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觸控顯示裝置的制作方法

文檔序號:11385991閱讀:184來源:國知局
觸控顯示裝置的制造方法
本發(fā)明涉及一種觸控顯示裝置。
背景技術(shù)
:目前,觸控顯示裝置通常包括顯示面板及用于實現(xiàn)觸控功能的觸控結(jié)構(gòu)。為了實現(xiàn)觸控顯示裝置更多的功能特征,通常是在上述顯示面板上通過粘接等方式附加一壓力感測器來感測觸控力度。然而,上述附加壓力感測器不僅導(dǎo)致觸控顯示裝置組裝結(jié)構(gòu)復(fù)雜,還難以降低整個觸控顯示裝置的厚度,難以符合現(xiàn)有顯示裝置日益輕薄化的發(fā)展趨勢。技術(shù)實現(xiàn)要素:鑒于以上內(nèi)容,有必要提供一種能夠感測觸控力度且利于輕薄化的觸控顯示裝置。一種觸控顯示裝置,包括:一襯底;一驅(qū)動結(jié)構(gòu),用于為發(fā)出顯示所需要的光提供驅(qū)動力,該驅(qū)動結(jié)構(gòu)形成于該襯底表面;一壓力傳感器,用于偵測觸控壓力,該壓力傳感器包括第一電極層、一彈性層和一第二電極層,該第一電極層位于該驅(qū)動結(jié)構(gòu)與該襯底之間或為該驅(qū)動結(jié)構(gòu)的一部分,該彈性層設(shè)于該襯底遠(yuǎn)離該第一電極層的表面,該第二電極層設(shè)于該彈性層遠(yuǎn)離該襯底的表面。相較于現(xiàn)有技術(shù),上述觸控顯示裝置內(nèi)整合有用于偵測觸控壓力的壓力感測器,而無需額外通過粘接等方式附加一壓力感測器,觸控顯示裝置有利于形成具有壓力感測功能的輕薄化的觸控顯示裝置。附圖說明圖1是本發(fā)明第一較佳實施例的觸控顯示裝置的剖面示意圖。圖2是圖1所示觸控顯示裝置中一個像素的電路示意圖。圖3是圖1所示觸控顯示裝置的第一電極層的平面結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明第二較佳實施例的觸控顯示裝置的剖面示意圖。圖5是本發(fā)明第三較佳實施例的觸控顯示裝置的剖面示意圖。主要元件符號說明觸控顯示裝置10,20,30蓋板101偏光片102覆蓋層103封裝層104犧牲層105襯底106發(fā)光單元110陽極111有機(jī)發(fā)光層112陰極113驅(qū)動結(jié)構(gòu)120柵極線122數(shù)據(jù)線123功率線124薄膜晶體管單元125第一薄膜晶體管125a第二薄膜晶體管125b通道層1252柵極g源極s漏極d緩沖層1251柵極絕緣層1253隔離層組1254平坦層1255存儲電容126壓力感測器130,230,330第一導(dǎo)電層131,231,331連接線1311彈性層132第二導(dǎo)電層133如下具體實施方式將結(jié)合上述附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明。具體實施方式請參閱圖1,圖1是本發(fā)明第一較佳實施例的觸控顯示裝置10的剖面示意圖??梢岳斫獾?,由于剖面角度受限,該剖面示意圖僅示出一像素的部分剖面結(jié)構(gòu)。該觸控顯示裝置10可為有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置(organiclightemittingdisplay,oled)或液晶顯示裝置(liquidcrystaldisplay,lcd)。本實施方式的觸控顯示裝置10為oled,且該oled整合了壓力感測功能于其中。該觸控顯示裝置10,包括依次層疊設(shè)置的一蓋板101、一偏光片102、一覆蓋層103、一封裝層104、多個發(fā)光單元110、一驅(qū)動結(jié)構(gòu)120、一第一導(dǎo)電層131、一犧牲層105、一襯底106、一彈性層132及一第二導(dǎo)電層133。在其他實施方式中,該第一導(dǎo)電層131的位置并不僅限于位于該犧牲層105與該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120之間,還可以設(shè)置于驅(qū)動結(jié)構(gòu)120內(nèi)。