本申請涉及液晶顯示領(lǐng)域，具體而言，涉及一種標(biāo)記的校正方法與校正系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在平板制造工藝中，為后續(xù)加工制程有定位基準(zhǔn)，一般在基板上設(shè)置標(biāo)記，一旦基板旋轉(zhuǎn)一定角度，標(biāo)記的位置就會偏移，后續(xù)的工藝的精度就會變差。

另外，在基板上設(shè)置透鏡層時，同時在透鏡層的表面上形成對位標(biāo)記，如果設(shè)置透鏡層時發(fā)生偏移，將導(dǎo)致標(biāo)記透鏡層上的對位標(biāo)記發(fā)生偏移，而根據(jù)設(shè)定的對位標(biāo)記進(jìn)行后續(xù)的工藝時，會因?yàn)橥哥R層上的對位標(biāo)記的位置偏移導(dǎo)致精度變差。

現(xiàn)有技術(shù)中，有兩種方法解決上述的技術(shù)問題，一種方法是通過馬達(dá)擺正基板來使得基板或者透鏡層的位置恢復(fù)到未偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)，但受限于馬達(dá)本身以及精度問題，無法滿足精確的偏差校正。

另一種方法是購買大視野的CCD來捕捉定位基板上的對位標(biāo)記或者透鏡層上的對位標(biāo)記，進(jìn)而根據(jù)捕捉到的對位標(biāo)記進(jìn)行后續(xù)的工藝。但是這種方法大大增加了設(shè)備的投入。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本申請的主要目的在于提供一種標(biāo)記的校正方法與校正系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的無法以低成本的方式解決透鏡層的偏移導(dǎo)致的后續(xù)工藝精度差的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本申請的一個方面，提供了一種標(biāo)記的校正方法，該校正方法包括：步驟S1，在基板上設(shè)置透鏡層后，獲取上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的初步偏移值；步驟S2，根據(jù)上述初步偏移值移動圖像傳感器的鏡頭，使得上述鏡頭捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記并記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置；步驟S3，根據(jù)上述透鏡對位標(biāo)記的位置計(jì)算上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的實(shí)際偏移值；步驟S4，根據(jù)上述實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

進(jìn)一步地，上述初步偏移值為透鏡層的中心的坐標(biāo)與基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

進(jìn)一步地，上述步驟S2中記錄多個上述透鏡對位標(biāo)記的位置，上述透鏡對位標(biāo)記的位置為上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值，上述多個上述透鏡對位標(biāo)記設(shè)置在上述透鏡層的遠(yuǎn)離上述基板的表面上，至少兩個上述透鏡對位標(biāo)記關(guān)于上述透鏡層的中心對稱或者關(guān)于對稱軸對稱，上述對稱軸為上述透鏡層的設(shè)置上述透鏡對位標(biāo)記的表面的中心線。

進(jìn)一步地，上述步驟S1還包括獲取上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)，上述步驟S3包括：步驟S31，根據(jù)多個上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值；步驟S32，根據(jù)上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)值與上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述實(shí)際偏移值。

進(jìn)一步地，上述實(shí)際偏移值包括實(shí)際角度偏移值、實(shí)際X方向偏移值與實(shí)際Y方向偏移值。

進(jìn)一步地，上述步驟S4包括：步驟S41，根據(jù)上述實(shí)際偏移值對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正；步驟S42，將校正后的上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像對應(yīng)的圖像信息傳輸?shù)缴鲜龊罄m(xù)對位標(biāo)記的設(shè)置設(shè)備中，對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

根據(jù)本申請的另一方面，提供了標(biāo)記的校正系統(tǒng)，該校正系統(tǒng)包括：初步偏移值獲取單元，用于在基板上設(shè)置透鏡層后，獲取上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的初步偏移值；圖像傳感器，包括鏡頭與記錄模塊，上述鏡頭用于捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，上述記錄模塊與上述鏡頭電連接，上述記錄模塊用于記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置；計(jì)算單元，與上述記錄模塊電連接，上述計(jì)算單元用于根據(jù)上述透鏡對位標(biāo)記的位置計(jì)算上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的實(shí)際偏移值；校正單元，與上述計(jì)算單元電連接，上述校正單元用于根據(jù)上述實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行調(diào)整

進(jìn)一步地，上述初步偏移值為透鏡層的中心的坐標(biāo)與基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

進(jìn)一步地，上述圖像傳感器還包括控制模塊，上述控制模塊的一端與上述初步偏移值獲取單元電連接，上述控制模塊的另一端與上述鏡頭電連接，上述控制模塊用于根據(jù)上述初步偏移值移動上述鏡頭，使得上述鏡頭捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記并記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置。

