專利名稱：磁頭滑塊懸架、磁頭組件及制造方法和信息記錄重放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用來在上面安裝至少具有一個記錄元件或是重放元件的磁頭滑塊的磁頭滑塊懸架、具有磁頭懸架和裝在其上的磁頭滑塊的一種磁頭組件、這些裝置的制造方法、以及包括這種磁頭組件的一種信息記錄/重放裝置。例如，本發(fā)明涉及到采用磁頭元件作為記錄元件或是重放元件的一種磁頭滑塊懸架、一種磁頭組件、這些裝置的制造方法、以及一種信息記錄/重放裝置。
一般來說，在諸如磁盤設(shè)備等信息記錄/重放裝置中使用的磁頭組件包括能夠浮動地支撐具有磁頭元件的磁頭滑塊的一個滑塊支撐部分，用來支撐滑塊支撐部分的懸置部分，以及用來支撐著懸置部分并且可以由例如為VCM(音圈電機)的一個驅(qū)動機構(gòu)來進(jìn)行驅(qū)動的一個臂部分。用這種機構(gòu)使磁頭滑塊與一個盤狀磁性記錄媒體的表面保持一固定的懸浮距離，由磁頭元件從磁盤一類的記錄媒體上重放信息或是在其上記錄信息，并且磁頭滑塊可以沿著磁性記錄媒體的表面移動。
另一方面，由于不斷地需要更大的存儲容量，此類的裝置通常具有多個磁性記錄媒體和多個磁頭滑塊。在這種裝置的構(gòu)造中，一個磁頭滑塊的位置面對著各自的磁性記錄媒體表面，并且由各個獨立的懸置部分支撐著每一個磁頭滑塊。因此，為了降低成本和其他目的而將多個臂部分模制成一個整體，例如在日本待審查的專利申請公開4-76882號(日本已審查的專利申請公開7-122984號)或是日本待審查的專利申請公開10-92124號中公開的內(nèi)容。另外，例如在這些公開文獻(xiàn)或是待審查的日本專利申請公開1-130318號中所述的情況，用來支撐磁頭滑塊的懸置部分是與臂部分保持獨立的，并且將懸置部分連接到各個臂部分上。也就是說，這里的一個磁頭傳動裝置組件(以下稱其為HAA)是由多個臂部分、多個懸置部分和多個磁頭滑塊構(gòu)成的一個整體。
與這種技術(shù)有關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)是，構(gòu)成滑塊支撐部分中一部分的一個臂和一個萬向支架是整體模制的，例如日本待審查的實用新型申請公開64-056078號或是日本待審查的專利申請公開01-285061號所公開的情況。另外，例如在日本已審查的專利申請公開06-070848號中公開的內(nèi)容，在懸架和臂構(gòu)成的滑塊支撐機構(gòu)上安裝一個IC芯片。
然而，對于上文中所述的由多個臂部分、多個懸置部分和多個磁頭滑塊構(gòu)成的一個HAA來說，很難在降低成本的同時又滿足小批量多品種生產(chǎn)的要求。其主要原因如下必須提供各自滿足一種具體規(guī)格的許多種HAA，以便生產(chǎn)出分別符合一種具體規(guī)格(例如存儲容量等等)的各種型號的磁盤裝置。這樣會降低設(shè)計、制造和庫存控制的效率。
如果懸置部分和臂部分是分開制成的，并且按照上述方式將懸置部分連接到臂部分上，就會出現(xiàn)增加許多零件的問題，從而造成制造和零件控制的復(fù)雜性。
另一方面，在日本待審查的專利申請公開4-123376號(日本專利2811942號)中公開了由整體結(jié)構(gòu)構(gòu)成的一種磁頭支撐機構(gòu)，它具有一個用來支撐磁頭的撓曲部分，用來支撐撓曲部分的臂部分，和一個用來支撐臂部分的載架部分。這種機構(gòu)可以解決由于零件之間的接合強度不夠所帶來的問題。因此，這種機構(gòu)能夠減少整個裝置中的零件數(shù)量。
然而，這種磁頭支撐機構(gòu)仍然存在問題。實際上為了將磁頭支撐機構(gòu)裝入磁盤裝置中，利用一個環(huán)將各自采取整體結(jié)構(gòu)的兩個磁頭支撐體彼此組合到一起，并且將相連的一對磁頭支撐裝置連接在一個軸上。另外，為了驅(qū)動這種磁頭支撐裝置，用來驅(qū)動作為驅(qū)動機構(gòu)一部分的音圈電機的一個繞線線圈是按照這樣一種方式來支撐的，即使線圈位于兩個磁頭支撐裝置之間。換句話說，一對磁頭支撐裝置實質(zhì)上被視為是一個組件，而單個的磁頭支撐裝置不能被單獨控制。因此，這種裝置很難滿足小批量多品種生產(chǎn)所要求的靈活性。
本發(fā)明的目的就是要解決上述問題。本發(fā)明的目的之一是提供一種磁頭滑塊懸架，一種磁頭組件，這些裝置的制造方法，以及一種信息記錄/重放裝置，通過減少零件的數(shù)量而降低制造成本，并且具有能夠小批量多品種生產(chǎn)的靈活性。
在本發(fā)明的磁頭滑塊懸架上可以安裝一個磁頭滑塊以及一個驅(qū)動線圈，該滑塊上包括至少能夠在記錄媒體上記錄信息或是從記錄媒體上重放信息的磁頭元件，該驅(qū)動線圈構(gòu)成了用來使磁頭滑塊相對于記錄媒體移動的驅(qū)動機構(gòu)中的一部分，這種懸架包括僅僅一個能夠浮動地支撐磁頭滑塊的滑塊支撐部分；以及對應(yīng)著滑塊支撐部分并且能夠自身支撐驅(qū)動線圈的僅僅一個線圈支撐部分，其中的滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成了不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
在本發(fā)明的磁頭滑塊懸架中設(shè)有對應(yīng)著一個滑塊支撐部分的線圈支撐部分，并且滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成了不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。因此，每個磁頭滑塊懸架可以單獨支撐驅(qū)動線圈。這樣就能獨立地處理和驅(qū)動每一個磁頭滑塊懸架。
