用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器、其制造方法及由其構(gòu)成的觸屏板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器，具體而言，涉及一種與透明基材間的 粘貼力得到強化的觸摸感應(yīng)器、其制造方法及由其構(gòu)成的觸屏板。
[0002] 本發(fā)明主張于2013年7月3日向韓國特許廳提出申請的申請?zhí)枮?10-2013-0077950和2013年8月19日向韓國特許廳提出申請的申請?zhí)枮?0-2013-0097975 的優(yōu)先權(quán)，且其內(nèi)容皆屬于本發(fā)明。
【背景技術(shù)】
[0003] -般情況下，觸屏板，通過將在透明薄膜上具有透明電極的觸摸感應(yīng)器封裝在覆 蓋玻璃（Cover Glass)下而制成。
[0004] 所述觸摸感應(yīng)器，通過在透明薄膜的一面涂布電極材料，例如氧化銦錫 (ΙΤ0: Indium Tin Oxide)，并通過蝕刻工藝形成感應(yīng)電極而制成。
[0005] 參照圖1，所述觸屏板1具有利用透明粘貼層lb在顯示板la上依次層疊兩個觸摸 感應(yīng)器lc及覆蓋所述觸摸感應(yīng)器lc的鋼化玻璃Id的結(jié)構(gòu)。
[0006] 即，常用的觸屏板主要使用GFF(Glass-Film-Film)方式，該方式使用基于氧化銦 錫感應(yīng)電極在薄膜基材上形成的兩個用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器和鋼化玻璃Id。所述兩個感 應(yīng)器分別具有X軸感應(yīng)器或者Y軸感應(yīng)器。
[0007] 然而，現(xiàn)有的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器，利用氧化銦錫在薄膜基材上形成感應(yīng)電 極，在13英寸以上的畫面中，由于氧化銦錫電極的高電阻導(dǎo)致觸摸速度下降，并且不易實 現(xiàn)多點觸摸。
[0008] 此外，銦作為氧化銦錫的主材料，為稀有元素，正面臨枯竭且?guī)齑媪坑邢?，從而?dǎo) 致原本已經(jīng)昂貴的觸屏板的制造成本進一步增加。
[0009] 此外，氧化銦錫電極需要較高的工藝溫度，不易應(yīng)用于柔性基材，脆弱的物理特性 容易發(fā)生破裂，不適合在柔性顯示器中使用。
[0010] 此外，干沉積時蝕刻工藝中排出的廢水誘發(fā)環(huán)境污染，應(yīng)用于0LED時，存在銦向 有機層擴散的問題。
[0011] 特別，在13英寸以上的大型觸屏板中，氧化銦錫電極的高電阻導(dǎo)致電力消耗過大 的問題發(fā)生。
[0012] 此外，在透明薄膜的前面形成銀納米線（AgNW :Silvernano Wire)，利用蝕刻形成 透明電極，從而能夠制造觸摸感應(yīng)器，當(dāng)利用銀納米線形成透明電極時，低電阻能使觸摸速 度優(yōu)秀，但存在透明度降低的問題。
[0013] 此外，現(xiàn)有的大部分觸摸感應(yīng)器需要經(jīng)過漏光、顯影、蝕刻等工藝，此時，透明薄膜 的基材上容易發(fā)生刮傷等損傷，這類損傷容易導(dǎo)致光學(xué)熱化問題。
[0014] 此外，由于現(xiàn)有的觸屏板具有分別形成于透明薄膜上的X軸感應(yīng)器和Y軸感應(yīng)器 的兩個觸摸感應(yīng)器1C，因此，導(dǎo)致制造工藝比較復(fù)雜、制造成本比較高及厚度不容易壓縮的 問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015] 技術(shù)問題
[0016] 本發(fā)明的目的在于，為了解決所述技術(shù)問題，提供一種用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器、 其制造方法及由其構(gòu)成的觸屏板，通過增強觸摸感應(yīng)電路圖案與透明基材間的粘貼力，能 夠精密加工形成具有微細線寬的觸摸感應(yīng)電路圖案，通過提高觸摸感應(yīng)電路圖案的耐久 性，從而能夠確保工作穩(wěn)定性。
[0017] 解決問題的方案
[0018] 為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明一實施例涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器包括透明基 材；以及形成于所述透明基材上并用于感應(yīng)觸屏板上的接觸的觸摸感應(yīng)電路圖案，其特征 在于，所述觸摸感應(yīng)電路圖案包括通過沉積形成的沉積薄膜層；以及通過鍍金形成于所述 沉積薄膜層上的鍍金層。
[0019] 本發(fā)明中，所述沉積薄膜層可以是選自鉻（Cr)、鉬（Mo)、鈦（Ti)、鎢（W)、鎳鉻 (NiCr)、鈦鎢合金（TiW)、銅（Cu)中的任意一個。
[0020] 本發(fā)明中，所述沉積薄膜層可以是通過熱蒸發(fā)沉積銅而形成。
[0021 ] 本發(fā)明中，所述沉積薄膜層可為氧化膜或者氮化膜。
[0022] 本發(fā)明中，所述氧化膜可以是選自氧化鈦（Ti02)、氧化鉻（Cr02)、氧化銅（CuO)、氧 化鎳（NiO)、氧化鋁（A1203)、氧化銀（AgO)中的任意一個，所述氮化膜可以是氮化鈦（TiN) 或者氮化銅（CuN)。
[0023] 本發(fā)明一實施例涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器，所述沉積薄膜層和所述鍍金層 之間還可包括層疊的鍍金活化層。
