晶圓cmp加工信息管理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，用于科學(xué)地管理每一片晶圓的CMP加工信息，方便工藝人員登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，包括：客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接并要求各項(xiàng)服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應(yīng)客戶端的訪問請求與客戶端建立連接，并提供服務(wù)?？蛻舳诉\(yùn)行在上位機(jī)IPC中。服務(wù)器端，利用MySQL數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫中，根據(jù)晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等主要字段，建立一系列完整的晶圓CMP加工信息數(shù)據(jù)表格。對于MySQL數(shù)據(jù)庫的訪問方法，本發(fā)明利用Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口，自行編譯MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動。數(shù)據(jù)庫登陸成功后，客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL來對數(shù)據(jù)庫進(jìn)行操作。
【專利說明】晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(ChemicalMechanical Planarization,簡稱CMP)是當(dāng)前ULSI時代最廣泛使用的全局平坦化技術(shù)。與現(xiàn)有的一些平坦化技術(shù)相比，CMP技術(shù)在有效兼顧表面的局部和全局平坦度的同時，滿足了制造特征尺寸更小、金屬互連層數(shù)更多的芯片的要求。本CMP系統(tǒng)針對銅CMP工藝而設(shè)計(jì)，用于去除晶圓表面多余的銅。在工藝實(shí)踐中，工藝人員需及時掌握每一片晶圓的工藝信息，包括晶圓編號，晶圓狀態(tài)，加工時間及其拋光時使用的工藝配方名稱等，從而科學(xué)管理晶圓的加工過程。
[0003]然而，現(xiàn)有的一些數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)不適合本CMP控制系統(tǒng)，不便于晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的開發(fā)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的旨在至少解決上述的技術(shù)缺陷之一。
[0005]為此，本發(fā)明需要提供一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，用于科學(xué)管理晶圓的CMP加工信息，并方便工藝人員登錄和訪問晶圓加工信息數(shù)據(jù)庫。
[0006]有鑒于此，本發(fā)明的實(shí)施例提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，包括:客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端提供服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應(yīng)所述訪問請求與所述客戶端建立連接，并提供服務(wù)，所述客戶端通過所述服務(wù)器端登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對所述數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
[0007]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt OpenSource實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0008]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
[0009]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱。
[0010]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述數(shù)據(jù)庫根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格，使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在所述數(shù)據(jù)庫中。
[0011]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述服務(wù)器端通過監(jiān)聽端口監(jiān)聽所述客戶端的請求，如果所述客戶端有請求，則根據(jù)所述客戶端的要求進(jìn)行服務(wù)，所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽端口與所述服務(wù)器端建立連接，并要求服務(wù)。
[0012]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后，所述服務(wù)器端對所述客戶端的用戶身份進(jìn)行驗(yàn)證，并在驗(yàn)證通過后，所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對所述數(shù)據(jù)庫中的所述晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。[0013]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時，所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
[0014]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預(yù)設(shè)次數(shù)時，所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
[0015]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述客戶端通過Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口訪問所述數(shù)據(jù)庫。