本發(fā)明的另一種磁頭滑塊懸架可以進(jìn)一步包括用來支撐滑塊支撐部分的僅僅一個懸置部分；以及用來支撐懸置部分的僅僅一個臂部分，其中的懸置部分和臂部分構(gòu)成了上述連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。懸置部分優(yōu)選是柔性的，而壁部分優(yōu)選是剛性的。驅(qū)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)應(yīng)該能使磁頭滑塊圍繞著位于外部的一個預(yù)定的固定樞軸擺動。磁頭懸架可以進(jìn)一步包括具有一個孔的連接部分，使固定的樞軸能夠從該孔中穿過。在這種情況下，連接部分構(gòu)成了連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
本發(fā)明的再一種磁頭滑塊懸架進(jìn)一步包括一個可以電連接到磁頭滑塊上的布線圖。布線圖優(yōu)選從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面延伸到第二表面。這一布線圖可以從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面圍繞著連續(xù)結(jié)構(gòu)的一端延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上的用來安放磁頭滑塊的表面。布線圖還可以從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面通過穿透連續(xù)結(jié)構(gòu)一部分的一個連通孔延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上的用來安放磁頭滑塊的表面。
本發(fā)明的再一種磁頭滑塊懸架進(jìn)一步包括一個集成電路芯片，在芯片上集成了與磁頭滑塊的操作有關(guān)的電路。集成電路芯片可以面對著記錄媒體裝在連續(xù)結(jié)構(gòu)表面上。
本發(fā)明的另一種磁頭組件包括一個具有任意一種上述結(jié)構(gòu)的磁頭滑塊懸架；以及被磁頭滑塊懸架的滑塊支撐部分浮動支撐著的一個磁頭滑塊。優(yōu)選地，磁頭滑塊被裝在布線圖上面，蓋住滑塊支撐部分。
按照本發(fā)明的一種制造磁頭滑塊懸架的方法被用來制造一種磁頭滑塊懸架，在該磁頭滑塊懸架上面可以安裝一個磁頭滑塊，滑塊上包括至少能夠在記錄媒體上記錄信息或是從記錄媒體上重放信息的磁頭元件以及一個構(gòu)成了用來使磁頭滑塊相對于記錄媒體移動的驅(qū)動機構(gòu)中的一部分的驅(qū)動線圈。該方法包括以下兩個步驟僅僅形成一個用來浮動地支撐磁頭滑塊的滑塊支撐部分；以及僅僅形成一個與滑塊支撐部分相對應(yīng)的線圈支撐部分，線圈支撐部分能夠靠自身支撐驅(qū)動線圈，其中這兩個步驟是基本上同時執(zhí)行的，從而使滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成不包括接合區(qū)的一個預(yù)定形狀的連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
在按照本發(fā)明的制造磁頭滑塊懸架的這種方法中，形成滑塊支撐部分的步驟和形成線圈支撐部分的步驟是基本上同時執(zhí)行的，從而使滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成不包括接合區(qū)的一個預(yù)定形狀的連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
按照本發(fā)明的另一種制造磁頭滑塊懸架的方法進(jìn)一步包括以下兩個步驟僅僅形成一個用來支撐滑塊支撐部分的懸置部分；并且僅僅形成一個用于支撐懸置部分的臂部分，這些步驟與形成滑塊支撐部分和線圈支撐部分的步驟是基本上同時執(zhí)行的，從而使懸置部分和臂部分同樣構(gòu)成連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。形成連續(xù)結(jié)構(gòu)的步驟中可以包括局部軋制一片板材的一個軋制步驟，并且由此形成各部分厚度不同的材料；以及對經(jīng)過軋制的材料進(jìn)行沖切的一個沖切步驟。或者是，形成連續(xù)結(jié)構(gòu)的步驟中可以包括一個用來形成具有模腔的一個模具的模具形成步驟，模腔的形狀對應(yīng)著連續(xù)結(jié)構(gòu)的外部形狀；以及用一種預(yù)定的材料填充模腔并且使材料固化的步驟。
按照本發(fā)明的一種制造磁頭組件的方法中包括用制造磁頭滑塊懸架的上述任何一種方法形成磁頭滑塊懸架的步驟；以及將磁頭滑塊安裝在所形成的磁頭滑塊懸架上的步驟。
本發(fā)明的一種信息記錄/重放裝置包括一個可以在上面記錄信息的記錄媒體；一個磁頭組件；以及用來驅(qū)動磁頭組件的驅(qū)動機構(gòu)，使磁頭組件的磁頭滑塊能夠相對于記錄媒體移動。這種信息記錄/重放裝置包括多個磁頭組件，其中的磁頭組件是獨立驅(qū)動的，從而使各個磁頭組件的磁頭滑塊能夠獨立地移動。
根據(jù)以下的說明可以進(jìn)一步了解本發(fā)明的其它和進(jìn)一步的目的、特征和優(yōu)點。


圖1是按照本發(fā)明一個實施例的磁頭組件外部結(jié)構(gòu)的一個透視圖；圖2是沿著圖1中II-II線截取的一個截面圖；圖3是沿著圖1中III-III線截取的一個截面圖；圖4是圖1所示的磁頭組件中的一個磁頭滑塊和磁頭滑塊外圍部分的外部結(jié)構(gòu)透視圖5是采用了按照本發(fā)明一個實施例的磁頭組件的一種磁盤裝置的外部結(jié)構(gòu)透視圖；圖6是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的一個例子的截面圖；圖7是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的另一個例子的截面圖；圖8是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的又一個例子的截面圖；圖9是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的再一個例子的截面圖；圖10也是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的另一個例子的截面圖；圖11則是采用該實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的又一個例子的截面圖；圖12是用制造該實施例磁頭組件的這種方法制成的一個磁頭滑塊懸架的外部結(jié)構(gòu)透視圖；圖13是沿著圖12中的XIII-XIII線截取的一個截面圖；圖14是制造本實施例磁頭組件的方法中的一個步驟的截面圖；圖15是制造本實施例磁頭組件的方法中的一個步驟的透視圖；圖16是按照本發(fā)明另一實施例的磁頭組件外部結(jié)構(gòu)的一個透視圖；圖17是沿著圖16中的XVII-XVII線截取的一個截面圖；圖18是沿著圖16中的XVIII-XVIII線截取的一個截面圖；以及圖19是圖16所示的磁頭組件的磁頭滑塊和磁頭滑塊外圍部分的外部結(jié)構(gòu)透視圖。