此外,用于保護(hù)該襯底106的該犧牲層105并非必需結(jié)構(gòu),可按實際需求選擇是否省去該結(jié)構(gòu)。該蓋板101蓋設(shè)于該偏光片102上,對整個該觸控顯示裝置10起保護(hù)作用,同時還可作為觸控操作界面。此外,還可在該蓋板101的內(nèi)側(cè)表面形成用于實現(xiàn)觸控功能(例如觸控位置信息)的觸控電極結(jié)構(gòu)(圖未示)。當(dāng)然,該觸控電極結(jié)構(gòu)也可形成于一設(shè)于該蓋板101下方的基板(圖未示)上,該觸控電極結(jié)構(gòu)例如可位于該蓋板101與該偏光片102之間,或該偏光片102與該覆蓋層103之間。該蓋板101可使用薄膜、塑料等透明材料制成。在本實施方式中,該觸控顯示裝置10可為柔性顯示面板,承載該發(fā)光單元110與該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120的襯底106為柔性基底。該襯底106可由聚酰亞胺(pi)或聚對苯二甲酸乙二醇酯(pet)等柔性材料制成。然而,該襯底106的材料不限于上述兩種材料。該封裝層104用于對該發(fā)光單元110進(jìn)行封裝,本實施方式的該觸控顯示裝置10采用薄膜封裝(thinfilmencapsulation,簡稱tfe)方式進(jìn)行封裝。薄膜封裝是指在該多個發(fā)光單元110表面覆蓋由無機(jī)薄膜和有機(jī)薄膜組合的薄膜封裝層104,以使水氧難以滲入該多個發(fā)光單元110內(nèi)部。本實施方式中,該封裝層104覆蓋于該發(fā)光單元110上方,其與設(shè)于該多個發(fā)光單元110下方的所述犧牲層105及一緩沖層1251共同將該多個發(fā)光單元110密封。該覆蓋層103覆蓋于該封裝層104上以保護(hù)該封裝層104及封裝在該封裝層104內(nèi)的該發(fā)光單元110。請一并參照圖2,圖2是圖1所示觸控顯示裝置10中一個像素的電路示意圖。該多個發(fā)光單元110均電連接該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120,該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120提供顯示驅(qū)動信號至該多個發(fā)光單元110,從而使該多個發(fā)光單元110發(fā)射畫面顯示所需的光。每一該發(fā)光單元110至少包括陽極111、陰極113及夾于該陰極113與該陽極111之間的有機(jī)發(fā)光層112。該有機(jī)發(fā)光層112用于在該陽極111與該陰極113的驅(qū)動下發(fā)光。該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120為一主動陣列結(jié)構(gòu),包括由多個薄膜晶體管(thinfilmtransistor,tft)單元125呈矩陣排列而成的薄膜晶體管陣列、多個存儲電容126、多條柵極線122、多條數(shù)據(jù)線123及一功率線124。該數(shù)據(jù)線123與該柵極線122垂直絕緣相交,從而定義多個呈矩陣排布的像素(未標(biāo)示)。每一該薄膜晶體管單元125包括第一薄膜晶體管125a、第二薄膜晶體管125b。每一像素對應(yīng)一個存儲電容126、一個發(fā)光單元110及一個薄膜晶體管單元125。其中,該第一薄膜晶體管125a的柵極連接該柵極線122,該第一薄膜晶體管125a的源極連接該數(shù)據(jù)線123,該第一薄膜晶體管125a的漏極經(jīng)由該存儲電容126連接該功率線124。該第二薄膜晶體管125b的柵極連接該第一薄膜晶體管125a的漏極,該第二薄膜晶體管125b的漏極連接該發(fā)光單元110的陽極111,該第二薄膜晶體管125b的源極連接該功率線124。具體而言,該第一薄膜晶體管125a作為開關(guān)tft,該第二薄膜晶體管125b作為驅(qū)動tft。更進(jìn)一步地,當(dāng)該柵極線122上加載掃描信號時,該第一薄膜晶體管125a開啟,此時數(shù)據(jù)線123上的灰度信號傳輸至該第二薄膜晶體管125b的柵極,當(dāng)該第一薄膜晶體管125a關(guān)閉后,還可通過該存儲電容126使此電位保持,從而使得該第二薄膜晶體管125b的柵極電壓保持在使得該第二薄膜晶體管125b進(jìn)入恒流區(qū)的電壓,以控制該第二薄膜晶體管125b的輸出電流,并進(jìn)一步使通過該發(fā)光單元110的電流保持恒定。