一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法。該方法包括以下步驟：對濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板進行清洗并干燥；在黃光條件下，采用覆膜方式在氧化銦錫層上覆上固態(tài)光刻膠；將覆上固態(tài)光刻膠的玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光固態(tài)光刻膠；使用顯影液將橫向電極的圖案或縱向電極的圖案顯影，去除固態(tài)光刻膠中沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域；采用蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，去除氧化銦錫層中沒有覆蓋有已曝光的固態(tài)光刻膠的區(qū)域；采用去墨液將固態(tài)光刻膠中發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域去除，清洗并干燥；在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極邊緣制作金屬引線。該方法工藝簡單、固態(tài)光刻膠成膜均勻，便于控制顯影與蝕刻時間，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說明】一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及觸控屏的生產(chǎn)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]觸控屏(touch screen)又稱為“觸摸屏”、“觸控面板”，是一種可接收觸頭等輸入訊號的感應(yīng)式液晶顯示裝置，當(dāng)接觸了屏幕上的圖形或文字時，屏幕上的觸覺反饋系統(tǒng)可根據(jù)預(yù)先編程的程式驅(qū)動連接裝置，以實現(xiàn)觸控屏中顯示內(nèi)容的控制。觸控屏具有堅固耐用、反應(yīng)速度快、節(jié)省空間、易于交流等優(yōu)點，具有操作簡便性，在一定程度上替代了鼠標(biāo)或鍵盤，成為實現(xiàn)人與平板電腦、智能手機等終端人機交互的主要方式。
[0003]近年來，隨著智能手機、平板電腦的興起，觸控屏市場得到較快的發(fā)展。觸控屏包括設(shè)置在顯示屏前面的感應(yīng)器和與感應(yīng)器相連的控制器，感應(yīng)器檢測用戶觸摸位置以產(chǎn)生觸摸信息并傳送給控制器，控制器將接收到的觸摸信息轉(zhuǎn)換成觸點坐標(biāo)，并將其傳送給主機的主控芯片，并接收主機的主控芯片發(fā)出的命令加以執(zhí)行。
[0004]現(xiàn)有的觸控屏感應(yīng)器的制造方法包括以下步驟:氧化銦錫表面清洗、涂布或貼附光刻膠、前烘、曝光、顯影、堅膜、檢測、蝕刻、去膠、檢測。該方法工藝復(fù)雜，具體地，該過程需要通過至少兩次涂膠和前烘過程，若只進行一次涂膠，會導(dǎo)致光刻膠較薄，容易出現(xiàn)鉆蝕現(xiàn)象；而且涂膠過程容易導(dǎo)致成膜不均勻、影響產(chǎn)生質(zhì)量；在前烘和堅膜的時間和溫度控制不好，容易使其殘留物影響觸控屏感應(yīng)器的產(chǎn)品質(zhì)量；涂膠或貼附的光刻膠的厚度較小，使得曝光和顯影時間難以準(zhǔn)確控制，容易導(dǎo)致蝕刻過程中器件短路或電極過刻，使電阻增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種工藝簡單的觸控屏感應(yīng)器的制造方法。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法，包括以下步驟:
[0007]S1:對濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板進行清洗并干燥；
[0008]S2:在黃光條件下，采用覆膜方式在所述氧化銦錫層上覆上固態(tài)光刻膠；
[0009]S3:將覆上所述固態(tài)光刻膠的所述玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光所述固態(tài)光刻膠；
[0010]S4:使用顯影液將橫向電極的圖案或縱向電極的圖案顯影，去除所述固態(tài)光刻膠中沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域，并清洗；
[0011]S5:采用蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，去除所述氧化銦錫層中沒有覆蓋有已曝光的所述固態(tài)光刻膠的區(qū)域，并清洗；