以下要參照附圖詳細(xì)地解釋本發(fā)明的實施例。圖5表示一個磁盤裝置的外觀，它采用了按照本發(fā)明第一實施例的磁頭滑塊懸架和一個磁頭組件。在這一實施例中，磁盤裝置采用了一種以下將要舉例說明的被稱為CSS(接觸-開始-停止)(Contact-Start-Stop)方法的方法。這種磁盤裝置包括多個作為舉例媒體的磁盤1(以下簡稱為磁盤1)和多個磁頭組件2，每個組件對應(yīng)著每一個磁盤面。用一個固定在外殼3上的主軸電機4來轉(zhuǎn)動磁盤1。磁頭組件2通過一個軸承6被轉(zhuǎn)動式地連接到一個固定在外殼3上的固定樞軸5上。在本實施例中，多個磁頭組件2通過公共軸承6被連接在固定樞軸5上，從而使多個磁頭組件2能夠整體地擺動。包括裝在基片上的一個磁頭元件的磁頭滑塊8(以下簡稱為磁頭滑塊8)被安裝到磁頭組件2的一端。每個磁頭組件2所處的位置使得磁頭滑塊8的空氣軸承面(air bearing surface)面對著磁盤1的表面。這一空氣軸承面也就是磁頭滑塊8面對著磁盤1的表面。
這種磁盤裝置還設(shè)有一個用于將磁頭滑塊8定位在磁盤1的軌跡上的驅(qū)動部分7，該驅(qū)動部分7被設(shè)置在磁頭組件2的另一端也就是后端。驅(qū)動部分7包括與設(shè)置在磁頭組件2后端的一個線圈(以下要解釋)所產(chǎn)生的磁場相互作用的一個音圈電機等，這樣，驅(qū)動部分7就能使磁頭組件2繞著固定樞軸5擺動。因此，磁頭滑塊8可以在磁盤1的徑向上運動。此處的磁盤1相當(dāng)于本發(fā)明的“記錄媒體”的一個特例。而磁頭滑塊8相當(dāng)于本發(fā)明的“磁頭滑塊”的一個特例。磁頭組件2相當(dāng)于本發(fā)明的“磁頭組件”的一個特例。
圖1到4表示按照本發(fā)明第一實施例的磁頭組件的結(jié)構(gòu)。具體地說，這些附圖表示了圖5所示的磁盤裝置中的磁頭組件2的結(jié)構(gòu)。由于按照本發(fā)明一個實施例的磁頭滑塊懸架是由這一實施例中的磁頭組件來體現(xiàn)的，以下要結(jié)合著磁頭組件來說明磁頭滑塊懸架。圖1是從空氣軸承面相反的一側(cè)看到的磁頭組件2的一個透視圖，圖2是沿著圖1中II-II線截取的一個截面圖。圖3是沿著圖1中III-III線截取的一個截面圖。圖4從空氣軸承面的側(cè)面表示了圖1所示的磁頭組件2中的磁頭滑塊8和磁頭滑塊8的外圍部分。
如圖1和2所示，磁頭組件2包括磁頭滑塊8，用來支承磁頭滑塊8的磁頭滑塊懸架10，以及布線裝置20和連接在磁頭滑塊懸架10上的一個線圈30。磁頭滑塊懸架10包括具有用來浮動支撐磁頭滑塊8的萬向架結(jié)構(gòu)的一個滑塊支撐部分11，用來支撐滑塊支撐部分11的一個懸置部分12，用來支撐懸置部分12的一個臂部分13，以及用來支撐線圈30的一個線圈支撐部分14?；瑝K支撐部分11、懸置部分12、臂部分13和線圈支撐部分14構(gòu)成了不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。也就是說，這些部分是按照這樣的方式整體形成的，即在它們之間沒有接縫。如下文所述，這種連續(xù)結(jié)構(gòu)是用諸如鋁或是不銹鋼等等金屬材料或是有機樹脂材料制成的。此處的滑塊支撐部分11相當(dāng)于本發(fā)明的“滑塊支撐部分”的一個特例。而懸置部分12相當(dāng)于本發(fā)明的“懸置部分”的一個特例。臂部分13相當(dāng)于本發(fā)明的“臂部分”的一個特例。
懸置部分12具有一定的柔性，使懸置部分12能夠柔性地支撐著滑塊支撐部分11。臂部分13是一個剛性的支撐件。臂部分13的一部分具有一個連接部分50，通過軸承6可以在其中插入固定樞軸5(圖5)。連接部分50的插入厚度(也就是軸向厚度)要求能通過軸承6將固定樞軸5牢固(不能松動和傾斜)地連接到臂部分13。此處的連接部分50相當(dāng)于本發(fā)明的“連接部分”的一個特例。
布線裝置20被稱為FOS(懸架上的皮線)(FLEX ON SUSPENSION)。布線裝置20具有一個柔性的布線圖薄膜21；裝在布線圖薄膜21上的一個IC芯片22；以及位于布線圖薄膜21一端的一個端子23。布線圖薄膜21包括由導(dǎo)電材料制成的布線圖(在圖1中沒有表示)和由絕緣材料(即諸如聚酰亞胺一類的有機樹脂材料)制成的涂層薄膜，涂層薄膜被夾在布線圖之間?？梢杂靡环N粘接劑等將布線圖薄膜21粘附在磁頭滑塊懸架10的表面上。布線圖最好采用例如由銅(Cu)或是金(Au)制成的金屬薄膜圖形。另外，也可以用層疊的一層銅和一層金構(gòu)成這種布線圖。IC芯片22被用來為磁頭滑塊8的磁頭元件(圖1中沒有表示)產(chǎn)生記錄電流，以便放大重放信號，并且在記錄和重放之間進(jìn)行切換等等。IC芯片22的位置應(yīng)該盡量靠近磁頭滑塊8。IC芯片22上包括通過布線圖薄膜21上的焊盤連接到布線圖上的許多外部端子。端子23被連接到圖中沒有表示的一個控制電路。此處的布線圖薄膜21相當(dāng)于本發(fā)明的“布線圖”的一個特例。而IC芯片22相當(dāng)于本發(fā)明的“集成電路芯片”的一個特例。
