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一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法、系統(tǒng)、設(shè)備以及介質(zhì)與流程

文檔序號(hào):40404418發(fā)布日期:2024-12-20 12:28閱讀:6來源:國(guó)知局
一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法、系統(tǒng)、設(shè)備以及介質(zhì)與流程

本發(fā)明涉及圖像處理,尤其涉及一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法、系統(tǒng)、設(shè)備以及介質(zhì)。


背景技術(shù):

1、在芯片制造領(lǐng)域,隨著設(shè)計(jì)的復(fù)雜性和工藝的多樣化,每個(gè)生產(chǎn)批次的芯片產(chǎn)出量受到限制,進(jìn)而造成可用于模型訓(xùn)練的樣本數(shù)據(jù)量顯著不足。直接使用這些有限的數(shù)據(jù)進(jìn)行模型訓(xùn)練,往往會(huì)導(dǎo)致模型的泛化能力受限,容易出現(xiàn)過擬合的問題。盡管小樣本學(xué)習(xí)方法能在一定程度上緩解此問題,但其效果仍然無法與基于大量數(shù)據(jù)的訓(xùn)練相媲美。這種情況下,客戶的芯片可能因模型誤判而遭受大量損失。

2、此外,芯片制造過程中的每道工序都可能引入較大的波動(dòng),這些波動(dòng)會(huì)直接影響到最終芯片的質(zhì)量。例如,外部材料的不同可能導(dǎo)致芯片發(fā)光顏色的差異,或工藝上的小批量失誤可能產(chǎn)生不良品。這些質(zhì)量波動(dòng)會(huì)要求在模型訓(xùn)練中提前考慮并加入相應(yīng)的缺陷樣本。

3、同時(shí),不同型號(hào)的芯片具有各異的特性和缺陷模式,這要求針對(duì)每種型號(hào)的芯片訓(xùn)練特定的檢測(cè)模型。然而,由于每種型號(hào)芯片的樣本數(shù)量有限,直接訓(xùn)練專用模型變得不切實(shí)際,此時(shí)數(shù)據(jù)增強(qiáng)技術(shù)的重要性凸顯出來。

4、另外,檢測(cè)設(shè)備的多樣性和成像過程中的諸多因素(如光線條件、拍攝角度等)會(huì)導(dǎo)致圖像質(zhì)量的差異。這種差異使得模型在訓(xùn)練時(shí)難以覆蓋所有可能的情況,從而導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果的不一致性,增加漏檢和誤判的風(fēng)險(xiǎn),最終影響整體的產(chǎn)品良品率。

5、再者,熱沉的粗糙度不一致以及表面缺陷的識(shí)別難度,給模型訓(xùn)練帶來了極大的挑戰(zhàn),這也是導(dǎo)致模型效果不佳的重要因素。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)要解決的技術(shù)問題

2、鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)、不足,本發(fā)明提供一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法、系統(tǒng)、設(shè)備以及介質(zhì),其解決了激光芯片熱沉的粗糙程度不一致,表面缺陷難以分清,工藝過程中的復(fù)雜程度,芯片類型、缺陷種類較多帶來的識(shí)別難度的技術(shù)問題。

3、(二)技術(shù)方案

4、為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明采用的主要技術(shù)方案包括:

5、第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法,包括:

6、從待處理的熱沉圖像中識(shí)別并提取缺陷子圖;

7、重構(gòu)缺陷子圖的像素值以均衡灰度級(jí)分布,并引入頂帽變換和濾波器來優(yōu)化調(diào)整缺陷子圖,輸出優(yōu)化處理后的缺陷子圖;

8、對(duì)優(yōu)化處理后的缺陷子圖進(jìn)行至少一種圖像增強(qiáng)處理;

9、響應(yīng)于用戶的融合指令,將增強(qiáng)后的缺陷子圖與選定的背景圖像進(jìn)行融合,以實(shí)現(xiàn)單個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域或者多個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的單個(gè)區(qū)域。

10、可選地,從待處理的熱沉圖像中識(shí)別并提取缺陷子圖包括:

11、對(duì)待處理的熱沉圖像進(jìn)行包含去噪和平滑濾波的預(yù)處理;

12、通過canny算法,計(jì)算預(yù)處理之后的待處理的熱沉圖像中每個(gè)像素點(diǎn)的梯度強(qiáng)度和方向,以確定邊緣的候選點(diǎn);