該功率線124用于提供偏壓,以控制該發(fā)光單元110的光強。該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120還包括該緩沖層1251、柵極絕緣層1253、隔離層組1254及平坦層1255。該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b分別包括一通道層,該第二薄膜晶體管125b的通道層1252如圖1所示。該第一薄膜晶體管125a的結(jié)構(gòu)與該第二薄膜晶體管125b類似,此處以該第二薄膜晶體管125b為例進(jìn)行說明,圖1僅呈現(xiàn)了第二薄膜晶體管125b的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。其中,該緩沖層1251設(shè)置于該襯底106上,該通道層1252設(shè)置于該緩沖層1251上,該柵極絕緣層1253設(shè)置于該通道層1252與柵極g之間。該第二薄膜晶體管125b的柵極g設(shè)置于該柵極絕緣層1253上,該隔離層組1254設(shè)置于該柵極g及該柵極絕緣層1253上,該第二薄膜晶體管125b的源極s及該第二薄膜晶體管125b的漏極d設(shè)置于隔離層組1254上且分別通過該隔離層組1254中的導(dǎo)通孔(未標(biāo)示)與該通道層1252連接。該平坦層1255設(shè)置于該源極s、漏極d及該隔離層組1254上,該陽極111設(shè)置于該平坦層1255上且通過該平坦層1255中的導(dǎo)通孔連接至該漏極d。該有機(jī)發(fā)光層112及該陰極113依序設(shè)置于該陽極111上。這些結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)中相同,此處不再贅述。需要說明的是,本實施方式所描述的該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b為頂柵型結(jié)構(gòu),在其他實施方式中,該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b也可采用底柵型結(jié)構(gòu),并不以此為限。另外,該有機(jī)發(fā)光層112可以包括電洞傳輸層、有機(jī)層、及電子傳輸層(均圖未示)等。該發(fā)光單元110發(fā)出的光線經(jīng)由該蓋板101提供給面板觀看者。該第一導(dǎo)電層131、該彈性層132及該第二導(dǎo)電層133共同形成一壓力感測器130。該壓力感測器130用于感測作用于該觸控顯示裝置10的觸控按壓力度的大小。該彈性層132形成于該第一導(dǎo)電層131與該第二導(dǎo)電層133之間。在本實施例中,該彈性層132形成于該襯底106遠(yuǎn)離該第一導(dǎo)電層131的表面,該第二導(dǎo)電層133形成該于彈性層132遠(yuǎn)離該襯底106的一側(cè),從而形成該彈性層132位于該第一導(dǎo)電層131與該第二導(dǎo)電層133之間的結(jié)構(gòu)。該彈性層132由能在壓力的情況下發(fā)生形變從而改變受壓位置的厚度的材料形成。該彈性層132可選擇例如泡棉、墊片、緩沖墊、膠帶、橡膠片、彈簧中的其中之一或二者的組合。例如,該彈性層132可由泡棉材料及間隔嵌設(shè)于泡棉材料內(nèi)的多個彈簧形成。該壓力感測器130可為一電容式壓力感測器130,當(dāng)使用者對該觸控顯示裝置10進(jìn)行觸控按壓動作時,該彈性層132因觸控按壓力而發(fā)生形變,同時,該第一導(dǎo)電層131及該第二導(dǎo)電層133之間的間距隨之發(fā)生變化,從而引起該第一導(dǎo)電層131及該第二導(dǎo)電層133之間的電容值發(fā)生改變。根據(jù)該第一導(dǎo)電層131及該第二導(dǎo)電層133之間的電容值的變化量即可計算出作用于該觸控顯示裝置10上的觸控操作產(chǎn)生的按壓力。