線圈支撐部分14從臂部分13的后端大體上向后(在與磁頭滑塊8相反的方向上)延伸。線圈支撐部分14包括與臂部分13形成整體的兩個支撐件14a和14b。用一種粘接劑40將線圈30牢固地粘合在支撐件14a和14b上，將線圈30夾在兩個支撐件14a和14b之間。線圈30的作用是利用流過線圈30的電流產(chǎn)生磁場。線圈30例如是由銅線等構(gòu)成的。
如圖3和4所示，滑塊支撐部分11上具有與懸置部分12形成整體的一個萬向架支撐部分11a，以及和萬向架支撐部分11a形成整體的一個萬向架部分11b，該萬向架部分11b能夠相對于萬向架支撐部分11a自由地運動。布線圖薄膜21在懸置部分12的上表面(與面對著磁盤1的表面相反的一面)上延伸。布線圖薄膜21的一端從懸置部分12延伸到萬向架支撐部分11a的上表面上，并且繞過萬向架支撐部分11a的端部進(jìn)一步延伸到其后表面(面對著磁盤1的一面)上。布線圖薄膜21在萬向架部分11b上進(jìn)一步延伸并且蓋住萬向架部分11b的表面。磁頭滑塊8被裝在萬向架部分11b的后表面上，將布線圖薄膜21夾在中間。
磁頭滑塊8大體上是一種長方體形狀。用粘接劑等將磁頭滑塊8牢固地粘合在布線圖薄膜21上。一個磁頭元件8b和用于輸入和輸出信號的焊盤8c-8f被設(shè)置在作為磁頭滑塊8一側(cè)端面的一個元件成形面8a上?？梢圆捎美缃鹎虻鹊葘⒑副P8c-8f分別電連接到布線圖薄膜21的布線圖23a到23d上。磁頭元件8b可以包括一個寫入感應(yīng)磁性傳感器和/或一個讀取磁阻元件(MR元件)。磁頭滑塊8的空氣軸承面8g面對著磁盤1的表面(圖5)。
以下要說明具有上述結(jié)構(gòu)的磁頭組件的功能和包括這種磁頭組件的磁盤裝置。
圖5所示的磁盤裝置用一種被稱作CSS的方法在磁盤1上記錄信息/從磁盤1上重放信息。當(dāng)磁盤1不轉(zhuǎn)動時，磁頭滑塊8由于磁頭組件2的懸置部分12所施加的壓力而接觸到磁盤1。在磁盤1轉(zhuǎn)動時，在磁頭滑塊8和磁盤1之間會形成一種氣流并且產(chǎn)生一個升力。這樣，磁頭滑塊8就會脫離并且浮動在磁盤1的表面上，通過這種升力和懸置部分12所施加的壓力之間的平衡將在磁頭滑塊8和磁盤1之間保持一個很小的距離。在此時使得電流流過被磁頭組件2的線圈支撐部分14支撐著的線圈30，從而使整個磁頭組件2繞著固定樞軸5擺動。這樣，處在磁頭組件2端部的磁頭滑塊8就能以脫離磁盤1表面的方向在磁盤1的大體徑向上運動。磁頭組件8相對于磁盤1運動，從而在磁盤1上記錄信息/從磁盤1上重放信息。
如上所述，按照這一實施例，磁頭滑塊懸架的零件、也就是滑塊支撐部分11、懸置部分12、臂部分13和線圈支撐部分14構(gòu)成了不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。這樣就能降低零件的數(shù)量，從而提高設(shè)計、制造和零部件控制的效率。
另外，按照這一實施例，每個單獨的磁頭組件包括磁頭滑塊8，用來支撐磁頭滑塊8的部分和用來移動磁頭滑塊8的部分。如下文所述，這樣就能提高制造磁盤裝置的自由度，從而以低成本實現(xiàn)小批量多品種的生產(chǎn)。
此外，按照這一實施例，IC芯片22被裝在每一個磁頭組件2上，以便盡量縮短磁頭滑塊8和IC芯片22之間的距離。這樣就能提高數(shù)據(jù)傳輸速率并且縮短記錄電流的上升時間。另外，在較高頻帶上的記錄頻率所造成的NLTS(非線性漸變偏移)(Non-Linear Transition Shift)的畸變比較小。這樣就能實現(xiàn)高質(zhì)量的磁性記錄。NLTS用百分?jǐn)?shù)表示了磁盤上的實際磁記錄位置與理想磁記錄位置之間的偏移量。以下要參照圖6到10來描述采用這一實施例的磁頭組件來制造磁盤裝置的一些結(jié)構(gòu)實施例。圖6到10都是在磁頭組件2通過軸承6被連接在固定樞軸5上的一些狀態(tài)截面圖。為了便于說明，磁頭組件2在這些附圖中的總體長度都比圖1中的磁頭組件2縮小了，并且省略了一些細(xì)節(jié)。
圖6中的一對磁頭組件2A和2B是這樣定位的，將可以在表面上進(jìn)行記錄的磁盤1夾在磁頭組件2A和2B之間，并且將每個磁頭組件2A和2B通過具有短推進(jìn)長度(thrust length)的軸承6單獨連接在固定樞軸5上。另一對磁頭組件2C和2D的位置與這一對磁頭組件2A和2B采用相同的方式。所有磁頭組件2A-2D與圖1到4的磁頭組件2具有相同的結(jié)構(gòu)。
在本例中，磁頭組件2A-2D都可以繞著固定樞軸5相互獨立(單獨)地擺動。這樣，通過獨立地控制提供給這些磁頭組件之線圈30的電流就可以單獨地移動每一個磁頭滑塊8。如果將這一實施例與所有磁頭組件2是整體地擺動并且由此所有磁頭滑塊8都必須作相同移動的上述實施例(圖5)相比，這一實施例顯然比上述實施例優(yōu)越，因為其中的每個磁頭滑塊8不必做無用的運動，因而能夠有效地在磁盤1上記錄數(shù)據(jù)或是從磁盤1上重放數(shù)據(jù)。另外，實際上僅有用于多個磁盤表面中的一個磁盤表面的磁頭組件需要進(jìn)行擺動，這樣就能減少不必要的功率消耗。
圖7中的一對P1磁頭組件2A和2BB是這樣定位的，將可以在表面上進(jìn)行記錄的磁盤1夾在磁頭組件2A和2BB之間，并且將每個磁頭組件2A和2BB通過具有比較長的推進(jìn)長度的一個公共軸承6b連接在固定樞軸5上。一對P2的磁頭組件2C和2DD的位置與一對P1的磁頭組件2A和2BB采用相同定位的方式。磁頭組件2A和2C與圖1到4所示的磁頭組件2具有相同的結(jié)構(gòu)。磁頭組件2BB和2DD的結(jié)構(gòu)是通過從磁頭組件2A和2C上拆掉相應(yīng)線圈30而構(gòu)成的。
在本例中，一對磁頭組件P1可以和另一對磁頭組件P2相互獨立地繞著固定樞軸5整體地擺動。也就是說，每一個磁盤1的每一對磁頭組件都可以獨立地運動。另外，如圖中所示，線圈30僅僅連接在其中一對磁頭組件上。這樣就能減少使用的零件數(shù)量。
在圖8中，一對磁頭組件2AA和2BB和一對磁頭組件2CC和2DD是這樣定位的，將可以在表面上進(jìn)行記錄的一個磁盤1夾在磁頭組件2AA和2BB之間，并且將可以在表面上進(jìn)行記錄的另一個磁盤1夾在磁頭組件2CC和2DD之間。所有磁頭組件2AA到2DD都通過具有長推進(jìn)長度的一個公共軸承6c連接在固定樞軸5上。所有磁頭組件2AA到2DD的結(jié)構(gòu)是通過從圖1到4所示的磁頭組件2上拆掉了線圈30而獲得的。