進(jìn)一步地，上述記錄模塊記錄多個上述透鏡對位標(biāo)記的位置，上述透鏡對位標(biāo)記的位置為上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值，上述多個上述透鏡對位標(biāo)記設(shè)置在上述透鏡層的遠(yuǎn)離上述基板的表面上，至少兩個上述透鏡對位標(biāo)記關(guān)于上述透鏡層的中心對稱或者關(guān)于對稱軸對稱，上述對稱軸為上述透鏡層設(shè)置上述透鏡對位標(biāo)記的表面的中心線。

進(jìn)一步地，上述校正系統(tǒng)還包括預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元，上述預(yù)定坐標(biāo)的獲取模塊用于獲取上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)，上述計(jì)算單元包括：坐標(biāo)計(jì)算模塊，與上述記錄模塊電連接，上述坐標(biāo)計(jì)算模塊用于根據(jù)多個上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值；偏移值計(jì)算模塊，與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，上述偏移值計(jì)算模塊用于根據(jù)上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)值與上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述實(shí)際偏移值。

進(jìn)一步地，上述偏移值計(jì)算模塊包括：第一計(jì)算模塊，與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心與上述透鏡層的中心的角度偏移值；第二計(jì)算模塊，與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在X方向上的偏移值；第三計(jì)算模塊，與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在Y方向上的偏移值。

進(jìn)一步地，上述校正單元包括：圖像校正模塊，與上述計(jì)算單元電連接，上述用于根據(jù)上述實(shí)際偏移值對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正；模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊，用于將校正后的上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像轉(zhuǎn)換為圖像信息；標(biāo)記校正模塊，用于根據(jù)上述圖像信息對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

應(yīng)用本申請的技術(shù)方案，校正方法根據(jù)上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置計(jì)算得出實(shí)際偏移值，能夠?qū)罄m(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行精確地校正調(diào)整，使得后續(xù)工藝的精度較高，進(jìn)一步保證了器件的具有較高的良率與較好的性能。并且，該校正方法中根據(jù)獲取的初步偏移值移動圖形傳感器，使得圖像傳感器捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，這樣無需更換視野范圍更大的圖像傳感器就可以捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記(透鏡層的偏移使得圖像傳感器的視野范圍內(nèi)無法看到透鏡層的對位標(biāo)記，因而一般需要更換視野范圍更大的圖像傳感器)，在保證了校正精度的前提下，還降低了校正方法的成本。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，本申請的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了本申請的一種典型實(shí)施方式提供的標(biāo)記的校正方法的流程示意圖；以及

圖2示出了本申請的另一種典型實(shí)施方式提供的標(biāo)記的校正系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：

1、初步偏移值獲取單元；2、圖像傳感器；3、計(jì)算單元；4、校正單元。

具體實(shí)施方式

應(yīng)該指出，以下詳細(xì)說明都是例示性的，旨在對本申請?zhí)峁┻M(jìn)一步的說明。除非另有指明，本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本申請所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。

需要注意的是，這里所使用的術(shù)語僅是為了描述具體實(shí)施方式，而非意圖限制根據(jù)本申請的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。

正如背景技術(shù)所介紹的，現(xiàn)有技術(shù)中的解決透鏡層的實(shí)際位置與預(yù)定位置的偏移導(dǎo)致后續(xù)工藝精度差的方法不精確或者成本較高，為了解決如上的技術(shù)問題，本申請?zhí)岢隽艘环N標(biāo)記的校正方法與校正系統(tǒng)。

本申請的一種典型的實(shí)施方式中提供了一種標(biāo)記的校正方法，如圖1所示，該校正方法包括：步驟S1，在基板上設(shè)置透鏡層后，獲取上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的初步偏移值；步驟S2，根據(jù)上述初步偏移值移動圖像傳感器的鏡頭，使得上述圖像傳感器的鏡頭捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記并記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置；步驟S3，根據(jù)上述透鏡對位標(biāo)記的位置計(jì)算上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的實(shí)際偏移值；以及步驟S4，根據(jù)上述實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行調(diào)整。

上述的方法根據(jù)上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置計(jì)算得出實(shí)際偏移值，能夠?qū)罄m(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行精確地校正調(diào)整，使得后續(xù)工藝的精度較高，進(jìn)一步保證了器件的具有較高的良率與較好的性能。并且，該校正方法中根據(jù)獲取的初步偏移值移動圖形傳感器，使得圖像傳感器捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，這樣無需更換視野范圍更大的圖像傳感器就可以捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記(透鏡層的偏移使得圖像傳感器的視野范圍內(nèi)無法看到透鏡層的對位標(biāo)記，因而一般需要更換視野范圍更大的圖像傳感器)，在保證了校正精度的前提下，還降低了校正方法的成本。