[0016]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫后，所述客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL語句發(fā)送指令，并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項(xiàng)數(shù)據(jù)，再轉(zhuǎn)化為對應(yīng)的數(shù)據(jù)類型以進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
[0017]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0019]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；
[0020]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫的流程圖；
[0021]圖3為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的加工信息主要內(nèi)容的示意圖；以及
[0022]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的客戶端的訪問過程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0024]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0025]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0026]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)包括:客戶端100和服務(wù)器端200。
[0027]具體地，客戶端100用于向服務(wù)器端200發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端200提供服務(wù)。服務(wù)器端200用于響應(yīng)訪問請求與客戶端建立連接，并提供服務(wù)。客戶端100通過服務(wù)器端200登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。在客戶端100/服務(wù)器端200的架構(gòu)下，系統(tǒng)需保持客戶端100和服務(wù)器端200兩個進(jìn)程，并且應(yīng)先啟動服務(wù)器端的應(yīng)用程序。由于實(shí)時性的需要，數(shù)據(jù)庫需要不斷更新與補(bǔ)充，所以服務(wù)器端200的應(yīng)用程序應(yīng)在工作階段持續(xù)運(yùn)行。
[0028]MySQL是瑞典MySQL AB公司開發(fā)的開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，源代碼開放并可免費(fèi)使用。目前，在眾多的數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)中，MySQL以其開源特性和卓越性能成為很多人建立信息管理系統(tǒng)的首選。作為一種關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，它將數(shù)據(jù)間的關(guān)系以數(shù)據(jù)庫表的形式加以表達(dá)，并將數(shù)據(jù)存儲在表格中以便查詢。
[0029]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt OpenSource實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0030]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。服務(wù)器端200實(shí)時獲取CMP主控制系統(tǒng)提交的晶圓CMP加工信息，并將晶圓CMP加工信息添加到數(shù)據(jù)庫中，其中CMP主控制系統(tǒng)具有最高的數(shù)據(jù)訪問權(quán)限。具體地，工藝人員每選定一批次晶圓進(jìn)行CMP工藝后，控制系統(tǒng)自動將本批次的晶圓CMP加工信息填加到數(shù)據(jù)庫中。該晶圓CMP加工信包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等數(shù)據(jù)。圖3為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的晶圓CMP加工信主要內(nèi)容的示意圖。如圖3所示，服務(wù)器端200的資源管理器連接到MySQL數(shù)據(jù)庫后，將每片晶圓CMP加工信息，即晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等建立一系列完整的數(shù)據(jù)表格。其中，晶圓狀態(tài)表示晶圓已完成工藝處理或未完成工藝處理。當(dāng)客戶端100連接服務(wù)器端200，并驗(yàn)證用戶身份正確后便可以獲取當(dāng)前用戶權(quán)限內(nèi)的全部信息。服務(wù)器端200以各晶圓CMP加工信息為參數(shù)項(xiàng)建立數(shù)據(jù)表格，使晶圓CMP加工信以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在數(shù)據(jù)庫中。表格中的每一行對應(yīng)一條完整的晶圓CMP加工信記錄。
[0031]在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，服務(wù)器端200通過監(jiān)聽端口(例如端口號為3306)監(jiān)聽客戶端100的連接請求，如果客戶端有請求，則按照客戶端的要求進(jìn)行服務(wù)?？蛻舳?00根據(jù)服務(wù)器端200的IP地址和監(jiān)聽端口與客戶端100建立連接，并要求服務(wù)。在客戶端100連接到服務(wù)器端200之后，客戶端進(jìn)一步提供當(dāng)前用戶的用戶名和密碼。服務(wù)器端200對客戶端100的用戶身份驗(yàn)證正確后，客戶端100在用戶權(quán)限內(nèi)對數(shù)據(jù)庫操作，服務(wù)器端200則根據(jù)用戶的操作向數(shù)據(jù)庫提交SQL指令。如果身份驗(yàn)證失敗，則服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“密碼錯誤”等提示信息。在客戶端與服務(wù)器端連接過程中，如果服務(wù)器端200與客戶端100的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時，服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“服務(wù)器不存在”或“ IP地址錯誤”等，否則客戶端100根據(jù)服務(wù)器端200名稱和監(jiān)聽端口與服務(wù)器端200繼續(xù)建立連接。該預(yù)設(shè)次數(shù)可以為3次。
