專利名稱：頭滑動器懸架和頭組件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及滑動器懸架和頭組件及其制造方法，滑動器懸架用于在如磁盤設(shè)備或磁光盤設(shè)備的信息記錄和重放設(shè)備中安裝至少具有磁記錄頭元件或磁重放頭元件的頭滑動器，頭組件具有滑動器懸架和安裝在滑動器懸架上頭滑動器。
通常，在頭組件結(jié)構(gòu)中，具有頭元件的頭滑動器由滑動器懸架(下文稱為懸架)支承。當頭滑動器通過懸架升離磁記錄介質(zhì)表面固定距離時，信息被從/在如磁盤這樣的記錄介質(zhì)重放/記錄。
這種懸浮型頭組件迄今一直用以下方式進行組裝頭滑動器通過樹脂粘合劑接到懸架上，通過使用金(Au)或類似物的球焊將頭滑動器側(cè)上信號連接部分的焊接區(qū)與懸架側(cè)上信號連接部分的焊接區(qū)連接。
當實際使用這種類型的頭組件時，由于幾種原因可以產(chǎn)生靜電，這幾種原因例如頭滑動器的懸浮表面在盤表面上滑動，頭滑動器和高速旋轉(zhuǎn)的盤表面之間的很短距離。因為頭元件通常通過薄膜工藝形成，所以當使用頭組件時產(chǎn)生的靜電對頭元件造成損壞。為了防止這種損壞，利用焊接區(qū)通過球焊將頭滑動器與懸架電連接，從而在頭滑動器上產(chǎn)生的靜電通過懸架釋放到地，例如日本未審查的專利公開No.昭63-113917中所公開的?；蛘撸^滑動器連接到懸架，然后在頭滑動器的后端面和懸架之間外部施加導(dǎo)電樹脂，從而頭滑動器與懸架電連接。
以下歸納的公開文件與本發(fā)明有關(guān)日本未審查的專利公開No.昭63-226999公開了一種柔性防護接線板，在該板的結(jié)構(gòu)中，各向異性導(dǎo)電片焊接到具有電極端子的絕緣基板上，使得片與絕緣基板側(cè)的端子電連接。日本未審查的專利公開No.Hei9-115125教導(dǎo)了一種利用各向異性導(dǎo)電膜(片)將頭連接到懸架的方法。
而且，共同轉(zhuǎn)讓的日本未審查的專利公開No.Hei9-282824也與本發(fā)明有關(guān)，提出了一種頭滑動器懸架機構(gòu)，該機構(gòu)具有分段圖案，以避免接觸用于將頭滑動器連接到懸架的多種類型粘合劑。
上述方法通過將頭滑動器與懸架電連接來實現(xiàn)它們的優(yōu)點。但是，當在球焊過程中將大于指定的壓力加到焊接區(qū)時，利用焊接區(qū)通過球焊將頭滑動器與懸架連接的方法存在懸架變形的問題。這種變形對頭滑動器的懸浮特性有影響并由此導(dǎo)致產(chǎn)量降低的缺點。在施加導(dǎo)電樹脂的方法中需要將導(dǎo)電樹脂應(yīng)用于懸架的附加過程以及將頭滑動器連接到懸架的過程。該附加過程增加了機械加工時間。而且，通過很多上述過程制造頭組件，所以在處理時頭元件會受到靜電損壞。
為了避免球焊過程或其它附加過程造成的這些缺點來防止靜電，將例如日本未審查的專利公開No.昭63-226999公開的各向異性導(dǎo)電片加到例如日本未審查的專利公開No.Hei9-115125公開的方法中看起來是可能的。但是目前，因為頭滑動器例如微小到約10.mm×1.2mm，所以很難通過各向異性導(dǎo)電片將頭滑動器與懸架連接。而且，使用這種各向異性導(dǎo)電薄膜的方法需要高度準確的校準以通過層疊的各向?qū)щ娔㈩^與懸架連接。此外，該方法需要兩個附加過程，即臨時連接和最終連接。這增加了制造過程的步數(shù)，導(dǎo)致難以縮短制造機械加工時間。
因此，發(fā)明人提出了一種利用各向異性導(dǎo)電粘合劑或類似物將頭滑動器固定到懸架以將頭滑動器與懸架電連接的方法，例如在日本專利申請No.9-347678所公開的。該方法能僅通過一個過程確保頭滑動器和懸架之間的連接和導(dǎo)電性。因此，能縮短制造機械加工時間。
但是，該方法不總是易于有效地防止靜電損壞同時確保良好的可使用性和足夠的粘合劑強度。這是因為各向異性導(dǎo)電粘合劑是通過將如銀粉這樣的導(dǎo)電材料揉入絕緣粘接樹脂而生產(chǎn)的。如果各向異性導(dǎo)電粘合劑包含更多的導(dǎo)電材料，粘合劑變得更粘并由此可使用性變壞。粘合劑也具有更少得附著力，由此，耐用性變得難以改善。相反，如果各向異性導(dǎo)電粘合劑包含較少導(dǎo)電材料，降低了粘合劑的導(dǎo)電性(電阻被增加)并由此不能實現(xiàn)頭滑動器和懸架之間的充分連續(xù)。
針對上述問題作出本發(fā)明。本發(fā)明的目的是提供一種能有效防止靜電損壞頭元件同時簡化制造過程、改進可使用性并增強耐用性的頭滑動器懸架和頭組件及其制造方法。
本發(fā)明的頭滑動器懸架包括滑動器懸件，作為基座支承用于至少在/從預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或重放信息的具有頭元件的頭滑動器；以及形成的遍布滑動器懸件的導(dǎo)電圖案，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時將頭滑動器保持在地電勢。
