1.一種經(jīng)配置以確定將對樣品執(zhí)行的計(jì)量過程的一或多個(gè)參數(shù)的系統(tǒng)，其包括：
測量子系統(tǒng)，其至少包括能量源及檢測器，其中所述能量源經(jīng)配置以產(chǎn)生被引導(dǎo)到樣品的能量，且其中所述檢測器經(jīng)配置以檢測來自所述樣品的能量且響應(yīng)于所述所檢測能量而產(chǎn)生輸出；及
一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以用于：
基于針對所述樣品的設(shè)計(jì)而自動(dòng)產(chǎn)生將在對所述樣品執(zhí)行的計(jì)量過程期間利用所述測量子系統(tǒng)測量的所關(guān)注區(qū)域；及
分別基于針對所述樣品的所述設(shè)計(jì)的位于所述所關(guān)注區(qū)域的第一子集及第二子集中的部分而自動(dòng)確定在所述計(jì)量過程期間利用所述測量子系統(tǒng)在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中執(zhí)行的一或多個(gè)測量的一或多個(gè)參數(shù)，其中在所述第一子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)是單獨(dú)地且獨(dú)立于在所述第二子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)而確定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述自動(dòng)產(chǎn)生及所述自動(dòng)確定是在所述計(jì)量過程的設(shè)置期間執(zhí)行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述自動(dòng)產(chǎn)生及所述自動(dòng)確定是在所述計(jì)量過程的運(yùn)行時(shí)間期間實(shí)時(shí)執(zhí)行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述自動(dòng)產(chǎn)生包括在所述計(jì)量過程的設(shè)置期間執(zhí)行對所述設(shè)計(jì)的基于規(guī)則的搜索。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中用于所述自動(dòng)產(chǎn)生及所述自動(dòng)確定的針對所述樣品的所述設(shè)計(jì)不包含所述設(shè)計(jì)的將不印刷于所述樣品上的特征。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)包括電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化工具的計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中針對所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集自動(dòng)確定的所述一或多個(gè)參數(shù)導(dǎo)致在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集中執(zhí)行第一類型的所述一或多個(gè)測量，其中針對所述所關(guān)注區(qū)域的所述第二子集自動(dòng)確定的所述一或多個(gè)參數(shù)導(dǎo)致在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第二子集中執(zhí)行第二類型的所述一或多個(gè)測量，且其中所述第一類型的所述一或多個(gè)測量與所述第二類型的所述一或多個(gè)測量彼此不同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于通過對準(zhǔn)所述檢測器的所述輸出與針對所述樣品的所述設(shè)計(jì)而確定在所述計(jì)量過程期間所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集在所述樣品上的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)包括跨越其執(zhí)行所述一或多個(gè)測量的一或多個(gè)尺寸的邊界。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)測量包括自動(dòng)確定在對形成于所述樣品上的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的一或多個(gè)邊緣的所述一或多個(gè)測量期間由所述檢測器產(chǎn)生的所述輸出中的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于基于所述一或多個(gè)測量的結(jié)果而自動(dòng)產(chǎn)生所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的一者的一或多個(gè)屬性。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于基于所述一或多個(gè)測量的結(jié)果而自動(dòng)產(chǎn)生所述第一子集及所述第二子集中的一者中的所述所關(guān)注區(qū)域的多個(gè)實(shí)例的一或多個(gè)屬性，且將所述多個(gè)實(shí)例中的兩者或多于兩者的所述一或多個(gè)屬性中的至少一者進(jìn)行比較以識(shí)別所述多個(gè)實(shí)例中的所述兩者或多于兩者中的離群值。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于自動(dòng)選擇所述設(shè)計(jì)中的一或多個(gè)對準(zhǔn)位點(diǎn)，且其中所述計(jì)量過程包括：確定在所述計(jì)量過程期間所述一或多個(gè)對準(zhǔn)位點(diǎn)中的至少一者在所述樣品上的一或多個(gè)位置，且基于所述至少一個(gè)對準(zhǔn)位點(diǎn)在所述樣品上的所述一或多個(gè)位置而確定所述第一子集及所述第二子集中的所述所關(guān)注區(qū)域中的一或多者在所述樣品上的一或多個(gè)位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)量過程包括僅基于在所述第一子集及所述第二子集中的所述所關(guān)注區(qū)域中的一者中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量而確定在所述一個(gè)所關(guān)注區(qū)域中是否存在缺陷。