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指紋辨識(shí)裝置及其制造方法與流程

文檔序號(hào):11831525閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種指紋辨識(shí)裝置,包括:

一基板,具有一第一側(cè)及一第二側(cè)及多個(gè)穿孔,這些穿孔連接該第一、二側(cè);

一感應(yīng)電極層,設(shè)置于該基板的第一側(cè),該感應(yīng)電極層具有多個(gè)第一電極及多個(gè)第二電極及一絕緣層,該第一、二電極及該絕緣層疊層設(shè)置,并且,該絕緣層部分設(shè)置于該第一、二電極之間,并且,部分絕緣層包附該第一、二電極;

一指紋辨識(shí)感測(cè)芯片,設(shè)于前述基板的第二側(cè);

一導(dǎo)電層,具有多個(gè)導(dǎo)電體,這些導(dǎo)電體部分穿設(shè)于前述基板的這些穿孔內(nèi)部,這些該導(dǎo)電體部分設(shè)置于該基板的第二側(cè),并且,通過(guò)這些導(dǎo)電體使該第一、二電極與該指紋辨識(shí)感測(cè)芯片電性連接。

2.如權(quán)利要求1所述的指紋辨識(shí)裝置,其特征在于,其還具有一軟性電路板,該軟性電路板選擇性的與感應(yīng)電極層或該指紋辨識(shí)感測(cè)芯片電性連接。

3.如權(quán)利要求1所述的指紋辨識(shí)裝置,其特征在于,所述第一電極為X方向電極,所述第二電極為Y方向電極,并且,兩者間由絕緣層隔絕絕緣,所述第一、二電極通過(guò)該導(dǎo)電層選擇性的與該指紋辨識(shí)感測(cè)芯片進(jìn)行電性連接。

4.如權(quán)利要求1所述的指紋辨識(shí)裝置,其特征在于,所述絕緣層為SiO2或OverCoated其中的任一種。

5.如權(quán)利要求1所述的指紋辨識(shí)裝置,其特征在于,所述這些穿孔直徑為1um~25um。

6.一種指紋辨識(shí)裝置制造方法,包括下列步驟:

提供一基板,并于該基板一側(cè)面披覆一第一金屬鍍膜;

通過(guò)黃光微影蝕刻對(duì)該第一金屬鍍膜蝕刻并形成多個(gè)第一電極;

于這些第一電極及該基板表面披覆一絕緣層;

于該絕緣層一側(cè)披覆一第二金屬鍍膜;

通過(guò)黃光微影蝕刻對(duì)該第二金屬鍍膜蝕刻并形成多個(gè)第二電極;

于該基板另一側(cè)向具有多個(gè)第一電極的一側(cè)進(jìn)行穿孔工藝,成型多個(gè)穿孔;

并于該基板具有多個(gè)穿孔的一側(cè)披覆一第三金屬鍍膜,并將該第三金屬鍍膜同時(shí)灌入這些穿孔內(nèi);

通過(guò)黃光微影蝕刻對(duì)該第三金屬鍍膜蝕刻并形成具有多個(gè)導(dǎo)電體的一導(dǎo)電層;

將一指紋辨識(shí)感測(cè)芯片設(shè)置于該導(dǎo)電層上與該基板結(jié)合,并且,該指紋辨識(shí)感測(cè)芯片與該導(dǎo)電層電性連接。

7.如權(quán)利要求6所述的指紋辨識(shí)裝置制造方法,其特征在于,這些第一、二電極為透明或不透明特性其中的任一種。

8.如權(quán)利要求6所述的指紋辨識(shí)裝置制造方法,其特征在于,穿孔工藝可通過(guò)蝕刻或鉆孔或雷射穿孔等方式進(jìn)行。

9.如權(quán)利要求6所述的指紋辨識(shí)裝置制造方法,其特征在于,指紋辨識(shí)感測(cè)芯片通過(guò)COG工藝方式結(jié)合在該基板的導(dǎo)電層上。

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