專利名稱：基于無線通信可調(diào)整的裝置、裝置調(diào)整方法和裝置調(diào)整系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于無線通信可調(diào)整的裝置、裝置調(diào)整方法以及裝置調(diào)整系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，為了調(diào)整例如象擴(kuò)散裝置這樣的半導(dǎo)體制造裝置的機(jī)構(gòu)部，使用裝置本體的操作盤或通過電纜外附在裝置上的終端裝置。例如，使用機(jī)構(gòu)部的調(diào)整用終端即調(diào)整終端時，在每個裝置上設(shè)置調(diào)整終端，或在每個裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺共用終端的連接接頭(connecting connector)。
但是，因為調(diào)整終端在裝置正常工作時不使用，所以設(shè)置裝置臺數(shù)相同數(shù)目的調(diào)整終端在空間上是白白地浪費。
另外，通過接頭連接使用共用終端時，由于反復(fù)接頭的拔出插入，有可能導(dǎo)致接點的惡化這樣的信賴性降低。
而且，使用利用電纜連接的調(diào)整終端調(diào)整裝置的機(jī)構(gòu)部的動作時，電纜成為操作障礙或因電纜長度等的制約，操作人員不能以自由的姿勢操作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問題而完成的，其目的是提供一種不在每個裝置上設(shè)置終端裝置或不在每個裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺共用終端裝置的連接接頭、從終端裝置就能操作裝置的機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整系統(tǒng)。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明為了使用調(diào)整終端這樣的終端操作例如半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置這樣的裝置，在裝置和終端之間利用無線通信機(jī)能。
利用本發(fā)明的第一方面提供的裝置是通過無線通信可以調(diào)整的裝置，具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部、和連接于上述機(jī)構(gòu)部并調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的控制組件，還具有連接于上述控制組件、在與終端之間建立無線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信單元，上述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元、分析從終端接收的數(shù)據(jù)的單元、和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的單元。
利用本發(fā)明的第二方面提供的裝置調(diào)整系統(tǒng)是包括含有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部以及調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置、和送出調(diào)整上述裝置的上述機(jī)構(gòu)部的指令的終端的裝置調(diào)整系統(tǒng)，上述裝置還具有連接于上述控制組件、在與終端之間建立無線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信單元，上述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元、分析從終端接收的數(shù)據(jù)的單元、和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的單元，上述終端具有在與上述裝置之間進(jìn)行無線通信的無線通信單元、和顯示來自上述裝置的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸入到上述裝置的接口單元。
利用本發(fā)明的第三方面提供的裝置調(diào)整方法是從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的上述機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整方法，具有將無線通信連接請求信息從上述終端發(fā)送到上述裝置的工序、和將無線通信連接確認(rèn)信息從上述裝置發(fā)送到上述終端的工序、和在上述終端和上述裝置之間以一對一的對應(yīng)關(guān)系建立無線通信連接的工序、和將上述裝置的上述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從上述終端發(fā)送到上述裝置的工序、和在上述裝置中基于上述調(diào)整指令信息調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的工序。
