專利名稱：測試集成電路系統(tǒng)中命名器件參量數(shù)據(jù)的儲存與搜索系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明背景本發(fā)明領(lǐng)域概括地說，本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體制造過程的自動測試設(shè)備。更具體地說，本發(fā)明涉及測試過程中使用的命名器件參量數(shù)據(jù)的存儲和搜索。
相關(guān)技術(shù)說明自動測試設(shè)備被廣泛用于半導(dǎo)體制造過程。通常，在制造過程中，半導(dǎo)體至少測試一次；而有時，要完成更多步測試。由于每一個元件都要測試，對于半導(dǎo)體制造的經(jīng)濟性來說，快速測試至關(guān)重要，測試速度慢會阻礙生產(chǎn)半導(dǎo)體元件所需的昂貴生產(chǎn)設(shè)備的充分利用?，F(xiàn)代半導(dǎo)體元件非常復(fù)雜，并且存在許多操作狀態(tài)。必須逐一經(jīng)過這些操作狀態(tài)，才能完成整個測試過程。因此，采用自動測試設(shè)備將測試數(shù)據(jù)分配給一個半導(dǎo)體器件，并在生產(chǎn)過程中非常快速地進(jìn)行大量測量。
圖1示出了現(xiàn)有的一種通用自動測試系統(tǒng)。為了實現(xiàn)全面快速測試，該自動測試系統(tǒng)通常包含一個測試器主體112、一個計算機工作站110和一個操作裝置114。計算機工作站110同時控制操作裝置114和測試器主體112。它控制操作裝置114將半導(dǎo)體器件(圖中未示出)定位在與測試器主體112上的大量測試探針118接觸的位置。通常，一個測試器會包括一個含有測試探針118的獨立的測試頭。然而，這個特點對于本發(fā)明并不重要。
然后，計算機工作站110控制測試器主體112對測試中的器件進(jìn)行一系列測試。每個測試過程通常都包含一個設(shè)置部分，在該設(shè)置部分控制信號從計算機工作站110傳輸?shù)綔y試主體112。控制信號通常是通過總線116傳輸?shù)臄?shù)字信號，它配置測試主體112的硬件以便為測試過程進(jìn)行所需的測量。根據(jù)控制信號，測試主體112的硬件提供激勵并測量在測器件的響應(yīng)。
如圖1所示，測試主體112的硬件包含大量表示為引腳124的電路。每個引腳124均產(chǎn)生信號或?qū)y試探針118的某一個進(jìn)行測量。每個引腳124均可提供或測量靜態(tài)信號或直流信號。另外，每個引腳124可以提供或測量有時稱為“脈沖串”的交替數(shù)據(jù)。
在一個脈沖串期間，測試主體112由時序電路120控制。時序電路120使得每個引腳124從相關(guān)的存儲器128讀取一個數(shù)據(jù)值序列。每個數(shù)據(jù)值均表示引腳在特定點的對應(yīng)測試探針118上隨時使用的或準(zhǔn)備測量的信號的信號類型。如果該引腳將測量值和一個期望值作比較，其比較結(jié)果也可被存入存儲器128。
所有引腳124在某一時刻應(yīng)提供的數(shù)值或希望測量的數(shù)值由數(shù)據(jù)值集定義，該數(shù)據(jù)值集被稱作“向量”。在一個脈沖串期間，要執(zhí)行許多向量。這些向量必須以很高的速率執(zhí)行，以便模擬在測器件的實際操作條件。測試半導(dǎo)體器件所需的脈沖串通常需要有幾百萬個向量來定義。當(dāng)設(shè)定測試系統(tǒng)測試某種特定類型的元件時，將這些向量按特定方式裝載到存儲器128。該裝載過程可能持續(xù)幾分鐘，并且對每個脈沖串只裝載一次。相反地，對每個脈沖串，計算機工作站110發(fā)送命令指明哪些向量作為脈沖串的一部分將被執(zhí)行。一旦該脈沖串結(jié)束，計算機工作站110就從存儲器128或時序電路120讀取脈沖串的結(jié)果。
此外，測試器主體112包括一個或多個測試儀器126。一個測試儀器126完成某個特定的測試功能。例如，它可以產(chǎn)生一個特定的測試信號，如正弦波信號。另一方面，測試儀器126可以以高速率采樣信號，這樣該信號隨后就能由數(shù)字信號處理器進(jìn)行分析。這些功能可以作為脈沖串的一部分被執(zhí)行，也可以獨立于脈沖串執(zhí)行。
對一個元件的完整測試，有時稱為一個“作業(yè)”，它包含一系列間或有直流測量值或測試儀器126所得測量值的脈沖串。這些脈沖串可用于測量在測器件的特定功能特性。另一方面，每一個脈沖串僅能將在測器件置于可獲得直流測量值的狀態(tài)。執(zhí)行這些測試環(huán)節(jié)命令的過程，常常稱為“流程”，它由計算機工作站110的軟件監(jiān)控。
一旦，一個器件完成全面測試，或在確定有缺陷的點完成測試后，則計算機工作站110向操作裝置114發(fā)送控制信號，然后操作裝置114將下一個要測試的器件送到測試主體112并重復(fù)上述過程。計算機工作站110還采集有關(guān)特定器件合格或不合格的數(shù)據(jù)，并且能夠處理此數(shù)據(jù)以便丟棄有缺陷的器件，或者完成諸如對具有不合格趨勢的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析的其它功能。