13、根據(jù)設(shè)定的高低閾值,確定包含強(qiáng)邊緣和弱邊緣的邊緣和非邊緣;其中,非邊緣是指梯度強(qiáng)度低于低閾值的邊緣像素點(diǎn),強(qiáng)邊緣是指梯度強(qiáng)度高于高閾值的邊緣像素點(diǎn),弱邊緣是指梯度強(qiáng)度位于低閾值和高閾值之間且八鄰域像素的邊緣像素點(diǎn)和非邊緣像素占比大于設(shè)定占比的邊緣像素點(diǎn);

14、從強(qiáng)邊緣開始,進(jìn)行邊緣跟蹤,并將與強(qiáng)邊緣相連的弱邊緣納入邊緣輪廓中,從而形成最終的邊緣點(diǎn)集合;

15、基于最終的邊緣點(diǎn)集合,結(jié)合獲取的熱沉圖像的先驗(yàn)知識(shí),確定包含潛在缺陷的roi區(qū)域,以生成缺陷子圖。

16、可選地,重構(gòu)缺陷子圖的像素值以均衡灰度級(jí)分布包括:

17、計(jì)算缺陷子圖的灰度直方圖,通過遍歷缺陷子圖的每個(gè)像素并記錄對(duì)應(yīng)的灰度值,得到各個(gè)灰度級(jí)的像素?cái)?shù)量;

18、分析灰度直方圖的分布特征,識(shí)別出灰度峰值區(qū)域和谷值區(qū)域;

19、根據(jù)灰度峰值區(qū)域和谷值區(qū)域和各個(gè)灰度級(jí)的像素?cái)?shù)量,并引入一個(gè)調(diào)整項(xiàng),確定映射函數(shù);

20、采用所確定的映射函數(shù)對(duì)缺陷子圖進(jìn)行逐像素分配處理,將每個(gè)像素的灰度值映射到新的灰度值上,以重構(gòu)缺陷子圖;

21、其中,映射函數(shù)為:

22、

23、式中,sk是輸出圖像的灰度級(jí),t是映射函數(shù),rk是輸入圖像的灰度級(jí),k為灰度級(jí)索引,nk為是灰度級(jí)為k的像素?cái)?shù)量,nj為是灰度級(jí)為j的像素?cái)?shù)量,ni為是灰度級(jí)為i的像素?cái)?shù)量,n是圖像中的總像素?cái)?shù)量,l是灰度級(jí)的數(shù)量。

24、可選地,并引入頂帽變換和濾波器來優(yōu)化調(diào)整缺陷子圖,輸出優(yōu)化處理后的缺陷子圖包括:

25、將重構(gòu)后的缺陷子圖劃分為若干個(gè)局部區(qū)域,對(duì)于每個(gè)局部區(qū)域,計(jì)算包含平均值、中位數(shù)以及標(biāo)準(zhǔn)差的灰度特征值;

26、利用計(jì)算得到的灰度特征值,動(dòng)態(tài)確定每個(gè)局部區(qū)域?qū)?yīng)的結(jié)構(gòu)元素的尺寸;

27、根據(jù)每個(gè)局部區(qū)域?qū)?yīng)的結(jié)構(gòu)元素對(duì)對(duì)應(yīng)的局部區(qū)域進(jìn)行開運(yùn)算,從而得到背景估計(jì)圖;

28、將缺陷子圖與經(jīng)過開操作得到的背景估計(jì)圖進(jìn)行逐像素相減,得到初步處理的缺陷子圖;

29、采用gabor濾波器對(duì)初步處理的缺陷子圖進(jìn)行濾波處理以響應(yīng)圖像中的邊緣信息,輸出優(yōu)化處理后的缺陷子圖;

30、其中,gabor濾波器為:

31、

32、式中,x'=xcosθ+ysinθ,y'=-xsinθ+ycosθ,λ為濾波器的波長(zhǎng)、θ為濾波器紋理的方向、ψ為濾波器的相位偏移、γ為濾波器的空間寬高比,σ為濾波器的變異率,i為虛數(shù)單位,x和y分別代表圖像中的水平和垂直位置。

33、可選地,對(duì)優(yōu)化處理后的缺陷子圖進(jìn)行至少一種圖像增強(qiáng)處理包括:

34、計(jì)算優(yōu)化處理后的缺陷子圖的均值;

