發(fā)生變化，上述壓電元件中的電極之間的電位相等。
在壓電元件中，如果在超聲波清洗的步驟或傳送時，對磁頭裝置施加較大的振動，則有時產(chǎn)生非常高的電壓，較大的電流流過再生元件和記錄元件。
但是，如果按照本發(fā)明，上述壓電元件中的各電極之間的電位相等，則在對磁頭裝置進(jìn)行超聲波清洗步驟或傳送時，可防止上述壓電元件中的電荷的積累，由此，可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低上述壓電元件和記錄元件的損傷。
在本發(fā)明中，比如，設(shè)置于上述壓電元件中的電極中的，至少1個電極為實(shí)現(xiàn)接地的接地用電極，在上述導(dǎo)線部件中，設(shè)置有控制用導(dǎo)電圖案，該控制用導(dǎo)電圖案與上述壓電元件的接地用電極以外的電極連接，供給控制用信號，該控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
由于設(shè)置于上述壓電元件上的電極全部實(shí)現(xiàn)接地，故容易使上述電極之間的電位相等。
另外，當(dāng)處于完成裝配有磁頭裝置的磁盤機(jī)的狀態(tài)時，必須解除上述控制用導(dǎo)電圖案與地線的連接。另外，最好使控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地，另外解除該連接，這樣磁頭裝置的可靠性不會變差。
因此，最好在上述導(dǎo)線部件中的，與再生元件和記錄元件連接的端部相反一側(cè)的端部，形成檢查用焊盤，該檢查用焊盤與再生用導(dǎo)電圖案、記錄用導(dǎo)電圖案，和控制用導(dǎo)電圖案連接，該焊盤在再生元件和記錄媒體的性能檢查后去除，在導(dǎo)線部件中的，將上述檢查用焊盤一起去除的區(qū)域，上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
為了使上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地，也可按照比如下述的方式進(jìn)行處理。
上述導(dǎo)線部件在實(shí)現(xiàn)接地的導(dǎo)電性板材上，通過絕緣層，形成再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案，以及控制用導(dǎo)電圖案，在上述控制用導(dǎo)電圖案附近處的絕緣層上，形成上述導(dǎo)電性板材露出的開口部，通過該開口部，上述控制用導(dǎo)電圖案與導(dǎo)電性板材實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
或者，還可在上述導(dǎo)線部件上，形成與上述壓電元件的接地用電極連接的接地用圖案，上述接地用圖案與上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
此外，本發(fā)明的磁頭裝置的制造方法包括下述步驟(a)形成導(dǎo)線部件，該導(dǎo)線部件具有再生用導(dǎo)電圖案，該再生用導(dǎo)電圖案與通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于記錄媒體上的磁信號的再生元件連接；記錄用導(dǎo)電圖案，該記錄用導(dǎo)電圖案與在上述記錄媒體上記錄磁信號的記錄元件連接；(b)將設(shè)置有再生元件和記錄元件的滑動塊，以及導(dǎo)線部件安裝于彈性支承部件上；(c)在上述彈性支承部件上，裝載使該彈性支承部件產(chǎn)生變形，使上述滑動塊的姿勢變化的壓電元件；(d)使全部的上述壓電元件的電極實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通，使上述電極之間的電位相等；(e)在上述壓電元件中的電極之間的電位相等的狀態(tài)，對安裝有滑動塊和導(dǎo)線部件的彈性支承部件進(jìn)行清洗。
在上述步驟(d)中，如果上述壓電元件中的全部電極實(shí)現(xiàn)接地，則可容易地使上述電極之間的電位相等。
作為使設(shè)置于壓電元件中的全部電極實(shí)現(xiàn)接地的方法，可采用比如下面給出的步驟。
在上述步驟(a)中，在導(dǎo)線部件上，形成向上述壓電元件供給控制用信號的控制用導(dǎo)電圖案；在上述步驟(c)中，設(shè)置于上述壓電元件中的電極中的，至少1個電極實(shí)現(xiàn)接地，剩余的電極與上述控制用導(dǎo)電圖案連接；在上述步驟(d)中，上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
下面給出將上述壓電元件中的全部電極實(shí)現(xiàn)接地的更具體的方法。