由于測試過程需要用到大量數(shù)據(jù)，所以，為了進(jìn)行有效地測試，對所儲存的命名器件參量數(shù)據(jù)進(jìn)行檢索的速度至關(guān)重要。因此，需要一種在存儲器中存儲數(shù)據(jù)的方法，以實現(xiàn)檢索數(shù)據(jù)的快速搜索。
本發(fā)明概述本發(fā)明是一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其電子數(shù)據(jù)表格工作簿具有含有多層嵌套命名器件參量數(shù)據(jù)的一個或多個電子數(shù)據(jù)表格。數(shù)據(jù)管理器將命名數(shù)據(jù)儲存在存儲器中，并在需要時搜索所儲存的命名數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)管理器含有一個或多個儲存器(Container)，每個儲存器具有一個既可以按二叉樹形式也可以按順序排列向量形式存儲多層嵌套命名數(shù)據(jù)的模式。二叉樹中的數(shù)據(jù)映射到帶有數(shù)字標(biāo)識的順序排列向量中，該數(shù)字標(biāo)識確定命名數(shù)據(jù)在順序排列向量中的位置。這些儲存器的嵌套層數(shù)和命名數(shù)據(jù)的嵌套層數(shù)相同。
每一個儲存器具有一個對二叉樹搜索命名數(shù)據(jù)的搜索模式，并且利用與命名數(shù)據(jù)相關(guān)的映射標(biāo)識在順序排列向量中搜尋命名數(shù)據(jù)。然后，該儲存器儲存數(shù)字標(biāo)識。此搜索在這些嵌套層中搜尋命名數(shù)據(jù)及其在嵌套層中的順序。


圖1是現(xiàn)有測試器的硬件方框圖。
圖2是本發(fā)明測試器的原理框圖。
圖3是一個引腳排列圖的電子數(shù)據(jù)表格的例圖。
圖4示出了圖3的引腳排列圖數(shù)據(jù)的圖形表示。
圖5示出了用于存儲圖3和圖4所示電子數(shù)據(jù)表格信息的數(shù)據(jù)管理器的功能框圖。
圖6示出了用于數(shù)據(jù)管理器中的存儲及檢索結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
圖7示出了圖3中按二叉樹布局的引腳排列圖數(shù)據(jù)的第一層。
圖8示出了一個引腳排列圖D儲存器，它用于圖3和圖7所示的嵌套引腳排列圖信息的第一層。
圖9示出了用于圖4嵌套層的D儲存器的一個嵌套實例。
圖10示出了一個用以說明一個引腳名稱在數(shù)據(jù)的一個嵌套層中可被使用幾次的電子數(shù)據(jù)表格。
圖11示出了一個D多儲存器(Dmulticontainer)的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的詳細(xì)說明圖2是有關(guān)本發(fā)明整個測試系統(tǒng)的詳細(xì)原理框圖。該系統(tǒng)包括一個PC工作站2000、測試硬件2002、一個操作裝置2004和一個主機2006。PC工作站的軟件由生產(chǎn)界面2008和測試開發(fā)與執(zhí)行程序模塊2010組成。
首先說明生產(chǎn)界面2008，它被用作操作員與測試開發(fā)及執(zhí)行程序2010之間、主機2006與操作裝置/探針2004之間的界面。在該優(yōu)選實施例中，生產(chǎn)界面2008由稱為“Active X”控件的控件組成，“Active X”控件由位于Redmond，華盛頓的微軟公司用Visual Basic編寫。這些控件可以利用Visual Basic迅速容易地生成圖形用戶界面(GUI)，也可以作為不帶GUI的程序界面使用。在測試開發(fā)與執(zhí)行程序2010、主機2000、或操作裝置2004中，Active X控件允許操作員啟動一個動作。在生產(chǎn)測試過程中，操作員在測試開發(fā)與執(zhí)行程序2010中使用一個Active X控件與執(zhí)行程序2016通訊，從而啟動生產(chǎn)測試。
此外，操作員可以利用操作裝置2004和主機2006啟動伴生動作。操作員控件2022具有一個Active X操作裝置控件。利用該Active X操作裝置控件，操作員可在有關(guān)操作裝置驅(qū)動程序2024的菜單中選擇一個操作裝置，將它與操作裝置2004相連，并啟動它。操作裝置2004將待測器件送至測試器2002。生產(chǎn)界面2008還包含一個Active X主機界面控件2020，它使得操作員可以將主機2006連到測試器2002。在生產(chǎn)車間，通常將測試器2002與一臺監(jiān)視測試器狀態(tài)、采集測試結(jié)果、并能夠直接控制測試過程的主機2006連接。主機界面控件2020將測試器控件2014的應(yīng)用程序界面(API)翻譯成能由主機2006發(fā)送或接收的標(biāo)準(zhǔn)消息。生產(chǎn)界面2008只能在生產(chǎn)測試期間執(zhí)行測試時使用。所述生產(chǎn)界面、操作裝置驅(qū)動程序、及主機在另一同時待審的專利申請中作了披露，該申請已轉(zhuǎn)讓給同一受讓人Teradyne，標(biāo)題為“用于集成電路測試系統(tǒng)的生產(chǎn)界面”，申請人Daniel C.Proskauer，申請日期1997年9月16日，申請?zhí)枮?8/931,793，在此引用供參考。
