專利名稱：300mm立式氧化爐的報警系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種硅片加工裝置，具體的是一種用于硅片氧化工藝的立式氧化爐 的報警系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
硅片是一種重要的半導(dǎo)體材料，它的加工工藝，特別是氧化工藝是一種對系統(tǒng)穩(wěn)定 性要求非常高的工藝。目前國內(nèi)設(shè)計的硅片氧化爐大多是臥式結(jié)構(gòu)的，系統(tǒng)穩(wěn)定性需要
改進。特別是工藝過程中的報警、安全性報警需要進一步完善。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種300mm立式氧化爐的報警系 統(tǒng)，該報警系統(tǒng)設(shè)計完善合理，控制集中靈活，保證設(shè)備正常安全運行效果好。
本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的300mra立式氧化爐的報警系統(tǒng)，其 特征在于設(shè)有冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與渥液報 警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置、設(shè)備安全門互鎖報警裝置、點 火器火焰檢測報警裝置；
所述冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置設(shè)有流量計組，該流量計組中的流量計分別與立式 氧化爐的石英管法蘭、外點火器、石英舟、爐體法蘭、工藝門、爐體、PTI冷凝器的水冷 卻管連通，并且該所有流量計都集中安裝在水盒中，在該水盒底部設(shè)置有進行液位檢測 的光電傳感器，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC進行連接；
所述工藝氣休壓力報警裝置，包括氣休壓力傳感器組，該壓力傳感器設(shè)置在工藝氣 體氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設(shè)有氣路箱，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在
該氣路箱里；氣路箱還設(shè)置有門開關(guān)；所述氣休壓力傳感器及門開關(guān)與可編程控制器PLC
連接；
所述源溫控制與漏液報警裝置，設(shè)有源溫控制器和流量開關(guān)，該源溫控制器和流量 開關(guān)設(shè)置在工藝液體的液源管路上，并設(shè)有漏液檢測傳感器，還設(shè)有源溫控制器盒，所 述源溫控制器、流量開關(guān)、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內(nèi)，該控制器盒設(shè)有門
開關(guān)，該門開關(guān)及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC連接；
所述工藝氣休泄漏報警裝置，包括在爐口處設(shè)置的HCL檢測傳感器；在外點火器處設(shè)置的H2檢測傳感器、在源溫控制器卜設(shè)置的HCL檢測傳感器、在氣路盒內(nèi)部設(shè)置的H2 和N0檢測傳感器；所述傳感器與控制器及可編程控制器PLC連接；
所述內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置，包括控制氣路柜排氣出口、爐體棑氣出口和爐口排氣出
口排氣壓力的壓差計組，該壓差計組與控制器PLC連接；
所述設(shè)備安全門互鎖報警裝置，包括在后檢修門卜.安裝的門開關(guān)，并設(shè)有氧氣分析
儀，該門開關(guān)及氧氣分析儀與控制器PLC連接；
所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器處設(shè)置的火焰檢測器。該火焰檢 測器與可編程控制器PLC連接；所述控制器PLC與上位機連接。
所述可編程控制器PLC為一個或多個。
本實用新型設(shè)置了大量的報警信息提供裝置和信息處理的控制器PLC,以及接收PLC 信息并進行判斷和發(fā)出報警控制信號的卜，位機，這些組成了完備的報警系統(tǒng)，使設(shè)備的 一些故障及時反饋給操作者，方便操作人員査找故障，盡快恢復(fù)相應(yīng)工序的運行，避免 不必要的損失。這個報警系統(tǒng)保證了立式氧化爐在做工藝時的安全可靠性，減少了故障 的發(fā)生概率，提高產(chǎn)品的合格率。系統(tǒng)還充分從操作人員的安全性方面考慮，設(shè)置了一 些工作環(huán)境的檢測報警，防止一些有毒或者大量惰性氣體對人體產(chǎn)生傷害和使人窒息等 情況的發(fā)生。在系統(tǒng)運行過程中還增加了一些問詢報警，這些報警對正在運行的爐體系 統(tǒng)不產(chǎn)生影響，主要是為了提醒操作人員爐體某些工序目前的運行狀況，提醒工作人員 注意，及時消除隱患。因此，本實用新型具有結(jié)構(gòu)完善，整體性強，報警控制全面，控 制靈活，能充分保障氧化爐正常安全行的優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

下而結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明；實施例；參見附圖，300mm 立式氧化爐的報警系統(tǒng)，設(shè)有冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫 控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置、設(shè)備安全門互鎖 報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；
所述冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置設(shè)有流量計組，該流量計組中的流量計1.2分別與 立式氧化爐的石英管法蘭11、外點火器6、石英舟13、爐體法蘭14、工藝門15、爐體 16、 PTI冷凝器19的水冷卻管連通，并且該所有流量計1,2都集中安裝在水盒1中，在 該水盒底部設(shè)置有進行液位檢測的光電傳感器1. l，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC IO進行連接；