在上述步驟(a)中，在實(shí)現(xiàn)接地的導(dǎo)電性板材上，通過絕緣層，形成再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案，以及控制用導(dǎo)電圖案，由此，形成導(dǎo)線部件，另外，在上述控制用導(dǎo)電圖案附近的絕緣層上，形成上述導(dǎo)電性板材露出的開口部；在上述步驟(d)中，通過上述開口部，使上述控制用導(dǎo)電圖案與導(dǎo)電性板材導(dǎo)通。
或者，在上述步驟(a)中，在上述導(dǎo)線部件上，形成接地用圖案，在上述步驟(d)中，使上述接地用圖案與控制用導(dǎo)電圖案導(dǎo)通。
另外，最好，在上述步驟(a)中，在導(dǎo)線部件中的，與再生元件和記錄元件連接的端部相反側(cè)的端部，形成與再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案和控制用導(dǎo)電圖案連接的檢查用焊盤；在上述步驟(e)后，將上述檢查用焊盤去除。
特別是最好，在上述步驟(d)中，在上述導(dǎo)線部件中的，將上述檢查用焊盤一起去除的區(qū)域，使控制用導(dǎo)電圖案接地。
按照上面具體描述的本發(fā)明，由于通過使上述壓電元件的相應(yīng)電極之間的電位相等，在對上述磁頭裝置進(jìn)行超聲波清洗的步驟或傳送時，可防止上述壓電元件的電荷的積累，故可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低上述再生元件和記錄元件的損傷。
按照本發(fā)明，由于上述壓電元件的電極全部實(shí)現(xiàn)接地，故可容易使上述電極之間的電位相等。


圖1為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的磁頭裝置的平面圖；圖2為圖1的磁頭裝置的檢查用焊盤周邊的局部透視圖；圖3為圖1的磁頭裝置的檢查用焊盤周邊的局部透視圖；圖4為從4-4線觀看圖3的磁頭裝置的剖視圖；圖5為本發(fā)明的第2實(shí)施例的磁頭裝置的縱向剖視圖；圖6為本發(fā)明的第2實(shí)施例的磁頭裝置的縱向剖視圖；圖7為表示本發(fā)明的第3實(shí)施例的磁頭裝置的平面圖；圖8為圖7的磁頭裝置的檢查用焊盤周邊的局部透視圖；圖9為圖7的磁頭裝置的檢查用焊盤周邊的局部透視圖；圖10為表示硬磁盤機(jī)的平面圖；圖11為表示裝載有壓電元件的負(fù)載梁的透視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1為從記錄媒體的相對面?zhèn)扔^看本發(fā)明的第1實(shí)施例的磁頭裝置的平面圖。
導(dǎo)線部件31在不銹鋼等的導(dǎo)電性的薄板簧上，通過由聚酰亞胺等的絕緣性材料形成的絕緣層，形成由銅(Cu)等的導(dǎo)電性材料形成的再生用導(dǎo)電圖案R1，R2和記錄用導(dǎo)電圖案W1，W2，以及控制用導(dǎo)電圖案P。
在導(dǎo)線部件31的前端部31A上，設(shè)置有滑動塊21，在該滑動塊21上設(shè)置有通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于記錄媒體上的磁信號的再生元件，以及在上述記錄媒體上記錄磁信號的記錄元件。另外，導(dǎo)線部件31的前端部31A還具有彎曲的功能。
在負(fù)載梁11中的與記錄媒體的相對面?zhèn)?，安裝有設(shè)置了滑動塊21的導(dǎo)線部件31。還有，在作為支承滑動塊21和導(dǎo)線部件31的彈性支承部件的負(fù)載梁11上，裝載有壓電元件。該負(fù)載梁11與圖11所示的負(fù)載梁相同。
圖11所示的負(fù)載梁11由不銹鋼的板簧部件形成，其具有通過滑架保持的固定基端部11a和相對該固定基端部11a的擺動部11b。在固定基端部11a的前端部兩肋，形成有沿固定基端部11a的縱向延伸的臂部11c，11c。另外，上述擺動部11b通過彈性支承部11d，11d，與臂部11c，11c連接。
在擺動部11b和固定基端部11a上，以跨過間隙部11e的方式設(shè)置有壓電元件12和13。該壓電元件12和13，在由壓電材料形成的壓電層12b和13b的上下層上，以膜的方式形成電極層12a1和12a2，與13a1和13a2。
圖11中的負(fù)載梁11實(shí)現(xiàn)接地。壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1通過與負(fù)載梁11導(dǎo)通而實(shí)現(xiàn)接地。即，電極層12a1和13a1為接地用電極。
