1.一種電容式傳感器,包括:
絕緣基板,包括第一表面和與所述第一表面相對設(shè)置的第二表面;
多個傳感單元,形成在所述絕緣基板的第二表面上,每一傳感單元包括:
感測電極,形成在所述絕緣基板的第二表面上;
第一絕緣層,形成在所述感測電極上,所述第一絕緣層上設(shè)置有貫穿至感測電極的通孔;和
傳感電路,形成在所述第一絕緣層上,并通過所述通孔與所述感測電極連接;和
鈍化層,形成在所述傳感電路上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一表面用于接收目標(biāo)物體的觸摸或接近輸入,所述感測電極以電容方式耦合到目標(biāo)物體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一表面較第二表面更接近目標(biāo)物體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述感測電極直接形成在所述絕緣基板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述感測電極部分或全部覆蓋所述傳感電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述傳感電路包括第一控制開關(guān),與所述感測電極連接,所述第一控制開關(guān)用于控制是否傳輸激勵信號給感測電極執(zhí)行感測操作。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容式傳感器,其特征在于:所述傳感電路進一步包括第二控制開關(guān),與所述感測電極連接,所述第二控制開關(guān)用于控制是否傳輸一第一參考信號給感測電極,對于同一傳感單元,所述第一控制開關(guān)與所述第二控制開關(guān)交替導(dǎo)通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一控制開關(guān)與所述第二控制開關(guān)為薄膜晶體管開關(guān)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項所述的電容式傳感器,其特征在于:所述絕緣基板為玻璃基板,所述傳感電路為通過薄膜晶體管工藝形成在所述玻璃基板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器為指紋傳感器。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進一步包括掃描驅(qū)動電路,形成在所述絕緣基板的第二表面上,并與各傳感單元中的第一控制開關(guān)與第二控制開關(guān)分別連接,用于驅(qū)動各傳感單元中的第一控制開關(guān)與第二控制開關(guān)分時導(dǎo)通;對于同一列傳感單元:當(dāng)一傳感單元的感測電極通過導(dǎo)通的第一控制開關(guān)接收到激勵信號時,對應(yīng)執(zhí)行感測操作,其余傳感單元中的感測電極通過導(dǎo)通的第二控制開關(guān)接收所述第一參考信號。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述多個傳感單元呈陣列式排布,當(dāng)所述掃描驅(qū)動電路驅(qū)動一行傳感單元中的第一控制開關(guān)導(dǎo)通、第二控制開關(guān)截止的同時,驅(qū)動其余行傳感單元中的第一控制開關(guān)截止、第二控制開關(guān)導(dǎo)通。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述掃描驅(qū)動電路按行驅(qū)動傳感單元執(zhí)行感測操作。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進一步包括數(shù)據(jù)選擇電路,形成在所述絕緣基板的第二表面上,所述數(shù)據(jù)選擇電路與所述各傳感單元連接,用于選擇是輸出所述激勵信號還是一第二參考信號給相應(yīng)的感測電極。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電容式傳感器,其特征在于:所述數(shù)據(jù)選擇電路包括多個數(shù)據(jù)選擇器,每一數(shù)據(jù)選擇器連接至少二列傳感單元,所述數(shù)據(jù)選擇器用于分時輸出激勵信號給相連接的各列傳感單元,且當(dāng)通過導(dǎo)通的第一控制開關(guān)輸出所述激勵信號給其中一列傳感單元時,通過導(dǎo)通的第一控制開關(guān)進一步輸出所述第二參考信號給其余幾列相連接的傳感單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電容式傳感器,其特征在于:所述數(shù)據(jù)選擇器在輸出激勵信號給感測電極執(zhí)行感測操作的同時,進一步對來自所述感測電極的感測信號進行輸出。