其中,該第一導(dǎo)電層131形成于該襯底106上,且位于該犧牲層105與該緩沖層1251之間。可以理解,本實施方式中的該第一導(dǎo)電層131與所述犧牲層105及所述緩沖層1251共同形成該發(fā)光單元110下方的封裝結(jié)構(gòu)以將該發(fā)光單元110封裝,此時,該第一導(dǎo)電層131的存在可起到加強封裝結(jié)構(gòu)的作用。此外,該第一導(dǎo)電層131進(jìn)一步作為一遮光層以防止外界光線及水氣進(jìn)入該驅(qū)動結(jié)構(gòu)120及該發(fā)光單元110。在其它實施方式中,該第一導(dǎo)電層131也可以不參與封裝該發(fā)光單元110。進(jìn)一步地,請參照圖3,圖3是圖1所示觸控顯示裝置10的第一導(dǎo)電層131的一實施方式的平面結(jié)構(gòu)示意圖。該第一導(dǎo)電層131可通過連接線1311連接至一電路板(例如一軟性電路板)(圖未示),以便將該壓力感測器130偵測到的壓力信號輸出至一外部電路(圖未示)進(jìn)行運算。該第一導(dǎo)電層131包括多個呈矩陣排列的電極單元131a,每一所述電極單元131a通過一所述連接線1311連接至所述軟性電路板。本實施方式中,呈矩陣排列的該多個電極單元131a可以代替上述觸控電極結(jié)構(gòu),以偵測觸控位置,觸控位置信息同樣通過該連接線1311傳輸至所述外部電路。其中,該第一導(dǎo)電層131實現(xiàn)壓力感測的功能及實現(xiàn)觸控位置感測的功能可分時驅(qū)動的方式進(jìn)行。該觸控顯示裝置10的觸控位置感測的功能集成于該壓力感測器130的第一導(dǎo)電層131上,從而無需額外設(shè)置所述觸控電極結(jié)構(gòu),可有利于形成具有壓力感測功能的集成化及輕薄化的觸控顯示裝置10。在其他實施方式中(未圖示),該第一導(dǎo)電層131為一整片結(jié)構(gòu),而并未被分割成上述多個電極單元131a,該第一導(dǎo)電層131也與該彈性層132及該第二導(dǎo)電層133共同形成可偵測觸控操作產(chǎn)生的按壓力的壓力感測器,然而,此時的該第一導(dǎo)電層131不能代替所述觸控電極結(jié)構(gòu)直接偵測觸控位置。本實施方式中,該壓力感測器130所連接的軟性電路板可與用于傳輸顯示信號的軟性電路板為同一軟性電路板,從而無需專門為該壓力感測器130增設(shè)軟性電路板,或是分開設(shè)置軟性電路板。且,因該壓力感測器130與用于傳輸顯示信號的線路連接至同一軟性電路板,可降低后續(xù)綁定制程的復(fù)雜性。本實施方式中,在與每一該第一薄膜晶體管125a的電子通道對應(yīng)的位置及與每一該第二薄膜晶體管125b的電子通道對應(yīng)的位置均未設(shè)置該電極單元131a,也就是說對應(yīng)該第一薄膜晶體管125a的電子通道及該第二薄膜晶體管125b的電子通道對應(yīng)的該第一導(dǎo)電層131被去除。如此,可避免在進(jìn)行觸控壓力感測時該電極單元131a對該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b造成干擾而影響該發(fā)光單元110的發(fā)光亮度。該第一薄膜晶體管125a為n型薄膜晶體管或其他非p型薄膜晶體管。需要說明的是,若該第一薄膜晶體管125a為p型薄膜晶體管,在進(jìn)行觸控壓力感測時所施加的電壓為正電壓,則對應(yīng)該第一薄膜晶體管125a的電子通道的位置可根據(jù)實際情況任意選擇設(shè)置或不設(shè)置該電極單元131a,然而,不管該第二薄膜晶體管125b為哪種類型,對應(yīng)該第二薄膜晶體管125b的電子通道的位置均不設(shè)置該電極單元131a??梢岳斫?,位于該第一薄膜晶體管125a的源極與漏極之間的通道層為該第一薄膜晶體管125a的電子通道。位于該第二薄膜晶體管125b的源極與漏極之間的通道層1252為該第二薄膜晶體管125b的電子通道。源極處的電子經(jīng)該電子通道流至對應(yīng)的漏極,從而使源、漏極電導(dǎo)通。該多個電極單元131a例如可通過圖案化一導(dǎo)電材料層而形成,該導(dǎo)電材料例如為但不限于鉬、鈦、鋁、鎢或其組合中的一種。該第二導(dǎo)電層133為但不限于銅、銀、鉬、鈦、鋁、鎢、氧化銦錫或其組合中的一種。