另外，在電極層12a2和13a2上，連接有金屬絲14，該金屬絲14與設(shè)置于端子14a中的，圖1所示的導(dǎo)線部件31上的控制用導(dǎo)電圖案P連接。
壓電元件12和13中的壓電層12b和13b沿膜厚方向發(fā)生極化，其極化方向與壓電元件12和13相反。因此，當(dāng)在電極層12a2和13a2上，通過金屬絲14施加相同電位時，其中一個壓電元件沿長度方向伸長，另一壓電元件沿長度方向收縮。
其結(jié)果是，彈性支承部11d，11d變形，安裝于擺動部11b的前端部上的滑動塊21的姿勢變化。即，使安裝于擺動部11b的前端部的滑動塊沿磁道寬度方向運(yùn)動，可進(jìn)行跟蹤動作。如果采用裝載有壓電元件的負(fù)載梁，形成伺服系統(tǒng)，則可使伺服頻帶在2千赫茲以上。
此外，負(fù)載梁11在比如，圖10所示的硬磁盤機(jī)中，通過作為剛性支承部件的滑架3支承。
上述滑動塊21由陶瓷材料形成，在滑動塊21的跟蹤側(cè)T端面，設(shè)置有圖11所示的薄膜元件21a。此外，在滑動塊21中的與記錄媒體的相對面?zhèn)龋纬捎蠥BS面(上浮面)。
薄膜元件21a為下述所謂的復(fù)合型薄膜元件，該復(fù)合型薄膜元件包括再生元件(MR頭)，其再生記錄于記錄媒體上的磁記錄信號；記錄元件(感應(yīng)頭)，其記錄記錄媒體上的磁記錄信號。上述再生元件包括磁阻效應(yīng)元件，該元件利用以比如，膜為代表的磁阻效應(yīng)；磁性材料的屏蔽層，另外，記錄元件為磁性材料的芯體與線圈由布線圖案形成的結(jié)構(gòu)。
還有，在圖11中，將導(dǎo)線部件31的圖示省略。
再有，設(shè)置于導(dǎo)線部件31上的再生用導(dǎo)電圖案R1，R2和記錄用導(dǎo)電圖案W1，W2在前端部31A側(cè)，分別與上述再生元件和上述記錄元件連接，與形成于基端部31B一側(cè)的檢查用焊盤TR1，TR2和TW1，TW2連接。此外，與檢查用焊盤TP連接，該焊盤形成于向壓電元件12，13供給控制用信號的基端部31B側(cè)。
圖2和圖3為圖1的磁頭裝置的檢查用焊盤TW1，TW2周邊的局部透視圖。圖4為從4-4線看到的圖3的剖視圖。
在本實(shí)施例中，導(dǎo)線部件31在不銹鋼等的導(dǎo)電性板簧31a上，通過由聚酰亞胺等的絕緣性材料形成的絕緣層31b，形成再生用導(dǎo)電圖案R1，R2和記錄用導(dǎo)電圖案W1，W2與控制用導(dǎo)電圖案P。如圖2所示，在與絕緣層31b的控制用導(dǎo)電圖案P鄰接的部位，形成導(dǎo)電性板簧31a露出的開口部31b1。在此狀態(tài)，進(jìn)行設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的檢查。
接著，如圖3和圖4所示，通過開口部31b1，借助焊錫32，控制用導(dǎo)電圖案P與導(dǎo)電性板簧31a導(dǎo)通。
如前面所述，圖11的壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1通過與負(fù)載梁11導(dǎo)通，實(shí)現(xiàn)接地。另外，金屬絲14與電極層12a2和13a2連接，金屬絲14與端子14a中的，圖1所示的導(dǎo)線部件31上的控制用控制圖案P連接。
控制用導(dǎo)電圖案P與導(dǎo)電性板簧31a通過焊錫32實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通，導(dǎo)電性板簧31a實(shí)現(xiàn)接地。因此，壓電部件12和13中的電極層12a1和13a1與電極層12a2和13a2全部實(shí)現(xiàn)接地。即，壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1與電極層12a2和13a2之間的電位相等。在壓電元件12和13中的相應(yīng)電極層之間的電位相等的狀態(tài)，對安裝有滑動塊21和導(dǎo)線部件31的負(fù)載梁進(jìn)行清洗。
如果在壓電元件12和13中的相應(yīng)電極層之間的電位相等的狀態(tài)，進(jìn)行超聲波清洗，可防止壓電元件12和13中的電荷的發(fā)生和積累，由此，可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低設(shè)置于滑動塊21上的上述再生元件和記錄元件的損傷?；蛘撸瑯釉趥魉蜁r，由于可防止壓電元件12和13中的電荷的積累，故可防止或降低脈沖電路的發(fā)生，可降低上述再生元件和記錄元件的損傷。在本實(shí)施例的磁頭裝置中，與不將控制用導(dǎo)電圖案P接地的過去的磁頭裝置相比較，原材料利用率提高40～60％。