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述自動(dòng)產(chǎn)生包括基于所述設(shè)計(jì)及對所述樣品執(zhí)行的檢驗(yàn)過程的結(jié)果而自動(dòng)產(chǎn)生將在所述計(jì)量過程期間測量的所述所關(guān)注區(qū)域。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的一者中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量包括所述所關(guān)注區(qū)域中的一者相對于所述所關(guān)注區(qū)域中的其它者的臨界尺寸測量的臨界尺寸測量。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的一者中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量包括所述所關(guān)注區(qū)域中的一者相對于所述所關(guān)注區(qū)域中的其它者的疊對測量的疊對測量。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述樣品包括過程窗鑒定晶片，且其中所述自動(dòng)產(chǎn)生包括基于所述設(shè)計(jì)及對所述樣品執(zhí)行的檢驗(yàn)過程的結(jié)果而自動(dòng)產(chǎn)生將在所述計(jì)量過程期間測量的所述所關(guān)注區(qū)域。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中在對所述樣品執(zhí)行的制作過程的線內(nèi)監(jiān)測期間對所述樣品執(zhí)行所述計(jì)量過程。
20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于將在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的一者中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量與所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的所述一者的設(shè)計(jì)意圖進(jìn)行比較，且基于所述比較的結(jié)果而修改光學(xué)接近校正模型。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以用于基于所述一或多個(gè)測量而檢測所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中的一者中的缺陷且報(bào)告所述一或多個(gè)測量作為所述所檢測缺陷的缺陷屬性。
22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述樣品包括晶片。
23.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述樣品包括光罩。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中被引導(dǎo)到所述樣品的所述能量包括光，且其中從所述樣品檢測的所述能量包括光。
25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中被引導(dǎo)到所述樣品的所述能量包括電子，且其中從所述樣品檢測的所述能量包括電子。
26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中被引導(dǎo)到所述樣品的所述能量包括離子。
27.一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀媒體，其存儲(chǔ)可在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上執(zhí)行以用于執(zhí)行用于確定將對樣品執(zhí)行的計(jì)量過程的一或多個(gè)參數(shù)的計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法的程序指令，其中所述計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法包括：
基于針對樣品的設(shè)計(jì)而自動(dòng)產(chǎn)生將在對所述樣品執(zhí)行的計(jì)量過程期間利用測量子系統(tǒng)測量的所關(guān)注區(qū)域，其中所述測量子系統(tǒng)至少包括能量源及檢測器，其中所述能量源經(jīng)配置以產(chǎn)生被引導(dǎo)到所述樣品的能量，且其中所述檢測器經(jīng)配置以檢測來自所述樣品的能量且響應(yīng)于所述所檢測能量而產(chǎn)生輸出；及
分別基于針對所述樣品的所述設(shè)計(jì)的位于所述所關(guān)注區(qū)域的第一子集及第二子集中的部分而自動(dòng)確定在所述計(jì)量過程期間利用所述測量子系統(tǒng)在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中執(zhí)行的一或多個(gè)測量的一或多個(gè)參數(shù)，其中在所述第一子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)是單獨(dú)地且獨(dú)立于在所述第二子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)而確定。
28.一種用于確定將對樣品執(zhí)行的計(jì)量過程的一或多個(gè)參數(shù)的計(jì)算機(jī)實(shí)施的方法，其包括：
基于針對樣品的設(shè)計(jì)而自動(dòng)產(chǎn)生將在對所述樣品執(zhí)行的計(jì)量過程期間利用測量子系統(tǒng)測量的所關(guān)注區(qū)域，其中所述測量子系統(tǒng)至少包括能量源及檢測器，其中所述能量源經(jīng)配置以產(chǎn)生被引導(dǎo)到所述樣品的能量，且其中所述檢測器經(jīng)配置以檢測來自所述樣品的能量且響應(yīng)于所述所檢測能量而產(chǎn)生輸出；及
分別基于針對所述樣品的所述設(shè)計(jì)的位于所述所關(guān)注區(qū)域的第一子集及第二子集中的部分而自動(dòng)確定在所述計(jì)量過程期間利用所述測量子系統(tǒng)在所述所關(guān)注區(qū)域的所述第一子集及所述第二子集中執(zhí)行的一或多個(gè)測量的一或多個(gè)參數(shù)，其中在所述第一子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)是單獨(dú)地且獨(dú)立于在所述第二子集中執(zhí)行的所述一或多個(gè)測量的所述一或多個(gè)參數(shù)而確定，且其中所述自動(dòng)產(chǎn)生及所述自動(dòng)確定是由一或多個(gè)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行。