在本發(fā)明的頭滑動器懸架中，當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時，通過所形成的以遍布滑動器懸件的導(dǎo)電圖案將頭滑動器保持在地電勢。
本發(fā)明的另一頭滑動器懸架還包括選擇性地形成在滑動器懸件表面上的至少一個絕緣墊片，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間。在這種情況下，至少滑動器懸件的表面可以保持在地電勢。此外，可以形成導(dǎo)電圖案，使得遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域。在這種情況下，墊片能被形成為被分成多個部分的圖案。
本發(fā)明的頭組件包括具有頭元件的頭滑動器，用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息；作為基座以支承頭滑動器的滑動器懸件；以及形成的遍布滑動器懸件的導(dǎo)電圖案，用于將頭滑動器保持在地電勢。在本發(fā)明的頭組件中，通過所形成的以遍布滑動器懸件的導(dǎo)電圖案將頭滑動器保持在地電勢。
本發(fā)明的另一頭組件還可以包括選擇性地形成在滑動器懸件表面上的至少一個絕緣墊片，用于在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間。在這種情況下，至少滑動器懸件表面可以保持在地電勢。此外，可以形成導(dǎo)電圖案，使之遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域。頭滑動器可以通過填充到將被粘合劑充滿的空間的粘合劑固接到滑動器懸件。在這種情況下，墊片能被形成為被分成多個部分的圖案。優(yōu)選地，粘合劑是導(dǎo)電的。例如，粘合劑由至少包含銀的樹脂制成。
在本發(fā)明的另一頭滑動器懸架或頭組件中，頭滑動器懸架或頭組件還可以包括發(fā)送向頭元件輸入或從頭元件輸出的信號的布線圖案，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和布線圖案的材料與過程相同。
在本發(fā)明的再一頭滑動器懸架或頭組件中，頭滑動器懸架或頭組件還可以包括布線圖案和絕緣圖案，布線圖案用于發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號，絕緣圖案用于使布線圖案與滑動器懸件絕緣，墊片的形成材料與過程和絕緣圖案的材料與過程相同。
在本發(fā)明的再一頭滑動器懸架或頭組件中，導(dǎo)電圖案包括具有至少一層的導(dǎo)電薄膜。在這種情況下，導(dǎo)電薄膜可以由金屬制成。優(yōu)選地，金屬至少包含銅或金。
在本發(fā)明的再一頭滑動器懸架或頭組件中，墊片由絕緣樹脂制成。優(yōu)選地，例如用聚酰亞胺作為絕緣樹脂。
根據(jù)本發(fā)明的頭滑動器懸架的制造方法，包括的步驟有形成滑動器懸件，所述滑動器懸件作為基座用于支承至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息的具有頭元件的頭滑動器；以及在滑動器懸件上形成導(dǎo)電圖案，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時將頭滑動器保持在地電勢。
根據(jù)本發(fā)明的頭組件的制造方法，包括以下步驟制造用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息的具有頭元件的頭滑動器；制造作為基座以支承頭滑動器的滑動器懸件；以及在滑動器懸件上形成導(dǎo)電圖案，用于將頭滑動器保持在地電勢。
本發(fā)明的其它及進一步的目的、特征和優(yōu)點在以下描述中更明顯。


圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的磁頭組件外部結(jié)構(gòu)的透視圖；圖2是沿圖1的線II-II箭頭方向所取的橫截面圖；圖3是圖1所示磁頭組件的平面圖；圖4是沿圖3的線IV-IV箭頭方向所取的橫截面圖；以及圖5是使用了根據(jù)本發(fā)明一個實施例所述磁頭組件的磁盤設(shè)備的外部結(jié)構(gòu)透視圖。
下面接合附圖詳細描述本發(fā)明的實施例。圖5示出了使用了根據(jù)本發(fā)明一個實施例所述磁頭組件的磁盤設(shè)備的外部結(jié)構(gòu)。該磁盤設(shè)備包括具有基板和形成于基板上的磁頭芯部分的磁頭滑動器(下文也稱為磁頭或頭)11和作為記錄介質(zhì)的磁盤(下文也稱為盤)110。磁盤110通過主軸電動機111旋轉(zhuǎn)。磁頭滑動器11由懸架12一端的尖支承。懸架12的另一端連接驅(qū)動臂131。磁頭滑動器11面對磁盤110表面設(shè)置。驅(qū)動臂131例如由使用了鋁的壓鑄件制成。