測試開發(fā)與執(zhí)行程序2010在Windows NT操作系統(tǒng)下運行，它由兩個單元軟件組成1)測試開發(fā)和分析時使用的軟件，和2)測試執(zhí)行時使用的軟件。Excel工作簿312是在測試開發(fā)與分析期間用于開發(fā)測試的部分程序。Excel是一個允許進(jìn)行應(yīng)用開發(fā)的電子數(shù)據(jù)表格程序。Visual Basic是一種可嵌入Excel內(nèi)的編程語言。
在本優(yōu)選實施例中，器件開發(fā)與流程開發(fā)工具310由Excel工作簿312中的定制電子數(shù)據(jù)表格完成。測試時，有三種數(shù)據(jù)需要由電子數(shù)據(jù)表格說明器件數(shù)據(jù)、測試流程數(shù)據(jù)、以及測試實例數(shù)據(jù)。器件數(shù)據(jù)可能是時間參數(shù)集、通道集、邊參數(shù)集(或引腳排列圖)或者大量其它類型的數(shù)據(jù)的電子數(shù)據(jù)表格。測試實例數(shù)據(jù)的電子數(shù)據(jù)表格說明一個取自測試模板庫320的測試模板和與其相關(guān)的器件數(shù)據(jù)集。一個測試模板和與其相關(guān)的數(shù)據(jù)集就稱為一個“實例”。測試流程數(shù)據(jù)可以是說明一系列所需執(zhí)行的測試步驟的數(shù)據(jù)表格。所謂系列測試步驟可以是一系列測試實例的執(zhí)行步驟。
總之，Excel電子數(shù)據(jù)表格信息312包含器件數(shù)據(jù)集、測試實例信息以及測試流程信息。測試實例信息確定與相關(guān)數(shù)據(jù)集一起使用哪一個模板，測試流程信息確定所要執(zhí)行的測試實例序列。
測試模板320由Visual Basic編寫，并且其通常由設(shè)備制造商來提供。在測試執(zhí)行之前，在測試開發(fā)和分析期間使用了器件數(shù)據(jù)與流程開發(fā)工具310、Excel工作表格312以及由制造商提供的測試模板320。
在生產(chǎn)測試期間，也用到了測試模板320和Excel電子數(shù)據(jù)表格312。用于生產(chǎn)測試期間測試執(zhí)行時的測試開發(fā)與執(zhí)行程序2010的其它軟件有執(zhí)行程序2016、流程控件314、數(shù)據(jù)管理器316、以及測試儀器驅(qū)動程序328。所有這些軟件都在Windows NT操作系統(tǒng)環(huán)境下運行。
執(zhí)行程序2016用Visual Basic編寫。它根據(jù)生產(chǎn)界面2008的ActiveX控件，控制生產(chǎn)測試過程的開始與執(zhí)行。執(zhí)行程序2016利用流程控件314啟動動作。根據(jù)執(zhí)行程序2016，流程控件314建立一個列出每個要執(zhí)行的模板和用于執(zhí)行該模板所需的數(shù)據(jù)的作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可以是一個索引表，但其它步驟是能夠執(zhí)行的。
在建立作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)時，第一模板由電子數(shù)據(jù)表格312中流程數(shù)據(jù)表的第一實例確定。與該實例有關(guān)的模板由該實例數(shù)據(jù)表確定。模板的標(biāo)識存入作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。此外，所要使用的具有第一模板的器件數(shù)據(jù)由該實例數(shù)據(jù)表確定。
將用于給定測試模板的器件數(shù)據(jù)的一個標(biāo)識符添加到作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。此時，數(shù)據(jù)管理器316將數(shù)據(jù)從Excel電子數(shù)據(jù)表格312傳送到測試儀器驅(qū)動程序以便應(yīng)用于測試器2002。在一個測試作業(yè)期間，數(shù)據(jù)管理器316匯編含有傳送至測試器2002的特定數(shù)據(jù)的參量數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。
一旦對模板識別的信息和數(shù)據(jù)值添入到作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中，則流程表中指明的執(zhí)行下一個模板的條件就確定了。所有模板確定后，流程控件314進(jìn)入空閑狀態(tài)。
當(dāng)流程控件314處于空閑狀態(tài)時，它可能通過測試器控件2014和執(zhí)行程序2016接收一個用戶命令以執(zhí)行測試作業(yè)，或者它可以從操作裝置2004接收一個啟動信號，表明在測器件已經(jīng)裝載完畢，并等待測試。收到運行測試作業(yè)的命令時，讀取由測試器控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)提供的第一模板。該模板用具有由作業(yè)控件數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)指定的參數(shù)由測試模板320作為子程序調(diào)用。然后，該模板子程序執(zhí)行并回到流程控件314。
