技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了超聲波傳感器及其制造方法。所述方法包括形成至少一個(gè)超聲波換能器，包括：形成壓電疊層，所述壓電疊層包括壓電層，以及分別位于所述壓電層的第一表面和第二表面上的第一電極和第二電極，所述第一表面與所述第二表面彼此相對(duì)；以及形成所述壓電疊層與所述CMOS電路之間的電連接，其中，所述壓電層由有機(jī)壓電聚合物組成。該方法采用有機(jī)壓電聚合物形成壓電層，從而可以降低制造成本以及提高傳感器的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：季鋒;聞?dòng)老?劉琛;鄒光祎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州士蘭微電子股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.14
技術(shù)公布日：2017.09.26