本申請的一種實(shí)施例中，由于透鏡層的中心的預(yù)定位置與基板的中心的位置是一致的，因此，上述初步偏移值為透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)與基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

為了能夠更加準(zhǔn)確地獲得上述透鏡層的實(shí)際位置，進(jìn)而能夠更加準(zhǔn)確地計(jì)算出實(shí)際偏移值，進(jìn)而更加準(zhǔn)確地對后續(xù)對位標(biāo)記的位置進(jìn)行校正，本申請優(yōu)選上述步驟S2中記錄多個上述透鏡對位標(biāo)記的位置，上述透鏡對位標(biāo)記的位置為上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值，上述多個上述透鏡對位標(biāo)記設(shè)置在上述透鏡層的遠(yuǎn)離上述基板的表面上，至少兩個上述透鏡對位標(biāo)記關(guān)于上述透鏡層的中心對稱或者關(guān)于對稱軸對稱，上述對稱軸為上述透鏡層的設(shè)置上述透鏡對位標(biāo)記的表面的中心線。

本申請的一種實(shí)施例中，上述步驟S1還包括獲取上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)，上述步驟S3包括：步驟S31，根據(jù)多個上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值，由于多個透鏡對位標(biāo)記具有中心對稱或者軸對稱的關(guān)系，因此，根據(jù)多個上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值與透鏡層的尺寸就可以計(jì)算出透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值；步驟S32，根據(jù)上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)值與上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述實(shí)際偏移值。

為了更加準(zhǔn)確地對后續(xù)對位標(biāo)記進(jìn)行校正，本申請優(yōu)選上述實(shí)際偏移值包括實(shí)際角度偏移值、實(shí)際X方向偏移值與實(shí)際Y方向偏移值。其中，實(shí)際角度偏移值為上述透鏡層的中心與上述透鏡層的中心的角度偏移值，實(shí)際X方向偏移值為上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在X方向上的偏移值，實(shí)際Y方向偏移值為上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在Y方向上的偏移值。

本申請的另一種實(shí)施例中，上述步驟S4包括：步驟S41，根據(jù)上述實(shí)際偏移值對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正；步驟S42，將校正后的上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像對應(yīng)的圖像信息傳輸?shù)缴鲜龊罄m(xù)對位標(biāo)記的設(shè)置設(shè)備中，對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

又一種實(shí)施例，在計(jì)算得到實(shí)際偏移值后，可以手動將施加偏移值輸入到圖像編輯器中，對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正，然后將校正后的圖像對應(yīng)的圖像信息傳輸至后續(xù)對位標(biāo)記的設(shè)置設(shè)備中，對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

一種具體的實(shí)施例中，上述的圖像為儲存在CAD中的圖像，也就是說，根據(jù)上述實(shí)際偏移值先對儲存在CAD中的圖像進(jìn)行校正，然后將校正后的圖形對應(yīng)的圖像信息傳輸?shù)缴鲜龊罄m(xù)對位標(biāo)記的設(shè)置設(shè)備中，對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

本申請中的后續(xù)對位標(biāo)記可以是后續(xù)任何工藝的對位標(biāo)記，比如用于FPC綁定中的對位標(biāo)記，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)與實(shí)際情況對后續(xù)工藝中的任何對位標(biāo)記進(jìn)行校正。

本申請的另一種典型的實(shí)施方式中，如圖2所示，提供了一種標(biāo)記的校正系統(tǒng)，該校正系統(tǒng)包括初步偏移值獲取單元1、圖像傳感器2、計(jì)算單元3與校正單元4。其中，初步偏移值獲取單元1用于在基板上設(shè)置透鏡層后，獲取上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的初步偏移值；圖像傳感器2包括鏡頭與記錄模塊，上述鏡頭用于捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，上述記錄模塊與上述鏡頭電連接，上述記錄模塊用于記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置；計(jì)算單元3與上述記錄模塊電連接，上述計(jì)算單元3用于根據(jù)上述透鏡對位標(biāo)記的位置計(jì)算上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置的實(shí)際偏移值；校正單元4與上述計(jì)算單元3電連接，上述校正單元4用于根據(jù)上述實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行調(diào)整。