提供測試的每個模板子程序表明測試通過還是未通過。測試作業(yè)的狀態(tài)根據(jù)剛調(diào)入的測試模板所返回的數(shù)值更新。例如，測試將表明所執(zhí)行的測試模板是沒有檢測到錯誤(即測試順利通過)還是檢測到了錯誤。
新測試狀態(tài)用于運算儲存于作業(yè)流程數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中的邏輯表達(dá)式。根據(jù)運算結(jié)果，選擇下一個模板。如果沒有更多的模板可用，流程控件314就回到其空閑狀態(tài)。
在本優(yōu)選實施例中，測試完成時，測試作業(yè)的結(jié)果既不提交給用戶也不傳送給操作裝置114。提交數(shù)據(jù)會降低測試作業(yè)的執(zhí)行速度。因此，在提出請求前，每個測試作業(yè)的執(zhí)行結(jié)果都存入計算機的內(nèi)存中。對測試結(jié)果的請求會使流程控件314跳過空閑狀態(tài)，為用戶顯示測試結(jié)果或?qū)y試結(jié)果傳送到操作裝置114。流程控件314、數(shù)據(jù)管理器316以及測試儀器驅(qū)動程序328都用C++編寫。
測試開發(fā)與執(zhí)行模塊2010更詳細(xì)地披露在另一共同待審的專利申請中，該申請已轉(zhuǎn)讓給同一受讓人Teradyne，其題目為“低成本、易操作的自動測試系統(tǒng)軟件”，申請人Daniel C.Proskauer和PredeepB.Deshpande，申請日期1997年6月13日，申請?zhí)?8/874,615，在此引用作為參考。
對數(shù)據(jù)管理器316檢索器件數(shù)據(jù)的速度要求高的原因有幾個。檢索速度決定了完成器件測試(即作業(yè))的速度有多快。此外，快速檢索對Excel電子數(shù)據(jù)表格上數(shù)據(jù)的確認(rèn)過程很重要。任一電子數(shù)據(jù)表格上的數(shù)據(jù)必須和其它所有電子數(shù)據(jù)表格上的數(shù)據(jù)相一致。搜索速度是本發(fā)明的一個特征。
Excel電子數(shù)據(jù)表格含有測試所需的所有數(shù)據(jù)。Excel數(shù)據(jù)需要以其能被快速準(zhǔn)確地檢索的方式存儲在數(shù)據(jù)管理器中。圖3示出了一個引腳排列圖的電子數(shù)據(jù)表格的一個實例。其它的Excel數(shù)據(jù)表格具有與通道、時間參數(shù)集、邊參數(shù)集以及其它器件數(shù)據(jù)參數(shù)相關(guān)的類似數(shù)據(jù)。在Excel電子數(shù)據(jù)表格中，引腳P1到P14及引腳組PG11列于第2列，引腳組PG1、PG2、PG11列于第1列，其它信息列于第3列(未示出)。圖4是圖3所示具有某些引腳和嵌套的引腳組的引腳排列圖的圖形表示。引腳P1、P2、P3以及引腳組PG1、PG2構(gòu)成第一層數(shù)據(jù)。含有引腳P1、P4、P5和引腳組PG11的引腳組PG1構(gòu)成嵌套在第一層數(shù)據(jù)內(nèi)的第二層數(shù)據(jù)的一部分。余下的第二層數(shù)據(jù)構(gòu)成同樣嵌套在第一層數(shù)據(jù)上的引腳組PG2。第三層數(shù)據(jù)是嵌套在引腳組PG1內(nèi)的引腳組PG11。嵌套可以繼續(xù)進(jìn)行，直至達(dá)到所需的數(shù)據(jù)層數(shù)。
數(shù)據(jù)管理器需要對每一個電子數(shù)據(jù)表格存儲數(shù)據(jù)，并且在作業(yè)裝載和執(zhí)行期間能夠隨時支持對任何電子數(shù)據(jù)表格的全部嵌套數(shù)據(jù)的有效搜索。
圖5為存儲Excel電子數(shù)據(jù)表格的數(shù)據(jù)管理器316的原理框圖。Excel工作簿312通過界面2100與數(shù)據(jù)管理器316通信。數(shù)據(jù)管理器316由C++編寫。流程控制程序314、界面2100、以及測試儀器驅(qū)動程序328都與主對象2102通訊。主對象是一種能存取存儲于數(shù)據(jù)管理器中的Excel電子數(shù)據(jù)表格上的所有數(shù)據(jù)的裝置。流程控制程序314、驅(qū)動程序328以及界面2100從主對象開始存取每個Excel電子數(shù)據(jù)表格上的所有數(shù)據(jù)。