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進一步包括多個掃描線群組和多個數(shù)據(jù)線群組,均形成在所述絕緣基板的第二表面一側(cè);其中,所述多個掃描線群組與所述掃描驅(qū)動電路連接,每一掃描線群組進一步連接一行傳感單元;所述多個數(shù)據(jù)線群組與所述數(shù)據(jù)選擇電路連接,每一數(shù)據(jù)線群組進一步連接一列傳感單元;每一掃描線群組包括第一掃描線和第二掃描線,所述第一掃描線連接一行傳感單元的第一控制開關(guān),所述第二掃描線用于連接同一行傳感單元的第二控制開關(guān);每一數(shù)據(jù)線群組包括第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線,所述第一數(shù)據(jù)線連接一列傳感單元的第一控制開關(guān),所述第二數(shù)據(jù)線連接同一列傳感單元的第二控制開關(guān)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電容式傳感器,其特征在于:所述多個掃描線群組的第一掃描線和第二掃描線沿行方向延伸,并沿列方向排列;所述多個數(shù)據(jù)線群組的第一數(shù)據(jù)線和第二數(shù)據(jù)線沿列方向延伸,并沿行方向排列。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電容式傳感器,其特征在于:當(dāng)所述掃描驅(qū)動電路驅(qū)動一行傳感單元中的第一控制開關(guān)導(dǎo)通、第二控制開關(guān)截止時,通過第一數(shù)據(jù)線和導(dǎo)通的第一控制開關(guān),所述多個數(shù)據(jù)選擇器每次同時輸出所述激勵信號給一感測電極,以及輸出所述第二參考信號給其余感測電極。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的電容式傳感器,其特征在于:所述電容式傳感器進一步包括第一參考信號線和第二參考信號線,均形成在所述絕緣基板的第二表面一側(cè),其中,所述第一參考信號線與各數(shù)據(jù)線群組中的第二數(shù)據(jù)線連接,所述第二參考信號線與所述多個數(shù)據(jù)選擇器連接,所述第一參考信號線與所述第二參考信號分別用于傳輸所述第一參考信號和所述第二參考信號;對于與同一數(shù)據(jù)選擇器相連接的至少二列傳感單元:當(dāng)所述數(shù)據(jù)選擇器傳輸所述激勵信號給其中一列傳感單元的感測電極時,傳輸?shù)诙⒖夹盘柧€上的所述第二參考信號給其它列傳感單元的感測電極;對于同一列傳感單元:當(dāng)其中一傳感單元的感測電極接收到所述激勵信號時,其余傳感單元的感測電極接收來自所述第一參考信號線上的所述第一參考信號。
21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一參考信號與所述第二參考信號相同。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的電容式傳感器,其特征在于:所述第一參考信號與所述激勵信號相同。
23.一種電容式傳感裝置,所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器和控制芯片,所述控制芯片與所述電容式傳感器之間進行信號傳輸,其中,所述電容式傳感器為權(quán)利要求1-22中任意一項所述的電容式傳感器,所述控制芯片綁定在所述絕緣基板的第二表面上,或者,所述控制芯片設(shè)置在一軟性電路板上,所述軟性電路板與所述絕緣基板的第二表面連接,并與所述多個傳感單元電連接。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的電容式傳感裝置,其特征在于:所述控制芯片包括參考電壓產(chǎn)生電路與感測驅(qū)動電路,所述參考信號產(chǎn)生電路用于提供第一參考信號或/和第二參考信號給所述感測電極,所述感測驅(qū)動電路用于提供激勵信號給所述感測電極,驅(qū)動感測電極執(zhí)行感測操作。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的電容式傳感裝置,其特征在于:當(dāng)所述控制芯片通過軟性電路板與所述電容式傳感器連接時,所述電容式傳感裝置進一步包括加強板,所述加強板通過粘結(jié)件貼附在所述鈍化層和所述軟性電路板上。
26.一種電子設(shè)備,包括權(quán)利要求23-25中任意一項所述的電容式傳感裝置。