上述的校正系統(tǒng)中的計(jì)算單元根據(jù)上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置計(jì)算出的實(shí)際偏移值，校正單元根據(jù)實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行精確地校正調(diào)整，使得后續(xù)工藝的精度較高，進(jìn)一步保證了器件的具有較高的良率與較好的性能。并且，該校正系統(tǒng)根據(jù)初步偏移值獲取單元獲取的初步偏移值移動圖像傳感器，使得圖像傳感器捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，這樣無需更換視野范圍更大的圖像傳感器就可以捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記(透鏡層的偏移使得圖像傳感器的視野范圍內(nèi)無法看到透鏡層的對位標(biāo)記，因而一般需要更換視野范圍更大的圖像傳感器)，在保證了校正精度的前提下，還降低了校正方法的成本。

本申請的一種實(shí)施例中，由于透鏡層的中心的預(yù)定位置與基板的中心的位置是一致的，因此，上述初步偏移值為透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)與基板的中心的坐標(biāo)的偏移值。

為了以更高效地方式使得鏡頭捕捉到對應(yīng)的對位標(biāo)記，本申請優(yōu)選上述圖像傳感器還包括控制模塊，上述控制模塊的一端與上述初步偏移值獲取單元電連接，上述控制模塊的另一端與上述鏡頭電連接，上述控制模塊用于根據(jù)上述初步偏移值移動上述鏡頭，使得上述鏡頭捕捉到上述透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記并記錄上述透鏡對位標(biāo)記的位置。

為了能夠更加準(zhǔn)確地獲得上述透鏡層的實(shí)際位置，進(jìn)而能夠更加準(zhǔn)確地計(jì)算出實(shí)際偏移值，進(jìn)而更加準(zhǔn)確地對后續(xù)對位標(biāo)記的位置進(jìn)行校正，本申請優(yōu)選上述記錄模塊記錄多個上述透鏡對位標(biāo)記的位置，上述透鏡對位標(biāo)記的位置為上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值，上述多個透鏡對位標(biāo)記設(shè)置在上述透鏡層的遠(yuǎn)離上述基板的表面上，至少兩個上述透鏡對位標(biāo)記關(guān)于上述透鏡層的中心對稱或者關(guān)于對稱軸對稱，上述對稱軸為上述透鏡層設(shè)置上述透鏡對位標(biāo)記的表面的中心線。

本申請的另一種實(shí)施例中，上述初步偏移值獲取單元1還包括預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元與偏移值計(jì)算模塊，其中，上述預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元用于獲取上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)，上述計(jì)算單元3包括坐標(biāo)計(jì)算模塊：坐標(biāo)計(jì)算模塊與上述記錄模塊電連接，上述坐標(biāo)計(jì)算模塊用于根據(jù)多個上述透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值；偏移值計(jì)算模塊，與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，上述偏移值計(jì)算模塊用于根據(jù)上述透鏡層的中心的預(yù)定坐標(biāo)值與上述透鏡層的中心的實(shí)際坐標(biāo)值計(jì)算上述實(shí)際偏移值。

為了更加準(zhǔn)確地對后續(xù)對位標(biāo)記進(jìn)行校正，本申請優(yōu)選上述偏移值計(jì)算模塊包括：第一計(jì)算模塊、第二計(jì)算模塊與第三計(jì)算模塊，其中，第一計(jì)算模塊與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心與上述透鏡層的中心的角度偏移值；第二計(jì)算模塊與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在X方向上的偏移值；第三計(jì)算模塊與上述坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元均電連接，用于計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在Y方向上的偏移值。

本申請的又一種實(shí)施例中，上述校正單元4包括圖像校正模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊與標(biāo)記校正模塊，其中，上述圖像校正模塊與計(jì)算單元電連接，該圖像校正模塊用于根據(jù)上述實(shí)際偏移值對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正；模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊用于將校正后的上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像轉(zhuǎn)換為圖像信息；標(biāo)記校正模塊用于根據(jù)上述圖像信息對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

本申請的初步偏移值是由透鏡層設(shè)置設(shè)備或者前制程其它設(shè)備計(jì)算出來的，并且，這些設(shè)備直接與初步偏移值獲取單元電連接，或者這些設(shè)備與服務(wù)器電連接，服務(wù)器與初步偏移值獲取單元電連接，初步偏移值獲取單元從服務(wù)器上下載其他設(shè)備計(jì)算出來的初步偏移值。

本申請的一種實(shí)施例中，上述的上述圖像傳感器為CCD傳感器。

為了使得本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠更加清楚地了解本申請的技術(shù)方案，以下將結(jié)合具體的實(shí)施例說明本申請的技術(shù)方案。