該磁盤設(shè)備還包括設(shè)在驅(qū)動臂131基座側(cè)(base side)的托架部分120，用于將磁頭滑動器11定位在磁盤110的磁道上。托架部分120包括樞軸121、托架122和傳動裝置123，托架122能繞樞軸121旋轉(zhuǎn)，傳動裝置123包括音圈或類似物。傳動裝置123驅(qū)動托架122，使得托架122饒樞軸121旋轉(zhuǎn)，從而磁頭滑動器11能以磁盤110的徑向移動。磁頭滑動器11和懸架12構(gòu)成了本發(fā)明磁頭組件的主要部分。
為圖解目的，圖5中僅示出了一個磁頭組件10。在實際的磁盤設(shè)備中，必要的話，可以為多個磁盤110的每個表面配設(shè)一個磁頭組件。
圖1至4示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的頭組件的主要部分并具體示出了圖5所示磁頭滑動器11和懸架12的局部結(jié)構(gòu)。由于根據(jù)本發(fā)明實施例的頭滑動器懸架是通過本實施例的頭組件體現(xiàn)出來的，下面與頭組件一起描述頭滑動器懸架。圖1是磁頭組件主要部分的透視圖，磁頭組件表面向上面對磁頭滑動器11的記錄介質(zhì)(下文稱為空氣軸承表面)11b，從上方斜視。圖2是沿圖1的線II-II箭頭方向所取的橫截面圖。圖3是俯視的磁頭組件的平面圖。圖4是沿圖3的線IV-IV箭頭方向所取的橫截面圖。圖3中，磁頭滑動器11未示出，磁頭滑動器11將安裝在偽線(虛線)所指示的位置。
如圖1和2所示，磁頭組件10包括磁頭滑動器11和支承磁頭滑動器11的懸架12。懸架12包括作為柔性懸架的彎曲12A和作為剛性懸架的承載梁12B。磁頭滑動器11相當于本發(fā)明的“頭滑動器”。懸架12相當于本發(fā)明的“滑動器懸架”。
如圖1所示，磁頭滑動器11基本為長方體。磁頭元件14和用于輸入輸出信號的焊接區(qū)形成在元件形成表面11a上，元件形成表面11a是磁頭滑動器11的一側(cè)端面。例如，磁頭元件14至少包括用于寫的感應(yīng)磁換能器或用于讀出的磁性電阻元件(MR元件)。磁頭元件14相當于本發(fā)明的“頭元件”。
構(gòu)成懸架12一部分的彎曲12A由例如厚約25μm的薄不銹鋼板制成。彎曲12A固定到承載梁12B的邊沿，使得彎曲12A作為萬向接頭與磁頭滑動器11整體工作。大致沿中間具有絕緣圖案31f(參考圖3和4)的彎曲12A的長度形成作為輸入/輸出信號線的四個引線圖案16a-16d。絕緣圖案31f未在圖1和2中示出。引線圖案16a-16d相當于本發(fā)明的“布線圖”。絕緣圖案31f相當于本發(fā)明的“絕緣圖案”。
引線圖案16a-16d用銅(Cu)或金(Au)形成，或者，具有銅和金的薄膜圖案層疊起來。引線圖案16a-16d的一端分別連接形成在彎曲12A上的四個焊接區(qū)17a-17d。引線圖案16a-16d的另一端連接到連接外部電路的連接端子(未示出)。焊接區(qū)17a-17d例如通過金球21或類似物分別與磁頭滑動器11側(cè)上的焊接區(qū)15a-15d電連接。金球21未在圖1中示出。
承載梁12B由例如厚約62-76μm的厚不銹鋼板制成。彎曲12A例如通過激光焊接在多個點焊點(例如點18)處固接承載梁12B。在承載梁12B尖附近形成按壓磁頭滑動器11的背面11c的凸起窩坑19。窩坑19與彎曲12A的萬向接頭部分12Aa點接觸。萬向接頭部分12Aa固接到磁頭滑動器11的背面11c，從而防止磁頭滑動器11以磁頭滑動器11從盤上浮起的方向(圖中向下)移動。
如圖3和4所示，由絕緣樹脂，例如聚酰亞胺、丙烯酸樹脂或類似物組成的一組墊片31a-31e以預(yù)定圖案選擇性地形成在構(gòu)成彎曲12A一部分的萬向接頭部分12Aa的表面區(qū)域中。磁頭滑動器11放在中間具有墊片31a-31e的萬向接頭部分12Aa上的該區(qū)域中。墊片31a-31e用于當磁頭滑動器11放在彎曲12A的萬向接頭部分12Aa上時保持磁頭滑動器11的背面11c與萬向接頭部分12Aa的上表面平行。如果磁頭滑動器11用粘合劑而非墊片31a-31e直接放在萬向接頭部分12Aa上，磁頭滑動器11可以固接到萬向接頭部分12Aa但根據(jù)所用粘合劑的形式傾斜。但是，在該實施例中，通過墊片31a-31e在磁頭滑動器11和萬向接頭部分12Aa之間事先生成將充以粘合劑的空間，從而避免了這種問題。優(yōu)選地，墊片31a-31e是由同一種絕緣材料和相同的過程形成的，例如如以下所描述的絕緣材料和絕緣圖案31f的形成過程。墊片31a-31e的厚度例如設(shè)為約10-20μm。墊片31a-31e相當于本發(fā)明的“絕緣墊片”。
在該實施例中，墊片31a和31c在俯視圖中都是T-型的。墊片31a和31c的布置是使它們的突起相互面對。墊片31b和31d在俯視圖中都是矩形的。墊片31b和31d的布置是使墊片31a和31c的突起夾在墊片31b和31d之間。墊片31e在俯視圖中基本為圓形。墊片31e約位于墊片31a-31e所圍繞的區(qū)域中心(具體地說，在對應(yīng)于承載梁12B的窩坑19的位置)。但是，這些墊片31a-31e的布置不限于圖3所示的圖案，可做適當改變。