利用本發(fā)明的第四方面提供的裝置調(diào)整方法是從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的上述機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整方法，具有確定由多臺裝置構(gòu)成的裝置小組的工序、和將無線通信連接請求信息從上述終端發(fā)送到上述裝置小組的上述多臺裝置的工序、和將無線通信連接確認(rèn)信息從上述裝置小組中的裝置發(fā)送到上述終端的工序、和在上述終端和發(fā)送上述無線通信連接確認(rèn)信息的上述裝置之間以一對多的對應(yīng)關(guān)系建立無線通信連接的工序、和將該裝置的上述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從上述終端發(fā)送到建立了無線通信連接的上述裝置的工序、和在接受了上述調(diào)整指令信息的上述裝置中、基于上述調(diào)整指令調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的工序。
因為只要利用本發(fā)明的各種方式就可以在裝置和終端之間建立無線通信連接，所以可以將終端的臺數(shù)抑制到必要最低限，而且由于終端的使用場所或連接接頭的設(shè)置場所不受限制，可以實現(xiàn)使用終端的作業(yè)的效率提高。
本發(fā)明的其它目的是通過參照附圖閱讀后面的詳細(xì)說明，本發(fā)明的特征、機(jī)能、優(yōu)點變得更加明確。


圖1是本發(fā)明的實施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
圖2是本發(fā)明的實施例1的機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理的流程圖。
圖3是本發(fā)明的實施例2的無線終端的構(gòu)成圖。
圖4是本發(fā)明的實施例2的半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)成圖。
圖5是本發(fā)明的實施例3的排他的連接方式的說明圖。
圖6是本發(fā)明的實施例3的排他的連接處理的流程圖。
圖7是本發(fā)明的實施例4的小組連接方式的說明圖。
圖8是本發(fā)明的實施例4的小組連接處理的流程圖。
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實施例。本發(fā)明并不限定于這些實施例而可以在權(quán)利要求所記載的事項范圍內(nèi)以多樣的方式實施。
圖1是本發(fā)明的實施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的構(gòu)成圖。本實施例的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)由半導(dǎo)體制造裝置1和用于操作半導(dǎo)體制造裝置1的無線終端2構(gòu)成。半導(dǎo)體制造裝置1和無線終端2以進(jìn)行無線通信的方式構(gòu)成。在本發(fā)明的實施例1中，作為無線通信技術(shù)，利用基于作為10m左右的近距離無線通信的接口規(guī)格的藍(lán)牙(Bluetooth)的通信機(jī)能。
半導(dǎo)體制造裝置1是半導(dǎo)體制造的工序例如成膜處理、擴(kuò)散處理、蝕刻處理等使用的裝置。半導(dǎo)體制造裝置1是具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部50、連接于機(jī)構(gòu)部50并調(diào)整機(jī)構(gòu)部50的控制部30的裝置。機(jī)構(gòu)部50例如是半導(dǎo)體制造裝置1的搬送系統(tǒng)。無線終端2被利用于操作例如半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50。更具體地，利用于搬送系統(tǒng)的示教等、使用無線終端2可以指示狹孔的位置或載置器的位置。無線終端2例如可以通過具有利用藍(lán)牙的通信機(jī)能的PDA終端來實現(xiàn)。
半導(dǎo)體制造裝置1還具有連接于控制部30、在與無線終端2之間建立連接并在與無線終端2之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信部40。
另外，控制部30包括作成發(fā)送到無線終端的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)作成部31、將從無線終端接收的數(shù)據(jù)分析的數(shù)據(jù)分析部33、和基于分析過的數(shù)據(jù)調(diào)整機(jī)構(gòu)部50的機(jī)構(gòu)部調(diào)整部35。
通過將調(diào)整時必要的數(shù)據(jù)、變換機(jī)能搭載于半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)，可以使無線終端2側(cè)的構(gòu)成簡單化，可以利用廣泛使用的終端作為本發(fā)明實施例的無線終端。
接著，利用本發(fā)明的實施例1來說明根據(jù)來自無線終端2的指令在半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)進(jìn)行的機(jī)構(gòu)部50的調(diào)整處理。圖2是機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理的流程圖。
步驟1無線通信部40根據(jù)來自無線終端2的要求、在與無線終端2之間建立無線通信連接。該圖雖沒有圖示，但在不能建立無線通信連接時，對無線終端2通知連接的失敗。
步驟2控制部30從機(jī)構(gòu)部50取得機(jī)構(gòu)部的現(xiàn)在狀態(tài)(機(jī)構(gòu)部狀態(tài))、通過無線通信部40、將機(jī)構(gòu)部狀態(tài)發(fā)送到無線終端2。
在無線終端2側(cè)，機(jī)構(gòu)部狀態(tài)以操作人員可識別的方式被提示。