[0012]S6:采用去墨液將所述固態(tài)光刻膠中發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域去除，清洗并干燥，以制得所述橫向電極或縱向電極；
[0013]S7:在所述玻璃基板或PET板上、所述橫向電極或縱向電極邊緣制作金屬引線，完成觸控屏感應(yīng)器的制作。
[0014]優(yōu)選地，所述步驟SI包括:采用洗滌劑進行清洗，接著以乙醇為溶劑采用超聲波清洗2?4min，再以純水為溶劑超聲波清洗2?4min ;最后采用風(fēng)刀吹10?250s或在95?115°C下烘烤15?19min。
[0015]優(yōu)選地，所述步驟S2包括:在黃光條件下，將固態(tài)光刻膠放置在氧化銦錫層上，采用覆膜方式，覆膜溫度達95?105°C，覆膜壓力為2?4kg/cm2、覆膜速度為2.5?3.5m/min將固態(tài)光刻膠壓在氧化銦錫層上。
[0016]優(yōu)選地，所述步驟S3包括:將覆上所述固態(tài)光刻膠的所述玻璃基板或PET板放置在菲林、鉻板或光罩上，在真空度> 700mmHg條件下，曝光能量為21級曝光尺中的7?9級的紫外光下曝光70?120s。
[0017]優(yōu)選地，所述步驟S4包括:在溫度為28?34°C、壓強為1.5-2.0kg/cm2時，將曝光后的玻璃基板或PET板放置在顯影液中顯影30?50s ;其中，顯影液為濃度為I?3mol/L的K2CO3和/或Na2CO3溶液。
[0018]優(yōu)選地，所述步驟S5包括:采用是濃度為16?21mol/L的配比為HC1:HN03:H20 =15?19:15?19:18?22的蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，蝕刻時間為150?200s。
[0019]優(yōu)選地，所述步驟S6包括:所述去墨液包括濃度為I?3mol/L的強堿溶液。
[0020]優(yōu)選地，所述步驟S4?S6中的清洗包括:將玻璃基板或PET板在水壓為
1.5-2.0kg/cm2的純水中清洗I?2min ;所述步驟S6中干燥包括將玻璃基板或PET板放置在95?115°C下烘烤15?19min，或采用風(fēng)刀吹10?250s。
[0021]優(yōu)選地，所述步驟S7包括:采用絲印方式在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極的邊緣絲印金屬引線，所述金屬引線與所述橫向電極或縱向電極相連，以完成觸控屏感應(yīng)器的制作。
[0022]優(yōu)選地，在真空條件下，采用濺射方式在濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上鍍金屬層；然后在所述金屬層上采用覆膜方式覆上固態(tài)光刻膠，使用光罩曝光金屬引線的圖案；再使用顯影劑將所述金屬引線顯影，并使用不與固態(tài)光刻膠反應(yīng)的退鍍液退鍍所述金屬層，以制作所述金屬引線；其中，所述步驟S7發(fā)生在步驟S2之前。
[0023]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點:本發(fā)明所提供的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，工藝簡單、固態(tài)光刻膠成膜均勻，便于控制顯影與蝕刻時間，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]下面將結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進一步說明，附圖中:
[0025]圖1是本發(fā)明一實施例中觸控屏感應(yīng)器的制造方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0026]為了對本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對照附圖詳細說明本發(fā)明的【具體實施方式】。
[0027]圖1示出本實施例觸控屏感應(yīng)器的制造方法的流程圖。該觸控屏感應(yīng)器的制造方法包括以下步驟:
[0028]S1:對濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板進行清洗并干燥?？梢岳斫獾兀谥谱饔|控屏感應(yīng)器的過程中，若濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上有粘附物、油污、顆粒、夾雜物、異色點等雜質(zhì)或水分，不僅影響觸控屏成品的外觀，而且嚴(yán)重影響氧化銦錫層與光刻膠表面之間的黏附性和潤濕性，導(dǎo)致光刻膠表面不平，產(chǎn)生氣孔而使蝕刻過程中出現(xiàn)鉆蝕現(xiàn)象，影響觸控屏的圖形分辨率，并導(dǎo)致電路斷路或短路。