圖6詳細(xì)說明用于數(shù)據(jù)管理器316的存儲與檢索結(jié)構(gòu)。主對象2102對每種電子數(shù)據(jù)表格的數(shù)據(jù)存儲一個D儲存器，例如引腳排列圖。一個D儲存器通過用戶指定以電子數(shù)據(jù)表格的名稱出現(xiàn)的或以電子數(shù)據(jù)表格內(nèi)的項出現(xiàn)的名稱，來提供存取數(shù)據(jù)的功能。圖6示出了用于引腳排列圖的D儲存器2104，以及分別用于通道圖數(shù)據(jù)、時間參數(shù)表數(shù)據(jù)以及邊參數(shù)集數(shù)據(jù)的D儲存器2106、2108、2110。附加的D儲存器代表各種電子數(shù)據(jù)表格。用于引腳排列圖的D儲存器2104含有通常裝載在數(shù)據(jù)管理器316中的每一個引腳排列圖電子數(shù)據(jù)表格的名稱，以及能搜尋每個引腳排列圖數(shù)據(jù)的起始地址。其它D儲存器同樣含有與通道參數(shù)、時間參數(shù)集、邊參數(shù)集等等的電子數(shù)據(jù)表格相對應(yīng)的數(shù)據(jù)的名稱和存取信息。
其它D儲存器從D儲存器的頂層開始嵌套來控制用于較低層信息嵌套層的信息。例如，D儲存器2112和2114代表嵌套在一個如圖4所示的引腳排列圖內(nèi)的引腳和引腳組的數(shù)據(jù)。由于流程控制程序314、驅(qū)動程序328以及界面2100僅從主對象2102存取各自的數(shù)據(jù)，所以每一個頂層的D儲存器需要向搜索結(jié)果的主對象提供一個標(biāo)識。這些搜尋結(jié)果以一種數(shù)據(jù)上下文的形式出現(xiàn)，這種數(shù)據(jù)上下文代表對每種類型的電子數(shù)據(jù)表格當(dāng)前可存取的數(shù)據(jù)。D儲存器提供這種上下文信息的方法如下文所描述。
D儲存器的另一個同樣重要的功能是，利用保存有順序信息的名稱來提供迅速搜索。(在引腳排列圖電子數(shù)據(jù)表格中的數(shù)據(jù)不僅包含了引腳的名稱而且包含了引腳出現(xiàn)的順序。)為了理解D儲存器如何完成此過程，圖4是最有用的。圖4是一個引腳排列圖電子數(shù)據(jù)表格嵌套數(shù)據(jù)的圖形說明?，F(xiàn)存在兩種方法在數(shù)據(jù)管理器316的存儲器中從該嵌套樹上分配引腳名稱或引腳組名稱，使得它們可以在較后時刻被搜索。第一種方法是一種STL標(biāo)準(zhǔn)C++類庫中的二叉樹，該類庫允許數(shù)據(jù)存儲在二叉樹數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。圖7示出圖4中二叉樹方式分配的引腳排列圖數(shù)據(jù)的第一層。每一個引腳或引腳組在樹上具有一個由二叉樹分配規(guī)則確定的特定位置。該二叉樹具有一種利用名稱來對快速存取的數(shù)據(jù)進(jìn)行搜索的方法。問題是與名稱順序有關(guān)的數(shù)據(jù)在二叉樹上丟失了，因為二叉樹按字母順序存儲數(shù)據(jù)。以PG11的名稱為例，它可以位于二叉樹上，但它相對于其它引腳或引腳組名稱的次序卻丟失了。
在數(shù)據(jù)管理器上分配引腳排列圖數(shù)據(jù)的另一種方法是一種第二STL類，即以向量儲存順序信息。每一個引腳或引腳組的數(shù)據(jù)都儲存在向量順序表中，并給出對應(yīng)于向量位置的相應(yīng)索引。由于按名稱搜索必須從向量的起始位置順序地開始，所以向量法不適于按名稱搜索。由于一個向量具有1024個引腳數(shù)據(jù)(目前的最大數(shù))，所以需要搜索1024個名稱。這種速度慢得難以接受。然而，如果一個引腳的數(shù)據(jù)可以按索引存取，那么，就能實現(xiàn)對數(shù)據(jù)的隨機存取而非順序存取。它可以不依賴于向量中索引的編號以極高的速率存取。
這些商業(yè)應(yīng)用的STL存儲器和搜索類，哪一個單獨使用都不能滿足按名稱的搜索。一個丟失順序信息，另一個則速度太慢。本發(fā)明試圖利用兩種STL類，并用某種方法組合它們以實現(xiàn)保持所有順序數(shù)據(jù)的按名稱快速搜索，這兩種類的組合以及數(shù)據(jù)管理器316中數(shù)據(jù)的相應(yīng)分配決定D儲存器的結(jié)構(gòu)與運行。
圖8是引腳排列圖D儲存器的一個示例，它允許數(shù)據(jù)管理器存儲并搜索引腳排列圖1(PM1)(示于圖4和圖7)的第一嵌套層信息。STL二叉樹在圖8所示二叉樹內(nèi)安排引腳和引腳組。STL向量類用于為每一個引腳和引腳組建立順序排列向量，該順序排列向量具有唯一的與每一個引腳位置和引腳組位置對應(yīng)的索引號。在二叉樹的入口處的每一個引腳和引腳組都同時含有名稱和向量中的數(shù)字位置。這樣，在二叉樹中的每一個引腳和引腳組都映射到向量中。(從技術(shù)上說，用于將名稱轉(zhuǎn)換為數(shù)字的術(shù)語“映射”被引入到二叉樹，STL庫的開發(fā)者也使用該術(shù)語。)為在D儲存器中搜索一個引腳名稱，STL二叉樹利用快速對分查找法搜尋名稱。所查找到的引腳名稱在按數(shù)字順序所列的表中具有一個相應(yīng)STL向量類的數(shù)字位置號。則此數(shù)字位置號在下一步中被用于存取STL向量類中的引腳數(shù)據(jù)。在其它情況中，當(dāng)引腳和引腳組的順序比名稱更重要時，向量中的數(shù)據(jù)可直接存取。