步驟3控制部30通過無線通信部40在無線終端2側(cè)接收操作人員輸入的操作指令。
步驟4控制部30的數(shù)據(jù)分析部33判斷從無線終端2接收的操作指令是否是連接切斷指令，如果不是連接切斷指令就進(jìn)入步驟5。是連接切斷指令時，進(jìn)入步驟8。
步驟5控制部30的數(shù)據(jù)分析部33判斷從無線終端2接收的操作指令是否是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令，如果是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令就進(jìn)入步驟6。如果不是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令時，進(jìn)入步驟7。
步驟6控制部30的機(jī)構(gòu)部調(diào)整部35基于從無線終端2接收的機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令調(diào)整機(jī)構(gòu)部50并回到步驟2。具體的調(diào)整例是搬送系統(tǒng)的移動等。
步驟7因為來自無線終端2的操作指令不是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令，所以控制部30實行對應(yīng)于該操作指令的適當(dāng)動作例如機(jī)構(gòu)部狀態(tài)的通知等，回到步驟2。
步驟8因為來自無線終端2的操作指令是無線通信連接的切斷指令，所以無線通信部40切斷與無線終端2的無線通信連接。由此，一系列的機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理結(jié)束。
另外，以半導(dǎo)體制造裝置1和無線終端2之間的無線通信連接的結(jié)束可從半導(dǎo)體制造裝置1以及無線終端2兩方指令的方式構(gòu)成。
接著，說明將連接狀態(tài)顯示機(jī)能、連接狀態(tài)確認(rèn)機(jī)能以及緊急停止機(jī)能附加到上述本發(fā)明的實施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)上的本發(fā)明的實施例2的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)。
圖3是這樣的本發(fā)明的實施例2的無線終端2的構(gòu)成圖。如同圖所示的那樣，無線終端2具有在與半導(dǎo)體制造裝置1之間進(jìn)行無線通信的無線通信部22、和接受來自操作人員的指示并根據(jù)操作指示對無線通信部22發(fā)出無線通信的連接請求、切斷要求等的連接操作部21。另外，無線終端2還包括在與半導(dǎo)體制造裝置1之間建立無線通信連接后、通過無線通信部22、將機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令發(fā)行到半導(dǎo)體制造裝置1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整用接口部23。該半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整用接口部23具備實現(xiàn)例如觀察機(jī)能的用戶接口機(jī)能(通常的顯示器viewer)。
另外，無線終端2還具有在與半導(dǎo)體制造裝置1之間相互地例如以一定間隔通過無線通信部22交換用于連接確認(rèn)的信息的連接狀態(tài)確認(rèn)部24、和顯示與半導(dǎo)體制造裝置1進(jìn)行無線通信連接的連接狀態(tài)顯示部25。
而且，無線終端2還具備為了確保半導(dǎo)體制造裝置1的動作安全、用于通過無線終端2側(cè)的狀態(tài)使半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50的動作緊急停止的緊急停止指令部26。緊急停止指令部26被連接于監(jiān)視-檢測操作人員手離開終端裝置2的狀態(tài)、操作人員緊緊握住終端裝置2的狀態(tài)、終端裝置2的電纜從插口拔出的狀態(tài)等的緊急事態(tài)的傳感器上，響應(yīng)于來自這些傳感器的檢測信號，對半導(dǎo)體制造裝置1送出緊急停止信號。緊急停止信號可以通過無線通信部22發(fā)送，但不限定于這樣的實例，可以利用使緊急停止信號發(fā)生的公知的各種方法。
另外，緊急停止指令部26使發(fā)生緊急停止信號的緊急事態(tài)不限定于上述的例子，還考慮到與半導(dǎo)體制造裝置1的連接狀態(tài)確認(rèn)失敗時、無線終端2移動到半導(dǎo)體制造裝置1的電波范圍以外時、無線終端2的電源被切斷時、按下無線終端2的緊急停止按鈕時、在無線終端2側(cè)解除無線通信連接時等的狀況。
圖4是對應(yīng)于圖3所示的無線終端2的本發(fā)明的實施例2的半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)成圖。半導(dǎo)體制造裝置1除有關(guān)本發(fā)明的實施例1說明的無線通信部40、控制部30以及控制部50以外，還包括連接狀態(tài)確認(rèn)部60、連接狀態(tài)顯示部70以及緊急停止部80。
連接狀態(tài)確認(rèn)部60在與無線終端2之間相互地例如以一定間隔通過無線通信部40交換用于連接確認(rèn)的信息。連接狀態(tài)顯示部70顯示與無線終端2進(jìn)行無線通信連接的情況。
另外，緊急停止部80被直接連結(jié)于機(jī)構(gòu)部50上，根據(jù)從無線終端2送出的緊急停止信號，立即使機(jī)構(gòu)部50的動作停止。