[0032]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫的流程圖。如圖2所示，客戶端100通過服務(wù)器的IP地址，及監(jiān)聽端口號與服務(wù)器端200建立連接。如果連接成功，根據(jù)用戶通過客戶端100提供的用戶名和密碼進(jìn)行身份驗(yàn)證。身份驗(yàn)證正確后，允許客戶端100登陸到數(shù)據(jù)庫，進(jìn)而允許客戶端100在用戶權(quán)限以內(nèi)進(jìn)行操作數(shù)據(jù)。如果身份驗(yàn)證失敗，則向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“驗(yàn)證失敗”等提示信息。如果客戶端100與服務(wù)器端200連接失敗，首先判斷其連接次數(shù)是否大于預(yù)設(shè)次數(shù)，如果不大于預(yù)設(shè)次數(shù)，則繼續(xù)根據(jù)服務(wù)器的IP地址和監(jiān)聽端口號與服務(wù)器端200建立連接，否則向客戶端100發(fā)送錯誤信息或提示信息，例如“服務(wù)器不存在”或“IP地址錯誤”等信息。如果客戶端100登陸數(shù)據(jù)庫成功，服務(wù)器端200根據(jù)用戶的操作或指令向數(shù)據(jù)庫提交SQL指令，并把返回結(jié)果反饋給客戶端100。
[0033]客戶端100運(yùn)行在上位機(jī)IPC中，客戶端100具有獨(dú)立的操作界面，用戶可以根據(jù)該操作界登陸數(shù)據(jù)庫?？蛻舳?00的主要功能包括:(1)用戶可隨時通過客戶端100連接至|J數(shù)據(jù)庫，并訪問該用戶權(quán)限以內(nèi)全部晶圓CMP加工信息。(2)登陸到該數(shù)據(jù)庫之后，用戶可對本權(quán)限以內(nèi)對晶圓CMP加工信記錄進(jìn)行讀取或刪除操作。其中，數(shù)據(jù)庫運(yùn)行在服務(wù)器端200上。本發(fā)明中基于Visual Studio2008軟件開發(fā)平臺，利用Qt Designer完成客戶端圖形用戶界面的開發(fā)，并使用Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口，編譯MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動。該驅(qū)動在客戶端中以插件的形式應(yīng)用。在本發(fā)明的客戶端實(shí)現(xiàn)中，創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫連接需要以下操作:激活驅(qū)動程序，設(shè)置連接信息，打開連接。
[0034]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的客戶端的訪問過程示意圖。如圖4所示，客戶端100的操作過程大致可分為(1)打開客戶端，連接數(shù)據(jù)庫，(2)對數(shù)據(jù)庫操作和(3)退出客戶端，中斷連接。
[0035](1)打開客戶端，連接數(shù)據(jù)庫
[0036]在客戶端100的界面中，輸入服務(wù)器的IP地址、服務(wù)器端的監(jiān)聽端口號、數(shù)據(jù)庫名稱、用戶名以及密碼。如果連接和驗(yàn)證成功，即可登錄存儲有晶圓CMP加工信的數(shù)據(jù)庫。
[0037](2)數(shù)據(jù)庫的操作
[0038]客戶端100將包含各種操作信息的請求傳送給服務(wù)器端200。該請求操作信息包括讀取和刪除等。其中，讀取操作是根據(jù)當(dāng)前用戶的權(quán)限，將該用戶權(quán)限內(nèi)的全部記錄反饋給該用戶，而且用戶可進(jìn)一步設(shè)置過濾條件，查看所需數(shù)據(jù)。該刪除操作為偽刪除操作，即只是將該刪除的信息不再出現(xiàn)在當(dāng)前用戶的查詢結(jié)果中(并不能從數(shù)據(jù)庫中真正刪除所選記錄，只有具有刪除權(quán)限的用戶才可刪除記錄)。當(dāng)服務(wù)器端200獲取用戶的操作指令后，可將相應(yīng)的結(jié)果發(fā)送到客戶端100呈現(xiàn)給用戶。
[0039](3)退出客戶端，中斷連接，即關(guān)閉窗口，釋放客戶端100的進(jìn)程。
[0040]訪問MySQL數(shù)據(jù)庫的方式有三種。第一種是使用MySQL的C API接口。第二種是使用開放數(shù)據(jù)庫互連接口 MySQL ODBC。第三種是使用基于標(biāo)準(zhǔn)C++的MySQL數(shù)據(jù)庫訪問弓|擎MySQL++。第一種和第二種方式是MySQL早期提供的訪問方式，而MySQL++是一種新的訪問方式，該訪問方式是基于標(biāo)準(zhǔn)C++的源代碼級MySQL數(shù)據(jù)庫訪問引擎，具有功能強(qiáng)大、訪問性能高，還可以跨平臺。
[0041 ] Qt提供了無關(guān)平臺的數(shù)據(jù)庫編程接口，可更好地?cái)U(kuò)展新的不同的數(shù)據(jù)庫。此外，利用Qt的模型/視圖結(jié)構(gòu)，可方便信息的存儲與瀏覽。因此，在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，采用Qt提供的數(shù)據(jù)庫訪問接口。由于Qt自身沒有帶MySQL數(shù)據(jù)庫的驅(qū)動，只有源代碼文件，所以本發(fā)明編譯了 MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動，使其以插件的形式應(yīng)用。編譯過程具體如下所示。
[0042]第一步，下載MySQL的安裝程序。在安裝時選擇定制安裝，選中Libs和Include文件，假設(shè)安裝位置是C: \MySQL。
[0043]第二步，進(jìn)行編譯。可以按照實(shí)際情況輸入如下指令:
[0044]a.cd%QTDIR%\src\plugins\sqldrivers\mysql[0045]b.qmake"INCLUDEPATH+=C: \MySQL\include""LIBS+=C: \MYSQL\MySQLServer<version>\lib\opt\libmysql.lib〃mysql.pro
[0046]c.nmake
[0047]第三步，將C: \MySQL\bin目錄下的libmySQL.dll文件復(fù)制到Qt Creator安裝目錄下的qt\bin目錄中即可。
[0048]由于Qt的SQL模塊可以通過插件的形式在運(yùn)行期動態(tài)地裝載新的驅(qū)動程序，所以一旦該插件被建立，Qt就可以自動地裝載它，之后為QSqlDatabase所用。