圖8中所示的D儲存器只搜索圖4所示引腳排列圖頂層的數(shù)據(jù)。為了將數(shù)據(jù)儲存于一個較低的嵌套層，其它D儲存器被鏈接到位于嵌套排列頂層的D儲存器。圖9示出了一個D儲存器的嵌套實例，用于圖4所示的多層嵌套。三層D儲存器PM1、PG1、PG11都是嵌套的。每個D儲存器的向量中類似的引腳號均被映射回嵌套頂層的引腳號。例如，引腳P1置于每一個D儲存器的向量中。所有這些引腳排列圖映射回D儲存器的嵌套頂層。這完全可以通過使各嵌套層的P1具有嵌套頂層P1的地址，從而用軟件來實現(xiàn)。因此，如果搜索P1，一旦在嵌套頂層找到P1，則在其它各層同樣能找到P1，所以不必再進(jìn)一步搜索。
當(dāng)某一向量中的一個項被定位后，D儲存器就存儲其向量索引。存儲此數(shù)字是前述上下文原理的基礎(chǔ)。此上下文信息的重要性在于，避免了從其它軟件組件引入數(shù)據(jù)的復(fù)雜性。對于通過數(shù)據(jù)管理器存取數(shù)據(jù)的這些組件來說，上下文信息允許它們對每一個電子數(shù)據(jù)表格設(shè)置一個實例，如一個引腳排列圖、一個通道圖等等。這大大簡化了這些軟件的執(zhí)行過程。進(jìn)一步說，由于它們不需要復(fù)雜搜索，所以這種設(shè)計顯著提高了這些組件的效率。在每一個測試模板啟動之前，由單個D儲存器輔助搜索設(shè)置上下文。
某些情況下，一個名稱在一個嵌套層中可能出現(xiàn)幾次。例如，圖10所示為一個電子數(shù)據(jù)表格，其引腳名稱可能在數(shù)據(jù)的一個嵌套層中使用幾次。在該例中，同一個引腳可以分配到幾個邊參數(shù)集中。為適應(yīng)這種情況，調(diào)整該D儲存器以使一個名稱對應(yīng)同類數(shù)據(jù)的多個變型，在本例中，即一個引腳指向幾個邊參數(shù)集。這種類型的D儲存器稱為D多儲存器，如圖11所示。它含有一個具有名稱(P1、P2、P3)的二叉樹，和一個含有同前的邊參數(shù)集數(shù)據(jù)的數(shù)字順序表的主向量。區(qū)別在于該二叉樹包含有許多中間向量將各個名稱映射到一組向量索引，而不是象D儲存器那樣將各個名稱映射到一個單獨的向量索引。在圖11所示的例中，P1在主向量內(nèi)映射到邊參數(shù)集的數(shù)字位置是2，2，1。因此，P1的中間向量包含位置號2，2，1。P2和P3同樣具有儲存主向量索引的中間向量。這些D多儲存器可能和D儲存器有同樣的嵌套方式?，F(xiàn)在搜索邊參數(shù)集需要兩條信息一個名稱和一個版本號(version number)，該版本號是一個中間向量的索引。這樣，標(biāo)準(zhǔn)P1的上下文信息是指其在中間向量中的位置，而不是在主向量中的位置。
參看圖2，由流程控件314和數(shù)據(jù)管理器316控制的電子數(shù)據(jù)表格通過測試儀器驅(qū)動程序328傳送給處于任意工藝狀態(tài)的測試器2002，半導(dǎo)體測試器完成并行測試和/或掃描測試。轉(zhuǎn)讓給同一受讓人Teradyne的5,606,568號美國專利提出了一種測試器實例，在此引用以供參考。
盡管已示出并描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還能設(shè)計出大量的變型和替換方案。因此，本發(fā)明僅受所附的權(quán)利要求的限制。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括存儲器，被命名器件的參量數(shù)據(jù)的嵌套層，在存儲器內(nèi)存儲所述命名數(shù)據(jù)并在其中搜索所述命名數(shù)據(jù)的管理器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)管理器具有一個或多個儲存器，每一個儲存器具有一個模式，該模式用于按樹的方式存儲所述命名數(shù)據(jù)的一個嵌套層，也可以以順序排列向量的方式存儲所述命名數(shù)據(jù)的一個嵌套層，利用在所述順序排列向量中確定所述命名數(shù)據(jù)位置的映射標(biāo)識，將所述樹上的數(shù)據(jù)映射到所述順序排列向量中，每個所述儲存器具有一個用于所述命名數(shù)據(jù)的搜索模式，它對所述樹搜索所述命名數(shù)據(jù)，并且使用與所述命名數(shù)據(jù)對應(yīng)的所述映射標(biāo)識在所述順序排列向量中搜尋所述命名數(shù)據(jù)，所述搜索由此找出命名數(shù)據(jù)及其在所述嵌套層中的順序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述儲存器在所述順序排列向量中儲存一個所述命名數(shù)據(jù)的位置標(biāo)識。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述的樹是一個二叉樹。