[0029]具體地，清洗步驟包括采用洗滌劑進行清洗，接著以乙醇為溶劑采用超聲波清洗2?4min，再以純水為溶劑超聲波清洗2?4min。洗滌劑可以是洗衣液、洗潔精等日常清洗用品，采用洗滌劑進行清洗，可以去除濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上大部分容易脫落的粘附物、油污、顆粒等雜質(zhì)?？梢岳斫獾兀摮暡ㄇ逑词遣捎脤Ｓ玫某暡ㄇ逑礄C進行清洗。本實施例中，采用超聲波清洗機先后以乙醇、純水為溶劑清洗2?4min，利用超聲波在介質(zhì)傳達時產(chǎn)生的穿透性和沖擊力，可將濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上粘附的雜質(zhì)去除，在清潔度達到標(biāo)準(zhǔn)的同時清洗速度快，其速度比傳統(tǒng)清潔方法可提高幾倍、甚至幾十倍?？梢岳斫獾?，采用超聲波清洗機以乙醇為溶劑清洗更容易去除有機物雜質(zhì)，以純水為溶劑清洗可避免引入新的雜質(zhì)。
[0030]在清洗工序完成后，采用風(fēng)刀吹10?250s或在95?115°C下烘烤15?19min，以達到干燥目的?？梢岳斫獾?，風(fēng)刀的吹風(fēng)時間與風(fēng)刀的壓強相關(guān)，在壓強大的情況下，吹10?20s即可，在壓強小的情況下，吹風(fēng)時間較長，達230?240s，才以將濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上的水分去除，在干燥的同時，可將氯化銦錫層表面的雜質(zhì)和水分清理干凈?？梢岳斫獾?，還可以將清潔后的濺射有氧化銦錫的玻璃基板或PET板放置在95?115°C的烘箱中烘烤15?19min，以使其干燥。
[0031]S2:在黃光條件下，采用覆膜方式在氧化銦錫層上覆上固態(tài)光刻膠。可以理解地，固態(tài)光刻膠呈卷狀，使用不透光的黑紙包裹，其厚度為15?20 μ m，在市面上有售?？梢岳斫獾?，固態(tài)光刻膠對大部分可見光敏感，對黃光不敏感，在黃光室進行進行覆上固態(tài)光刻膠的操作，可以避免其他可見光照射到固態(tài)光刻膠而發(fā)生曝光反應(yīng)。具體地，采用覆膜方式包括以下步驟:在黃光條件下，將固態(tài)光刻膠放置在氧化銦錫層上，覆膜溫度達95?105°C，覆膜壓力為2?4kg/cm2、覆膜速度為2.5?3.5m/min將固態(tài)光刻膠壓在氧化銦錫層上。可以理解地，采用覆膜方式為采用專用的覆膜機進行覆膜，其中，覆膜溫度是指覆膜機壓輪的溫度，覆膜壓力為覆膜機壓輪的壓力，覆膜速度為覆膜機壓輪的旋轉(zhuǎn)速度。可以理解地，覆膜機壓輪的溫度、壓力和速度的設(shè)置可使固態(tài)光刻膠均勻、牢固地覆上氧化銦錫層上，避免因固態(tài)光刻膠與氧化銦錫層之間存在縫隙而且影響其后工藝步驟的進行。
[0032]S3:將覆上固態(tài)光刻膠的玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光固態(tài)光刻膠?？梢岳斫獾?，曝光是在掩膜版與覆上固態(tài)光刻膠的玻璃基板或PET板對準(zhǔn)之后，將掩膜板上的圖案轉(zhuǎn)移到固態(tài)光刻膠上。具體地，將覆上固態(tài)光刻膠的玻璃基板或PET板放置在菲林、鉻板或光罩上，在真空度> 700mmHg條件下，曝光能量為21級曝光尺中的7?9級時的紫外光下曝光70?120s,曝光后靜置15?20min。可以理解地，若曝光時間過短，則光化學(xué)反應(yīng)程度不夠，導(dǎo)致顯影效果不佳，影響氧化銦錫蝕刻工藝的進行；若曝光時間過長，因氧化銦錫層與掩膜版之間存在縫隙，在衍射效應(yīng)下，蝕刻后的氧化銦錫邊緣出現(xiàn)衍射花樣，使圖形分辨率降低。在曝光過程中，若固態(tài)光刻膠的厚度不均勻，致使入射光與反射光之間相互干涉，而導(dǎo)致顯影后，在側(cè)壁上產(chǎn)生波浪狀的不平整的現(xiàn)象。
[0033]S4:使用顯影液將橫向電極的圖案或縱向電極的圖案顯影，去除固態(tài)光刻膠中沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域，并清洗。具體地，在溫度為28?34°C、壓強為1.5-2.0kg/cm2時，將曝光后的玻璃基板或PET板放置在顯影液中顯影30?50s，以將橫向電極或縱向電極的圖案顯影，去除固態(tài)光刻膠中沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域；其中，顯影液為濃度為I?3mol/L的K2CO3和/或Na2CO3溶液?？梢岳斫獾兀虘B(tài)光刻膠在顯影液中溶解，而已發(fā)生曝光反應(yīng)的固態(tài)光刻膠在顯影液中沒有溶解，故可去除沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域。在顯影過程中，顯影時間的控制對產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要；若顯影時間過短，會導(dǎo)致蝕刻結(jié)束后仍有氧化銦錫層殘余，極易造成器件短路；若顯影時間過長，會導(dǎo)致需留下的起保護作用的固態(tài)光刻膠也大量溶解，余下的固態(tài)光刻膠厚度不足以充分保護固態(tài)光刻膠下的氧化銦錫層，導(dǎo)致電極過亥IJ，器件接觸及串聯(lián)電阻增加。將玻璃基板或PET板在水壓為1.5-2.0kg/cm2的純水中清洗I?2min，以去除其中殘留的顯影液。