另外，通過開口部31b1，使控制用導(dǎo)電圖案P和導(dǎo)電性板簧31a導(dǎo)通的方法也可為焊錫以外的方法，比如采用球焊或?qū)щ娦哉辰觿┑姆椒ā４送?，控制用?dǎo)電圖案P與導(dǎo)電性板簧31a也可通過導(dǎo)電性夾實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
在將磁頭裝置安裝于圖10所示的硬磁盤機(jī)上后，解除壓電元件12和13中的電極層12a2和13a2，與地線之間的導(dǎo)通。
在本實(shí)施例中，再生用導(dǎo)電圖案R1，R2和記錄用導(dǎo)電圖案W1，W2與形成于導(dǎo)線部件31中的基端部31B一側(cè)的檢查用焊盤TR1，TR2和TW1，TW2連接。此外，控制用導(dǎo)電圖案P與形成于基端部31B一側(cè)的檢查用焊盤TP連接。在將磁頭裝置安裝于硬磁盤機(jī)上后，沿圖1中的C-C線，將導(dǎo)線部件31切斷，去除檢查用焊盤TR1，TR2和TW1，TW2，TP。
下述開口部31b1形成于檢查用焊盤TR1，TR2和TW1，TW2，TP一起去除的區(qū)域，該開口部31b1設(shè)置于控制用導(dǎo)電圖案P與導(dǎo)電性板簧31a通過焊錫32實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通的導(dǎo)線部件31中的絕緣層31b上。
因此，在沿圖1中的C-C線切斷導(dǎo)線部件31時，與此同時，將壓電元件12和13中的電極層12a2和13a2與地線之間的導(dǎo)通解除。在本實(shí)施例中，通過使控制用導(dǎo)電圖案P接地，另外將該連接解除，磁頭裝置的可靠性不會變差。
圖5和圖6為表示使控制用導(dǎo)電圖案P與導(dǎo)電性板簧31a實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通的其它的方法的局部剖視圖。圖5和圖6表示沿控制用導(dǎo)電圖案P的縱向(從導(dǎo)線部件31的前端部31A朝向基端部31B的方向)的剖面。控制用導(dǎo)電圖案P在檢查用焊盤TP與端子14b之間，切斷成斷邊Pa和斷邊Pb。另外，在斷邊Pa的前端部Pa1的底層的絕緣層31b和導(dǎo)電性板簧31a上，形成開口部3162和開口部31a2。
在圖5中，斷邊Pa和斷邊Pb實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。在該圖5的狀態(tài)，進(jìn)行設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的檢查。在檢查結(jié)束后，將斷邊Pa的前端部Pa1彎曲，在導(dǎo)電性板簧31a的開口部31a1處，前端部Pa1與導(dǎo)電性板簧31a實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
同樣在圖6的狀態(tài)，由壓電元件12和13產(chǎn)生的電荷通過控制用導(dǎo)電圖案P的斷邊Pa的前端部Pa1與導(dǎo)電性板簧31a，流向地中，故該電荷不積累。因此，可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的損傷。
此外，如果沿圖5和圖6中的C-C線切斷導(dǎo)線部件31，在同時，將壓電元件12和13中的電極層12a2和13a2與地線之間的導(dǎo)通解除。
圖7表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的磁頭裝置的平面圖。另外，圖8和圖9為圖7的磁頭裝置的檢查用焊盤TW1，TW2周邊的局部透視圖。
在本實(shí)施例中，在導(dǎo)線部件41上，形成接地用圖案E。接地用圖案E通過端子14b，與壓電元件12，13中的接地用電極(圖11的電極層12a1和電極層13a1)連接。此外，壓電元件12，13的接地用電極以外的電極(圖11的電極層12a2和電極層13a2)通過端子14a，與控制用導(dǎo)電圖案P連接。接地用圖案E實(shí)現(xiàn)接地。另外，控制用導(dǎo)電圖案P用于向壓電元件供給控制信號。
在圖8中，接地用圖案E與控制用導(dǎo)電圖案P之間實(shí)現(xiàn)電絕緣。在此狀態(tài)，進(jìn)行設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的檢查。