本實施方式中,該第二導(dǎo)電層133為一片材結(jié)構(gòu),當(dāng)然,在變更實施方式中(未圖示),該第二導(dǎo)電層133也可設(shè)置成多個間隔設(shè)置的導(dǎo)電層單元,每一導(dǎo)電層單元對應(yīng)一所述電極單元131a。圖4是本發(fā)明第二較佳實施例的觸控顯示裝置20的剖面示意圖。本實施方式中與上述第一實施方式相同的元件,沿用第一實施方式的元件符號。本實施例的觸控顯示裝置20與上述第一實施例的觸控顯示裝置10基本相同,區(qū)別在于,本實施方式以該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b的柵極作為第一導(dǎo)電層231,第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b的柵極所形成的該第一導(dǎo)電層231與該彈性層132、該第二導(dǎo)電層133共同形成壓力感測器230,從而無需額外設(shè)置如第一實施例所述的第一導(dǎo)電層131。該第一薄膜晶體管125a的柵極及該第二薄膜晶體管125b的柵極g為在同一道光罩中同時成型。其中,該第一導(dǎo)電層231實現(xiàn)所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)120的驅(qū)動功能及所述壓力感測230的壓力感測功能通過分時驅(qū)動的方式進(jìn)行。該觸控顯示裝置20將驅(qū)動結(jié)構(gòu)的柵極同時應(yīng)用為壓力感測器230的第一導(dǎo)電層231,從而有利于形成具有壓力感測功能的集成化及輕薄化的觸控顯示裝置20。可以理解,作為該第一導(dǎo)電層231的該第一薄膜晶體管125a的柵極及該第二薄膜晶體管125b的柵極g,可以分別由額外增設(shè)的導(dǎo)線(未圖示)連接至外部電路,以將偵測到的壓力信號輸出至外部電路進(jìn)行運算。此外,該第一薄膜晶體管125a的柵極及該第二薄膜晶體管125b的柵極g可以根據(jù)具體感測精度的需要,只選部分或是全部作為第一導(dǎo)電層231。其中,可以僅以該第一薄膜晶體管125a的柵極或該第二薄膜晶體管125b的柵極g作為該第一導(dǎo)電層231,也可以同時以部分該第一薄膜晶體管125a的柵極及部分該第二薄膜晶體管125b的柵極g作為該第一導(dǎo)電層231??勺兏兀筛鶕?jù)該襯底106的布線空間,在形成該第一薄膜晶體管125a的柵極及該第二薄膜晶體管125b的柵極g的時候,一并定義好該第一導(dǎo)電層231。具體而言,在對一第一金屬層(未圖示)進(jìn)行黃光顯影、蝕刻以形成該第一薄膜晶體管125a的柵極及該第二薄膜晶體管125b的柵極g時,若該襯底106上有多余的布線空間,則該第一金屬層可在多余的布線空間上保留部分而無需蝕刻完全,從而該第一金屬層所定義的第一薄膜晶體管125a的柵極、該第二薄膜晶體管125b的柵極g及上述多余的布線空間上的保留的部分第一金屬層一并作為該第一導(dǎo)電層231。圖5是本發(fā)明第三較佳實施例的觸控顯示裝置30的剖面示意圖。本實施例的觸控顯示裝置30與上述第二實施例的觸控顯示裝置20基本相同,區(qū)別在于,本實施方式以該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b的源極、漏極作為第一導(dǎo)電層331,該第一薄膜晶體管125a及該第二薄膜晶體管125b的源極、漏極所形成的該第一導(dǎo)電層331與該彈性層132、該第二導(dǎo)電層133共同形成壓力感測器330。該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極及該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d為在同一道光罩中同時成型。該第一導(dǎo)電層331實現(xiàn)所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)120的驅(qū)動功能及所述壓力感測330的壓力感測功能通過分時驅(qū)動的方式進(jìn)行。