[0049]在本發(fā)明的客戶端100在運(yùn)行過程中，創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫連接的具體操作為:首先，激活驅(qū)動程序，設(shè)置連接信息，打開連接。在數(shù)據(jù)庫連接成功后，就可以使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL對數(shù)據(jù)庫進(jìn)行讀取和刪除等常規(guī)操作。以下結(jié)合Qt的SQL模塊所提供的主要函數(shù)，簡述查詢過程。
[0050]首先，建立與數(shù)據(jù)庫的連接。所以，可調(diào)用函數(shù)QSqlDatabase::addDatabase創(chuàng)建QSqlDatabase對象。函數(shù)addDatabase的第一個參數(shù)指定了 Qt使用哪一個數(shù)據(jù)庫驅(qū)動程序來訪問這個數(shù)據(jù)庫，本發(fā)明使用的是MySQL數(shù)據(jù)庫。
[0051]然后，需要設(shè)置數(shù)據(jù)庫的服務(wù)器名，端口號，數(shù)據(jù)庫名，用戶名及密碼，并且打開這個連接。一般情況下，常用參數(shù)設(shè)置可進(jìn)行保存。當(dāng)用戶二次登陸時，在指定位置讀取已保存參數(shù)即可。
[0052]當(dāng)建立連接時，可以使用QSqlQuery執(zhí)行底層數(shù)據(jù)庫支持的任何SQL語句。在執(zhí)行SQL語句前,需要創(chuàng)建一個QSqlQuery對象，然后利用函數(shù)QSqlQuery:: exec進(jìn)行相應(yīng)處理。其QSqlQuery對象的創(chuàng)建如下。
[0053]QSqlQuery query·;
[0054]query, exec (QString ("SELECT^FROM CMPmsg WHERE cid=’％1’ORDER BYcreatetime DESC〃).arg(parameter::userID));
[0055]通過上述查詢代碼將返回當(dāng)前用戶權(quán)限下的所有記錄，并按生成日期降序排列。在執(zhí)行完函數(shù)exec后，QSqlQuery的內(nèi)部指針被定位到結(jié)果集的第一個記錄之前,可以使用函數(shù)QSqlQuery::next將指針定位到第一條記錄。隨后每次調(diào)用函數(shù)next,都會把記錄指針移到下一條記錄。這時，利用函數(shù)value將每條記錄中不同數(shù)據(jù)類型的參數(shù)以統(tǒng)一的QVariant類型返回再轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的數(shù)據(jù)類型，從而實(shí)現(xiàn)依次提取各項(xiàng)參數(shù)。
[0056]對于獲取到的數(shù)據(jù)，客戶端將其顯示在用戶界面中數(shù)據(jù)表格的指定位置上。對于一般數(shù)據(jù)，可利用Qt提供的QSQlTableModel和QTableView處理數(shù)據(jù)，并對其進(jìn)行適當(dāng)渲染。
[0057]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0058]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，包括:客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端提供服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應(yīng)所述訪問請求與所述客戶端建立連接，并提供服務(wù)，所述客戶端通過所述服務(wù)器端登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對所述數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)庫根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格，使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在所述數(shù)據(jù)庫中。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述服務(wù)器端通過監(jiān)聽端口監(jiān)聽所述客戶端的請求，如果所述客戶端有請求，則根據(jù)所述客戶端的要求進(jìn)行服務(wù)，所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽端口與所述服務(wù)器端建立連接，并要求服務(wù)。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后，所述服務(wù)器端對所述客戶端的用戶身份進(jìn)行驗(yàn)證，并在驗(yàn)證通過后，所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對所述數(shù)據(jù)庫中的所述晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
7.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時，所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預(yù)設(shè)次數(shù)時，所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
9.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述客戶端通過Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口訪問所述數(shù)據(jù)庫。
10.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫后，所述客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL語句發(fā)送指令，并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項(xiàng)數(shù)據(jù)，再轉(zhuǎn)化為對應(yīng)的數(shù)據(jù)類型以進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
【文檔編號】G06Q10/06GK103679368SQ201310683737
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】路新春, 李弘愷, 田芳馨, 王同慶, 趙乾, 何永勇 申請人:清華大學(xué)