在本例中，所有磁頭組件2AA到2DD都繞著固定樞軸5整體地擺動。因此，這些磁頭組件可以按照具有多個磁頭滑塊8的慣用整體式磁頭組件的運動方式運動。在本例中，線圈30原則上可以連接在任何一個磁頭組件2上。為了保證足夠的驅(qū)動力，可以將一個很寬的線圈30a連接在兩個磁頭組件2的線圈支撐部分14上，例如圖8中所示，使線圈30a延伸到線圈支撐部分14上面。
圖6到8的所有上述結(jié)構(gòu)都是假設(shè)使用了一種雙面磁盤。然而，本實施例的磁頭組件2完全可以適用于具有雙面磁盤和一個單面磁盤的磁盤裝置，例如圖9所示。在圖9所示的這一實施例中，一對磁頭組件2A和2B被用于在兩個表面上可以進(jìn)行記錄的磁盤1，而僅有一個磁頭組件2C被用于僅僅具有一個記錄面的磁盤101。在圖9所示的例子中，磁頭組件2A到2C是通過具有短推進(jìn)長度的軸承6單獨連接在固定樞軸5上的，每個磁頭組件都可以獨立地擺動。如圖7或是8所示，兩個以上的磁頭組件2可以通過具有長推進(jìn)長度的軸承整體連接在固定樞軸5上。
圖10表示了另一種方式，在磁盤裝置僅僅采用只在一個面上進(jìn)行記錄的磁盤的情況下，一個磁頭組件2A(或是2B)可以用于磁盤101的一個記錄面。同樣是在這種情況下，如圖中所示，每個磁頭組件都可以獨立地擺動，或者是通過具有長推進(jìn)長度的軸承使所有的磁頭組件整體地擺動。
盡管在圖6到10的上述實施例中所說的都是具有兩個磁盤的磁盤裝置，本實施例的磁頭組件顯然還同樣適用于包含兩個以上磁盤的磁盤裝置。磁頭組件2的數(shù)量可以隨著磁盤的數(shù)量(準(zhǔn)確地說應(yīng)該是記錄面的數(shù)量)而增加。
反之，本實施例的磁頭組件2還可以用于具有最簡單結(jié)構(gòu)的磁盤裝置，例如圖11所示的僅有一個磁盤101和僅有一個磁頭組件2的情況。具有這種結(jié)構(gòu)的磁盤裝置特別適用于滿足小存儲容量的用途。這樣就能制造出低成本的磁盤裝置。
如上所述，按照本實施例的磁頭組件，僅僅一種型號的磁頭組件2就能適應(yīng)磁頭組件2中所包含的磁盤型號和數(shù)量的任何變化。這樣，本實施例的磁頭組件就能充分滿足對小批量多品種生產(chǎn)的需求，不會造成成本的增加。接下來參照圖11到14來解釋本實施例的磁頭組件(圖1)的制造方法。由于制造本實施例中的磁頭滑塊懸架的方法是由制造本實施例的磁頭組件的方法來體現(xiàn)的，故下文中將前一種方法和后一種方法結(jié)合在一起解釋。
在制造本實施例的磁頭組件的方法中，首先采用光刻技術(shù)通過薄膜形成工藝在鋁合金(Al2O3，TiC)構(gòu)成的基片上形成包括寫入(記錄)感應(yīng)磁性傳感器和讀取(重放)磁阻元件的磁頭元件。然后通過對空氣軸承面8g進(jìn)行拋光的工藝和機械切割元件的工藝等等形成圖3和4所示的磁頭滑塊8。在空氣軸承面8g上面可以用DLC(類金剛石碳)(Diamond-Like-Carbon)形成一個保護(hù)膜。
如圖12和13所示，形成一個包括滑塊支撐部分11，懸置部分12，臂部分13和線圈支撐部分14在內(nèi)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的磁頭滑塊懸架10。圖12是從與面對磁盤的表面相反的一側(cè)看到的磁頭滑塊懸架10的一個透視圖。圖13是沿著圖12中的XIII-XIII線截取的一個截面圖。
磁頭滑塊懸架10是按照下述方式形成的。首先用預(yù)定的壓力模壓一塊厚度均勻的板材，使準(zhǔn)備用作滑塊支撐部分11、懸置部分12、臂部分13和線圈支撐部分14的區(qū)域具有預(yù)定的厚度。這種板材可以采用諸如鋁，不銹鋼等等材料。在這種情況下，臂部分13和線圈支撐部分14所具有的厚度應(yīng)該使它們能夠具備足夠的剛性。懸置部分12和滑塊支撐部分11所具有的厚度應(yīng)該使它們具備必要的柔性。然后用形狀對應(yīng)著磁頭滑塊懸架10外形(輪廓)的一個沖切模對板材進(jìn)行沖切，從而獲得磁頭滑塊懸架10。在沖切的同時形成臂部分13的開口13a和13b以及懸置部分12的開口12a，并且在萬向架支撐部分11a和萬向架支撐部分11a中的萬向架部分11b之間形成一個單獨的開口，使萬向架支撐部分11a浮動地支撐著萬向架部分11b。然后模壓出磁頭滑塊懸架10，使懸置部分12與臂部分13形成一個預(yù)定的角度，并且使萬向架部分11b與萬向架支撐部分11a形成一個預(yù)定的角度。
接著，如圖14所示，將一個單獨形成的環(huán)形連接部分50插入磁頭滑塊懸架10的臂部分13的開口13a中。然后用一個頂部角度接近180°的圓錐形夾具51將連接部分50的圓形端部50a向外擠壓，使連接部分50牢固地夾住臂部分13。這樣就制成了如圖15所示的具有連接部分50的磁頭滑塊懸架10。
然后用粘接劑將預(yù)先制成的布線裝置20粘附在從磁頭滑塊懸架10的臂部分13、懸置部分12和滑塊支撐部分11的表面延伸到滑塊支撐部分11之萬向架部分11b后表面的區(qū)域上。例如可以用超聲波固化樹脂或是熱固性樹脂當(dāng)作這種粘接劑。在這種情況下，布線裝置20的布線圖薄膜21是這樣延伸的，即在從滑塊支撐部分11的萬向架支撐部分11a的表面到萬向架部分11b后表面的區(qū)域內(nèi)使布線圖薄膜21不產(chǎn)生彎曲且拉伸出一個小曲率的表面。
然后將磁頭滑塊8定位在布線圖薄膜21上面，蓋住萬向架11b的后表面，并且用粘接劑等將磁頭滑塊8牢固地粘在布線圖薄膜21上。最好和上述的方法一樣采用超聲波固化或是熱固性樹脂粘接劑。這種粘接劑可以施加在磁頭滑塊8或是萬向架部分11b上或者是施加在這二者之上。
然后分別通過使用金球進(jìn)行焊接來將磁頭滑塊8的焊盤8c到8f連接到布線圖薄膜21的布線圖23a到23d上。然后可以施加超聲波固化樹脂(UV樹脂)，并且根據(jù)需要用超聲波射線照射和加熱，以便保護(hù)球體接合部位。