該觸控顯示裝置30將驅(qū)動結(jié)構(gòu)的源/漏極同時應(yīng)用為壓力感測器330的第一導(dǎo)電層331,從而有利于形成具有壓力感測功能的集成化及輕薄化的觸控顯示裝置30。在本實施方式中,該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極均與該第一薄膜晶體管125a的柵極錯開設(shè)置,即,該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第一薄膜晶體管125a的柵極在所述襯底106上的投影沒有交疊。并且,該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d均與該第二薄膜晶體管125b的柵極g錯開設(shè)置。如此,當(dāng)該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d作為所述壓力感測器330的第一導(dǎo)電層331時,不會輕易受該第一薄膜晶體管125a的柵極或該第二薄膜晶體管125b的柵極的影響。可以理解,作為該第一導(dǎo)電層331的該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d,可以分別由額外增設(shè)的導(dǎo)線(未圖示)連接至外部電路,以將偵測到的壓力信號輸出至外部電路進(jìn)行運算。此外,該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d可以根據(jù)具體感測精度的需要,只選部分或是全部都作為第一導(dǎo)電層331。其中,可以僅以該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極或該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d作為該第一導(dǎo)電層331,也可以同時以部分該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d作為該第一導(dǎo)電層331。可變更地,可根據(jù)該襯底106的布線空間,在形成該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d的時候,一并定義好該第一導(dǎo)電層331。具體而言,在對一第二金屬層(未圖示)進(jìn)行黃光顯影、蝕刻以形成該第一薄膜晶體管125a的源極、漏極與該第二薄膜晶體管125b的源極s、漏極d時,若該襯底106上有多余的布線空間,則該第二金屬層可在多余的布線空間上保留部分而無需蝕刻完全,從而該第二金屬層所定義的該第一薄膜晶體管125a的源極/漏極、該第二薄膜晶體管125b的源極s/漏極d及上述多余的布線空間上的保留的部分第二金屬層一并作為該第一導(dǎo)電層331。上述各實施方式以該觸控顯示裝置10為oled為例說明,以下對該觸控顯示裝置10為液晶顯示裝置情形作簡單說明(未圖示),該觸控顯示裝置包括第一襯底、第二襯底及位于該第一襯底與第二襯底之間的液晶層。具體而言,該第一襯底面向該第二襯底的表面形成有驅(qū)動結(jié)構(gòu),該驅(qū)動結(jié)構(gòu)為tft陣列,該第二襯底為對向基板(例如為彩色濾光基板)。其中,該壓力傳感器的第一導(dǎo)電層位于該第一襯底面向該第二襯底的一側(cè),該壓力傳感器的彈性體位于該第一襯底遠(yuǎn)離該第二襯底的表面,該第二導(dǎo)電層設(shè)于該彈性體遠(yuǎn)離該第一襯底的表面。在一實施方式中,該第一導(dǎo)電層位于該tft陣列與該第一襯底之間。在變更實施方式中,該tft陣列的至少部分柵極或至少部分源/漏極作為該第一導(dǎo)電層。以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制,盡管參照較佳實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或等同替換,而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍。當(dāng)前第1頁12
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