[0034]S5:采用蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，去除氧化銦錫層中沒有覆蓋有已曝光的固態(tài)光刻膠的區(qū)域，并清洗。具體地，采用是濃度為16?21mol/L的配比為HC1:HN03:H20=15?19:15?19:18?22的蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，蝕刻時間為150?200s，以去除氧化銦錫層中沒有覆蓋有已曝光的固態(tài)光刻膠的區(qū)域。優(yōu)選地，蝕刻液的配比為HCl:HNO3:H2O = 17:17:20?？梢岳斫獾?，蝕刻液為可與氧化銦錫層反應(yīng)而不與曝光后的固態(tài)光刻膠反應(yīng)的溶液。蝕刻液與氧化煙錫層進行如下反應(yīng):In203+6HCl = 2InCl3+3H20 ；
[0035]2Sn02+8HCl = 2SnCl4+4H20 ；In203+6HN03 = 2In (NO3) 3+3H20 ；
[0036]2Sn02+8HN03 = 2SN(NO3)4+4H20。在蝕刻過程中，蝕刻時間的控制至關(guān)重要；若蝕刻時間過短，容易導(dǎo)致需要蝕刻部分未完全蝕刻掉，生產(chǎn)出的橫向電極或縱向電極的質(zhì)量不佳；若蝕刻時間過長，容易出現(xiàn)鉆蝕現(xiàn)象。將玻璃基板或PET板在水壓為1.5-2.0kg/cm2的純水中清洗I?2min，以去除其中殘留的蝕刻液。
[0037]S6:采用去墨液將固態(tài)光刻膠中發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域去除，清洗并干燥，以制得橫向電極或縱向電極。具體地，去墨液采用濃度為I?3mol/L的強堿溶液，優(yōu)選為KOH和/或NaOH溶液，其原因在于KOH與NaOH的成本較低，適于工業(yè)生產(chǎn)。將玻璃基板或PET板在水壓為1.5-2.0kg/cm2的純水中清洗I?2min，以去除其中殘留的去墨液。去除固態(tài)光刻膠中已發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域后，清洗并干燥，即可制得橫向電極或縱向電極；具體地，“干燥”過程包括將玻璃基板或PET板放置在烘箱中烘烤15?19min，烘烤溫度為95?115°C，以烘干玻璃基板或PET板；或采用風(fēng)刀吹10?250s，吹干玻璃基板或PET板。
[0038]S7:在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極邊緣制作金屬引線，完成觸控屏感應(yīng)器的制作。具體地，采用絲印方式在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極的邊緣絲印金屬引線，金屬引線與橫向電極或縱向電極相連，以完成觸控屏感應(yīng)器的制作。可以理解地，絲印方式是采用絲印機進行的工序，通過采用絲印機在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極的邊緣絲印出金屬引線，該金屬引線可以是銀膠線。
[0039]可以理解地，金屬引線也可以采用以下步驟S7制得:在真空條件下，采用濺射方式在濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上鍍金屬層，可以理解地，可以是鋁、鑰鋁鑰、銅和銅鎳合金或其他金屬。然后在金屬層上采用覆膜方式覆上固態(tài)光刻膠，使用光罩曝光金屬引線的圖案?？梢岳斫獾兀诮o金屬層上覆上干膜之前需要對金屬層進行清洗烘干，以避免干膜的覆著力不強，而且清洗后其表面清潔干凈、外觀較為良好。再使用顯影劑將金屬引線顯影，并使用不與固態(tài)光刻膠反應(yīng)的退鍍液退鍍金屬層，以制作金屬引線。具體地，采用噴淋或浸泡2~4%的碳酸鈉或碳酸鉀(即顯影劑)進行顯影；而退鍍金屬層是在溫度為40~60°C時，將專用的不與干膜反應(yīng)的金屬退鍍液噴淋在金屬層上，可以理解地，該金屬退鍍液是與金屬層而不與氧化銦錫層反應(yīng)的酸性溶液。具體地，采用濺射方式制得金屬引線的步驟S7發(fā)生在步驟S2之前。
[0040]在觸控屏感應(yīng)器制作完成后，在采用相同的工藝下，對經(jīng)不同曝光時間、顯影時間以及蝕刻時間制得的觸控屏傳感器采用專用的測試儀器進行電性測試，以檢測成品的良率，其檢測結(jié)果如表一所示。
[0041]表一
[0042]
【權(quán)利要求】