接著，如圖9所示，接地用圖案E與控制用導(dǎo)電圖案P通過焊錫42實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通，控制用導(dǎo)電圖案P實(shí)現(xiàn)接地。因此，壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1與電極層12a2和13a2全部實(shí)現(xiàn)接地。即，壓電元件12和13中的電極層12a1和13a1與電極層12a2和13a2之間的電位相等。在壓電元件12和13中的相應(yīng)電極層之間的電位相等的狀態(tài)，對安裝有滑動塊21和導(dǎo)線部件41的負(fù)載梁進(jìn)行清洗。
如果在壓電元件12和13中的相應(yīng)電極層之間的電位相等的狀態(tài)，進(jìn)行超聲波清洗，可防止壓電元件12和13中的電荷的積累，由此，可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的損傷?；蛘?，同樣在傳送時，可防止壓電元件12和13中的電荷的積累，由此，可防止或降低脈沖電流的發(fā)生，可降低上述再生元件和記錄元件的損傷。
還有，使控制用導(dǎo)電圖案P與接地圖案E實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通的方法也可為焊錫以外的方法，比如采用球焊或?qū)щ娦哉辰觿┑姆椒ā；蛘?，也可采用?dǎo)電性夾，使控制用導(dǎo)電圖案P與接地圖案E導(dǎo)通。
再有，在圖8中，由于容易將使控制用導(dǎo)電圖案P與接地用圖案E導(dǎo)通的適量的焊錫42，供給到適合的部位，故在疊置于導(dǎo)線部件41的導(dǎo)電性板簧41a上的聚酰亞胺等形成的絕緣層41b上，設(shè)置不使導(dǎo)電性板簧41a露出的凹部41b1。但是，不必形成凹部41b1。
在將磁頭裝置安裝于圖10所示的硬磁盤機(jī)上后，將壓電元件12和13中的電極層12a2和13a2與地線之間的導(dǎo)通解除。
在本實(shí)施例中，再生用導(dǎo)電圖案R1，R2和記錄用導(dǎo)電圖案W1，W2，與形成于導(dǎo)線部件41的基端部41B側(cè)的檢查用焊盤TR1，TR2和TW1，TW2連接。此外，接地用圖案E和控制用導(dǎo)電圖案P，分別與形成于導(dǎo)線部件41的基端部41B側(cè)的檢查用焊盤TE和TP連接。
在將磁頭裝置安裝于硬磁盤機(jī)上后，沿圖7中的C-C線切斷導(dǎo)線部件41，去除檢查用焊盤TR1，TR2和TW2，TW2，TE和TP。控制用導(dǎo)電圖案P與接地用圖案E通過焊錫42實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通的部位，形成于檢查用焊盤TR1，TR2，TW1，TW2，TP一起去除的區(qū)域。
因此，在沿圖7中的C-C線切斷導(dǎo)線部件41時，在同時，將壓電元件12和13中的電極層12a2和13a2與地線之間的導(dǎo)通解除。在本實(shí)施例中，通過使控制用導(dǎo)電圖案P接地，另外，解除上述的連接，則磁頭裝置的可靠性不會變差。
權(quán)利要求
1.一種磁頭裝置，其包括滑動塊，在該滑動塊中設(shè)置有通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于記錄媒體上的磁信號的再生元件，以及在上述記錄媒體上記錄磁信號的記錄元件；導(dǎo)線部件，該導(dǎo)線部件包括與上述再生元件連接的再生用導(dǎo)電圖案和與上述記錄元件連接的記錄用導(dǎo)電圖案；彈性支承部件，該彈性支承部件支承上述滑動塊和導(dǎo)線部件，其特征在于在上述彈性支承部件上，裝載有壓電元件，該壓電元件使該彈性支承部件產(chǎn)生變形，使上述滑動塊的姿勢發(fā)生變化；上述壓電元件中的電極之間的電位相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁頭裝置，其特征在于設(shè)置于上述壓電元件中的電極中的，至少1個電極為實(shí)現(xiàn)接地的接地用電極，在上述導(dǎo)線部件中，設(shè)置有控制用導(dǎo)電圖案，該控制用導(dǎo)電圖案與上述壓電元件的接地用電極以外的電極連接，供給控制用信號，該控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁頭裝置，其特征在于在上述導(dǎo)線部件中的，與再生元件和記錄元件連接的端部相反一側(cè)的端部，形成檢查用焊盤，該檢查用焊盤與記錄用導(dǎo)電圖案，和控制用導(dǎo)電圖案連接，該焊盤在再生元件和記錄元件的性能檢查后去除，在導(dǎo)線部件中的，將上述檢查用焊盤一起去除的區(qū)域，上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁頭裝置，其特征在于上述導(dǎo)線部件在實(shí)現(xiàn)接地的導(dǎo)電性板材上，通過絕緣層，形成再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案，以及控制用導(dǎo)電圖案，在上述控制用導(dǎo)電圖案附近處的絕緣層上，形成上述導(dǎo)電性板材露出的開口部，通過該開口部，上述控制用導(dǎo)電圖案與導(dǎo)電性板材實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁頭裝置，其特征在于在上述導(dǎo)線部件上，形成與上述壓電元件的接地用電極連接的接地用圖案，上述接地用圖案與上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通。