35、根據(jù)均值設(shè)置相應(yīng)的gamma值,其中,當(dāng)均值大于某一預(yù)設(shè)閾值時(shí),設(shè)置gamma值在1.0以上,當(dāng)缺陷子圖的均值小于另一預(yù)設(shè)閾值時(shí),設(shè)置gamma值在0至1.0之間;

36、采用所設(shè)置的gamma值對(duì)缺陷子圖進(jìn)行g(shù)amma矯正,得到gamma矯正后的缺陷子圖;

37、對(duì)gamma矯正后的缺陷子圖進(jìn)行對(duì)數(shù)變換,將圖像的乘性關(guān)系轉(zhuǎn)換為加性關(guān)系,以分離亮度和反射率;

38、對(duì)對(duì)數(shù)變換后的缺陷子圖進(jìn)行快速傅里葉變換,并對(duì)高頻成分進(jìn)行增強(qiáng);

39、對(duì)增強(qiáng)后的圖像進(jìn)行逆傅里葉變換,并進(jìn)行指數(shù)變換,得到同態(tài)濾波處理后的缺陷子圖;

40、選擇旋轉(zhuǎn)變換、縮放變換或翻轉(zhuǎn)變換中的一種或多種對(duì)同態(tài)濾波處理后的缺陷子圖進(jìn)行空間位置、形狀或方向的調(diào)整,得到圖像增強(qiáng)處理后的缺陷子圖。

41、可選地,響應(yīng)于用戶的融合指令,將增強(qiáng)后的缺陷子圖與選定的背景圖像進(jìn)行融合,以實(shí)現(xiàn)單個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域或者多個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的單個(gè)區(qū)域包括:

42、接收并解析用戶輸入的融合指令,確定待融合的缺陷子圖、選定的背景圖像、融合的區(qū)域以及融合的方式;

43、根據(jù)融合指令,從缺陷子圖中提取選定區(qū)域內(nèi)的包含缺陷的形狀、大小、顏色以及紋理的缺陷信息;

44、若融合的方式為單個(gè)缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域,則將選定的缺陷子圖分割或復(fù)制,以確保每個(gè)待融合區(qū)域都有對(duì)應(yīng)的缺陷信息;

45、若融合的方式為多個(gè)缺陷子圖融合到單個(gè)區(qū)域,則對(duì)每個(gè)子圖進(jìn)行至少尺寸和位置的調(diào)整,以確保能夠無縫拼接在選定的背景圖像內(nèi);

46、根據(jù)融合指令或預(yù)設(shè)規(guī)則,在選定的背景圖像上標(biāo)定出一個(gè)或多個(gè)區(qū)域作為待融合區(qū)域;

47、施加融合操作,若融合的方式為單個(gè)缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域,則將所選缺陷子圖的不同部分分別映射到背景圖像的對(duì)應(yīng)區(qū)域;若多個(gè)缺陷子圖融合到背景圖像的單個(gè)區(qū)域,則采用預(yù)設(shè)的疊加或組合策略,將多個(gè)缺陷子圖在選定的背景圖像區(qū)域內(nèi)進(jìn)行合并;

48、若檢測(cè)到重復(fù)融合的情況,即待融合的缺陷特征圖與已融合的缺陷特征圖相似或相同,則自動(dòng)提示用戶,并根據(jù)用戶的反饋進(jìn)行調(diào)整或替換;

49、將融合后的圖像輸出到指定的顯示設(shè)備或存儲(chǔ)介質(zhì)中。

50、可選地,采用預(yù)設(shè)的疊加或組合策略,將多個(gè)缺陷子圖在選定的背景圖像區(qū)域內(nèi)進(jìn)行合并包括:

51、將缺陷子圖的色彩空間映射到背景圖像的色彩空間;

52、通過圖像配準(zhǔn),將多個(gè)缺陷子圖與背景圖像在空間和尺度上的對(duì)齊;

53、為每個(gè)對(duì)齊后的缺陷子圖創(chuàng)建一個(gè)獨(dú)立的可編輯屬性的圖層;

54、分析各缺陷子圖之間的包含位置關(guān)系、形狀相似性、顏色以及對(duì)比度的關(guān)聯(lián)指標(biāo),基于預(yù)設(shè)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)和關(guān)聯(lián)指標(biāo),輸出圖層的疊加順序;

55、按照?qǐng)D層的疊加順序?qū)⒍鄠€(gè)缺陷子圖以不同的圖層形式疊加到同一背景圖像區(qū)域;