實(shí)施例

采用圖2所示的校正系統(tǒng)對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)位置進(jìn)行校正，該校正系統(tǒng)包括初步偏移值獲取單元1、預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元、圖像傳感器2、計(jì)算單元3與校正單元4。并且，圖像傳感器2包括鏡頭、記錄模塊與控制模塊；計(jì)算單元3包括坐標(biāo)計(jì)算模塊與偏移值計(jì)算模塊，偏移值計(jì)算模塊包括第一計(jì)算模塊、第二計(jì)算模塊與第三計(jì)算模塊；校正單元4包括圖像校正模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊與標(biāo)記校正模塊。具體的連接關(guān)系記載在上述的內(nèi)容中，這里就不再贅述了。

校正的具體過程為：

首先，與服務(wù)器連接的初步偏移值獲取單元從服務(wù)器上下載(即獲取)初步偏移值。

然后，圖像傳感器中的控制模塊與初步偏移值獲取單元連接，該模塊根據(jù)初步偏移值移動圖像傳感器的鏡頭，使得鏡頭捕捉到多個透鏡對位標(biāo)記，可以同時捕捉到幾個透鏡對位標(biāo)記，也可以逐個捕捉透鏡對位標(biāo)記，并且，圖像傳感器的記錄模塊將捕捉到的透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)記錄下來，包括橫坐標(biāo)與縱坐標(biāo)。

其次，坐標(biāo)計(jì)算模塊與圖像傳感器的記錄模塊電連接，并且根據(jù)記錄的透鏡對位標(biāo)記的實(shí)際坐標(biāo)計(jì)算透鏡層的中心的坐標(biāo)，偏移值計(jì)算模塊與坐標(biāo)計(jì)算模塊以及預(yù)定坐標(biāo)的獲取單元電連接，第一計(jì)算模塊計(jì)算上述透鏡層的中心與上述透鏡層的中心的角度偏移值，即計(jì)算實(shí)際角度偏移值；第二計(jì)算模塊計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在X方向上的偏移值，即計(jì)算實(shí)際X方向偏移值；第三計(jì)算模塊計(jì)算上述透鏡層的中心的與上述透鏡層的中心在Y方向上的偏移值，即計(jì)算實(shí)際Y方向偏移值。

最后，圖像校正模塊與偏移值計(jì)算模塊電連接，并且根據(jù)實(shí)際偏移值對上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像進(jìn)行校正；模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊與圖像校正模塊電連接，將校正后的上述后續(xù)對位標(biāo)記的圖像轉(zhuǎn)換為圖像信息；標(biāo)記校正模塊與模數(shù)轉(zhuǎn)化模塊電連接，根據(jù)上述圖像信息對上述后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行校正。

從以上的描述中，可以看出，本申請上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果：

1)、本申請的校正方法根據(jù)上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置計(jì)算得出實(shí)際偏移值，能夠?qū)罄m(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行精確地校正調(diào)整，使得后續(xù)工藝的精度較高，進(jìn)一步保證了器件的具有較高的良率與較好的性能。并且，該校正方法中根據(jù)獲取的初步偏移值移動圖形傳感器，使得圖像傳感器捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，這樣無需更換視野范圍更大的圖像傳感器就可以捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記(透鏡層的偏移使得圖像傳感器的視野范圍內(nèi)無法看到透鏡層的對位標(biāo)記，因而一般需要更換視野范圍更大的圖像傳感器)，在保證了校正精度的前提下，還降低了校正方法的成本。

2)、本申請的校正系統(tǒng)中的計(jì)算單元根據(jù)上述透鏡層的位置與上述透鏡層的預(yù)定位置計(jì)算出的實(shí)際偏移值，校正單元根據(jù)實(shí)際偏移值對后續(xù)對位標(biāo)記的預(yù)設(shè)定位置進(jìn)行精確地校正調(diào)整，使得后續(xù)工藝的精度較高，進(jìn)一步保證了器件的具有較高的良率與較好的性能。并且，該校正系統(tǒng)根據(jù)初步偏移值獲取單元獲取的初步偏移值移動圖像傳感器，使得圖像傳感器捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記，這樣無需更換視野范圍更大的圖像傳感器就可以捕捉到透鏡層上的透鏡對位標(biāo)記(透鏡層的偏移使得圖像傳感器的視野范圍內(nèi)無法看到透鏡層的對位標(biāo)記，因而一般需要更換視野范圍更大的圖像傳感器)，在保證了校正精度的前提下，還降低了校正方法的成本。

以上所述僅為本申請的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本申請，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。