6.一種磁頭裝置的制造方法，該方法包括下述步驟(a)形成導(dǎo)線部件，該導(dǎo)線部件具有再生用導(dǎo)電圖案，該再生用導(dǎo)電圖案與通過磁阻效應(yīng)檢測記錄于記錄媒體上的磁信號的再生元件連接；記錄用導(dǎo)電圖案，該記錄用導(dǎo)電圖案與在上述記錄媒體上記錄磁信號的記錄元件連接；(b)將設(shè)置有再生元件和記錄元件的滑動塊，以及導(dǎo)線部件安裝于彈性支承部件上；(c)在上述彈性支承部件上，裝載使該彈性支承部件產(chǎn)生變形，使上述滑動塊的姿勢變化的壓電元件；(d)使全部的上述壓電元件的電極實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通，使上述電極之間的電位相等；(e)在上述壓電元件中的電極之間的電位相等的狀態(tài)，對安裝有滑動塊和導(dǎo)線部件的彈性支承部件進(jìn)行清洗。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述(d)步驟中，使上述壓電元件中的全部電極實(shí)現(xiàn)接地。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述步驟(a)中，在導(dǎo)線部件上，形成向上述壓電元件供給控制用信號的控制用導(dǎo)電圖案；在上述步驟(c)中，設(shè)置于上述壓電元件中的電極中的，至少1個電極實(shí)現(xiàn)接地，剩余的電極與上述控制用導(dǎo)電圖案連接；在上述步驟(d)中，上述控制用導(dǎo)電圖案實(shí)現(xiàn)接地。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述步驟(a)中，在實(shí)現(xiàn)接地的導(dǎo)電性板材上，通過絕緣層，形成再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案，以及控制用導(dǎo)電圖案，由此，形成導(dǎo)線部件，另外，在上述控制用導(dǎo)電圖案附近的絕緣層上，形成上述導(dǎo)電性板材露出的開口部；在上述步驟(d)中，通過上述開口部，使上述控制用導(dǎo)電圖案與導(dǎo)電性板材導(dǎo)通。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述步驟(a)中，在上述導(dǎo)線部件上，形成接地用圖案，在上述步驟(d)中，使上述接地用圖案與控制用導(dǎo)電圖案導(dǎo)通。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述步驟(a)中，在導(dǎo)線部件中的，與再生元件和記錄元件連接的端部相反側(cè)的端部，形成與再生用導(dǎo)電圖案，記錄用導(dǎo)電圖案和控制用導(dǎo)電圖案連接的檢查用焊盤；在上述步驟(e)后，將上述檢查用焊盤去除。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁頭裝置的制造方法，其特征在于在上述步驟(d)中，在上述導(dǎo)線部件中的，將上述檢查用焊盤一起去除的區(qū)域，使控制用導(dǎo)電圖案接地。
全文摘要
控制用導(dǎo)電圖案P和導(dǎo)電性板簧31a通過焊錫32實(shí)現(xiàn)導(dǎo)通,導(dǎo)電性板簧31a實(shí)現(xiàn)接地,在此狀態(tài)進(jìn)行超聲波清洗。由于可防止壓電元件12和13的電荷的積累,故可防止或降低脈沖電流的發(fā)生,可降低設(shè)置于滑動塊21上的再生元件和記錄元件的損傷。
文檔編號G11B5/48GK1341918SQ0113092
公開日2002年3月27日 申請日期2001年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月4日
發(fā)明者中川正義 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社