1.一種觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:包括以下步驟: 51:對濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板進行清洗并干燥； 52:在黃光條件下，采用覆膜方式在所述氧化銦錫層上覆上固態(tài)光刻膠； 53:將覆上所述固態(tài)光刻膠的所述玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光所述固態(tài)光刻膠； S4:使用顯影液將橫向電極的圖案或縱向電極的圖案顯影，去除所述固態(tài)光刻膠中沒有發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域，并清洗； 55:采用蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，去除所述氧化銦錫層中沒有覆蓋有已曝光的所述固態(tài)光刻膠的區(qū)域，并清洗； 56:采用去墨液將所述固態(tài)光刻膠中發(fā)生曝光反應(yīng)的區(qū)域去除，清洗并干燥，以制得所述橫向電極或縱向電極； 57:在所述玻璃基板或PET板上、所述橫向電極或縱向電極邊緣制作金屬引線，完成觸控屏感應(yīng)器的制作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟SI包括:采用洗滌劑進行清洗，接著以乙醇為溶劑采用超聲波清洗2~4min，再以純水為溶劑超聲波清洗2~4min ;最后采用風(fēng)刀吹10~250s或在95~115°C下烘烤15~19min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所 述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S2包括:在黃光條件下，將固態(tài)光刻膠放置在氧化銦錫層上，采用覆膜方式，覆膜溫度達95~105°C，覆膜壓力為2~4kg/cm2、覆膜速度為2.5~3.5m/min將固態(tài)光刻膠壓在氧化銦錫層上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S3包括:將覆上所述固態(tài)光刻膠的所述玻璃基板或PET板放置在菲林、鉻板或光罩上，在真空度^ 700mmHg條件下，曝光能量為21級曝光尺中的7~9級的紫外光下曝光70~120s。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S4包括:在溫度為28~34°C、壓強為1.5-2.0 kg/cm2時，將曝光后的玻璃基板或PET板放置在顯影液中顯影30~50s ;其中，顯影液為濃度為I~3mol/L的K2CO3和/或Na2CO3溶液。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S5包括:采用是濃度為16~21mol/L的配比為HCl:HNO3:H20=15~19:15~19:18~22的蝕刻液對氧化銦錫層進行蝕刻，蝕刻時間為150~200s。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S6包括:所述去墨液包括濃度為I~3mol/L的強堿溶液。
8.根據(jù)權(quán)利要求5~7任一項所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S4~S6中的清洗包括:將玻璃基板或PET板在水壓為1.5-2.0 kg/cm2的純水中清洗I~2min ;所述步驟S6中干燥包括將玻璃基板或PET板放置在95~115°C下烘烤15~19min，或采用風(fēng)刀吹10~250s。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S7包括:采用絲印方式在玻璃基板或PET板上、橫向電極或縱向電極的邊緣絲印金屬引線，所述金屬引線與所述橫向電極或縱向電極相連，以完成觸控屏感應(yīng)器的制作。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的觸控屏感應(yīng)器的制造方法，其特征在于:所述步驟S7包括:在真空條件下，采用濺射方式在濺射有氧化銦錫層的玻璃基板或PET板上鍍金屬層；然后在所述金屬層上采用覆膜方式覆上固態(tài)光刻膠，使用光罩曝光金屬引線的圖案；再使用顯影劑將所述金屬引線顯影，并使用不與固態(tài)光刻膠反應(yīng)的退鍍液退鍍所述金屬層，以制作所述金屬引線； 其中，所述步驟S7發(fā)生在步驟S2之前。
【文檔編號】G06F3/041GK104035622SQ201410291154
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月25日
【發(fā)明者】向火平 申請人:深圳市點燃科技有限公司