如圖3和4所示，從墊片31a-31e的上表面通過墊片31a-31e的側(cè)面延伸到萬向接頭部分12Aa表面的寬區(qū)域用導(dǎo)電圖32覆蓋，導(dǎo)電圖32選擇性地形成且電阻很低。通過層疊例如銅(Cu)薄膜和金(Au)薄膜形成導(dǎo)電圖32。但是，導(dǎo)電圖32的結(jié)構(gòu)也可以使用其它金屬。磁頭滑動器11放在中間具有導(dǎo)電圖32的墊片31a-31e上。磁頭滑動器11通過填充到墊片31a-31e所包圍的凹入空間內(nèi)的粘合劑33固接到萬向接頭部分12Aa。在這種狀態(tài)下，磁頭滑動器11的背面11c與導(dǎo)電圖32緊密粘接。因此，磁頭滑動器11的背面11c通過導(dǎo)電圖32與萬向接頭部分12Aa電連接。導(dǎo)電圖32相當于本發(fā)明的“導(dǎo)電圖”。
如上所述，磁頭滑動器11側(cè)上的焊接區(qū)15a-15d通過金(Au)條21分別彎曲12A側(cè)上的焊接區(qū)17a-17d連接。
包括萬向接頭部分12Aa的彎曲12A的基底通過圖1所示的驅(qū)動臂131和其它元件與磁盤設(shè)備的外殼140電連接。該外殼140保持在地電勢。因此，當在磁頭滑動器11側(cè)產(chǎn)生靜電時，靜電通過導(dǎo)電圖32和彎曲12A從磁頭滑動器11的背面11c流向接地的盤設(shè)備外殼140。
優(yōu)選地，用導(dǎo)電粘合劑作為粘合劑33。但是，可以使用非導(dǎo)電粘合劑。原因是，磁頭滑動器11的背面11c通過導(dǎo)電圖32與萬向接頭部分12Aa電連接。
優(yōu)選地，可以用各向同性導(dǎo)電樹脂粘合劑作為導(dǎo)電樹脂。但是，也可以使用各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑。各向同性導(dǎo)電樹脂粘合劑由于接觸足量混合到粘合劑層中的導(dǎo)電填料而實現(xiàn)其導(dǎo)電性。與各向同性導(dǎo)電樹脂粘合劑相反，各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑具有薄粘合劑層而粘合劑層內(nèi)導(dǎo)電填料的量被盡可能地減少。各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑處于導(dǎo)電狀態(tài)是因為以垂直于粘合劑層的厚度方向接觸導(dǎo)電填料，而該粘合劑處于非導(dǎo)電狀態(tài)是因為在平行于粘合劑層的方向(水平方向)幾乎不接觸導(dǎo)電填料。
在各向同性導(dǎo)電樹脂粘合劑的粘合劑層材料中是通過紫外線光照射固化的紫外線固化樹脂和通過熱固定的熱固性樹脂，例如，環(huán)氧樹脂。導(dǎo)電填料的例子包括銀(Ag)這樣的金屬顆粒和金屬涂層的塑料顆粒。希望，例如，為銀的情況下，用平均顆粒直徑約為0.5-2μm的顆粒物質(zhì)或平均顆粒直徑約為5-10μm的鱗狀物質(zhì)作為導(dǎo)電填料的顆粒。
另一方面，在各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑的粘合劑層材料中為通過紫外線光照射和熱固定的熱固性樹脂，例如環(huán)氧樹脂。導(dǎo)電填料的例子包括銀(Ag)這樣的金屬顆粒和金屬涂層的塑料顆粒。希望，例如，在銀的情況下，導(dǎo)電填料的顆粒平均顆粒直徑約為3μm且最大顆粒直徑約為10μm。例如，可以通過將銀粉、尿烷丙烯酸鹽(urethane acrylate)和丙烯酸鹽混合，準備包含聚丙烯樹脂和混在其中的銀粉的各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑。在以下過程中設(shè)置該各向異性導(dǎo)電樹脂當將例如2.0kg重量/cm2的負荷加到樹脂時，用具有例如3000mJ/cm2的累積光量的紫外線光照射樹脂；接著，例如在120°加熱樹脂30分鐘。其中丙烯酸樹脂中銀粉的成分約為40-60％的粘合劑可用作各向異性導(dǎo)電樹脂粘合劑。
下面，描述具有上述結(jié)構(gòu)的磁頭組件的功能。
在磁頭組件10中，以下列方式完成信息的記錄和重放圖5中，當磁盤110不旋轉(zhuǎn)時，通過懸架12按壓的磁頭滑動器11與磁盤110彼此接觸。當磁盤110旋轉(zhuǎn)時，在磁頭滑動器11和磁盤110之間產(chǎn)生氣流并由此形成懸浮。因此，磁頭滑動器11與磁盤110的表面分開并升在空中，磁頭滑動器11相對磁盤110移動同時通過懸浮和懸架12施加的按壓力之間的平衡保持少量距離，從而信息被記錄在磁盤110上或從磁盤110重放。這種記錄和重放方法稱為CSS(接觸-起動-停止)方法。