接著如圖1所示用粘接劑40將線圈30粘在磁頭滑塊懸架10的線圈支撐部分14上。以與上述一樣的方式采用超聲波固化或是熱固性樹脂粘接劑作為粘接劑40。這樣就制成了圖1所示的磁頭組件2。
按照本實施例的制造磁頭組件的方法，包括所有的滑塊支撐部分11、懸置部分12、臂部分13和線圈支撐部分14的整體連續(xù)結(jié)構(gòu)的磁頭滑塊懸架10僅僅是通過這樣一系列程序制成的，也就是模壓，然后沖切并且再將板材模壓成一個基體。與單獨形成臂部分和懸置部分然后再將它們連接到一起的傳統(tǒng)制造工序相比，這樣就能大大簡化制造工序。
盡管在本實施例中采用了鋁，不銹鋼等等材料做為板材，也可以使用其它金屬材料。除此之外，具有良好的耐熱性、耐沖擊性和絕緣特性的非金屬有機合成樹脂材料例如聚四氟乙烯(商品名稱Teflon)就可以用做這種板材。
在本實施例中，盡管連接部分50是與磁頭滑塊懸架10分開制造并且隨后將連接部分50牢固地粘在磁頭滑塊懸架10上，但這一工序并不一定是必要的。例如可以采用以下的工序。在上述模壓工序的同時或是在與模壓工序分開的沖壓工序中沖壓出開口13a，由此來增大推進(jìn)厚度，以便保證用來牢固(不能松動和傾斜)地容納軸承6所需的厚度。
盡管在本實施例的制造方法中是通過模壓一塊均勻厚度的板材而形成連續(xù)結(jié)構(gòu)的磁頭滑塊懸架10的，也可以采用一個鑄模用鑄造工藝或是采用一個模具用樹脂注模工藝形成這種磁頭滑塊懸架。這種方法可以按下述的方式進(jìn)行。例如可以形成一個具有模腔的模具，模腔的形狀對應(yīng)著連續(xù)結(jié)構(gòu)的磁頭滑塊懸架10的外形。然后在模具的模腔中注滿一種預(yù)定的材料(熔融的金屬，熔融的樹脂等等)，然后使材料固化。在采用這種方法時還可以同時模制整體的連接部分50。以下要說明本發(fā)明的第二實施例。
圖16到19表示本發(fā)明第二實施例的磁頭組件的結(jié)構(gòu)。由于按照本發(fā)明第二實施例的磁頭滑塊懸架是由這一實施例中的磁頭組件來體現(xiàn)的，以下要結(jié)合著磁頭組件來說明磁頭滑塊懸架。圖16是從空氣軸承面相對的一側(cè)看到的磁頭組件102的一個透視圖，圖17是圖16中沿著XVII-XVII線截取的一個截面圖。圖18是圖16中沿著XVIII-XVIII線截取的一個截面圖。圖19從空氣軸承面的側(cè)面表示了圖16所示磁頭組件102中的磁頭滑塊8和磁頭滑塊8的外圍部分。在這些附圖中，與圖1到4所示的元件相同的元件采用了相同的符號，并且適當(dāng)?shù)厥÷粤擞嘘P(guān)的說明。
本實施例的磁頭組件與第一實施例的磁頭組件的不同之處在于布線圖薄膜21的延伸路徑不同。如圖16和17所示，在本實施例中，布線裝置20中裝有IC芯片22的那一部分是在臂部分13的頂面上延伸，而芯片22所處的那一部分前面的部分(靠近磁頭滑塊8)是從臂部分13的頂面(圖16中所示的那一面)通過開口13b延伸到臂部分13的底面(圖16中沒有表示的那一面)。布線圖薄膜21從臂部分13的底面延伸到懸置部分12的下面。如圖18和19所示，布線圖薄膜21進(jìn)一步延伸到滑塊支撐部分11的萬向架支撐部分11a和萬向架部分11b，并且布線圖薄膜21最終蓋住萬向架部分11b。磁頭滑塊8被裝在布線圖薄膜21上面，蓋住萬向架部分11b。其余的結(jié)構(gòu)與第一實施例相同。此處的開口13b相當(dāng)于本發(fā)明的“連通孔”的一個特例。
按照本實施例的磁頭組件，布線圖薄膜21不受限制地在磁頭滑塊懸架10上延伸。因此，布線圖不容易破損，這樣的布線圖非常可靠。按照這種制造方法，布線圖薄膜21比較容易布置。
盡管本發(fā)明是通過一些具體的實施例來說明的，本發(fā)明并非僅限于這些實施例，還可以進(jìn)行各種各樣的修改。例如，在上述實施例中，布線裝置20的位置可以使IC芯片22處在磁頭滑塊懸架10的頂面上(與面對著磁盤的表面相反的一側(cè))。然而，與此相反，布線裝置20的位置也可以使IC芯片22處在磁頭滑塊懸架10的底面(面對著磁盤的一側(cè))上。這種方式對于IC芯片22的冷卻具有良好的效果，因為IC芯片22直接暴露在由磁盤1的旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的氣流中。
盡管磁頭組件是用這些實施例的磁頭組件來表示的，本發(fā)明還可以用于其它的記錄和重放裝置，例如是磁光頭組件和光學(xué)頭組件。
盡管在這些實施例中是以CSS形式的磁盤裝置來解釋和說明的，本發(fā)明還可以用于其它類型的磁盤裝置，例如是加載-卸載(Load-Unload)式的磁盤裝置。加載-卸載的意思是指磁頭滑塊在磁盤的旋轉(zhuǎn)過程中是在磁盤上方懸浮和滑行的，而磁頭滑塊在磁盤停止轉(zhuǎn)動時可以在磁盤區(qū)域外側(cè)的一個光源位置上等待。
如上所述，按照本發(fā)明的磁頭滑塊懸架、磁頭組件、制造磁頭滑塊懸架的方法、制造磁頭組件的方法、或者是按照本發(fā)明的信息記錄/重放裝置，對應(yīng)著僅僅一個滑塊支撐部分僅僅有一個線圈支撐部分，并且滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成了不包括接合區(qū)的連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。因此，每個磁頭滑塊懸架都能獨立地支撐驅(qū)動線圈。這樣就能獨立地控制和驅(qū)動每一個磁頭滑塊懸架。由此可以產(chǎn)生以下的效果?？梢詼p少零件數(shù)量，并且由此降低制造成本。還可以靈活地適應(yīng)小批量多品種的生產(chǎn)。
按照本發(fā)明一個方面的磁頭滑塊懸架，僅僅有一個用來支撐滑塊支撐部分的懸置部分；并且僅僅有一個用來支撐懸架的臂部分，其中的懸置部分和臂部分構(gòu)成了連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。這樣就能進(jìn)一步減少零件的數(shù)量。
按照本發(fā)明另一方面的磁頭滑塊懸架，用于插入固定樞軸的連接部分同樣構(gòu)成了連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。這樣也能進(jìn)一步減少零件的數(shù)量。