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述儲存器的嵌套層數(shù)等同于所述命名數(shù)據(jù)的所述嵌套層數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述順序排列是數(shù)字順序排列，且所述映射標(biāo)識指所述命名數(shù)據(jù)在所述數(shù)字順序排列中的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于有一個商業(yè)購買程序，該程序根據(jù)一組判定邏輯規(guī)則在所述數(shù)據(jù)樹中儲存并搜索所述命名數(shù)據(jù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于有一個商業(yè)購買的程序，該程序在所述順序排列中存儲并搜索命名數(shù)據(jù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括電子數(shù)據(jù)表格工作簿，其具一個或多個含有所述命名器件參量數(shù)據(jù)的電子數(shù)據(jù)表格。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括一個與所述電子數(shù)據(jù)表格工作簿及所述數(shù)據(jù)管理器配合的流程控件，用于控制信息從電子數(shù)據(jù)表格到所述數(shù)據(jù)管理器的流程。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括一個或多個與所述數(shù)據(jù)管理器配合的測試模板，所述流程控件控制信息從所述測試模板傳送到所述數(shù)據(jù)管理器的流程。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括與所述數(shù)據(jù)管理器配合的測試儀器驅(qū)動程序，所述數(shù)據(jù)管理器將信息從所述電子數(shù)據(jù)表格傳送至所述測試儀器驅(qū)動程序。
12.半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括存儲器，被命名器件的參數(shù)的嵌套層，其中某些名稱在同一嵌套層出現(xiàn)多次，用于在存儲器中存儲所述命名數(shù)據(jù)并且在其中搜索所述命名數(shù)據(jù)的管理器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)管理器具有一個或多個多儲存器，每一個多儲存器具有一種以樹的形式并以順序排列向量的形式儲存所述命名數(shù)據(jù)的一個嵌套層的模式，所述命名數(shù)據(jù)的每個名稱僅在所述樹上出現(xiàn)一次，每個所述名稱包括位于所述順序排列向量中的一個名稱的全部重復(fù)，所述命名數(shù)據(jù)的每一個所述名稱映射到一個中間向量，該中間向量利用在所述順序排列向量中用來定義所述命名數(shù)據(jù)順序的映射標(biāo)識，將同一名稱的每次重復(fù)映射到所述順序排列向量中，每個所述多儲存器具有用于所述命名數(shù)據(jù)的搜索模式，它在所述樹中搜索所述命名數(shù)據(jù)，并且利用與所述命名數(shù)據(jù)相關(guān)的所述映射標(biāo)識在所述中間向量和所述順序排列向量中搜尋所述命名數(shù)據(jù)，所述搜索由此找出命名數(shù)據(jù)及其在所述嵌套層中對于所有重復(fù)的順序。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述儲存器在所述順序排列向量中儲存所述命名數(shù)據(jù)位置的一個標(biāo)識。
14.根據(jù)權(quán)利要求2和權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其既有儲存器也有多儲存器。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述樹是一個二叉樹。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述這些儲存器和所述命名數(shù)據(jù)具有相同的嵌套層。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于所述順序排列是數(shù)字順序排列，所述映射標(biāo)識是所述命名數(shù)據(jù)在所述數(shù)字順序排列中的位置。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其中有一個商業(yè)購買的程序，該程序根據(jù)一系列判定邏輯規(guī)則在所述樹上存儲并搜索所述命名數(shù)據(jù)。
19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，其特征在于一個商用程序在所述順序排列中儲存并搜索所述命名數(shù)據(jù)。
20.半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括存儲器，命名器件參量數(shù)據(jù)，在存儲器中儲存所述命名數(shù)據(jù)、并在其中搜索所述命名數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)管理器，所述數(shù)據(jù)管理器具有按樹的形式并且按順序排列向量的形式儲存所述命名數(shù)據(jù)的模式的儲存器，并且使用所述順序排列向量中用來定義所述命名數(shù)據(jù)位置的映射標(biāo)識，將所述樹中的所述數(shù)據(jù)映射到所述順序排列向量，所述儲存器具有用于所述命名數(shù)據(jù)的搜索模式，在所述樹中搜索所述命名數(shù)據(jù)，并且使用與所述命名數(shù)據(jù)對應(yīng)的所述映射標(biāo)識在所述順序排列向量中搜尋所述命名數(shù)據(jù)，所述儲存器在所述順序排列向量中儲存所述命名數(shù)據(jù)位置標(biāo)識，所述搜索由此找出命名數(shù)據(jù)及其順序。