即使由于磁頭滑動器11的空氣軸承表面在磁盤110表面上滑動或者磁頭滑動器11和高速旋轉(zhuǎn)的磁盤110表面之間的很短距離等等而產(chǎn)生靜電，靜電通過導(dǎo)電圖32(當粘合劑33導(dǎo)電時為導(dǎo)電圖32和粘合劑33)從磁頭滑動器11的背面11c流到萬向接頭部分12Aa。此外，靜電通過驅(qū)動臂131流到磁盤設(shè)備的接地外殼140。所以，能防止磁頭滑動器11的磁頭元件14受靜電影響而被損壞。如上所述，對于粘合劑33來說，導(dǎo)電粘合劑更可取，因為該粘合劑33還有助于靜電從磁頭滑動器11的背面11c流到萬向接頭部分12Aa的功能。
如上所述，根據(jù)該實施例的磁頭組件，磁頭滑動器11放在并固接到中間具有導(dǎo)電圖32的墊片31a-31e上，它連接上面放有磁頭滑動器11的墊片31a-31e上表面和萬向接頭部分12Aa的表面。與磁頭滑動器11僅通過導(dǎo)電粘合劑連接到萬向接頭部分12Aa的情況相比，該結(jié)構(gòu)改善了磁頭滑動器11的接地特性并確保磁頭滑動器11的磁頭元件14能防止受到靜電影響而被損壞。而且，在連接之后，在磁頭滑動器11的外圓周上形成接地部分不需要附加的過程，原因是，磁頭滑動器11僅通過將磁頭滑動器11連接萬向接頭部分12Aa而接地。
而且，導(dǎo)電圖32的存在能獲得充分接地效果，即使是用不包含導(dǎo)電填料的非導(dǎo)電粘合劑或者具有低導(dǎo)電填料成分并由此實現(xiàn)低導(dǎo)電性(即相對高的電阻)的導(dǎo)電粘合劑作為粘合劑33。因此，沒有出現(xiàn)因為粘合劑減少而引起耐用性差的問題。換言之，有效防止了靜電損壞同時確保足夠的粘合劑強度。下一步，描述根據(jù)本發(fā)明實施例的頭組件的制造方法。由于該根據(jù)實施例的頭滑動器懸架的制造方法是通過根據(jù)該實施例的頭組件制造方法體現(xiàn)出來的，下面一起描述這些方法。
在制造該實施例的磁頭組件的方法中，首先，通過用光刻技術(shù)形成薄膜的過程，在altic(Al2O3TiC)制成的基板上形成磁頭元件14，磁頭元件14包括用于寫的感應(yīng)磁換能器和用于讀出的磁性電阻元件。然后，通過空氣軸承表面拋光過程、通過機械加工劃分元件過程等等形成磁頭滑動器11。DLL可以作為保護薄膜形成在空氣軸承表面11b上。
下一步，通過例如印刷、片層疊或類似過程在懸架12的彎曲12A的面對盤的表面上同時形成絕緣圖案31f和聚酰亞胺或類似物制成的墊片31a-31e。如上所述，墊片31a-31e和絕緣圖案31f的厚度設(shè)為例如10-20μm。
下一步，通過濺射、汽相沉積這樣的汽相外延或電鍍這樣的液相外延在絕緣圖案31f上選擇性地形成絕緣圖案31f和焊接區(qū)17a-17d。同時，跨越覆蓋墊片31a-31e上表面和側(cè)面以及萬向接頭部分12Aa表面的預(yù)定區(qū)域選擇性地形成導(dǎo)電圖32。用與引線圖案16a-16d和焊接區(qū)17a-17d的材料及過程相同的材料及過程形成導(dǎo)電圖32。例如，導(dǎo)電圖32具有上述銅和金的兩層結(jié)構(gòu)。導(dǎo)電圖32的厚度例如設(shè)為2-3μm。
下一步，例如，通過微配置器(microdispenser)、印刷或類似過程在萬向接頭部分12Aa上墊片31a-31e所包圍的區(qū)域選擇性地涂以紫外線固化的各向同性導(dǎo)電樹脂粘合劑。但是，如上所述，可以使用各向同性非導(dǎo)電樹脂粘合劑。粘合劑33可以用于磁頭滑動器11或者既用于磁頭滑動器11又用于萬向接頭部分12Aa。
下一步，磁頭滑動器11定位并放在彎曲12A的萬向接頭部分12Aa上。隨后，當預(yù)定負荷(例如約20.kg f/cm2)加到磁頭滑動器11上時，用紫外線光照射粘合劑33并在預(yù)定溫度加熱，從而固化粘合劑33。由此，磁頭滑動器11固定到萬向接頭部分12Aa，磁頭滑動器11的背面11c自然與萬向接頭部分12Aa電連接。
下一步，磁頭滑動器11側(cè)上的焊接區(qū)15a-15d通過金球21分別與彎曲12A側(cè)上的焊接區(qū)17a-17d連接。
然后，需要的話，為了保護球焊部分，可以通過紫外線照射和加熱施加并固化紫外線固化樹脂(UV樹脂)。
如上所述，根據(jù)該實施例的磁頭組件的制造方法，在形成連接墊片31a-31e上表面和萬向接頭部分12Aa表面的導(dǎo)電圖32之后，通過粘合劑33將磁頭滑動器11連接并固定到彎曲12A的萬向接頭部分12Aa。因此，磁頭滑動器11的背面11c能通過導(dǎo)電圖32和彎曲12A安全接地，而與粘合劑33是否導(dǎo)電無關(guān)。所以，當使用磁頭組件時能有效地防止磁頭元件14受靜電損壞。
而且，根據(jù)該實施例，導(dǎo)電圖32的存在能獲得充分接地效果，即使是用不包含導(dǎo)電填料的非導(dǎo)電粘合劑或者具有低導(dǎo)電填料成分并由此實現(xiàn)低導(dǎo)電性(即相對高的電阻)的導(dǎo)電粘合劑作為粘合劑33。結(jié)果，可以使用不那么粘性且具有優(yōu)良敷涂特性的粘合劑。即，有效防止靜電損壞同時保持良好的可使用性。
而且，在該實施例中，以與絕緣圖案31f的材料和過程相同的材料和過程形成放在磁頭滑動器11上的絕緣墊片31a-31e。因此，簡化了制造過程。
