技術(shù)總結(jié)
一種方法和相關(guān)的裝置(SP),用于針對(duì)纏繞偽影來(lái)校正相位偏移圖像數(shù)據(jù)。在包括干涉測(cè)量裝備(G0、G1、G2)的成像系統(tǒng)(IM)的探測(cè)器(D)處探測(cè)所述數(shù)據(jù)。在涉及利用正則化優(yōu)化目標(biāo)函數(shù)的相位展開(kāi)方法中,提出了兩階段方案。在具有正則化的一個(gè)階段中和沒(méi)有正則化的另一階段中處理所測(cè)量的數(shù)據(jù)。這允許改進(jìn)經(jīng)校正的(相位展開(kāi)的)相位偏移數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度,因?yàn)槟軌虮苊庥伤稣齽t化所引起的不期望的偏置。
技術(shù)研發(fā)人員:T·克勒;R·普羅克紹
受保護(hù)的技術(shù)使用者:皇家飛利浦有限公司
文檔號(hào)碼:201580029369
技術(shù)研發(fā)日:2015.04.21
技術(shù)公布日:2017.02.22