21.半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括存儲器，被命名器件的參量數(shù)據(jù)，其某些名稱多次在同一嵌套層出現(xiàn)，在存儲器中儲存所述命名數(shù)據(jù)并在其中搜索所述命名數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)管理器，其特征在于，所述數(shù)據(jù)管理器具有一個或多個多儲存器，所述多儲存器具有以二叉樹的形式和以順序排列向量的形式存儲所述命名數(shù)據(jù)模式，所述命名數(shù)據(jù)的每個所述名稱在所述樹中僅出現(xiàn)一次，每個所述名稱包括位于所述順序排列向量中的一個名稱的全部重復(fù)，所述命名數(shù)據(jù)的每個重復(fù)名稱映射到一個中間向量中，該中間向量利用在所述順序排列向量中用來定義所述命名數(shù)據(jù)順序的映射標(biāo)識，將同名稱的每次重復(fù)映射到一個所述順序排列向量中，所述多儲存器具有一個用于所述命名數(shù)據(jù)的搜索模式，它在所述樹中搜索所述命名數(shù)據(jù)，并且使用與所述命名數(shù)據(jù)對應(yīng)的所述映射標(biāo)識，在所述中間向量和所述順序排列向量中搜尋所述命名數(shù)據(jù)，所述儲存器在所述順序排列向量中儲存所述命名數(shù)據(jù)位置標(biāo)識，所述搜索由此找出命名數(shù)據(jù)及其對應(yīng)于所有重復(fù)的順序。
22.半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，包括存儲器，被命名器件的參量數(shù)據(jù)的嵌套層，電子數(shù)據(jù)表格工作簿，具有一個或多個含有所述命名器件參數(shù)的電子數(shù)據(jù)表格，數(shù)據(jù)管理器，在存儲器中儲存所述命名數(shù)據(jù)，并在其中搜索所述命名數(shù)據(jù)，流程控件，與所述電子數(shù)據(jù)表格工作簿和所述數(shù)據(jù)管理器配合，以控制信息由電子數(shù)據(jù)表格到所述數(shù)據(jù)管理器的流程，一個或多個與所述數(shù)據(jù)管理器配合的測量模板，所述流程控件控制信息由所述參數(shù)模板到所述數(shù)據(jù)管理器的流程，所述數(shù)據(jù)管理器具有一個或多個儲存器，每一個儲存器具有以二叉樹的形式(或以順序排列向量的形式)存儲所述命名數(shù)據(jù)的嵌套層的模式，利用在所述順序排列向量中確定所述命名數(shù)據(jù)位置的數(shù)字標(biāo)識，將所述樹上的所述數(shù)據(jù)映射到所述順序排列向量中，所述這些儲存器的嵌套層數(shù)和所述命名數(shù)據(jù)的嵌套層數(shù)相同，每個所述儲存器具有用于所述命名數(shù)據(jù)的搜索模式，它在所述樹中搜索所述命名數(shù)據(jù)，并且使用與所述命名數(shù)據(jù)對應(yīng)的所述映射標(biāo)識在所述順序排列向量中搜尋所述命名數(shù)據(jù)，所述儲存器儲存所述數(shù)字標(biāo)識，所述搜索由此找出該命名數(shù)據(jù)及其在所述嵌套層中的順序。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的自動測試設(shè)備以及對用于測試過程的命名器件參量數(shù)據(jù)的存儲與搜索。電子數(shù)據(jù)表格工作簿中具有一個或多個含有命名器件測量數(shù)據(jù)的多個嵌套層的電子數(shù)據(jù)表格。數(shù)據(jù)管理器在存儲器中存儲該命名數(shù)據(jù)并在需要時搜尋所儲存的命名數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)管理器具有一個或多個儲存器,每一個儲存器具有一種以二叉樹的形式或以順序排列向量的形式存儲命名數(shù)據(jù)多個嵌套層的模式。利用在所述順序排列向量中確定命名數(shù)據(jù)位置的數(shù)字標(biāo)識,將所述樹上的所述數(shù)據(jù)映射到所述順序排列向量中。所述這些儲存器的嵌套層數(shù)和所述命名數(shù)據(jù)的嵌套層數(shù)相同。每一個儲存器具有一種對樹搜索命名數(shù)據(jù)搜索模式,并利用有關(guān)命名數(shù)據(jù)的映射標(biāo)識在順序排列向量中搜尋命名數(shù)據(jù)。然后,該儲存器存儲該數(shù)字標(biāo)識。此搜索搜尋命名數(shù)據(jù)及其在嵌套層中的順序。
文檔編號G06F17/30GK1270673SQ98809200
公開日2000年10月18日 申請日期1998年9月15日 優(yōu)先權(quán)日1997年9月16日
發(fā)明者艾倫L·布利茨 申請人:泰拉丁公司