按照本發(fā)明再一方面的制造磁頭滑塊懸架的方法或是制造磁頭組件的方法，形成滑塊支撐部分的步驟和形成線圈支撐部分的步驟是基本上同時執(zhí)行的，這樣就能使滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成一個不包括接合區(qū)的預(yù)定形狀連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。這樣就能簡化制造工序。
按照本發(fā)明另一方面的制造磁頭滑塊懸架的方法或是制造磁頭組件的方法，形成懸置部分和臂部分的步驟與形成滑塊支撐部分和線圈支撐部分的步驟是基本上同時執(zhí)行的，這樣就能使懸置部分和臂部分同樣構(gòu)成上述連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。因此，與單獨形成臂部分和懸置部分然后再將它們連接到一起的制造工序相比，能夠大大簡化制造工序。
按照本發(fā)明再一方面的信息記錄/重放裝置包括一種可以在上面記錄信息的記錄媒體；一個磁頭組件；和一個用來驅(qū)動磁頭組件以使磁頭組件與記錄媒體作相對運動的驅(qū)動機構(gòu)。這樣就便于稍微改變裝置的規(guī)格，并且容易制造出適銷的產(chǎn)品。
按照本發(fā)明再一方面的記錄/重放裝置中包括多個磁頭組件，這些磁頭組件是獨立驅(qū)動的，而磁頭組件的各個磁頭滑塊也是能獨立運動的。在記錄和重放信息的過程中，每個磁頭組件沒有無用的運動，這樣就能優(yōu)化磁頭組件對記錄媒體的存取效率。另外，多個磁頭組件當(dāng)中僅有用于待存取記錄媒體的那一部分磁頭組件受到驅(qū)動，這樣就能減少不必要的功率消耗。
顯而易見，根據(jù)上述的技術(shù)指導(dǎo)還可以對本發(fā)明進(jìn)行許多的修改和變更。因而應(yīng)該理解在附帶的權(quán)利要求書而不是說明書的范圍內(nèi)都可以實現(xiàn)本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種在上面可以安裝有一個磁頭滑塊以及一個驅(qū)動線圈的磁頭滑塊懸架，該磁頭滑塊上包括至少能夠在記錄媒體上記錄信息或是從記錄媒體上重放信息的磁頭元件，該驅(qū)動線圈構(gòu)成了用來使磁頭滑塊相對于記錄媒體移動的驅(qū)動機構(gòu)中的一部分，這種懸架包括僅僅一個能夠浮動地支撐磁頭滑塊的滑塊支撐部分；以及對應(yīng)著滑塊支撐部分并且能夠自身支撐驅(qū)動線圈的僅僅一個線圈支撐部分，其中滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成了不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
2.按照權(quán)利要求1的磁頭滑塊懸架，其特征在于進(jìn)一步包括用來支撐滑塊支撐部分的僅僅一個懸置部分；以及用來支撐懸置部分的僅僅一個臂部分，其中懸置部分和臂部分構(gòu)成了上述連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
3.按照權(quán)利要求2的磁頭滑塊懸架，其特征在于懸置部分是柔性的，而壁部分是剛性的。
4.按照權(quán)利要求1的磁頭滑塊懸架，其特征在于驅(qū)動機構(gòu)能使磁頭滑塊圍繞著位于外部的一個預(yù)定的固定樞軸擺動。
5.按照權(quán)利要求4的磁頭滑塊懸架，其特征在于進(jìn)一步包括具有一個孔的連接部分，使固定樞軸從該孔中穿過。
6.按照權(quán)利要求5的磁頭滑塊懸架，其特征在于連接部分構(gòu)成了連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
7.按照權(quán)利要求1的磁頭滑塊懸架，其特征在于進(jìn)一步包括一個可以電連接到磁頭滑塊上的布線圖。
8.按照權(quán)利要求7的磁頭滑塊懸架，其特征在于連續(xù)結(jié)構(gòu)具有第一表面和第二表面，并且布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面延伸到第二表面。
9.按照權(quán)利要求8的磁頭滑塊懸架，其特征在于布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面圍繞著連續(xù)結(jié)構(gòu)的一端延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上用來安放磁頭滑塊的表面。
10.按照權(quán)利要求8的磁頭滑塊懸架，其特征在于布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面通過穿透連續(xù)結(jié)構(gòu)一部分的一個連通孔延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上用來安放磁頭滑塊的表面。
11.按照權(quán)利要求1的磁頭滑塊懸架，其特征在于進(jìn)一步包括一個集成電路芯片，在芯片上集成了與磁頭滑塊的操作有關(guān)的電路。
12.按照權(quán)利要求11的磁頭滑塊懸架，其特征在于集成電路芯片面對著記錄媒體被裝在連續(xù)結(jié)構(gòu)表面上。
13.一種磁頭組件，包括按照權(quán)利要求1所述的磁頭滑塊懸架；以及被磁頭滑塊懸架的滑塊支撐部分浮動支撐著的一個磁頭滑塊。
14.一種磁頭組件，包括按照權(quán)利要求9所述的磁頭滑塊懸架；以及被磁頭滑塊懸架的滑塊支撐部分浮動支撐著的一個磁頭滑塊，其中磁頭滑塊被裝在布線圖上面，蓋住滑塊支撐部分。
15.一種磁頭組件，包括按照權(quán)利要求10所述的磁頭滑塊懸架；以及被磁頭滑塊懸架的滑塊支撐部分浮動支撐著的一個磁頭滑塊，其中磁頭滑塊被裝在布線圖上面，蓋住滑塊支撐部分。