此外，在該實施例中，以與引線圖案16a-16d和焊接區(qū)17a-17d的過程及材料相同的過程及材料形成導(dǎo)電圖32。在這方面也簡化了制造過程。
而且，在該實施例中，通過粘合劑將磁頭滑動器11固接到萬向接頭部分12Aa。所以，如上所述，僅需要一個連接過程。相反，在事先將薄片形成薄膜例如相關(guān)技術(shù)的各向異性導(dǎo)電片的情況下，需要兩個連接過程，即臨時連接和最終連接。在該實施例中，與使用各向異性導(dǎo)電片的情況相比，縮短了加工準備時間。此外，與相關(guān)技術(shù)不同，該實施例能僅在一個過程中確保頭滑動器和懸架之間的連接和導(dǎo)電性。
盡管根據(jù)上述實施例對本發(fā)明做了描述，但本發(fā)明不限于上述實施例，可以對本發(fā)明進行各種修改。例如，在上述實施例中，支承放在上面的磁頭滑動器11的絕緣墊片不限于具有圖3所示平面圖形狀圖案的墊片31a-31e，可以具有任何其它平面圖形狀的圖案。
圖3中，導(dǎo)電圖32作成整個沒有槽口(開口)的一片，使得粘合劑33僅與緊密形成在萬向接頭部分12Aa表面上的導(dǎo)電圖32接觸。但是，本發(fā)明不限于這種例子。例如，在導(dǎo)電圖32上可以形成一個或多個開口式樣，使得粘合劑33通過該開口式樣直接與萬向接頭部分12Aa的表面接觸。在這種情況下，即使萬向接頭部分12Aa表面和導(dǎo)電圖32之間的接觸不牢固，也可以確保磁頭滑動器11和萬向接頭部分12Aa之間的固定連接。導(dǎo)電圖32可以分成多個部分。
而且，在本實施例中，盡管懸架12的結(jié)構(gòu)包括具有萬向接頭部分12Aa的彎曲12A和承載梁12B，但本發(fā)明不限于該實施例且可應(yīng)用于具有任何結(jié)構(gòu)的懸架。
而且，盡管在該實施例中已經(jīng)描述了磁頭組件，但本發(fā)明可以應(yīng)用于任何其它記錄和重放設(shè)備，例如，磁光頭組件和光頭組件。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的頭滑動器懸架、頭組件、頭滑動器懸架制造方法或頭組件制造方法，在作為基座以支承頭滑動器的滑動器懸架上形成將頭滑動器保持在地電勢的導(dǎo)電圖案。因此，當頭滑動器固接到滑動器懸架時，頭滑動器自動接地。因此，在將頭滑動器安裝在頭滑動器懸架上之后不需要接地的工作。所以，頭滑動器能接地同時簡化了制造過程。
在根據(jù)本發(fā)明的頭滑動器懸架、頭組件、頭滑動器懸架制造方法或頭組件制造方法中，在滑動器懸架表面上形成絕緣墊片，并形成導(dǎo)電圖案，使得至少滑動器懸架表面保持在地電勢以及導(dǎo)電圖案遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸架表面的區(qū)域。因此，通過墊片建立填充粘合劑的充足空間。此外，盡管頭滑動器放在并固定到墊片，但滑動器懸架的表面通過導(dǎo)電圖案于頭滑動器電連接。即，頭滑動器能接地，與填充到將充以粘合劑的空間的粘合劑是否導(dǎo)電無關(guān)。
在根據(jù)本發(fā)明另一方面的頭滑動器懸架、頭組件、頭滑動器懸架制造方法或頭組件制造方法中，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和用于發(fā)送輸入頭元件或從頭元件輸出的信號的布線圖案的材料與過程相同。所以，簡化了制造過程。
在根據(jù)本發(fā)明再一方面的頭滑動器懸架、頭組件、頭滑動器懸架制造方法或頭組件制造方法中，墊片的形成材料與過程和為使布線圖案與滑動器懸架絕緣所形成的絕緣圖案的材料與過程相同。所以，進一步簡化了制造過程。
顯然，根據(jù)上述教導(dǎo)可以對本發(fā)明作出各種修改了變形。因此，可以理解，本發(fā)明除了在具體描述的實施例之外可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)實施。
權(quán)利要求
1.一種頭滑動器懸架，包括滑動器懸件，作為基座支承用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息的具有頭元件的頭滑動器；以及形成的遍布至少滑動器懸件的導(dǎo)電圖案，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時將頭滑動器保持在地電勢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的頭滑動器懸架，其特征在于還包括用于發(fā)送向頭元件輸入或從頭元件輸出的信號的布線圖案，其中，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和布線圖案的材料與過程相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的頭滑動器懸架，其特征在于，導(dǎo)電圖案包括具有至少一層的導(dǎo)電薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的頭滑動器懸架，其特征在于，導(dǎo)電薄膜由金屬制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的頭滑動器懸架，其特征在于，金屬至少包含銅或金。