所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器2. 2設(shè)置在工 藝氣體；氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設(shè)有氣路箱2，所述氣體壓力傳感器都集中安
裝在該氣路箱里，氣路箱還設(shè)置有門開關(guān)2.1，所述氣體壓力傳感器及門開關(guān)與可編程控
制器PLC IO連接;
所述源溫控制與漏液報警裝置，設(shè)有源溫控制器5. 2和流量開關(guān)5. 1，該源溫控制器 和流量開關(guān)設(shè)置在工藝液體的液源管路h，并設(shè)有漏液檢測傳感器5， 4，還設(shè)有源溫控制 器盒5，所述源溫控制器、流量開關(guān)、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內(nèi)，該控制器 盒設(shè)有門開關(guān)5.3，該門開關(guān)及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC 10連 接。
所述丁藝氣體泄漏報警裝置，包括在爐口處設(shè)置的HCL檢測傳感器8， 1，在外點火器 6處設(shè)置的H2檢測傳感器6. 1、在源溫控制器上設(shè)置的HCL檢測傳感器5. 5、在氣路盒2 內(nèi)部設(shè)置的氫(H2) 2. 3和氮(N0) 2.4檢測傳感器；所述傳感器與控制器組3及可編程 控制器PLC IO連接。
所述內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置，包括控制氣路柜排氣出口 7、爐體排氣出口 9和爐口排氣 出口 8排氣壓力的壓差計組4，該壓差計組與控制器PLC連接。
所述設(shè)備安全門互鎖報警裝置，包括在后檢修門17卜安裝的門開關(guān)12，并設(shè)有與氧 氣分析儀18，該門開關(guān)及氧氣分析儀與控制器PLC IO連接。
所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器6處設(shè)置的火焰檢測器6. 2。該火 焰檢測器與可編程控制器PLC IO連接；所述控制器PLC與上位機連接。
權(quán)利要求1、一種300mm立式氧化爐的報警系統(tǒng)，其特征在于設(shè)有冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置、設(shè)備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；所述冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置設(shè)有流量計組，該流量計組中的流量計(1.2)分別與立式氧化爐的石英管法蘭(11)、外點火器(6)、石英舟(13)、爐體法蘭(14)、工藝門(15)、爐體(16)、PTI冷凝器(19)的水冷卻管連通，并且該所有流量計(1.2)都集中安裝在水盒(1)中，在該水盒底部設(shè)置有進行液位檢測的光電傳感器(1.1)，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC(10)進行連接；所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器(2.2)設(shè)置在工藝氣體氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設(shè)有氣路箱(2)，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在該氣路箱里，氣路箱還設(shè)置有門開關(guān)(2.1)，所述氣體壓力傳感器及門開關(guān)與可編程控制器PLC(10)連接；所述源溫控制與漏液報警裝置，設(shè)有源溫控制器(5.2)和流量開關(guān)(5.1)，該源溫控制器和流量開關(guān)設(shè)置在工藝液體的液源管路上，并設(shè)有漏液檢測傳感器(5.4)，還設(shè)有源溫控制器盒(5)，所述源溫控制器、流量開關(guān)、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內(nèi)，該控制器盒設(shè)有門開關(guān)(5.3)，該門開關(guān)及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC(10)連接；所述工藝氣體泄漏報警裝置，包括在爐口處設(shè)置的HCL檢測傳感器(8.1)，在外點火器(6)處設(shè)置的H2檢測傳感器(6.1)、在源溫控制器上設(shè)置的HCL檢測傳感器(5.5)、在氣路盒(2)內(nèi)部設(shè)置的H2(2.3)和NO(2.4)檢測傳感器；所述傳感器與控制器組(3)及可編程控制器PLC(10)連接；所述內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置，包括控制氣路柜排氣出口(7)、爐體排氣出口(9)、爐口排氣出口(8)排氣壓力的壓差計組(4)，該壓差計組與控制器PLC連接；所述設(shè)備安全門互鎖報警裝置，包括在后檢修門上安裝的門開關(guān)(12)，和氧氣分析儀(18)，該門開關(guān)及氧氣分析儀與控制器PLC(10)連接；所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器(6)處設(shè)置的火焰檢測器(6.2)。該火焰檢測器與可編程控制器PLC(10)連接；所述控制器PLC與上位機連接。
專利摘要本實用新型公開了一種300mm立式氧化爐的報警系統(tǒng)，其特征在于設(shè)有冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置、設(shè)備安全門互鎖報警裝置、外點火器火焰檢測報警裝置和可編程控制器PLC、上位機；所述控制器PLC與上位機連接。本實用新型適用于立式氧化爐的運行安全報警，結(jié)構(gòu)完善，控制集中靈活，能保證立式氧化爐的安全正常地運行和操作人員的安全，并提高工藝的質(zhì)量和效率。
文檔編號G08B19/00GK201382681SQ200820234109
公開日2010年1月13日 申請日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者曾艷麗, 王曉衛(wèi), 程朝陽, 米奇.阿伽穆罕默德 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司