16.一種制造磁頭滑塊懸架的方法，在該磁頭滑塊懸架上可以安裝一個磁頭滑塊以及一個驅(qū)動線圈，滑塊上包括至少能夠在記錄媒體上記錄信息或是從記錄媒體上重放信息的磁頭元件，該驅(qū)動線圈構(gòu)成了用來使磁頭滑塊相對于記錄媒體移動的驅(qū)動機構(gòu)中的一部分，該方法包括以下步驟僅僅形成一個用來浮動地支撐磁頭滑塊的滑塊支撐部分；以及僅僅形成一個與滑塊支撐部分相對應(yīng)的線圈支撐部分，線圈支撐部分能夠靠自身支撐驅(qū)動線圈，其中這兩個步驟是基本上同時執(zhí)行的，從而使滑塊支撐部分和線圈支撐部分構(gòu)成不包括接合區(qū)的一個預(yù)定形狀的連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
17.按照權(quán)利要求16的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于進(jìn)一步包括以下步驟僅僅形成一個用來支撐滑塊支撐部分的懸置部分；以及僅僅形成一個用于支撐懸置部分的臂部分，其中這些步驟與形成滑塊支撐部分和線圈支撐部分的步驟是基本上同時執(zhí)行的，從而使懸置部分和臂部分構(gòu)成連續(xù)結(jié)構(gòu)的一部分。
18.按照權(quán)利要求16的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于形成連續(xù)結(jié)構(gòu)的步驟中包括局部軋制一片板材的一個軋制步驟，并且由此形成各部分厚度不同的材料；以及對經(jīng)軋制的材料進(jìn)行沖切的一個沖切步驟。
19.按照權(quán)利要求16的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于形成連續(xù)結(jié)構(gòu)的步驟中包括用來形成具有模腔的一個模具的模具形成步驟，模腔的形狀對應(yīng)著連續(xù)結(jié)構(gòu)的外部形狀；以及用一種預(yù)定的材料填充模腔并且使材料固化的步驟。
20.按照權(quán)利要求16的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于進(jìn)一步包括以下步驟為連續(xù)結(jié)構(gòu)提供一個可以電連接到磁頭滑塊上的布線圖。
21.按照權(quán)利要求20的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于形成的連續(xù)結(jié)構(gòu)包括第一表面和第二表面，并且使布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面延伸到它的第二表面。
22.按照權(quán)利要求21的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于形成的布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面繞過連續(xù)結(jié)構(gòu)的一端延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上用來安放磁頭滑塊的表面。
23.按照權(quán)利要求21的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于形成的布線圖從連續(xù)結(jié)構(gòu)的第一表面通過穿透連續(xù)結(jié)構(gòu)一部分的一個連通孔延伸到第二表面、到達(dá)滑塊支撐部分，并且蓋住滑塊支撐部分上用來安放磁頭滑塊的表面。
24.按照權(quán)利要求16的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于進(jìn)一步包括以下步驟為連續(xù)結(jié)構(gòu)提供一個集成電路芯片，在芯片上集成了與磁頭滑塊的操作有關(guān)的電路。
25.按照權(quán)利要求24的制造磁頭滑塊懸架的方法，其特征在于集成電路芯片面對著記錄媒體被裝在連續(xù)結(jié)構(gòu)表面上。
26.一種制造磁頭組件的方法，包括以下步驟采用權(quán)利要求16所述的制造磁頭滑塊懸架的方法形成一個磁頭滑塊懸架；以及將磁頭滑塊安裝到所形成的磁頭滑塊懸架上。
27.一種制造磁頭組件的方法，包括以下步驟采用權(quán)利要求22所述的制造磁頭滑塊懸架的方法形成一個磁頭滑塊懸架；以及將磁頭滑塊安裝到所形成的磁頭滑塊懸架上，其中將磁頭滑塊裝在蓋住滑塊支撐部分的布線圖上。
28.一種制造磁頭組件的方法，包括以下步驟采用權(quán)利要求23所述的制造磁頭滑塊懸架的方法形成一個磁頭滑塊懸架；以及將磁頭滑塊安裝到所形成的磁頭滑塊懸架上，其中將磁頭滑塊裝在蓋住滑塊支撐部分的布線圖上。
29.一種信息記錄/重放裝置，包括一個可以在上面記錄信息的記錄媒體；按照權(quán)利要求13所述的一個磁頭組件；以及用來驅(qū)動磁頭組件的一個驅(qū)動機構(gòu)，它使得磁頭組件的磁頭滑塊相對于記錄媒體移動。
30.按照權(quán)利要求29的信息記錄/重放裝置，其特征在于包括按照權(quán)利要求13所述的多個磁頭組件，其中磁頭組件是被獨立驅(qū)動的，從而使各個磁頭組件的磁頭滑塊能夠獨立地移動。
全文摘要
一種磁頭滑塊懸架、一種磁頭組件、其制造方法及一種信息記錄/重放裝置。磁頭組件包括一磁頭滑塊、用來支撐磁頭滑塊的一磁頭滑塊懸架、連接在該懸架上的一布線裝置及一個線圈。磁頭滑塊懸架包括一個作為萬向架的滑塊支撐部分、用來支撐滑塊支撐部分的一個懸置部分及用來支撐線圈的線圈支撐部分。這些零件構(gòu)成不包括接合區(qū)的一個連續(xù)結(jié)構(gòu)中的一部分。各磁頭組件包括一磁頭滑塊、用來支撐磁頭滑塊的一個部分以及用來移動磁頭滑塊的一個部分。
文檔編號G11B5/48GK1267881SQ0010433
公開日2000年9月27日 申請日期2000年3月17日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月17日
發(fā)明者上釜健宏 申請人:Tdk株式會社