以下，說明以本發(fā)明的實施例1或?qū)嵤├?的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)為基礎(chǔ)、在半導(dǎo)體制造裝置1和無線終端2之間實現(xiàn)的兩種連接方式。
圖5是本發(fā)明的實施例3的排他的連接方式的說明圖。所謂排他的連接方法是無線終端2選擇特定的半導(dǎo)體制造裝置1的連接方法。如同圖所示的那樣，半導(dǎo)體制造裝置和無線終端只能同時以一對一的關(guān)系連接。同圖中，←○→的表示表示在半導(dǎo)體制造裝置和無線終端之間建立(或可以建立)無線通信連接的狀態(tài)，←×→的表示表示不能建立無線通信連接。
本例中，因為半導(dǎo)體制造裝置A與無線終端B連接，所以無線終端A不能與半導(dǎo)體制造裝置A連接。因為建立了無線終端B與半導(dǎo)體制造裝置A的連接，所以不能與半導(dǎo)體制造裝置B連接。半導(dǎo)體制造裝置C沒有與無線終端D和無線終端E的任一個連接。
排他的連接方法中，最初通過無線終端2側(cè)的操作例如地址指定等指定特定的半導(dǎo)體制造裝置1，接著，通過半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)的操作進(jìn)行被選擇的半導(dǎo)體制造裝置1的確認(rèn)作業(yè)例如ID交換等。于是，正常進(jìn)行該確認(rèn)作業(yè)時，以后禁止該無線終端裝置2和其它半導(dǎo)體制造裝置1的無線通信連接。
圖6是這樣的本發(fā)明的實施例3的排他的連接處理的流程圖。
步驟21半導(dǎo)體制造裝置1的無線通信部40接收來自無線終端2的裝置連接請求信息。
步驟22無線通信部40檢驗在與其它無線終端之間無線通信連接是否已經(jīng)建立。與其它無線終端之間已經(jīng)建立了連接時，進(jìn)入步驟26。無線通信部40建立還沒有與無線終端連接時，進(jìn)入步驟23。
步驟23無線通信部40在與產(chǎn)生裝置連接請求信息的無線終端2之間交換相互確認(rèn)信息(例如ID)。
步驟24無線通信部40判斷與無線終端2的相互確認(rèn)是否成功。相互確認(rèn)失敗時，進(jìn)入步驟26。相互確認(rèn)成功時，進(jìn)入步驟25。
步驟25無線通信部40與無線終端2之間建立排他的無線通信連接。由此，由無線終端2可以調(diào)整半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50。
步驟26由于不能與無線終端2之間建立排他的無線通信連接，所以無線通信部40將裝置連接拒絕信息返信到無線終端2。
來自無線終端2的操作結(jié)束后，可以在無線終端2側(cè)或半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)切斷(解除)兩者間的無線通信連接。
本發(fā)明的實施例3的排他連接處理以以上的次序進(jìn)行。這樣的排他的連接方法特別在機(jī)構(gòu)部50的示教等調(diào)整作業(yè)上是有效的。
圖7是本發(fā)明的實施例4的小組連接方式的說明圖。所謂的小組方法是無線終端2相對于預(yù)先小組化的半導(dǎo)體制造裝置群建立同時無線通信連接的連接方法。如同圖所示的那樣，無線終端和半導(dǎo)體制造裝置同時以一對多的關(guān)系連接。同圖中，←○→的表示表示在半導(dǎo)體制造裝置和無線終端之間建立(或可以建立)無線通信連接的狀態(tài)，←×→的表示表示不能建立無線通信連接。
本例中，半導(dǎo)體制造裝置A、半導(dǎo)體制造裝置B以及半導(dǎo)體制造C預(yù)先分入到同一小組中，半導(dǎo)體制造裝置D不包括在該小組內(nèi)。因此，無線終端B與小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置A、半導(dǎo)體制造裝置B以及半導(dǎo)體制造裝置C建立無線通信連接，不能在與半導(dǎo)體制造裝置D之間建立無線通信連接。另外，其它無線終端B以及無線終端C不可與在與無線終端A之間已經(jīng)建立了無線通信連接的小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置A、B以及C重復(fù)建立無線通信連接。
本發(fā)明的實施例4的小組連接方式中，如上述的那樣，從無線終端對預(yù)先小組化的半導(dǎo)體制造裝置群進(jìn)行連接請求。于是，在一臺無線終端和與半導(dǎo)體制造裝置群之間建立無線通信連接時，從無線終端對半導(dǎo)體制造裝置群可以統(tǒng)一指令進(jìn)行同一操作。無線終端側(cè)顯示了小組連接中的半導(dǎo)體制造裝置群的一系列。另外，小組連接中的各半導(dǎo)體制造裝置也能表示小組正在連接中。
小組連接的解除可以在各半導(dǎo)體制造裝置側(cè)分別進(jìn)行。另外，無線終端也可以統(tǒng)一解除小組連接。
圖8是這樣的本發(fā)明的實施例4的小組連接處理的流程圖。
步驟41定義半導(dǎo)體制造裝置的群并登錄無線終端以及小組內(nèi)的各半導(dǎo)體制造裝置。
步驟42將裝置連接請求從無線終端發(fā)送到小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置。
步驟43在無線終端和小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置之間實行無線通信連接的建立處理。
步驟44判斷所有的無線通信連接是否建立。建立時進(jìn)入步驟45，不建立時進(jìn)入步驟47。
步驟45在無線終端側(cè)顯示小組連接中的半導(dǎo)體制造裝置的一系列。
步驟46設(shè)定小組內(nèi)各半導(dǎo)體制造裝置的可以統(tǒng)一操作模式，在各半導(dǎo)體制造裝置側(cè)顯示處于小組連接中的旨意。