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的頭滑動器懸架，還包括選擇性地形成在滑動器懸件表面上的至少一個絕緣墊片，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于，至少滑動器懸件表面保持在地電勢。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的頭滑動器懸架，其特征在于，形成導(dǎo)電圖案，使之遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于還包括發(fā)送向頭元件輸入或從頭元件輸出的信號的布線圖案，其中，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和布線圖案的材料與過程相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于，導(dǎo)電圖案包括具有至少一層的導(dǎo)電薄膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的頭滑動器懸架，其特征在于，導(dǎo)電薄膜由金屬制成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的頭滑動器懸架，其特征在于，金屬至少包含銅或金。
13.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于還包括布線圖案和絕緣圖案，布線圖案用于發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號，絕緣圖案用于使布線圖案與滑動器懸件絕緣，其中，墊片的形成材料與過程和絕緣圖案的材料與過程相同。
14.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于，墊片形成為被分成多個部分的圖案。
15.根據(jù)權(quán)利要求6的頭滑動器懸架，其特征在于，墊片由絕緣樹脂制成。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的頭滑動器懸架，其特征在于，絕緣樹脂是聚酰亞胺。
17.一種頭組件包括具有頭元件的頭滑動器，用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息；作為基座以支承頭滑動器的滑動器懸件；以及形成的遍布至少滑動器懸件的導(dǎo)電圖案，用于將頭滑動器保持在地電勢。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的頭組件，其特征在于還包括用于發(fā)送向頭元件輸入或從頭元件輸出的信號的布線圖案，其中，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和布線圖案的材料與過程相同。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的頭組件，其特征在于，導(dǎo)電圖案包括具有至少一層的導(dǎo)電薄膜。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的頭組件，其特征在于，導(dǎo)電薄膜由金屬制成。
21.根據(jù)權(quán)利要求20的頭組件，其特征在于，金屬至少包含銅或金。
22.根據(jù)權(quán)利要求17的頭組件，其特征在于還包括選擇性地形成在滑動器懸件表面上的至少一個絕緣墊片，用于在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于，至少滑動器懸件表面保持在地電勢。
24.根據(jù)權(quán)利要求23的頭組件，其特征在于，形成導(dǎo)電圖案，使得遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域被導(dǎo)電圖案連續(xù)覆蓋。
25.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于還包括發(fā)送向頭元件輸入或從頭元件輸出的信號的布線圖案，其中，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和布線圖案的材料與過程相同。
26.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于，導(dǎo)電圖案包括具有至少一層的導(dǎo)電薄膜。
27.根據(jù)權(quán)利要求26的頭組件，其特征在于，導(dǎo)電薄膜由金屬制成。