[0024] 本發(fā)明中，所述鍍金活化層可選自銅（Cu)、鎳（Ni)、銀（Ag)、金（Au)、錫（Sn)、鋁 (A1)、鈀（Pd)中任意一個。
[0025] 本發(fā)明中，所述觸摸感應(yīng)電路圖案可包括X軸感應(yīng)電路部，其具有橫向分離的多 個X軸電極；以及Y軸感應(yīng)電路部，其具有縱向分離的多個Y軸電極，所述X軸感應(yīng)電路部 和所述Y軸感應(yīng)電路部形成于所述透明基材的同一側(cè)面。
[0026] 本發(fā)明中，所述觸摸感應(yīng)電路圖案可包括X軸感應(yīng)電路部，其形成于所述透明基 材兩面中的任意一面且具有橫向分離的多個X軸；以及Y軸感應(yīng)電路部，其形成于所述透明 基材兩面中的任意一面的另一面且具有縱向分離的多個Y軸電極。
[0027] 為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明一實施例涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方 法，可包括：通過在透明基材上蒸發(fā)沉積，并形成沉積薄膜層的步驟；在所述沉積薄膜層 上，去除觸摸感應(yīng)電路圖案部分以外的部分的蝕刻步驟；鍍金所述蝕刻步驟中所述透明基 材上剩余的所述沉積薄膜層的步驟。
[0028] 本發(fā)明一實施例涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法，在所述的沉積薄膜 層的形成步驟之后，在所述的蝕刻步驟之前還可包括在所述沉積薄膜上形成感光導(dǎo)電層的 步驟，所述的蝕刻步驟可包括：在所述感光導(dǎo)電層上形成感光層的過程；將所述感光層進 行漏光，并利用顯影液進行顯影，以將觸摸感應(yīng)電路圖案對應(yīng)的圖案以外的部分從所述感 光層和所述感光導(dǎo)電層上同時去除的過程；以觸摸感應(yīng)電路圖案的形狀蝕刻所述沉積薄膜 層的過程；以及在所述蝕刻過程之后，去除覆蓋所述沉積薄膜層的剩余感光層的過程。
[0029] 本發(fā)明中，所述形成感光導(dǎo)電層的步驟中，感光層可通過逗號輥涂、凹版涂布、刮 刀法、噴霧法中任意一個方法形成。
[0030] 本發(fā)明中，所述形成感光導(dǎo)電層的步驟中，感光層可通過電子放射形成。
[0031 ] 本發(fā)明中，所述感光導(dǎo)電層可為鋁層或者含鋁的鋁合金層。
[0032] 本發(fā)明中，所述顯影液可為碳酸系列且PH為10以上的高堿溶液。
[0033] 本發(fā)明中，所述顯影液可含有K2C03或者Na 2C03。
[0034] 發(fā)明效果
[0035] 本發(fā)明通過增強觸摸感應(yīng)電路圖案與透明基材間的粘貼力，能夠精密加工形成具 有微細線寬的觸摸感應(yīng)電路圖案，從而能夠具有增強觸摸感應(yīng)電路圖案耐久性的效果。
[0036] 本發(fā)明通過穩(wěn)定的觸摸速度和多點觸摸，能夠確保產(chǎn)品穩(wěn)定地工作，在彎曲的情 況下觸摸感應(yīng)電路圖案也不被損壞，能夠穩(wěn)定地應(yīng)用于柔性顯示器，而且通過柔性顯示器 穩(wěn)定的觸摸速度和多點觸摸，從而能夠具有確保產(chǎn)品穩(wěn)定地工作的效果。
[0037] 本發(fā)明通過蒸發(fā)沉積和鍍金形成觸摸感應(yīng)電路圖案，從而帶來簡化制造過程和降 低制造成本的效果。
【附圖說明】
[0038] 圖1是圖示現(xiàn)有觸屏板的一個例子的示意圖。
[0039] 圖2是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的一個例子的截面圖。
[0040] 圖3是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的另一個實施例的截面圖。
[0041] 圖4是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的一個實施例的立體圖。
[0042] 圖5和圖6是圖不本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的另一個實施例的截面 圖。
[0043] 圖7至圖11是圖示本發(fā)明涉及的觸屏板的實施例的略圖。
[0044] 圖12是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的一個實施例的 工藝圖。
[0045] 圖13是圖示圖12的本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的略圖。
[0046] 圖14是圖示本發(fā)明涉及的制造用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的另一個實 施例的工藝圖。
[0047] 圖15是圖示圖14的本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的略圖。
[0048] 圖16是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的又一個實施例 的工藝圖。
[0049] 圖17是圖示圖16的本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的實施例 的略圖。
[0050] 圖18是圖示本發(fā)明涉及的用于觸屏板的觸摸感應(yīng)器的制造方法的又一個實施例 的略圖。
[0051] 附圖標(biāo)識說明
[0052] 1 :沉積薄膜層 2 :鍍金層
[0053] 3 :鍍金活化層 4 :感光