步驟47因為存在著不能建立無線通信連接的半導(dǎo)體制造裝置，所以無線終端解除了與小組內(nèi)的所有半導(dǎo)體制造裝置的無線通信連接。
本發(fā)明的實施例4的小組連接處理以以上的次序進(jìn)行。這樣的小級連接方法特別對多臺半導(dǎo)體制造裝置的機(jī)構(gòu)部50在設(shè)定相同參數(shù)等的調(diào)整作業(yè)上是有效的。
另外，上述的步驟47中，雖然解除了無線終端與小組內(nèi)所有的半導(dǎo)體制造裝置的無線通信連接，但構(gòu)成也可以是只對可建立無線通信連接的半導(dǎo)體制造裝置設(shè)定統(tǒng)一操作可能模式。
本發(fā)明的上述實施例利用了基于藍(lán)牙的無線通信技術(shù)，所以如果將無線終端設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的附近(10m以內(nèi))就可以在任何地方使用。由此，可以最低限度地抑制無線終端的必要臺數(shù)，不受無線終端的使用場所或連接接頭的場所的限制，與使用無線終端的調(diào)整作業(yè)的效率提高有關(guān)。因為藍(lán)牙具有電波弱(微弱電波覆蓋在10m以內(nèi))、沒有干涉(抗雜音干涉強(qiáng))這樣的特性，所以優(yōu)選用于實施本發(fā)明。
另外，作為無線通信技術(shù)來說，除基于作為10m左右的近距離無線通信的接口規(guī)格的藍(lán)牙的通信機(jī)能以外，可以使用用電波或光等無線進(jìn)行通信的無線LAN。也可以利用基于PHS方式的通信。本發(fā)明并不因利用的無線通信技術(shù)的類別而受限制。
另外，作為終端裝置來說，可以利用具有基于藍(lán)牙的通信機(jī)能的PDA終端或PHS終端。本發(fā)明不因終端裝置的類別而受限制。
而且，上述實施例說明了有關(guān)半導(dǎo)體制造裝置，但本發(fā)明的裝置并不限定于半導(dǎo)體制造裝置，只要是具備機(jī)構(gòu)部和調(diào)整機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置，即使是其他樣的裝置也沒關(guān)系。
利用上述本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的裝置調(diào)整方法可以用軟件(程序)構(gòu)筑，通過利用計算機(jī)的CPU執(zhí)行該程序可以實現(xiàn)利用本發(fā)明的實施例的裝置調(diào)整方法。所構(gòu)筑的程序記錄于磁盤裝置等中并根據(jù)必要安裝于計算機(jī)上、存儲于軟盤、存儲器插板、CD-ROM等可記錄媒體上并根據(jù)必要安裝于計算機(jī)上或通過通信電線等安裝于計算機(jī)上并通過計算機(jī)的CPU實行。
如以上說明的那樣，只要利用本發(fā)明的各種實施例，不需要在每個裝置上設(shè)置終端裝置、不需要在每個裝置上設(shè)計用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺共用終端裝置的連接接頭，就可以從終端裝置操作裝置的機(jī)構(gòu)部。
以上說明了本發(fā)明的代表實施例，但本發(fā)明并不限定于上述的實施例，在權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更、應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種基于無線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于，具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部；和連接于所述機(jī)構(gòu)部并調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的控制組件，還具有連接于所述控制組件、在與終端之間建立無線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信單元，所述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元；分析從終端所接收的數(shù)據(jù)的單元；和基于所分析的數(shù)據(jù)調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的單元。
2.如權(quán)利要求1所述的基于無線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于所述無線通信單元構(gòu)成為，在與終端之間已經(jīng)建立了無線通信連接時，拒絕來自其它終端的無線通信連接的請求。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基于無線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于，還具有確認(rèn)在與終端之間所建立的無線通信連接狀態(tài)的單元；和顯示無線通信連接狀態(tài)的單元。
4.如權(quán)利要求1～3之一所述的基于無線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于還具有接受來自建立了無線通信連接的對方側(cè)的終端的緊急停止指令信號并使所述機(jī)構(gòu)部緊急停止的單元。