28.根據(jù)權(quán)利要求27的頭組件，其特征在于，金屬至少包含銅或金。
29.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于，頭滑動器通過填充到將被粘合劑充滿的空間的粘合劑固接到滑動器懸件。
30.根據(jù)權(quán)利要求29的頭組件，其特征在于粘合劑是導(dǎo)電的。
31.根據(jù)權(quán)利要求30的頭組件，其特征在于，粘合劑是由至少包含銀的樹脂制成。
32.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于還包括布線圖案和絕緣圖案，布線圖案用于發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號，絕緣圖案用于使布線圖案與滑動器懸件絕緣，其中，墊片的形成材料與過程和絕緣圖案的材料與過程相同。
33.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于，墊片形成為被分成多個部分的圖案。
34.根據(jù)權(quán)利要求22的頭組件，其特征在于，墊片由絕緣樹脂制成。
35.根據(jù)權(quán)利要求34的頭組件，其特征在于絕緣樹脂是聚酰亞胺。
36.一種頭滑動器懸架的制造方法，包括的步驟有形成滑動器懸件，所述滑動器懸件作為基座支承用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息的具有頭元件的頭滑動器；以及在至少滑動器懸件上形成導(dǎo)電圖案，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時將頭滑動器保持在地電勢。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的頭滑動器懸架的制造方法，其特征在于還包括以下步驟在滑動器懸件表面上選擇性地形成至少一個絕緣墊片，用于當頭滑動器安裝在滑動器懸件上時在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間，其中，形成滑動器懸件以保持至少滑動器懸件的表面在地電勢，以及形成導(dǎo)電圖案，使之遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域。
38.根據(jù)權(quán)利要求37的頭滑動器懸架制造方法，其特征在于，墊片的形成材料與過程和絕緣圖案的材料與形成過程相同，所述絕緣圖案使發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號的布線圖案與滑動器懸件絕緣。
39.根據(jù)權(quán)利要求36的頭滑動器懸架制造方法，其特征在于，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號的布線圖案的材料與過程相同。
40.一種頭組件的制造方法，包括以下步驟制造用于至少在預(yù)定記錄介質(zhì)記錄或從預(yù)定記錄介質(zhì)重放信息的具有頭元件的頭滑動器；制造作為基座以支承頭滑動器的滑動器懸件；以及至少在滑動器懸件上形成導(dǎo)電圖案，用于將頭滑動器保持在地電勢。
41.根據(jù)權(quán)利要求40的頭組件的制造方法，其特征在于還包括以下步驟在滑動器懸件表面上選擇性地形成至少一個絕緣墊片，用于在頭滑動器和滑動器懸件之間建立將被填充粘合劑的空間；以及通過填充到將被粘合劑充滿的空間的粘合劑將頭滑動器固接到滑動器懸件，其中，形成滑動器懸件以保持至少滑動器懸件的表面在地電勢，以及形成導(dǎo)電圖案，使之遍布從墊片上表面延伸到滑動器懸件表面的區(qū)域。
42.根據(jù)權(quán)利要求41的頭組件的制造方法，其特征在于，墊片的形成材料與過程和絕緣圖案的材料與形成過程相同，所述絕緣圖案使發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號的布線圖案與滑動器懸件絕緣。
43.根據(jù)權(quán)利要求40的頭組件的制造方法，其特征在于，導(dǎo)電圖案的形成材料與過程和發(fā)送輸入到頭元件或從頭元件輸出的信號的布線圖案的材料與過程相同。
全文摘要
在磁盤設(shè)備等中能防止靜電損壞頭元件同時簡化制造過程、改進可使用性并增強耐用性的頭滑動器懸架和頭組件及其制造方法。支承磁頭滑動器的萬向接頭部分是磁頭組件的懸架彎曲的一部分。在萬向接頭部分上形成絕緣墊片,形成連接絕緣墊片上表面和萬向接頭部分的表面的導(dǎo)電圖案。通過粘合劑將磁頭滑動器連接并固定到萬向接頭部分。通過導(dǎo)電圖案和彎曲自然可以將磁頭滑動器背面的接地電極接地,與粘合劑是否導(dǎo)電無關(guān)。
文檔編號G11B21/21GK1264124SQ00104520
公開日2000年8月23日 申請日期2000年1月27日 優(yōu)先權(quán)日1999年1月27日
發(fā)明者八木伊知郎 申請人:Tdk株式會社