56、給用戶展示實(shí)時(shí)預(yù)覽融合結(jié)果,根據(jù)用戶的反饋或預(yù)設(shè)條件實(shí)時(shí)調(diào)整各圖層的疊加順序和透明度。

57、第二方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理系統(tǒng),包括:

58、識(shí)別與提取模塊,用于從待處理的熱沉圖像中識(shí)別并提取缺陷子圖;

59、優(yōu)化處理模塊,用于重構(gòu)缺陷子圖的像素值以均衡灰度級(jí)分布,并引入頂帽變換和濾波器來優(yōu)化調(diào)整缺陷子圖,輸出優(yōu)化處理后的缺陷子圖;

60、圖像增強(qiáng)模塊,用于對(duì)優(yōu)化處理后的缺陷子圖進(jìn)行至少一種圖像增強(qiáng)處理;

61、圖像融合模塊,用于響應(yīng)于用戶的融合指令,將增強(qiáng)后的缺陷子圖與選定的背景圖像進(jìn)行融合,以實(shí)現(xiàn)單個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域或者多個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的單個(gè)區(qū)域。

62、第三方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理設(shè)備,包括:至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫;以及與至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫通信連接的存儲(chǔ)器;其中,存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有可被至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫執(zhí)行的指令,指令被至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫執(zhí)行,以使至少一個(gè)數(shù)據(jù)庫能夠執(zhí)行如上所述的激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法。

63、第四方面,本發(fā)明實(shí)施例提供一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令,可執(zhí)行指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上所述的激光芯片熱沉圖像優(yōu)化處理方法。

64、(三)有益效果

65、本發(fā)明的有益效果是:

66、首先,本發(fā)明通過精準(zhǔn)識(shí)別并提取待處理熱沉圖像中的缺陷子圖,為后續(xù)的圖像分析和缺陷定位提供了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。這一步驟的有效性得益于算法對(duì)邊緣特征的完善捕捉和對(duì)閉合輪廓的準(zhǔn)確檢測(cè),從而確保了提取出的缺陷子圖具有高度的代表性和真實(shí)性。

67、進(jìn)一步地,本發(fā)明采用重構(gòu)缺陷子圖像素值的方式,均衡了灰度級(jí)分布。這一處理不僅增強(qiáng)了圖像的整體對(duì)比度,還顯著提升了細(xì)節(jié)表達(dá)能力。特別是對(duì)于那些原本在圖像中較為暗淡或被遮蔽的區(qū)域,通過這一處理,其特征得到了有效突出,為后續(xù)的分析和判斷提供了更為豐富的信息。

68、值得一提的是,本發(fā)明還創(chuàng)新性地引入了頂帽變換和濾波器,對(duì)缺陷子圖的亮暗區(qū)域分布、對(duì)比度以及明亮度進(jìn)行了精細(xì)化調(diào)整。這種優(yōu)化處理不僅進(jìn)一步改善了圖像的視覺效果,還使得缺陷特征更加清晰可辨。這對(duì)于后續(xù)的質(zhì)量評(píng)估、缺陷分類以及工藝改進(jìn)等環(huán)節(jié)具有重要意義。

69、此外,本發(fā)明還提供了圖像增強(qiáng)處理選項(xiàng),對(duì)已經(jīng)優(yōu)化處理后的缺陷子圖進(jìn)行進(jìn)一步的強(qiáng)化。這種增強(qiáng)處理可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行靈活選擇,從而確保輸出的圖像能夠滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景下的具體要求。

70、最后,響應(yīng)于用戶的融合指令,本發(fā)明能夠?qū)⒃鰪?qiáng)后的缺陷子圖與選定的背景圖像進(jìn)行高效融合。這種融合方式既支持單個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的多個(gè)區(qū)域,也支持多個(gè)增強(qiáng)后的缺陷子圖融合到背景圖像的單個(gè)區(qū)域。這種靈活性不僅提升了圖像處理的效率和便捷性,還為用戶提供了更為多樣化的展示和分析選項(xiàng)。

71、由此,本發(fā)明通過精準(zhǔn)識(shí)別、優(yōu)化調(diào)整、增強(qiáng)處理以及靈活融合等一系列創(chuàng)新步驟,顯著提升了激光芯片熱沉圖像的處理效果,為激光芯片行業(yè)的缺陷檢測(cè)、質(zhì)量控制以及工藝改進(jìn)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。

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