5.一種裝置調(diào)整系統(tǒng)，包括含有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部以及調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置；和送出調(diào)整所述裝置的所述機(jī)構(gòu)部的指令的終端，其特征在于，所述裝置還具有連接于所述控制組件、在與終端之間建立無線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信單元，所述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元；分析從終端所接收的數(shù)據(jù)的單元；和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的單元，所述終端具有在與所述裝置之間進(jìn)行無線通信的無線通信單元；和顯示來自所述裝置的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置的接口單元。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述裝置的所述無線通信單元構(gòu)成為，在與終端之間已經(jīng)建立了無線通信連接時，拒絕來自其它終端的無線通信連接的請求。
7.如權(quán)利要求5或6所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述終端的所述無線通信單元構(gòu)成為，同時在與多臺裝置之間建立無線通信連接并在與多臺裝置之間進(jìn)行無線通信。
8.如權(quán)利要求5～7之一所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于還具有確認(rèn)在所述裝置和所述終端之間所建立的無線通信狀態(tài)的單元；和顯示所述裝置和所述終端之間的無線通信連接的狀態(tài)的單元。
9.如權(quán)利要求5～8之一所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述終端還具有監(jiān)視在所述終端是否發(fā)生應(yīng)使被無線通信連接的對方側(cè)的裝置的機(jī)構(gòu)部緊急停止的狀況的單元；和檢測出出現(xiàn)應(yīng)緊急停止的狀況時，向所述裝置發(fā)送使所述裝置的控制部緊急停止的緊急停止指令信號的單元，所述裝置還具有接受來自建立了無線通信連接的所述終端的所述緊急停止指令信號并使所述機(jī)構(gòu)部緊急停止的單元。
10.一種裝置調(diào)整方法，從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的所述機(jī)構(gòu)部，其特征在于，該裝置調(diào)整方法包括將無線通信連接請求信息從所述終端發(fā)送到所述裝置的工序；將無線通信連接確認(rèn)信息從所述裝置發(fā)送到所述終端的工序；在所述終端和所述裝置之間以一對一的對應(yīng)關(guān)系建立無線通信連接的工序；將所述裝置的所述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從所述終端發(fā)送到所述裝置的工序；和在所述裝置中基于所述調(diào)整指令信息調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的工序。
11.一種裝置調(diào)整方法，從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的所述機(jī)構(gòu)部，其特征在于，該裝置調(diào)整方法包括確定由多臺裝置構(gòu)成的裝置小組的工序；將無線通信連接請求信息從所述終端發(fā)送到所述裝置小組的所述多臺裝置的工序；將無線通信連接確認(rèn)信息從所述裝置小組中的裝置發(fā)送到所述終端的工序；在所述終端和發(fā)送了所述無線通信連接確認(rèn)信息的所述裝置之間以一對多的對應(yīng)關(guān)系建立無線通信連接的工序；將該裝置的所述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從所述終端發(fā)送到建立了無線通信連接的所述裝置的工序；和在接受了所述調(diào)整指令信息的所述裝置中，基于所述調(diào)整指令調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種不在每個裝置上設(shè)置終端裝置或不在每個裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺共用終端裝置的連接接頭，從終端裝置就能操作裝置的機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整系統(tǒng)。本發(fā)明的裝置具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部(50)、調(diào)整機(jī)構(gòu)部的控制部(30)和在與終端(2)之間建立無線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無線通信部(40)，控制部(30)包括發(fā)送到終端的數(shù)據(jù)的作成部(31)、從終端所接收的數(shù)據(jù)的分析部(33)以及基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整機(jī)構(gòu)部的調(diào)整部(35)。
文檔編號G08C17/02GK1643653SQ03805759
公開日2005年7月20日 申請日期2003年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月12日
發(fā)明者千葉充 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社